JP2008053035A - フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フィラメントランプは、発光管の内部に、各々フィラメントとリードとからなるフィラメント体の複数が管軸方向に順次に並設されてなり、隣り合うフィラメント体の互いに接近する端部同士が同位相となるよう各フィラメントにそれぞれ独立に交流電力が供給される構成、あるいは隣り合うフィラメント体の互いに接近する端部同士が同極性となるよう各フィラメントにそれぞれ独立に直流電力が供給される構成とされている。光照射式加熱処理装置は、当該フィラメントランプを備えてなる。
【選択図】 図4
Description
このような光照射式の加熱処理装置によれば、例えば、被処理体を1000℃以上の温度にまで、数秒から数十秒で昇温させることが可能であると共に、光照射を停止することにより、被処理体を急速に冷却(降温)させることが可能である。
このような問題を解決するために、半導体ウエハの周辺部の表面における放射照度を半導体ウエハの中央部の表面における放射照度よりも大きくなるように光照射することによって、半導体ウエハの側面等からの熱放射による温度低下を補償して半導体ウエハにおける温度分布を均一にすることが行われている。
このような特定領域においては、他の領域と同一の放射照度となるように光照射した場合であっても、温度上昇速度に差異が生じることがあり、特定領域の温度とその他の領域の温度とは必ずしも一致せず、被処理体の処理温度に不所望な温度分布が生じることになる結果、被処理体に所望の物理特性を付与することが困難になる、という問題が生じる。
このフィラメントランプは、図1を参照して説明すると、両端が気密に封止された直管状の発光管(11)を備えてなり、この発光管(11)内には、各々フィラメントコイルとこのフィラメントコイルに給電するためのリードとからなるフィラメント体(14,15)の複数(図1においては2個)が、フィラメントコイル(14b, 15b)が発光管(11)の管軸方向に伸びるよう順次に並んで配置されている。
また、第2のフィラメント体(15)におけるフィラメントコイル(15b)の一端に連結される一端側のリード(15c)は、一端側の封止部(12a)に埋設された金属箔(13b)を介して外部リード(18b)に電気的に接続されており、また、フィラメントコイル(15b)の他端に連結される他端側のリード(15a)は、他端側の封止部(12b)に埋設された金属箔(13c)を介して外部リード(18c)に電気的に接続されている。他端側のリード(15a)における一方のフィラメント体(14)のフィラメントコイル(14b)と対向する部分には、絶縁管(25)が設けられている。
各フィラメント体(14,15)は、それぞれ、外部リードを介して別個の給電装置に接続されており、これにより、各フィラメント体(14,15)におけるフィラメント(14b,15b)に個別に給電可能とされている。
また、(17)は、発光管(11)の内壁と絶縁管(25)との間の位置において、発光管(11)の管軸方向に並設された環状のアンカーであって、各フィラメント(14b,15b)は、それぞれ、例えば3個のアンカー(17)によって発光管(11)と接触しないよう支持されている。
このような要請に対して、上記構成のフィラメントランプを光源として備えているものにおいては、半導体ウエハの昇温特性を更に急速にすることが必要とされており、例えばフィラメントへの単位長さ当たりの投入電力を従来以上に増加させることにより対応することができるものと考えられる。
また、上述したように、被処理体の被照射面における温度分布を均一にするには、各々のフィラメント体がフィラメントが互いに近接した状態(フィラメントの配設間隔が小さい状態)で配設されていることが望ましいが、このような構成とした場合には、上記問題が顕著に生ずるようになる。
また、本発明の他の目的は、上記フィラメントランプを備え、被処理体を均一に加熱することができる光照射式加熱処理装置を提供することにある。
給電機構は直流電力供給源であって、隣り合うフィラメント体の互いに接近する端部同士が同極性となるよう、前記導電性部材に結線されていることを特徴とする。
隣接するフィラメントの互いに接近する端部に連結されたリードの各々が当該リードにおける鉤状部が係合される被係合部による位置決め機構が形成された共通の支持部材によって支持されることにより、フィラメントが発光管に対して位置決めされており、
前記支持部材を挟んで互いに対向して伸びる各々の鉤状部の先端には、球状部が形成された構成とすることができる。
従って、例えば200W/cm以上の大電力をフィラメントに投入することができ、これにより、より高速な半導体ウエハの昇温特性を実現することができる。
また、リードの鉤状部が支持部材に係合されて支持されていることによって、フィラメントの径方向に対する変位およびフィラメントの周方向の変位が規制されると共に、球状部が支持部材に係止されることによってフィラメント体の管軸方向への移動が規制されるので、フィラメントの位置決めを一層確実に行うことができ、各フィラメントを発光管の所望の位置に高精度にかつ容易に配置することができると共に、フィラメント体の位置が経時的に変位することを防止することができて長期間の間にわたって初期の性能を確実に維持することができる。
しかも、各フィラメントランプは、大電力をフィラメントに投入可能に構成されているものであるので、更なる歩留まりおよび品質の向上を図ることができる。
このフィラメントランプ10は、両端部が溶着されて封止部12a,12bが形成された、例えば石英ガラスなどの光透過性材料からなる直管状の発光管11を備えてなり、この発光管11の内部には、複数例えば2つのフィラメント体14,15が発光管11の管軸方向に順次に並んで配設されていると共に、ハロゲンガスおよび後述する特定の放電抑制ガスが封入されている。
フィラメント連結部141aは、フィラメントコイル14bのコイル内径に適合する外径を有する。
また、第1のフィラメント体14におけるリード14cは、リード14aと同一の構成を有し、便宜上、リード14aと同一の構成部分には「a」を「c」に替えて同一の符号が付してある。
また、一端側のリード14cについても同様に、フィラメント連結部141cがフィラメントコイル14bの内部に当接状態で配置されると共に、径方向部143cがフィラメントコイル14bのコイルピッチ間においてフィラメントコイル14bの径方向外方に突出するよう挟まれた状態とされ、これにより、リード14cとフィラメントコイル14bとの連結が達成されている。
具体的には、第1のフィラメント体14における一端側のリード14cには、第2のフィラメント体15のフィラメントコイル15bと対向する箇所に、絶縁管25が設けられており、また、第2のフィラメント体15における他端側のリード15aには、第1のフィラメント体14のフィラメントコイル14bと対向する箇所に、絶縁管25が設けられている。
アンカー17は、フィラメントランプ10を作製するに際して、複数のフィラメント体を発光管11内に容易に挿入して配設することができる程度の弾性を有する。
各フィラメント体14,15と給電装置73との結線状態について具体的に説明すると、図4に示すように、第1のフィラメント体14に係るフィラメントコイル14bの一端が給電装置73の高圧側(H)に、電力制御手段74aを介して電気的に接続されると共に他端が電力制御手段74aを介して給電装置73の低圧側(L)であるグランド側(G)に電気的に接続されている。また、第1のフィラメントコイル14bの一端側に隣接する第2のフィラメント体15に係るフィラメントコイル15bの他端が電力制御手段74bを介して給電装置73の高圧側(H)に電気的に接続されると共に一端側のリード15cが電力制御手段74bを介してグランド側(G)に電気的に接続されており、従って、各フィラメントコイル14b,15bに電力制御手段74a,74bを介して個別に電力を給電することにより、各フィラメントコイル14b,15bの発光状態の制御を個別に行うことができる。
このフィラメントランプ10においては、電力制御手段74a, 74bとして、例えばサイリスタ(SCR)が用いられており、各フィラメント体14,15に対して供給される電流量を、各フィラメントコイル14b,15bの最大定格電流値の0〜100%の範囲内で調整することができる。
放電抑制ガスとしては、例えば窒素ガスや、アルゴン、クリプトンなどの希ガスや、窒素と希ガスとの混合ガスを用いることができ、これらのうちでも、他のガスに比べて絶縁破壊電圧値が高いことから、窒素ガスを用いることが特に好ましい。
希ガスの封入量は、常温において約0.8×105 〜1×106 Paの範囲内であることが好ましい。
従って、例えば200W/cm以上もの大電力をフィラメントコイル14b,15bに投入することができて各フィラメントコイル14b,15bを所期の発光状態となるよう急速に立ち上げることができる構成のものでありながら、隣接するフィラメント間で短絡が生じることを確実に防止することができる。
給電装置75は、互いに電位が異なるR、S、Tの3つの端子を備えており、これらのうちの2つの端子に対して各フィラメント14b,15bが、第1のフィラメント体14および第2のフィラメント体15における互いに隣接する端部同士が同位相となるよう、電気的に接続されている。
この実施例における各フィラメント体14,15と給電装置75との結線状態について具体的に説明すると、第1のフィラメント体14に係るフィラメントコイル14bの一端が給電装置75のS端子に電力制御手段74aを介して電気的に接続されていると共に、他端が給電装置75のR端子に電力制御手段74aを介して電気的に接続されている。また、第1のフィラメントコイル14bの一端側に隣接する第2のフィラメント体15に係るフィラメントコイル15bの他端が給電装置75のS端子に電力制御手段74bを介して電気的に接続されていると共に、一端が給電装置75のT端子に電力制御手段74bを介して電気的に接続されている。すなわち、第1のフィラメント体14に係るフィラメントコイル14bがR−S相に接続され、第2のフィラメント体15に係るフィラメントコイル15bがS−T相に接続されており、これにより、各フィラメントコイル14b,15bに対して、電力制御手段74a,74bを介して個別に電力を給電することにより、各フィラメントコイル14b,15bの発光状態の制御を個別に行うことができる。
このフィラメントランプ10は、両端部が溶着されて封止部12a,12bが形成された、例えば石英ガラスなどの光透過性材料からなる直管状の発光管11を備えてなり、この発光管11の内部には、各々図2に示すものと同一の構成を有する3つのフィラメント体14,15,16が、フィラメントコイルが管軸方向に伸びるよう、発光管11の管軸方向に順次に並設されている。
各フィラメント体14,15,16と給電装置75との結線状態について具体的に説明すると、図7に示すように、第1のフィラメント体14に係るフィラメントコイル14bの一端が給電装置75のS端子に電力制御手段74aを介して電気的に接続されると共に、他端が給電装置75のR端子に電力制御手段74aを介して電気的に接続されている。また、第2のフィラメント体15に係るフィラメントコイル15bの一端が給電装置75のT端子に電力制御手段74bを介して電気的に接続されると共に、他端が給電装置75のS端子に電力制御手段74bを介して電気的に接続されている。さらに、第3のフィラメント体16に係るフィラメントコイル16bの一端が給電装置75のR端子に電力制御手段74cを介して電気的に接続されると共に、他端が給電装置75のT端子に電力制御手段74cを介して電気的に接続されている。すなわち、第1のフィラメント体14に係るフィラメントコイル14bがR−S相に接続され、第2のフィラメント体15に係るフィラメントコイル15bがS−T相に接続され、第3のフィラメント体16に係るフィラメントコイル16bがT−R相に接続されており、これにより、各フィラメントコイル14b,15b,16bに対して、電力制御手段74a,74b,74cを介して個別に電力を給電することにより、各フィラメントコイル14b,15b,16bの発光状態の制御を個別に行うことができる。
このフィラメントランプ10は、図6に示す構成のフィラメントランプにおいて、各フィラメント体の構成が異なると共に、発光管11の内部における隣接するフィラメント間の位置に、各々例えば石英ガラス等の絶縁材料からなる複数の板状の支持部材19a,19b, 19c, 19dが管軸に対して垂直に設けられていることの他は、図6に示すフィラメントランプと同一の構成を有するものである。
鉤状部140aは、リード本体部142aに連続してリード本体部142aに直交する方向に伸びるよう折り曲げられた径方向部143aと、この径方向部143aに連続する、コイル軸がリード本体部142aと並行して伸びるコイル状のフィラメント連結部141aと、このフィラメント連結部141aに連続してそのコイル軸方向に直交する方向に伸び、先端部がコイル軸方向に伸びるよう折り曲げられたL字状部144aとにより構成されている。
フィラメント連結部141aは、フィラメントコイル14bのコイル内径に適合する外径を有する。
リード14aにおけるL字状部144aには、その先端部が例えばレーザー等で加熱溶融されることによりエッジ部分を有さない球状部145aが形成されている。
また、リード14cについても同様に、フィラメント連結部141cがフィラメントコイル14bの内部に当接状態で配置されると共に、L字状部144cがフィラメントコイル14bのコイルピッチ間においてフィラメントコイル14bの径方向外方に突出するよう挟まれた状態とされ、これにより、リード14cとフィラメントコイル14bとの連結が達成されている。
開口197を形成することは必須ではないが、支持部材に開口197を設けることにより、支持部材とフィラメントコイルとの間隔を大きくすることが可能となり、支持部材の熱的負荷を軽減することができる。
また、他の支持部材19b,19c,19dについても同様の構成とされている。
第1のフィラメント体14における他端側のリード14aは、発光管11の他端側の封止部12aに気密に埋設された金属箔13aを介して外部リード18aに電気的に接続されている。
また、一端側のリード14cは、支持部材19c,19dにおける、第2のフィラメント体15および第3のフィラメント体16に係るリードの鉤状部の位置決めに寄与しない切り欠き部内を挿通されて発光管11の管軸に沿って伸び、発光管11の一端側の封止部12bに気密に埋設された金属箔13dを介して外部リード18dに電気的に接続されている。
第2のフィラメント体15における他端側のリード15aは、支持部材19aにおける、第1のフィラメント体14に係るリード14aの位置決めに寄与しない切欠き部191(図10参照)内を挿通されて発光管11の管軸に沿って伸び、発光管11の他端側の封止部12aに気密に埋設された金属箔13bを介して外部リード18bに電気的に接続されている。
また、一端側のリード15cは、支持部材19dにおける、第3のフィラメント体16に係るリード16cの位置決めに寄与しない切欠き部内を挿通されて発光管11の管軸に沿って伸び、発光管11の一端側の封止部12bに気密に埋設された金属箔13eを介して外部リード18eに電気的に接続されている。
第3のフィラメント体16における他端側のリード16aは、支持部材19bおよび支持部材19aにおける、他のフィラメント体14, 15に係るリード14a,14c, 15aの位置決めに寄与しない切欠き部(例えば支持部材19aにおける切欠き部195、図10参照)内を挿通されて発光管11の管軸に沿って伸び、発光管11の他端側の封止部12aに気密に埋設された金属箔13cを介して外部リード18cに電気的に接続されている。
フィラメント体16の一端側のリード16cは、発光管11の一端側の封止部12bに気密に埋設された金属箔13fを介して外部リード18fに電気的に接続されている。
また、互いに異なる大きさの電流を各フィラメントコイル14b,15b,16bに供給することにより、互いに接近するフィラメント体14,15,16の互いに隣接する端部同士に電位差が生じた場合であっても、さらに特定の放電抑制ガスが発光管11内に封入されていることにより、放電抑制ガスが絶縁破壊電圧の高いものであるので、当該電位差に起因して不所望な放電が生ずることを一層確実に防止することができる。
従って、各フィラメントコイル14b,15b,16bを発光管11内の所望の位置に高精度にかつ容易に配置することができると共に、各フィラメントコイル14b,15b,16bの位置が重力等の影響によって経時的に変位することを防止することができて長期間にわたって初期の性能を確実に維持することができる。
また、フィラメントコイル14b,15b,16bが断線するなどの不測の事態によってフィランメントランプの構成部材の一部を交換する必要が生じた場合においても、発光管11内に各フィラメントコイル14b,15b,16bを高い再現性で高精度に配置することができるので、フィラメント体の交換前後における放射照度分布の再現性を確保することができる。
図12は、本発明のフィラメントランプの他の構成例における、フィラメント体と給電装置との結線状態を概略的に示す説明図である。
このフィラメントランプにおいては、第1のフィラメント体14に係る一端側のリード14cが第1の直流給電装置78aの高圧側(正極側)に接続され、他端側のリード14aが第1の直流給電装置78aの低圧側(負極側)に接続されている。
また、第2のフィラメント体15に係る一端側のリード15cが第2の直流給電装置78bの低圧側(負極側)に接続され、他端側のリード15aが第2の直流給電装置78bの高圧側(正極側)に接続されている。
従って、第1のフィラメント体14および第2のフィラメント体15における互いに接近する端部同士が同極性となる状態で、各フィラメントコイル14b, 15bに対して別個の直流給電装置78a,78bによって直流電力が投入される。
また、互いに異なる大きさの電流を各フィラメントに供給することによって隣り合うフィラメント体におけるリード間に電位差が生じた場合であっても、さらに放電抑制ガスが発光管内に封入されていることにより、放電抑制ガスが絶縁破壊電圧の高いものであるので、不所望な放電の発生を一層確実に防止することができる。
例えば、フィラメント体の数は限定されるものではなく、目的に応じて適宜に変更することができる。フィラメント体の数を多くすれば、被処理体に対する放射照度分布を一層精密に制御することができ、例えば、高精度の温度制御を要求される拡散工程を行う場合には、5個以上であることが好ましく、特にφ300mm以上の大口径の半導体ウエハについての処理を行う場合には、7ないし9個であることが好ましい。
さらに、封止部に気密に埋設される導電性部材は、金属箔に限らず、板状体のものであってもよい。
図13は、本発明の光照射式加熱処理装置の一例における構成の概略を示す正面断面図、図14は、図13に示す光照射式加熱処理装置の光源部を構成する第1のランプユニットおよび第2のランプユニットにおける、フィラメントランプの配列例を示す平面図である。
この光照射式加熱処理装置100は、内部空間が例えば石英からなる窓板4によって上下に区画されてランプユニット収容空間S1および加熱処理空間S2が形成されたチャンバ300を備えている。
第1のランプユニット200Aを構成する各フィラメントランプ10と、第2のランプユニット200Bを構成する各フィラメントランプ10とは、ランプ中心軸が互いに交差する状態とされている。
反射鏡201は、例えば無酸素銅からなる母材に金がコートされてなるものであり、反射断面が、例えば円の一部、楕円の一部、放物線の一部または平板状などから選ばれる形状を有する。
第1の固定台650,651は導電性部材からなる導電台66と、セラミックス等の絶縁部材からなる保持台67とにより構成されており、保持台67は、チャンバ300の内壁に設けられており、導電台66を保持している。
第1のランプユニット200Aを構成するフィラメントランプ10の本数をn1、フィラメントランプ10が有するフィラメント体の個数をm1とするとき、各フィラメント体全てに独立に電力が供給される構成とされている場合には、n1×m1組の一対の第1の固定台650、651が必要とされる。
第2のランプユニット200Bを構成するフィラメントランプ10の本数をn2、フィラメントランプ10が有するフィラメント体の個数をm2とするとき、各フィラメント全てに独立に電力が供給される構成とされている場合には、n2×m2組の一対の第2の固定台が必要とされる。
この実施例においては、電源供給ポート71は、第1のランプ固定台650の導電台66と電気的に接続されており、この第1のランプ固定台650の導電台66は、例えばフィラメントコイル14bの他端部に連結されたリード14aに接続された外部リードと電気的に接続されている。
また、電源供給ポート72は、第1のランプ固定台651の導電台66と電気的に接続されており、この第1のランプ固定台651の導電台66は、例えば、フィラメントコイル14bの一端側に連結されたリード14cに接続された外部リードと電気的に接続されている。
これにより、電源部7における給電装置7aに対して、第1のランプユニット200Aにおける1つのフィラメントランプ10に係るフィラメントコイル14bが電気的に接続される。
また、このフィラメントランプ10における他のフィラメントコイル15b,16bについても、他の一対の電源供給ポート71、72より、各々、給電装置に対して同様の電気的接続がなされる。
そして、第1のランプユニット200Aを構成する他のフィラメントランプの各フィラメントコイルおよび第2のランプユニット200Bを構成するフィラメントランプの各フィラメントコイルについても、各々、給電装置に対して同様の電気的接続がなされる。
このような構成とされていることにより、各フィラメントコイルを選択的に発光させることにより、あるいは各フィラメントコイルへの供給電力の大きさを個別に調整することにより、被処理体W上の放射照度分布を任意に、かつ、高精度に設定することができる。
具体的には、チャンバ300の外部に設けられた冷却風ユニット8からの冷却風がチャンバ300に設けられた冷却風供給ノズル81の吹出し口82を介してランプユニット収容空間S1に導入され、当該冷却風が第1のランプユニット200Aおよび第2のランプユニット200Bにおける各フィラメントランプ10に吹き付けられることにより、各フィラメントランプ10を構成する発光管11が冷却され、その後、熱交換により高温になった冷却風がチャンバ300に形成された冷却風排出口83から外部に排出される。
なお、ランプユニット収容空間S1に導入される冷却風の流れは、熱交換されて高温になった冷却風が逆に各フィラメントランプを加熱しないよう、また、反射鏡201も同時に冷却するよう、設定されている。また、反射鏡201が図示を省略した水冷機構により水冷される構成のものである場合には、必ずしも反射鏡201も同時に冷却されるように冷却風の流れが設定されていなくともよい。
処理台5は、例えば被処理体Wが半導体ウエハである場合には、モリブデンやタングステン、タンタルのような高融点金属材料やシリコンカーバイド(SiC)などのセラミック材料、または石英、シリコン(Si)からなる薄板の環状体であって、その円形開口部の内周部に半導体ウエハを支持する段差部が形成されてなるガードリング構造のものにより構成されていることが好ましい。
処理台5は、処理台5それ自体も光照射によって高温とされるので、対面する半導体ウエハの外周縁が補助的に放射加熱され、これにより、半導体ウエハの外周縁からの熱放射などに起因する半導体ウエハの周縁部の温度低下が補償される。
主制御部3は、被処理体W上の各測定地点における温度情報に基づいて、被処理体W上の温度が所定の温度で均一な分布状態となるように指令を温度制御部92に送出する機能を有する。
温度制御部92は、主制御部3からの指令に基づいて、電源部7からの各フィラメントランプのフィラメントコイルに供給される電力の大きさを制御する機能を有する。
例えば、熱酸化プロセスを行う場合は、加熱処理空間S2に酸素ガス、および、加熱処理空間S2をパージするためのパージガス(例えば、窒素ガス)を導入・排気するプロセスガスユニット800が接続される。
プロセスガスユニット800からのプロセスガス、パージガスはチャンバ300に設けられたガス供給ノズル84の吹出し口85を介して加熱処理空間S2内に導入されると共に排出口86を介して外部に排出される。
11 発光管
12a,12b 封止部
13a,13b,13c,13d,13e,13f 金属箔
14 第1のフィラメント体
15 第2のフィラメント体
16 第3のフィラメント体
14a,15a,16a リード
14b,15b,16b フィラメントコイル
14c,15c,16c リード
140a,140c 鉤状部
141a,141c フィラメント連結部
142a,142c リード本体部
143a,143c 径方向部
144a,144c L字状部
145a,145c 球状部
17 アンカー
18a,18b,18c,18d,18e,18f 外部リード
19a,19b,19c,19d 支持部材
191,192,193,194,195,196 切欠き部
197 開口
25 絶縁管
73 給電装置
74a,74b, 74c 電力制御手段
75 給電装置
78a 第1の直流給電装置
78b 第2の直流給電装置
3 主制御部
4 窓板
5 処理台
7 電源部
7a 第1の給電装置
71,72 一対の電源供給ポート
650、651 一対の第1の固定台
66 導電台
67 保持台
8 冷却風ユニット
800 プロセスガスユニット
81 冷却風供給ノズル
82 吹出し口
83 冷却風排出口
84 ガス供給ノズル
85 吹出し口
86 排出口
9 温度計
91 温度測定部
92 温度制御部
100 光照射式加熱処理装置
200A 第1のランプユニット
200B 第2のランプユニット
201 反射鏡
300 チャンバ
S1 ランプユニット収容空間
S2 加熱処理空間
W 被処理体
Claims (6)
- 少なくとも一端に封止部が形成された直管状の発光管の内部に、各々コイル状のフィラメントと当該フィラメントに電力を供給するリードとが連結されてなるフィラメント体の複数が、各フィラメントが発光管の管軸方向に伸びるよう、管軸方向に順次に並んで配設され、各フィラメント体におけるリードの各々が封止部に配設された複数の導電性部材の各々に対して電気的に接続されてなり、各フィラメントに対してそれぞれ独立に電力を供給する給電機構を備えたフィラメントランプであって、
給電機構は交流電力供給源であって、隣り合うフィラメント体の互いに接近する端部同士が同位相となるよう、前記導電性部材に結線されていることを特徴とするフィラメントランプ。 - 給電機構は、各フィラメント体に対して三相交流電力を供給するものであることを特徴とする請求項1に記載のフィラメントランプ。
- 少なくとも一端に封止部が形成された直管状の発光管の内部に、各々コイル状のフィラメントと当該フィラメントに電力を供給するリードとが連結されてなるフィラメント体の複数が、各フィラメントが発光管の管軸方向に伸びるよう、管軸方向に順次に並んで配設され、各フィラメント体におけるリードの各々が封止部に配設された複数の導電性部材の各々に対して電気的に接続されてなり、各フィラメントに対してそれぞれ独立に電力を供給する給電機構を備えたフィラメントランプであって、
給電機構は直流電力供給源であって、隣り合うフィラメント体の互いに接近する端部同士が同極性となるよう、前記導電性部材に結線されていることを特徴とするフィラメントランプ。 - 放電抑制ガスが発光管内に封入されていることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のフィラメントランプ。
- 各フィラメント体におけるリードは、フィラメントのコイルピッチ間に挟まれた状態で当該フィラメントの径方向外方に突出して伸びるよう係合される、先端部がフィラメントのコイル軸方向に伸びる径方向部分を有する鉤状部を備えてなり、
隣接するフィラメントの互いに接近する端部に連結されたリードの各々が当該リードにおける鉤状部が係合される被係合部による位置決め機構が形成された共通の支持部材によって支持されることにより、フィラメントが発光管に対して位置決めされており、
前記支持部材を挟んで互いに対向して伸びる各々の鉤状部の先端には、球状部が形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のフィラメントランプ。 - 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のフィラメントランプが複数本並列配置されてなるランプユニットを有し、当該ランプユニットから放出される光を被処理体に照射して被処理体を加熱することを特徴とする光照射式加熱処理装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006227833A JP4893159B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
TW096115109A TWI413439B (zh) | 2006-08-24 | 2007-04-27 | Filament light and light irradiation heat treatment device |
KR1020070055533A KR101004871B1 (ko) | 2006-08-24 | 2007-06-07 | 필라멘트 램프 및 광 조사식 가열 처리 장치 |
EP07013406A EP1918976B1 (en) | 2006-08-24 | 2007-07-09 | Filament lamp and light-irradiation-type heat treatment device |
US11/778,374 US7639930B2 (en) | 2006-08-24 | 2007-07-16 | Filament lamp and light-irradiation-type heat treatment device |
CN2007101423554A CN101131920B (zh) | 2006-08-24 | 2007-08-22 | 灯丝灯及光照式加热处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006227833A JP4893159B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008053035A true JP2008053035A (ja) | 2008-03-06 |
JP4893159B2 JP4893159B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=39111927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006227833A Expired - Fee Related JP4893159B2 (ja) | 2006-08-24 | 2006-08-24 | フィラメントランプおよび光照射式加熱処理装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7639930B2 (ja) |
EP (1) | EP1918976B1 (ja) |
JP (1) | JP4893159B2 (ja) |
KR (1) | KR101004871B1 (ja) |
CN (1) | CN101131920B (ja) |
TW (1) | TWI413439B (ja) |
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-
2007
- 2007-04-27 TW TW096115109A patent/TWI413439B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-06-07 KR KR1020070055533A patent/KR101004871B1/ko active IP Right Grant
- 2007-07-09 EP EP07013406A patent/EP1918976B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-07-16 US US11/778,374 patent/US7639930B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200812420A (en) | 2008-03-01 |
EP1918976A2 (en) | 2008-05-07 |
US20080050104A1 (en) | 2008-02-28 |
KR20080018788A (ko) | 2008-02-28 |
CN101131920A (zh) | 2008-02-27 |
EP1918976A3 (en) | 2008-05-14 |
JP4893159B2 (ja) | 2012-03-07 |
US7639930B2 (en) | 2009-12-29 |
CN101131920B (zh) | 2010-12-15 |
EP1918976B1 (en) | 2012-08-29 |
TWI413439B (zh) | 2013-10-21 |
KR101004871B1 (ko) | 2010-12-28 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110826 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4893159 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150106 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |