JPH04283045A - Ｘｙステージ - Google Patents
ＸｙステージInfo
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- JPH04283045A JPH04283045A JP4632191A JP4632191A JPH04283045A JP H04283045 A JPH04283045 A JP H04283045A JP 4632191 A JP4632191 A JP 4632191A JP 4632191 A JP4632191 A JP 4632191A JP H04283045 A JPH04283045 A JP H04283045A
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- Japan
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- servo motor
- moving block
- tension
- wire
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Links
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＸＹステージ、特に、プ
ロッタ，ＸＹレコーダ，フライング・プローブ式基板検
査装置等に利用されるワイヤ駆動方式のＸＹステージに
関する。
ロッタ，ＸＹレコーダ，フライング・プローブ式基板検
査装置等に利用されるワイヤ駆動方式のＸＹステージに
関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＸＹステージは、図３に示すよう
にＸ方向移動ブロック２２と、Ｘ方向移動ブロック２２
をＸ方向に駆動するＸ方向用パルスモータ３６と、Ｘ方
向用パルスモータ３６とＸ方向移動ブロック２２を結合
するＸ方向駆動ワイヤ６２と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２を
ガイドする複数個のプーリ５１〜５４と、Ｙ方向移動ブ
ロック２１と、Ｙ方向移動ブロック２１をＹ方向に駆動
するＹ方向用パルスモータ３５と、Ｙ方向用パルスモー
タ３５とＹ方向移動ブロック２１を結合するＹ方向駆動
ワイヤ６１と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１をガイドする複数
個のプーリ４１〜４８と、Ｘ方向用パルスモータ３６と
Ｙ方向用パルスモータ３５を制御する制御部３とを有し
ている。
にＸ方向移動ブロック２２と、Ｘ方向移動ブロック２２
をＸ方向に駆動するＸ方向用パルスモータ３６と、Ｘ方
向用パルスモータ３６とＸ方向移動ブロック２２を結合
するＸ方向駆動ワイヤ６２と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２を
ガイドする複数個のプーリ５１〜５４と、Ｙ方向移動ブ
ロック２１と、Ｙ方向移動ブロック２１をＹ方向に駆動
するＹ方向用パルスモータ３５と、Ｙ方向用パルスモー
タ３５とＹ方向移動ブロック２１を結合するＹ方向駆動
ワイヤ６１と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１をガイドする複数
個のプーリ４１〜４８と、Ｘ方向用パルスモータ３６と
Ｙ方向用パルスモータ３５を制御する制御部３とを有し
ている。
【０００３】ここで、制御部３はＸ方向用パルスモータ
３６及びＹ方向用パルスモータ３５に対しモータ駆動信
号８５，８６を供給する。Ｘ方向用パルスモータ３６は
供給されたモータ駆動信号８５によって所定量回転する
。モータの回転によりＸ方向駆動ワイヤ６２が一方向に
送られ、Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ５１，５４に一方向
の駆動ワイヤが加わることによってＸ方向移動ブロック
２２が所定量Ｘ方向へ移動する。また、Ｙ方向用パルス
モータ３５は供給されたモータ駆動信号８６によって所
定量回転し、モータの回転によりＹ方向駆動ワイヤ６１
が一方向に送られ、Ｙ方向駆動ワイヤ用プーリ４２，４
７に一方向の駆動力が加わることによってＹ方向移動ブ
ロック２１が所定量Ｙ方向へ移動する。以上により、制
御部３はＹ方向移動ブロック２１をＸＹステージの任意
の位置に位置決め制御することができる。
３６及びＹ方向用パルスモータ３５に対しモータ駆動信
号８５，８６を供給する。Ｘ方向用パルスモータ３６は
供給されたモータ駆動信号８５によって所定量回転する
。モータの回転によりＸ方向駆動ワイヤ６２が一方向に
送られ、Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ５１，５４に一方向
の駆動ワイヤが加わることによってＸ方向移動ブロック
２２が所定量Ｘ方向へ移動する。また、Ｙ方向用パルス
モータ３５は供給されたモータ駆動信号８６によって所
定量回転し、モータの回転によりＹ方向駆動ワイヤ６１
が一方向に送られ、Ｙ方向駆動ワイヤ用プーリ４２，４
７に一方向の駆動力が加わることによってＹ方向移動ブ
ロック２１が所定量Ｙ方向へ移動する。以上により、制
御部３はＹ方向移動ブロック２１をＸＹステージの任意
の位置に位置決め制御することができる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】この従来のＸＹステー
ジでは、位置決めがモータの回転量だけで決定されてい
るので、ワイヤの伸縮のために高速高精度な位置決めが
できないという問題点があった。
ジでは、位置決めがモータの回転量だけで決定されてい
るので、ワイヤの伸縮のために高速高精度な位置決めが
できないという問題点があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第１の発明は、ＸＹステ
ージにおいて、Ｘ方向に移動するＸ方向移動ブロックと
、前記Ｘ方向移動ブロックをＸ方向に駆動するＸ方向用
サーボモータと、前記Ｘ方向用サーボモータの回転位置
を検出する第一のエンコーダと、前記Ｘ方向用サーボモ
ータと前記Ｘ方向移動ブロックをガイド用プーリを介し
て結合するＸ方向駆動ワイヤと、前記Ｘ方向駆動ワイヤ
の一方の端に接続され前記Ｘ方向駆動ワイヤのテンショ
ンを検出する第一のテンションメータと、さらに、Ｙ方
向に移動するＹ方向移動ブロックと、前記Ｙ方向移動ブ
ロックをＹ方向に駆動するＹ方向用サーボモータと、前
記Ｙ方向用サーボモータの回転位置を検出する第二のエ
ンコーダと、前記Ｙ方向用サーボモータと前記Ｙ方向移
動ブロックを前記ガイド用プーリを介して結合するＹ方
向駆動ワイヤと、前記Ｙ方向駆動ワイヤの一方の端に接
続され前記Ｙ方向駆動ワイヤのテンションを検出する第
二のテンションメータとを具備し、前記第一のエンコー
ダと前記第一のテンションメータからの信号に基ずき前
記Ｘ方向用サーボモータを制御し前記Ｘ方向移動ブロッ
クを前記Ｘ方向駆動ワイヤを介してＸ方向に所定の距離
だけ移動させ前記第二のエンコーダと前記第二のテンシ
ョンメータからの信号に基ずき前記Ｙ方向用サーボモー
タを制御し前記Ｙ方向移動ブロックを前記Ｙ方向駆動ワ
イヤを介してＹ方向に所定の距離だけ移動させる制御部
とから構成される。
ージにおいて、Ｘ方向に移動するＸ方向移動ブロックと
、前記Ｘ方向移動ブロックをＸ方向に駆動するＸ方向用
サーボモータと、前記Ｘ方向用サーボモータの回転位置
を検出する第一のエンコーダと、前記Ｘ方向用サーボモ
ータと前記Ｘ方向移動ブロックをガイド用プーリを介し
て結合するＸ方向駆動ワイヤと、前記Ｘ方向駆動ワイヤ
の一方の端に接続され前記Ｘ方向駆動ワイヤのテンショ
ンを検出する第一のテンションメータと、さらに、Ｙ方
向に移動するＹ方向移動ブロックと、前記Ｙ方向移動ブ
ロックをＹ方向に駆動するＹ方向用サーボモータと、前
記Ｙ方向用サーボモータの回転位置を検出する第二のエ
ンコーダと、前記Ｙ方向用サーボモータと前記Ｙ方向移
動ブロックを前記ガイド用プーリを介して結合するＹ方
向駆動ワイヤと、前記Ｙ方向駆動ワイヤの一方の端に接
続され前記Ｙ方向駆動ワイヤのテンションを検出する第
二のテンションメータとを具備し、前記第一のエンコー
ダと前記第一のテンションメータからの信号に基ずき前
記Ｘ方向用サーボモータを制御し前記Ｘ方向移動ブロッ
クを前記Ｘ方向駆動ワイヤを介してＸ方向に所定の距離
だけ移動させ前記第二のエンコーダと前記第二のテンシ
ョンメータからの信号に基ずき前記Ｙ方向用サーボモー
タを制御し前記Ｙ方向移動ブロックを前記Ｙ方向駆動ワ
イヤを介してＹ方向に所定の距離だけ移動させる制御部
とから構成される。
【０００６】また、第２の発明は、ＸＹステージにおい
て、Ｘ方向に移動するＸ方向移動ブロックと、前記Ｘ方
向移動ブロックをＸ方向に駆動するＸ方向用サーボモー
タと、前記Ｘ方向用サーボモータの回転位置を検出する
第一のエンコーダと、前記Ｘ方向用サーボモータと前記
Ｘ方向移動ブロックをガイド用プーリを介して結合する
Ｘ方向駆動ワイヤと、前記Ｘ方向駆動ワイヤの一方の端
に接続され前記Ｘ方向駆動ワイヤのテンションを予じめ
決められた値に保持する第一の張力調整部と、さらに、
Ｙ方向に移動するＹ方向移動ブロックと、前記Ｙ方向移
動ブロックをＹ方向に駆動するＹ方向用サーボモータと
、前記Ｙ方向用サーボモータの回転位置を検出する第二
のエンコーダと、前記Ｙ方向用サーボモータと前記Ｙ方
向移動ブロックを前記ガイド用プーリを介して結合する
Ｙ方向駆動ワイヤと、前記Ｙ方向駆動ワイヤの一方の端
に接続され前記Ｙ方向駆動ワイヤのテンションを予じめ
決められた値に保持する第二の張力調整部とを具備し、
前記第一のエンコーダからの信号に基ずき前記Ｘ方向用
サーボモータを制御し前記Ｘ方向移動ブロックを前記Ｘ
方向駆動ワイヤを介してＸ方向に所定の距離だけ移動さ
せ前記第二のエンコーダからの信号に基ずき前記Ｙ方向
用サーボモータを制御し前記Ｙ方向移動ブロックを前記
Ｙ方向駆動ワイヤを介してＹ方向に所定の距離だけ移動
させる制御部とから構成される。
て、Ｘ方向に移動するＸ方向移動ブロックと、前記Ｘ方
向移動ブロックをＸ方向に駆動するＸ方向用サーボモー
タと、前記Ｘ方向用サーボモータの回転位置を検出する
第一のエンコーダと、前記Ｘ方向用サーボモータと前記
Ｘ方向移動ブロックをガイド用プーリを介して結合する
Ｘ方向駆動ワイヤと、前記Ｘ方向駆動ワイヤの一方の端
に接続され前記Ｘ方向駆動ワイヤのテンションを予じめ
決められた値に保持する第一の張力調整部と、さらに、
Ｙ方向に移動するＹ方向移動ブロックと、前記Ｙ方向移
動ブロックをＹ方向に駆動するＹ方向用サーボモータと
、前記Ｙ方向用サーボモータの回転位置を検出する第二
のエンコーダと、前記Ｙ方向用サーボモータと前記Ｙ方
向移動ブロックを前記ガイド用プーリを介して結合する
Ｙ方向駆動ワイヤと、前記Ｙ方向駆動ワイヤの一方の端
に接続され前記Ｙ方向駆動ワイヤのテンションを予じめ
決められた値に保持する第二の張力調整部とを具備し、
前記第一のエンコーダからの信号に基ずき前記Ｘ方向用
サーボモータを制御し前記Ｘ方向移動ブロックを前記Ｘ
方向駆動ワイヤを介してＸ方向に所定の距離だけ移動さ
せ前記第二のエンコーダからの信号に基ずき前記Ｙ方向
用サーボモータを制御し前記Ｙ方向移動ブロックを前記
Ｙ方向駆動ワイヤを介してＹ方向に所定の距離だけ移動
させる制御部とから構成される。
【０００７】
【実施例】次に本発明について図面を参照して説明する
。図１は第一の発明のＸＹステージの一実施例を示す斜
視図である。
。図１は第一の発明のＸＹステージの一実施例を示す斜
視図である。
【０００８】図１に示すＸＹステージは、Ｘ方向移動ブ
ロック２２と、Ｘ方向移動ブロック２２をＸ方向に駆動
するＸ方向用サーボモータ３２と、サーボモータ３２の
回転位置を検出するエンコーダ３４と、Ｘ方向用サーボ
モータ３２とＸ方向移動ブロック２２を結合するＸ方向
駆動ワイヤ６２と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２をガイドする
複数個のプーリ５１〜５４と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２の
末端に接続されるテンションメータ９２、及び、Ｙ方向
移動ブロック２１と、Ｙ方向移動ブロック２１をＹ方向
に駆動するＹ方向用サーボモータ３１と、サーボモータ
３１の回転位置を検出するエンコーダ３３と、Ｙ方向用
サーボモータ３１とＹ方向移動ブロック２１を結合する
Ｙ方向駆動ワイヤ６１と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１をガイ
ドする複数個のプーリ４１〜４８と、Ｙ方向駆動ワイヤ
６１の末端に接続されるテンションメータ９１、及び、
テンションメータ９１，９２とエンコーダ３３，３４か
らの出力信号を受け取りＸ方向用サーボモータ３２とＹ
方向用サーボモータ３１を制御する制御部１とを備えて
いる。
ロック２２と、Ｘ方向移動ブロック２２をＸ方向に駆動
するＸ方向用サーボモータ３２と、サーボモータ３２の
回転位置を検出するエンコーダ３４と、Ｘ方向用サーボ
モータ３２とＸ方向移動ブロック２２を結合するＸ方向
駆動ワイヤ６２と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２をガイドする
複数個のプーリ５１〜５４と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２の
末端に接続されるテンションメータ９２、及び、Ｙ方向
移動ブロック２１と、Ｙ方向移動ブロック２１をＹ方向
に駆動するＹ方向用サーボモータ３１と、サーボモータ
３１の回転位置を検出するエンコーダ３３と、Ｙ方向用
サーボモータ３１とＹ方向移動ブロック２１を結合する
Ｙ方向駆動ワイヤ６１と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１をガイ
ドする複数個のプーリ４１〜４８と、Ｙ方向駆動ワイヤ
６１の末端に接続されるテンションメータ９１、及び、
テンションメータ９１，９２とエンコーダ３３，３４か
らの出力信号を受け取りＸ方向用サーボモータ３２とＹ
方向用サーボモータ３１を制御する制御部１とを備えて
いる。
【０００９】まず、制御部１はエンコーダ３３，３４か
らの出力信号８１，８３に基づいてＸ方向用サーボモー
タ３２及びＹ方向用サーボモータ３１に対しモータ駆動
信号８２，８４を供給する。Ｘ方向用サーボモータ３２
は供給されたモータ駆動信号８２によって回転する。モ
ータの回転によりＸ方向駆動ワイヤ６２が一方向に送ら
れ、Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ５１，５４に一方向の駆
動力が加わることによってＸ方向移動ブロック２２がＸ
方向へ移動する。また、Ｙ方向用サーボモータ３１は供
給されたモータ駆動信号８４によって回転し、モータの
回転によりＹ方向駆動ワイヤ６１が一方向に送られ、Ｙ
方向駆動ワイヤ用プーリ４２，４７に一方向の駆動力が
加わることによってＹ方向移動ブロック２１がＹ方向へ
移動する。以上により、制御部１はＹ方向移動ブロック
２１をＸＹステージの任意の位置に位置決め制御するこ
とができる。このとき、テンションメータ９１，９２は
それぞれワイヤ６１，６２の張力をモニタし張力信号１
０１，１０２を制御部１へ送る。制御部１は、ワイヤの
張力に応じてモータのフィードバック・ゲインを決定し
、加減速動作を制御することによりワイヤの伸縮に影響
されない位置決め制御を行う。
らの出力信号８１，８３に基づいてＸ方向用サーボモー
タ３２及びＹ方向用サーボモータ３１に対しモータ駆動
信号８２，８４を供給する。Ｘ方向用サーボモータ３２
は供給されたモータ駆動信号８２によって回転する。モ
ータの回転によりＸ方向駆動ワイヤ６２が一方向に送ら
れ、Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ５１，５４に一方向の駆
動力が加わることによってＸ方向移動ブロック２２がＸ
方向へ移動する。また、Ｙ方向用サーボモータ３１は供
給されたモータ駆動信号８４によって回転し、モータの
回転によりＹ方向駆動ワイヤ６１が一方向に送られ、Ｙ
方向駆動ワイヤ用プーリ４２，４７に一方向の駆動力が
加わることによってＹ方向移動ブロック２１がＹ方向へ
移動する。以上により、制御部１はＹ方向移動ブロック
２１をＸＹステージの任意の位置に位置決め制御するこ
とができる。このとき、テンションメータ９１，９２は
それぞれワイヤ６１，６２の張力をモニタし張力信号１
０１，１０２を制御部１へ送る。制御部１は、ワイヤの
張力に応じてモータのフィードバック・ゲインを決定し
、加減速動作を制御することによりワイヤの伸縮に影響
されない位置決め制御を行う。
【００１０】次に図２は第二の発明のＸＹステージの一
実施例を示す斜視図である。
実施例を示す斜視図である。
【００１１】図２に示すＸＹステージは、Ｘ方向移動ブ
ロック２２と、Ｘ方向移動ブロック２２をＸ方向に駆動
するＸ方向用サーボモータ３２と、サーボモータ３２の
回転位置を検出するエンコーダ３４と、Ｘ方向用サーボ
モータ３２とＸ方向移動ブロック２２を結合するＸ方向
駆動ワイヤ６２と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２をガイドする
複数個のプーリ５１〜５４と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２の
末端に接続される張力調整部９４、及び、Ｙ方向移動ブ
ロック２１と、Ｙ方向移動ブロック２１をＹ方向に駆動
するＹ方向用サーボモータ３１と、サーボモータ３１の
回転位置を検出するエンコーダ３３と、Ｙ方向用サーボ
モータ３１とＹ方向移動ブロック２１を結合するＹ方向
駆動ワイヤ６１と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１をガイドする
複数個のプーリ４１〜４８と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１の
末端に接続される張力調整部９３、及び、エンコーダ３
３，３４からの出力信号を受け取りＸ方向用サーボモー
タ３２とＹ方向用サーボモータ３１を制御する制御部２
とを備えている。
ロック２２と、Ｘ方向移動ブロック２２をＸ方向に駆動
するＸ方向用サーボモータ３２と、サーボモータ３２の
回転位置を検出するエンコーダ３４と、Ｘ方向用サーボ
モータ３２とＸ方向移動ブロック２２を結合するＸ方向
駆動ワイヤ６２と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２をガイドする
複数個のプーリ５１〜５４と、Ｘ方向駆動ワイヤ６２の
末端に接続される張力調整部９４、及び、Ｙ方向移動ブ
ロック２１と、Ｙ方向移動ブロック２１をＹ方向に駆動
するＹ方向用サーボモータ３１と、サーボモータ３１の
回転位置を検出するエンコーダ３３と、Ｙ方向用サーボ
モータ３１とＹ方向移動ブロック２１を結合するＹ方向
駆動ワイヤ６１と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１をガイドする
複数個のプーリ４１〜４８と、Ｙ方向駆動ワイヤ６１の
末端に接続される張力調整部９３、及び、エンコーダ３
３，３４からの出力信号を受け取りＸ方向用サーボモー
タ３２とＹ方向用サーボモータ３１を制御する制御部２
とを備えている。
【００１２】まず、制御部２はエンコーダ３３，３４か
らの出力信号８１，８３に基づいてＸ方向用サーボモー
タ３２及びＹ方向用サーボモータ３１に対しモータ駆動
信号８２，８４を供給する。Ｘ方向用サーボモータ３２
は供給されたモータ駆動信号８２によって回転する。モ
ータの回転によりＸ方向駆動ワイヤ６２が一方向に送ら
れ、Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ５１，５４に一方向の駆
動力が加わることによってＸ方向移動ブロック２２がＸ
方向へ移動する。また、Ｙ方向用サーボモータ３１は供
給されたモータ駆動信号８４によって回転し、モータの
回転によりＹ方向駆動ワイヤ６１が一方向に送られ、Ｙ
方向駆動ワイヤ用プーリ４２，４７に一方向の駆動力が
加わることによってＹ方向移動ブロック２１がＹ方向へ
移動する。以上により、制御部２はＹ方向移動ブロック
２１をＸＹステージの任意の位置に位置決め制御するこ
とができる。ＸＹステージが動作中、張力調整部９３，
９４は常にワイヤの張力を一定に保つもので、例えばワ
イヤの張力を検出するテンションメータとテンションメ
ータによって検出された張力に応じてワイヤを巻取るモ
ータ等により構成される。
らの出力信号８１，８３に基づいてＸ方向用サーボモー
タ３２及びＹ方向用サーボモータ３１に対しモータ駆動
信号８２，８４を供給する。Ｘ方向用サーボモータ３２
は供給されたモータ駆動信号８２によって回転する。モ
ータの回転によりＸ方向駆動ワイヤ６２が一方向に送ら
れ、Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ５１，５４に一方向の駆
動力が加わることによってＸ方向移動ブロック２２がＸ
方向へ移動する。また、Ｙ方向用サーボモータ３１は供
給されたモータ駆動信号８４によって回転し、モータの
回転によりＹ方向駆動ワイヤ６１が一方向に送られ、Ｙ
方向駆動ワイヤ用プーリ４２，４７に一方向の駆動力が
加わることによってＹ方向移動ブロック２１がＹ方向へ
移動する。以上により、制御部２はＹ方向移動ブロック
２１をＸＹステージの任意の位置に位置決め制御するこ
とができる。ＸＹステージが動作中、張力調整部９３，
９４は常にワイヤの張力を一定に保つもので、例えばワ
イヤの張力を検出するテンションメータとテンションメ
ータによって検出された張力に応じてワイヤを巻取るモ
ータ等により構成される。
【００１３】
【発明の効果】第一の発明のＸＹステージは、ワイヤに
接続されたテンションメータを有することにより、制御
部がワイヤの張力を常にモニタできるため、ワイヤの張
力に応じてモータのフィードバック・ゲインを決定し、
加減速動作を制御することによりワイヤの伸縮に影響さ
れない高速高精度の位置決め制御を行うことができると
いう効果を有する。
接続されたテンションメータを有することにより、制御
部がワイヤの張力を常にモニタできるため、ワイヤの張
力に応じてモータのフィードバック・ゲインを決定し、
加減速動作を制御することによりワイヤの伸縮に影響さ
れない高速高精度の位置決め制御を行うことができると
いう効果を有する。
【００１４】又、第二の発明のＸＹステージは、ワイヤ
の張力を常に一定に保つ張力調整部を有することにより
、ワイヤの伸縮に影響されず、高速高精度の位置決め制
御を行うことができるという効果がある。
の張力を常に一定に保つ張力調整部を有することにより
、ワイヤの伸縮に影響されず、高速高精度の位置決め制
御を行うことができるという効果がある。
【図１】第一の発明のＸＹステージの一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図２】第二の発明のＸＹステージの一実施例を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
【図３】従来のＸＹステージの一実施例を示すブロック
図である。
図である。
１ 制御部
２ 制御部
３ 制御部
２１ Ｙ方向移動ブロック
２２ Ｘ方向移動ブロック
３１ Ｙ方向用サーボモータ
３２ Ｘ方向用サーボモータ
３３，３４ エンコーダ
４１〜４８ Ｙ方向駆動ワイヤ用プーリ５１〜５
４ Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ６１ Ｙ方
向駆動ワイヤ ６２ Ｘ方向駆動ワイヤ ７１〜７４ ワイヤ止め ９１，９２ テンションメータ ９３，９４ 張力調整部
４ Ｘ方向駆動ワイヤ用プーリ６１ Ｙ方
向駆動ワイヤ ６２ Ｘ方向駆動ワイヤ ７１〜７４ ワイヤ止め ９１，９２ テンションメータ ９３，９４ 張力調整部
Claims (2)
- 【請求項１】 ＸＹステージにおいて、Ｘ方向に移動
するＸ方向移動ブロックと、前記Ｘ方向移動ブロックを
Ｘ方向に駆動するＸ方向用サーボモータと、前記Ｘ方向
用サーボモータの回転位置を検出する第一のエンコーダ
と、前記Ｘ方向用サーボモータと前記Ｘ方向移動ブロッ
クをガイド用プーリを介して結合するＸ方向駆動ワイヤ
と、前記Ｘ方向駆動ワイヤの一方の端に接続され前記Ｘ
方向駆動ワイヤのテンションを検出する第一のテンショ
ンメータと、さらに、Ｙ方向に移動するＹ方向移動ブロ
ックと、前記Ｙ方向移動ブロックをＹ方向に駆動するＹ
方向用サーボモータと、前記Ｙ方向用サーボモータの回
転位置を検出する第二のエンコーダと、前記Ｙ方向用サ
ーボモータと前記Ｙ方向移動ブロックを前記ガイド用プ
ーリを介して結合するＹ方向駆動ワイヤと、前記Ｙ方向
駆動ワイヤの一方の端に接続され前記Ｙ方向駆動ワイヤ
のテンションを検出する第二のテンションメータとを具
備し、前記第一のエンコーダと前記第一のテンションメ
ータからの信号に基ずき前記Ｘ方向用サーボモータを制
御し前記Ｘ方向移動ブロックを前記Ｘ方向駆動ワイヤを
介してＸ方向に所定の距離だけ移動させ前記第二のエン
コーダと前記第二のテンションメータからの信号に基ず
き前記Ｙ方向用サーボモータを制御し前記Ｙ方向移動ブ
ロックを前記Ｙ方向駆動ワイヤを介してＹ方向に所定の
距離だけ移動させる制御部とから構成されることを特徴
とするＸＹステージ。 - 【請求項２】 ＸＹステージにおいて、Ｘ方向に移動
するＸ方向移動ブロックと、前記Ｘ方向移動ブロックを
Ｘ方向に駆動するＸ方向用サーボモータと、前記Ｘ方向
用サーボモータの回転位置を検出する第一のエンコーダ
と、前記Ｘ方向用サーボモータと前記Ｘ方向移動ブロッ
クをガイド用プーリを介して結合するＸ方向駆動ワイヤ
と、前記Ｘ方向駆動ワイヤの一方の端に接続され前記Ｘ
方向駆動ワイヤのテンションを予じめ決められた値に保
持する第一の張力調整部と、さらに、Ｙ方向に移動する
Ｙ方向移動ブロックと、前記Ｙ方向移動ブロックをＹ方
向に駆動するＹ方向用サーボモータと、前記Ｙ方向用サ
ーボモータの回転位置を検出する第二のエンコーダと、
前記Ｙ方向用サーボモータと前記Ｙ方向移動ブロックを
前記ガイド用プーリを介して結合するＹ方向駆動ワイヤ
と、前記Ｙ方向駆動ワイヤの一方の端に接続され前記Ｙ
方向駆動ワイヤのテンションを予じめ決められた値に保
持する第二の張力調整部とを具備し、前記第一のエンコ
ーダからの信号に基ずき前記Ｘ方向用サーボモータを制
御し前記Ｘ方向移動ブロックを前記Ｘ方向駆動ワイヤを
介してＸ方向に所定の距離だけ移動させ前記第二のエン
コーダからの信号に基ずき前記Ｙ方向用サーボモータを
制御し前記Ｙ方向移動ブロックを前記Ｙ方向駆動ワイヤ
を介してＹ方向に所定の距離だけ移動させる制御部とか
ら構成されることを特徴とするＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4632191A JPH04283045A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | Ｘｙステージ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4632191A JPH04283045A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | Ｘｙステージ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04283045A true JPH04283045A (ja) | 1992-10-08 |
Family
ID=12743902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4632191A Pending JPH04283045A (ja) | 1991-03-12 | 1991-03-12 | Ｘｙステージ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04283045A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005262430A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-29 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
-
1991
- 1991-03-12 JP JP4632191A patent/JPH04283045A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005262430A (ja) * | 2004-02-19 | 2005-09-29 | Koyo Seiko Co Ltd | 研削装置 |
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