JPH07328962A - X−yステージ装置 - Google Patents

X−yステージ装置

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JPH07328962A
JPH07328962A JP12996694A JP12996694A JPH07328962A JP H07328962 A JPH07328962 A JP H07328962A JP 12996694 A JP12996694 A JP 12996694A JP 12996694 A JP12996694 A JP 12996694A JP H07328962 A JPH07328962 A JP H07328962A
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JP
Japan
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spline
slide block
nut
arm
spline shaft
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JP12996694A
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English (en)
Inventor
Yasuaki Ichinose
康明 一瀬
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Nireco Corp
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Nireco Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転の伝達にワイヤを用いず、耐久性の向上
を計る。 【構成】 フレーム1に設けたボールネジ4とボールナ
ット8によりスライドブロック9を移動させ、ボールネ
ジ4に平行に設けたスプライン軸12にスプラインナッ
ト16を嵌合させ、スプラインナット16はスプライン
軸12と嵌合する内輪16aと、内輪16aの外周を回
転するがスプライン軸方向には内輪16aと一体に移動
する外輪16bとから構成し、内輪16aによって回転
する第1アーム19と、横部材26、第2アーム25,
スライドブロック9で平行リンクを構成し、横部材26
にマーキングノズル31を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、X−Y平面上の指定し
た位置に先端が移動できX−Yステージ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】マーキングノズルを先端に設け、X−Y
平面内を移動し、文字などを描くX−Yステージは従来
より用いられている。図8はこのようなマーキング用X
−Yステージを示すもので、Y方向はねじ棒を回転して
レールを移動させX方向はワイヤーによりレール上の台
車を移動させる。Y軸駆動モータ51はプーリとベルト
よりなるY軸駆動伝達機構52によりねじ棒53を回転
し、螺合しているナット54をY軸(ねじ棒53)方向
に移動する。ナット54はX軸方向(ねじ棒53と直角
方向)に設けたレールとこれを支持する支持材よりなる
X軸ガイド55をY軸方向に移動させる。X軸ガイド5
5のレール上には台車56が設けられ、この台車56に
はワイヤが掛けられている。X軸駆動モータ58はかさ
歯車よりなる動力伝達機構59によって駆動プーリ60
を回転し、駆動プーリ60にワイヤ57を巻き付けるこ
とにより、ワイヤ57の巻き出し、巻き込みを行い、台
車56をX軸方向に移動する。台車56にはノズルホル
ダ61が接続され、この先端に設けられたノズル62は
X,Y方向に移動して、マーキング材63に文字等をマ
ーキングする。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このようにワイヤを使
用する場合、ワイヤのゆるみ等が発生し易いため、調整
などの保守作業が必要となり、また耐久性も低いという
問題点があった。本発明は上述の問題点に鑑みてなされ
たもので、ねじおよびスプラインを用いて回転を伝達す
ることによりワイヤを用いず耐久性を向上させたX−Y
ステージ装置を提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、フレームに両端を軸支されたねじ棒と、該ねじ棒の
一端と連結し、該ねじ棒に回転を伝達する第1回転装置
と、前記フレームに両端を軸支され、前記ねじ棒と所定
の間隔で平行に配置されたスプライン軸と、該スプライ
ン軸の一端と連結し、該スプライン軸に回転を伝達する
第2回転装置と、前記ねじ棒と螺合するナットと、前記
スプライン軸と嵌合し軸方向には移動可能な内輪を有
し、該内輪の外周に回転自在に取り付けられ、軸方向に
は内輪と一体に移動する外輪を有するスプラインナット
と、前記スプラインナットの外輪および前記ナットに固
着したスライドブロックと、前記スライドブロックに前
記スプライン軸と平行に軸支された回転軸と、該回転軸
に前記スプラインナットの内輪の回転を伝達する回転伝
達装置と、前記回転軸に一端が固着された第1アーム
と、該第1アームの他端に一端がピン結合された横部材
と、該横部材の他端と一端がピン結合され、他端が前記
スライドブロックとピン結合し、前記第1アーム、前記
横部材、前記スライドブロックと共に平行リンク機構を
構成する第2アームと、を備えたものである。
【0005】また、前記横部材に吐出口を前記スライド
ブロックと反対側に向けたマーキングノズルを設けたも
のである。
【0006】
【作用】フレームにはねじ棒とスプライン軸が平行に取
り付けられ、ねじ棒と螺合するナットがスライドブロッ
クに固着されているので、第1回転装置でねじ棒を回転
することにより、スライドブロックはねじ棒方向に移動
する。スプライン軸にはスプラインナットの内輪が嵌合
し、軸方向には摺動するが、スプライン軸の回転を伝達
する。外輪は内輪と共に軸方向には移動するが内輪に対
して回転するので、外輪をスライドブロックに固着する
ことにより、スプラインナットはスライドブロックと共
にねじ棒の軸方向に移動すると共に内輪はスプライン軸
の回転を伝達する。スライドブロックにはスプライン軸
と平行に回転軸が設けられ、この回転軸には回転伝達装
置によってスプライン軸の内輪の回転が伝達される。こ
の回転軸に第1アームの一端が固着されているので、回
転軸の回転、つまりスプライン軸の回転により第1アー
ムはスプライン軸と直交する面内で回転する。この第1
アームの他端にピン結合された横部材は、第1アーム、
第2アーム、スライドブロックと平行リンク機構を構成
しているので、第1アームの回転共にスライドブロック
と平行に移動する。スプライン軸またはこれと平行なね
じ棒の方向をX軸とすれば、これに直交する面内で回転
する横部材はY軸方向に移動するので、ねじ棒の回転に
よりX軸方向に移動するスライドブロックに取り付けら
れた横部材はX軸、Y軸方向に移動することが出来る。
【0007】この横部材にスライドブロックと反対方向
に吐出口を向けてマーキングノズルを取り付けることに
より、マーキングノズルをX軸,Y軸方向に移動できる
ので文字等をマーキングすることができる。
【0008】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は本実施例の側面図を示し、図2は図
1のA−A矢視図、図3は図2のB−B矢視図である。
図3において、1はX−Yステージのフレームで、各構
成部材が取り付けられる。2は第1モータでサーボモー
タまたはパルスモータが用いられ、フレーム1に固着さ
れ、その出力軸にはプーリ3が固着されている。第1モ
ータ2の軸と平行にボールネジ4が設けられ、その両端
はフレーム1に設けた軸受5a,5bにより軸支されて
いる。ボールネジ4の一端にはプーリ6が固着され、ベ
ルト7によりプーリ3と連結されている。ボールネジ4
にはボールナット8が螺合し、ボールナット8はスライ
ドブロック9に固着されている。
【0009】図1において、10は第2モータでサーボ
モータまたはパルスモータが用いられ、フレーム1に固
着され、出力軸にプーリ11が取り付けられている。第
2モータ10の軸と平行に、かつボールネジ4と平行に
スプライン軸12が設けられ、その両端はフレーム1に
設けた軸受13a,13bにより軸支されている。スプ
ライン軸12の一端にはプーリ14が設けられ、ベルト
15によりプーリ11と連結されている。スプライン軸
12にはスプラインナット16が嵌合し、スプラインナ
ット16の外輪16bはスライドブロック9に固着され
ている。
【0010】図4はスプラインナット16の斜視図であ
る。スプラインナット16はスプライン軸12と嵌合
し、軸方向には移動するが回転方向にはスプライン軸1
2と一体に回転する内輪16aと、この内輪16aの外
周にボールにより回転自在に取り付けられ軸方向には内
輪16aと一体に移動する外輪16bとからなり、外輪
16bをスライドブロック9に固着することによりスプ
ライン軸方向に自由に移動するが、スプライン軸12の
回転を内輪16aから取り出すことができる。
【0011】図1において、スライドブロック9の下側
には、スプライン軸12と平行に第1回転軸17が設け
られ、2点で軸受18a,18bにより軸支され、一端
には第1アーム19とプーリ21が固着されている。ス
プラインナット16の内輪16aにプーリ20を固着
し、ベルト22により内輪16aの回転をプーリ21に
伝達して回転軸17を回し、第1アーム19を回転す
る。図3においてボールネジ4の下側のスライドブロッ
ク9には第2回転軸23がボールネジ4と平行にかつ第
1回転軸17と同じレベルに設けられ、2点で軸受24
a,24bにより軸支され、一端には第1アーム19と
同じ長さの第2アーム25が固着されている。図1,
2,3を参照して第1アーム19と第2アーム25の下
端には横部材26が設けられ、第1アーム19の下端に
固着された、第1回転軸17と平行な第1軸27により
軸受28a,28bを介して揺動自在に支持される。ま
た第2アーム25の下端に固着された、第2回転軸23
に平行な第2軸29により横部材26は軸受30a,3
0bを介して揺動自在に軸支される。第1アーム19、
第2アーム25、横部材26、スライドブロック9は平
行リンク機構を構成する。横部材26の中央にはマーキ
ングノズル31が、吐出口を下向きにして設けられてい
る。
【0012】図1において、スプライン軸12の他端に
はカップリング32を介してスプライン軸12の回転角
度を検出するアブソリュートエンコーダ33が設けられ
ている。また、スプライン軸12の両端近傍のフレーム
1には近接スイッチ34a,34b,34c,35a,
35bが設けられ、スライドブロック9に設けられた検
出板36を検知してスライドブロック9の位置を検出す
る。
【0013】次に動作について説明する。第1モータ2
に通電してモータを回転させると、プーリ3,6とベル
ト7によりボールネジ4に回転が伝達され、ナット8が
回転方向に応じて軸方向左右に移動し、これと一体にス
ライドブロック9が移動する。また、第2モータ10に
通電して、プーリ11,14とベルト15によりスプラ
イン軸12を回転すると、この回転はスプラインナット
16の内輪16aに伝達され、プーリ20,21とベル
ト22を介して第1アーム19を回動し、平行リンク機
構により横部材26を水平状態を保ちつつ揺動させる。
ボールネジ4の軸方向をX軸、横部材26が揺動すると
きの水平方向をY軸方向とすれば、横部材26に取り付
けられたマーキングノズル31は第1モータ2の回転に
よりX軸方向へ、第2モータ10の回転によりY軸方向
へ移動する。なお、X軸、Y軸の正、負方向への移動は
第1モータ2、第2モータ10を正転、逆転することに
より行うことができる。
【0014】各モータ2,10は、1回転でX軸方向、
Y軸方向の送り量を同じ値とするようにした方が、マー
キングの制御が容易となる。このため本実施例では、次
のような値を採用している。第1モータ2の1回転によ
り、ボールネジ4を回転してナット8つまりスライドブ
ロック9を移動する量は、ボールネジ4のリードを12
mm、プーリ3と6の減速比を1/2とすることにより
6mmとなる。一方、第2モータ10の減速比を1/5
0、プーリ11と14の減速比を1/2、プーリ20と
21の減速比を1/2とし、第1アーム19と第2アー
ム25について軸間距離(第1回転軸17と第3回転軸
27との距離、第2回転軸23と第4回転軸29との距
離)を192mmとすると、総合減速比は、1/50×
1/2×1/2=1/200となり、第2モータ10の
1回転に対する横部材26の水平移動量は、192×s
in360/200=6.03≒6mmとなる。
【0015】横部材26(マーキングノズル31)の揺
動範囲は通常±60mm程度で使用される。従って第1
アーム19と第2アーム25の振れ角は±18°以内と
なり、この振れ角により横部材26は垂直方向に9mm
程度移動するが、マーキング文字に対する影響は少な
い。以上により、第1モータ2と第2モータ10を任意
の割合で同期をとって駆動すれば横部材26に設置され
たマーキングノズル31によりX−Y平面上に任意の傾
斜の線を描くことが出来る。
【0016】図5は本装置の制御装置を示すブロック図
である。40は入出力装置でキーボード、画面表示装置
を有し、マーキングする文字の入力やその表示を行い、
マーキングする文字コードを出力する。41はマイコン
装置で、文字コードをマーキングノズル31の移動に必
要となる座標データ及び座標間の補間データに変換する
と共に全体の制御をする。エンコーダコントローラ43
はアブソリュートエンコーダ33の角度検出信号により
角度に対応した指示を出力する。サーボコントローラ4
2はマイコン装置41からのデータに基づき、マーキン
グするためのモータ駆動電流を第1モータ2、第2モー
タ10に出力すると共に各モータ2,10からの位置の
フィードバックを受ける。また近接スイッチ34a,3
4b,34c,35a,35bからのスライドブロック
9の位置情報、エンコーダコントローラ43からの指示
に基づき、第1モータ2、第2モータ10に減速や停止
などの指示を出力する。
【0017】第1モータ2、第2モータ10はサーボコ
ントローラ42により同時に制御され、マーキングを行
う。即ち、マイコン装置41からの座標データ、補間デ
ータに従い、両モータ2,10を同時に制御し、直線補
間、円補間等の組み合わせにより文字、記号等のマーキ
ングを可能とする。
【0018】マーキング方法としては、上述のようにX
軸とY軸の同期をとり、マーキングノズル31に文字軌
跡を与えながらマーキングノズル31の開閉タイミング
をとり、連続または断続的に文字線を形成してゆく方法
を用いるが、ドットマトリックス方式のマーキングも可
能である。すなわち、各文字パターンをドットマトリッ
クス上に配置する。ドット位置は文字毎に予めキャラク
タージェネレータとしてメモリ上に登録しておき、ノズ
ル位置が該当文字のドット座標に一致した時、パルス的
にマーキングノズル31を開き塗料を吐出し該当するド
ットをマークする。
【0019】図6はドット文字Aを示し、この場合につ
いてドットマーキング方法を説明する。先ずノズル先端
を座標原点(0,0)に位置し、Y軸をY=0から6に
一定速度で移動させ、6に達した時に移動を停止してマ
ーキングノズル31をパルス的に開きドットをマークす
る。次にX軸を1ピッチ移動させ、座標(X=1,Y=
6)にマーキングノズル31を移動し、Y=6よりY=
0まで移動させるがY=5のとき一旦停止してドットを
マークする。次にマーキングノズル31を(X=2,Y
=0)に移動し、Y=0からY=6まで移動するがY=
4で一旦停止してドットをマークする。以下同様の動作
を行うことにより文字Aを形成する。
【0020】エンコーダコントローラ43は、アブソリ
ュートエンコーダ33からのスプライン軸の角度、つま
り第1アーム19、第2アーム25の角度に応じた出力
を行うため、ディジタル設定スイッチを複数備えてい
る。
【0021】図7は設定スイッチの設定内容を示す図で
ある。アブソリュートエンコーダ33からの出力角度に
応じて行うべき処理が出力される。本図ではアブソリュ
ートエンコーダ33が機械的に40°を出力する位置
を、第1アーム19が垂直になっている位置、つまり揺
動中心に設定している。通常のマーキングは第1アーム
19の揺動角が20°〜60°以内で行われ、マイコン
装置41からの原点復帰信号により第1アーム19が2
0°に達すると、エンコーダコントローラ43から減速
点信号がサーボコントローラ42へ出力され、予め設
定されている減速シーケンスに入り、続いて15°の信
号がエンコーダコントローラ43に入ってくると原点信
号がサーボコントローラ42に出力され、第2モータ1
0を停止させる。10°の信号がエンコーダコントロー
ラ43に入力された場合は、15°の信号で原点に停止
しない場合の非常信号とし、オーバーラン信号が非常
出力としてサーボコントローラ42に出力され、非常停
止を行う。また、60°の信号がアブソリュートエンコ
ーダ33から出力されるとエンコーダコントローラ43
から減速点信号が出力され、予め設定された減速シー
ケンスに入る。60°の信号で停止しない場合、65°
の信号がアブソリュートエンコーダ33から出力され
る。エンコーダコントローラ43はオーバーラン信号
をサーボコントローラ42に出力し、非常停止が行われ
る。このように万一の不具合でマイコン装置41が誤動
作した場合でも、機械的破損を防止することが出来る。
【0022】X軸に対するスライドブロック9の基準位
置及び限界位置は、近接スイッチ34,35とスライド
ブロック9の検出板36により位置検出がなされ、サー
ボコントローラ42により制御が行われる。34aは原
点側減速センサ、34bは原点センサ、34cは原点側
オーバーランセンサで、エンコーダコントローラ43の
減速点,原点,オーバーランの信号に対応し、35
aは前進側減速センサ,35bは前進側オーバーランセ
ンサでエンコーダコントローラ43の減速点,オーバ
ーランに対応し、同様の動作が行われる。
【0023】なお、待機状態ではスライドブロック9は
X軸(ボールネジ4方向)の原点34bセンサに位置
し、横部材26はY軸(横部材26の水平移動方向)の
原点(第1アーム19の角度15°)に位置する。サー
ボコントローラ42がマイコン装置41より座標データ
を入力すると、X軸,Y軸の原点位置を基準にマーキン
グ動作を行う。
【0024】実施例の説明ではプーリとベルトで回転を
伝達する機構としているが、歯車により伝達するように
してよい。
【0025】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、X軸方向はねじとナットにより、Y軸方向はスプラ
インによる回転伝達とリンク機構により移動するように
したので、耐久性があり、小型化、軽量化が可能とな
る。またワイヤを使用していないので、ワイヤのゆるみ
調整などの作業も不要となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の側面図である。
【図2】図1のA−A矢視図である。
【図3】図2のB−B矢視図である。
【図4】スプライン軸とスプラインナットの斜視図であ
る。
【図5】実施例の制御ブロック図である。
【図6】ドット方式のマーキング例を示す図である。
【図7】エンコーダコントローラの設定スイッチを説明
する図である。
【図8】従来のX−Yステージの構造図である。
【符号の説明】
1 フレーム 2 第1モータ 4 ボールネジ 8 ボールナット 9 スライドブロック 10 第2モータ 12 スプライン軸 16 スプラインナット 16a 内輪 16b 外輪 17 第1回転軸 19 第1アーム 25 第2アーム 26 横部材 31 マーキングノズル

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 フレームに両端を軸支されたねじ棒と、
    該ねじ棒の一端と連結し、該ねじ棒に回転を伝達する第
    1回転装置と、前記フレームに両端を軸支され、前記ね
    じ棒と所定の間隔で平行に配置されたスプライン軸と、
    該スプライン軸の一端と連結し、該スプライン軸に回転
    を伝達する第2回転装置と、前記ねじ棒と螺合するナッ
    トと、前記スプライン軸と嵌合し軸方向には移動可能な
    内輪を有し、該内輪の外周に回転自在に取り付けられ、
    軸方向には内輪と一体に移動する外輪を有するスプライ
    ンナットと、前記スプラインナットの外輪および前記ナ
    ットに固着したスライドブロックと、前記スライドブロ
    ックに前記スプライン軸と平行に軸支された回転軸と、
    該回転軸に前記スプラインナットの内輪の回転を伝達す
    る回転伝達装置と、前記回転軸に一端が固着された第1
    アームと、該第1アームの他端に一端がピン結合された
    横部材と、該横部材の他端と一端がピン結合され、他端
    が前記スライドブロックとピン結合し、前記第1アー
    ム、前記横部材、前記スライドブロックと共に平行リン
    ク機構を構成する第2アームと、を備えたことを特徴と
    するX−Yステージ装置。
  2. 【請求項2】 前記横部材に吐出口を前記スライドブロ
    ックと反対側に向けたマーキングノズルを設けたことを
    特徴とする請求項1記載のX−Yステージ装置。
JP12996694A 1994-06-13 1994-06-13 X−yステージ装置 Pending JPH07328962A (ja)

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JP12996694A JPH07328962A (ja) 1994-06-13 1994-06-13 X−yステージ装置

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JP12996694A JPH07328962A (ja) 1994-06-13 1994-06-13 X−yステージ装置

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JPH07328962A true JPH07328962A (ja) 1995-12-19

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JP12996694A Pending JPH07328962A (ja) 1994-06-13 1994-06-13 X−yステージ装置

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008000765A (ja) * 2006-06-20 2008-01-10 Nireco Corp X−yステージ装置
CN103658077A (zh) * 2012-08-31 2014-03-26 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 表面清洗装置
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CN104227713A (zh) * 2014-09-26 2014-12-24 福建农林大学 一种基于Arduino单片机的农作物搬运用装置

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