JPH04273174A - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
半導体発光素子及びその製造方法Info
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- JPH04273174A JPH04273174A JP3033278A JP3327891A JPH04273174A JP H04273174 A JPH04273174 A JP H04273174A JP 3033278 A JP3033278 A JP 3033278A JP 3327891 A JP3327891 A JP 3327891A JP H04273174 A JPH04273174 A JP H04273174A
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/48245—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic
- H01L2224/48247—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being metallic connecting the wire to a bond pad of the item
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は半導体発光素子の構造に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体発光ダイオード（ＬＥＤ）は、屋
内使用の民生機器、ＯＡ機器を始めとして、さらには、
自動車の停止灯、信号機、表示器等、屋外でも使用され
ている。それに従い、ＬＥＤの高信頼化並びに、高輝度
化が求められている。
内使用の民生機器、ＯＡ機器を始めとして、さらには、
自動車の停止灯、信号機、表示器等、屋外でも使用され
ている。それに従い、ＬＥＤの高信頼化並びに、高輝度
化が求められている。
【０００３】これまでのＬＥＤの代表的な構造を図６に
示す。ｐ−ＧａＡｓ基板６０上にｐ−ＡｌＧａＡｓクラ
ッド層６１、ｐ−ＡｌＧａＡｓ活性層６２、ｎ−ＡｌＧ
ａＡｓクラッド層６３を順次成長したダブルヘテロ構造
であり、成長層６３側にｎ型電極６４、基板６０側にｐ
型電極６５を形成し、ＬＥＤチップに分割し、パッケー
ジにマウントする。電極６４，６５に電圧をかけて通電
すると、活性層６２で発光した光がクラッド層６１，６
３を通して外部に取り出される。
示す。ｐ−ＧａＡｓ基板６０上にｐ−ＡｌＧａＡｓクラ
ッド層６１、ｐ−ＡｌＧａＡｓ活性層６２、ｎ−ＡｌＧ
ａＡｓクラッド層６３を順次成長したダブルヘテロ構造
であり、成長層６３側にｎ型電極６４、基板６０側にｐ
型電極６５を形成し、ＬＥＤチップに分割し、パッケー
ジにマウントする。電極６４，６５に電圧をかけて通電
すると、活性層６２で発光した光がクラッド層６１，６
３を通して外部に取り出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来構
造で屋外使用時に要求される高温高湿通電試験を行うと
、クラッド層６１，６３及び活性層６２の光出射する発
光面が酸化により劣化する。これは次のように説明でき
る。クラッド層６１，６３及び活性層６２の光出射面は
酸素を吸着しやすいＡｌを含む材料で構成されており、
そのために大気中で薄層の酸化膜が形成されて、それが
非発光準位を形成する。通電により電極６４，６５から
注入されたキャリアはクラッド層６１，６３及び活性層
６２の光出射面の非発光順位を介して再結合する。 この再結合による発熱が駆動力となり、光出射面から素
子内部に酸化が促進され、発光効率の低減による素子劣
化が発生する。
造で屋外使用時に要求される高温高湿通電試験を行うと
、クラッド層６１，６３及び活性層６２の光出射する発
光面が酸化により劣化する。これは次のように説明でき
る。クラッド層６１，６３及び活性層６２の光出射面は
酸素を吸着しやすいＡｌを含む材料で構成されており、
そのために大気中で薄層の酸化膜が形成されて、それが
非発光準位を形成する。通電により電極６４，６５から
注入されたキャリアはクラッド層６１，６３及び活性層
６２の光出射面の非発光順位を介して再結合する。 この再結合による発熱が駆動力となり、光出射面から素
子内部に酸化が促進され、発光効率の低減による素子劣
化が発生する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上述する問題点
を解決するためになされたもので、Ａｌを含有する半導
体材料で構成された発光面と、該発光面を覆い、発光エ
ネルギーより大きな禁制帯幅を有し、比較的高抵抗な半
導体材料で構成された光出射面と、を具備する半導体発
光素子を提供するものである。
を解決するためになされたもので、Ａｌを含有する半導
体材料で構成された発光面と、該発光面を覆い、発光エ
ネルギーより大きな禁制帯幅を有し、比較的高抵抗な半
導体材料で構成された光出射面と、を具備する半導体発
光素子を提供するものである。
【０００６】また、本発明は半導体ウェハ一主面上に、
クラッド層で挟まれた活性層を含み、Ａｌを含有する半
導体材料で構成された積層構造を形成し、前記積層構造
をメサ状にエッチングして発光面を形成した後、少なく
とも前記発光面上に、発光エネルギーより大きな禁制帯
幅を有し、比較的高抵抗な半導体材料を気相成長させて
なる半導体発光素子の製造方法を提供するものである。
クラッド層で挟まれた活性層を含み、Ａｌを含有する半
導体材料で構成された積層構造を形成し、前記積層構造
をメサ状にエッチングして発光面を形成した後、少なく
とも前記発光面上に、発光エネルギーより大きな禁制帯
幅を有し、比較的高抵抗な半導体材料を気相成長させて
なる半導体発光素子の製造方法を提供するものである。
【０００７】
【作用】上述の如く、発光面に、発光エネルギーより大
きな禁制帯幅を有する半導体材料層を形成し、これを高
抵抗とすることにより、前記半導体材料層からなる光出
射面へのキャリアの注入を抑制することが可能となる。
きな禁制帯幅を有する半導体材料層を形成し、これを高
抵抗とすることにより、前記半導体材料層からなる光出
射面へのキャリアの注入を抑制することが可能となる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて詳説す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
るが、本発明はこれに限定されるものではない。
【０００９】図１は本発明の１実施例を示す断面図であ
り、図２乃至図１０は本発明の１実施例の製造工程を説
明するための断面図である。
り、図２乃至図１０は本発明の１実施例の製造工程を説
明するための断面図である。
【００１０】先ず、図２の如く、ｐ型ＧａＡｓウェハ１
０一主面上に、ｐ型ＡｌｙＧａ１−ｙＡｓクラッド層１
１、ｐ型ＡｌＧａｘＧａ１−ｘＡｓ活性層１２及びｎ型
ＡｌｙＧａ１−ｙＡｓクラッド層１３を積層する。次に
、図３の如く、前記ｎ型ＡｌｙＧａ１−ｙＡｓクラッド
層１３上にホトリソグラフィ法を用いてレジストパター
ン２０を形成する。
０一主面上に、ｐ型ＡｌｙＧａ１−ｙＡｓクラッド層１
１、ｐ型ＡｌＧａｘＧａ１−ｘＡｓ活性層１２及びｎ型
ＡｌｙＧａ１−ｙＡｓクラッド層１３を積層する。次に
、図３の如く、前記ｎ型ＡｌｙＧａ１−ｙＡｓクラッド
層１３上にホトリソグラフィ法を用いてレジストパター
ン２０を形成する。
【００１１】次いで、反応性イオンビームエッチング（
ＲＩＢＥ）法により、前記レジストパターン２０をマス
クとし、ｎ型クラッド層１３からＧａＡｓウェハ１０に
到達する溝２１を形成し、引き続いて前記レジストパタ
ーン２０を除去する。これにより、図４の如く、ウェハ
１０表面に複数個のメサ構造２２が形成される。続いて
、前記ウェハ１０をＭＯＣＶＤ（有機金属気相）成長装
置に導入し、少なくともメサ２２の側壁及び上面に、図
５のように、キャリア濃度５×１０１７／ｃｍ２の高抵
抗ＡｌｚＧａ１−ｚＡｓ半導体膜１４を形成させる。こ
の時、半導体膜１４のＡｌ混晶比Ｚは、活性層１２のＡ
ｌ混晶比ｘより大きく設定される。これにより、半導体
膜１４の禁制帯幅を発光エネルギーより大きくされ、半
導体膜１４で出射光が吸収されることはなくなる。また
、半導体膜１４のＡｌ混晶比Ｚはクラッド層１１，１３
のＡｌ混晶比ｙより低くすることができる。これにより
、従来よりも表面の酸化を抑制することが可能となる。
ＲＩＢＥ）法により、前記レジストパターン２０をマス
クとし、ｎ型クラッド層１３からＧａＡｓウェハ１０に
到達する溝２１を形成し、引き続いて前記レジストパタ
ーン２０を除去する。これにより、図４の如く、ウェハ
１０表面に複数個のメサ構造２２が形成される。続いて
、前記ウェハ１０をＭＯＣＶＤ（有機金属気相）成長装
置に導入し、少なくともメサ２２の側壁及び上面に、図
５のように、キャリア濃度５×１０１７／ｃｍ２の高抵
抗ＡｌｚＧａ１−ｚＡｓ半導体膜１４を形成させる。こ
の時、半導体膜１４のＡｌ混晶比Ｚは、活性層１２のＡ
ｌ混晶比ｘより大きく設定される。これにより、半導体
膜１４の禁制帯幅を発光エネルギーより大きくされ、半
導体膜１４で出射光が吸収されることはなくなる。また
、半導体膜１４のＡｌ混晶比Ｚはクラッド層１１，１３
のＡｌ混晶比ｙより低くすることができる。これにより
、従来よりも表面の酸化を抑制することが可能となる。
【００１２】次に、図６のように前記半導体膜１４の表
面にホトレジスト２３をコーティングし、メサ上の前記
ホトレジスト２３を選択的に除去してレジスト窓２４を
形成する（図７参照）。続いて、図８の如くレジスト窓
２４を含むホトレジスト２３をマスクとして半導体膜１
４を選択的に取り除き、ウェハ１０主面上部にｎ型電極
材料２５を蒸着し（図９）た後、図９のようにリフトオ
フを行ってｎ型電極１５を形成する。更に図１０の如く
、ウェハ１０裏面にｐ型電極１６を形成する。前記ウェ
ハ１０を溝２１で分割してＬＥＤナップ４０（図１）を
得る。
面にホトレジスト２３をコーティングし、メサ上の前記
ホトレジスト２３を選択的に除去してレジスト窓２４を
形成する（図７参照）。続いて、図８の如くレジスト窓
２４を含むホトレジスト２３をマスクとして半導体膜１
４を選択的に取り除き、ウェハ１０主面上部にｎ型電極
材料２５を蒸着し（図９）た後、図９のようにリフトオ
フを行ってｎ型電極１５を形成する。更に図１０の如く
、ウェハ１０裏面にｐ型電極１６を形成する。前記ウェ
ハ１０を溝２１で分割してＬＥＤナップ４０（図１）を
得る。
【００１３】上述のプロセスにより得られたＬＥＤチッ
プ４０をリードフレーム４１にマウントし、エポキシ樹
脂４２でモールドしてＬＥＤランプ（図１２）を形成す
る。このＬＥＤランプは波長６７０ｎｍの赤色で発光し
、活性層１２及びクラッド層１１，１３を通して光を出
射する。前記ＬＥＤチップ４０は、発光面が発光エネル
ギーより大きな禁制帯幅を有する高抵抗の半導体膜１４
で保護されている。従って、半導体膜１４へのキャリア
注入は抑制されるため、表面から内部へ酸化が促進しな
い。本ＬＥＤランプを高温高湿通電試験に投入すると、
出射光の出力が半減するまでの走行時間は従来素子の約
１０倍以上に改善された。
プ４０をリードフレーム４１にマウントし、エポキシ樹
脂４２でモールドしてＬＥＤランプ（図１２）を形成す
る。このＬＥＤランプは波長６７０ｎｍの赤色で発光し
、活性層１２及びクラッド層１１，１３を通して光を出
射する。前記ＬＥＤチップ４０は、発光面が発光エネル
ギーより大きな禁制帯幅を有する高抵抗の半導体膜１４
で保護されている。従って、半導体膜１４へのキャリア
注入は抑制されるため、表面から内部へ酸化が促進しな
い。本ＬＥＤランプを高温高湿通電試験に投入すると、
出射光の出力が半減するまでの走行時間は従来素子の約
１０倍以上に改善された。
【００１４】図１１は本発明の他の実施例を示す要部断
面図である。ｐ−ＧａＡｓ基板３０上に、ｐ−ＩｎＧａ
ＡｌＰクラッド層３１、ｐ−ＩｎＧａＡｌＰ活性層３２
、ｎ−ＩｎＧａＡｌＰクラッド層３３、ＡｌＧａＡｓ電
極拡散層３４をＭＯＣＶＤ法により順次成長する。上記
１実施例で示したのと同様の作製手順で高抵抗のＩｎＧ
ａＡｌＰ半導体膜３５を発光面に形成し、さらに成長層
側にｎ型電極３６を基板３０側にｐ型電極３７を形成す
る。半導体膜３５の禁制帯幅は活性層３２の発光エネル
ギーより大きく設定される。本実施例のＬＥＤチップも
上記１実施例と同様にリードフレーム上にマウントして
、エポキシ樹脂でモールドしてＬＥＤランプを形成する
。本発明の他の実施例によるＬＥＤランプは波長６００
ｎｍの黄色で発光する。本装置においても、従来素子以
上の高信頼性が達成できた。
面図である。ｐ−ＧａＡｓ基板３０上に、ｐ−ＩｎＧａ
ＡｌＰクラッド層３１、ｐ−ＩｎＧａＡｌＰ活性層３２
、ｎ−ＩｎＧａＡｌＰクラッド層３３、ＡｌＧａＡｓ電
極拡散層３４をＭＯＣＶＤ法により順次成長する。上記
１実施例で示したのと同様の作製手順で高抵抗のＩｎＧ
ａＡｌＰ半導体膜３５を発光面に形成し、さらに成長層
側にｎ型電極３６を基板３０側にｐ型電極３７を形成す
る。半導体膜３５の禁制帯幅は活性層３２の発光エネル
ギーより大きく設定される。本実施例のＬＥＤチップも
上記１実施例と同様にリードフレーム上にマウントして
、エポキシ樹脂でモールドしてＬＥＤランプを形成する
。本発明の他の実施例によるＬＥＤランプは波長６００
ｎｍの黄色で発光する。本装置においても、従来素子以
上の高信頼性が達成できた。
【００１５】図１３は上記１時実施例によるＬＥＤチッ
プ４０を基板上に配置した平面表示装置の実施例を示し
ている。組立基板５０の電極５２上に前記ＬＥＤチップ
４０のｎ型電極１５を対向させて電気的に接続する。組
立基板５０とＬＳＩチップ４０のｐ型電極１６をワイヤ
ボンディングし、更にＬＥＤチップ４０の周囲に反射枠
５３を設け、その上面にガラス５４を設ける。本発光装
置は、ＬＥＤチップ４０の出射光が反射枠５３で上方に
反射される。本装置を複数個配置して平面表示装置に用
いる。本平面表示装置に用いたＬＥＤチップ４０は上記
他の実施例によるＬＥＤチップでもよい。ここで、平面
表示装置に用いたＬＥＤチップは発光面が発光エネルギ
ーより大きな禁制帯幅を有する高抵抗半導体膜で保護さ
れているため、従来の発光素子に比べて発光面の劣化を
抑えることができる。従って、本素子を用いた発光装置
は従来装置以上に高い信頼性を有する。
プ４０を基板上に配置した平面表示装置の実施例を示し
ている。組立基板５０の電極５２上に前記ＬＥＤチップ
４０のｎ型電極１５を対向させて電気的に接続する。組
立基板５０とＬＳＩチップ４０のｐ型電極１６をワイヤ
ボンディングし、更にＬＥＤチップ４０の周囲に反射枠
５３を設け、その上面にガラス５４を設ける。本発光装
置は、ＬＥＤチップ４０の出射光が反射枠５３で上方に
反射される。本装置を複数個配置して平面表示装置に用
いる。本平面表示装置に用いたＬＥＤチップ４０は上記
他の実施例によるＬＥＤチップでもよい。ここで、平面
表示装置に用いたＬＥＤチップは発光面が発光エネルギ
ーより大きな禁制帯幅を有する高抵抗半導体膜で保護さ
れているため、従来の発光素子に比べて発光面の劣化を
抑えることができる。従って、本素子を用いた発光装置
は従来装置以上に高い信頼性を有する。
【００１６】本実施例で示した以外に、保護用の半導体
膜としてＧａＰ、ＧａＡｓＰ、ＧａＮ等のＩＩＩ−Ｖ族
材料、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ等のＩＩ−ＶＩ族材料も用いる
ことができる。さらに、半導体発光素子の材料として、
実施例以外に前記材料を用いた素子においても適用可能
である。また、半導体発光素子の構造として、実施例以
外の構造においても適用可能である。さらに、本発明の
発光素子を用いた発光装置の構造として、実施例以外の
構造においても適用可能である。
膜としてＧａＰ、ＧａＡｓＰ、ＧａＮ等のＩＩＩ−Ｖ族
材料、ＺｎＳ、ＺｎＳｅ等のＩＩ−ＶＩ族材料も用いる
ことができる。さらに、半導体発光素子の材料として、
実施例以外に前記材料を用いた素子においても適用可能
である。また、半導体発光素子の構造として、実施例以
外の構造においても適用可能である。さらに、本発明の
発光素子を用いた発光装置の構造として、実施例以外の
構造においても適用可能である。
【００１７】本発明の素子の製造方法として、チップ分
割用の溝は化学エッチング法でも良い。発光面上の半導
体膜の形成方法として、ＭＯＣＶＤ法以外の気相成長法
であるＭＢＥ法、ＡＬＥ法、ＭＯＭＢＥ法でも良い。
割用の溝は化学エッチング法でも良い。発光面上の半導
体膜の形成方法として、ＭＯＣＶＤ法以外の気相成長法
であるＭＢＥ法、ＡＬＥ法、ＭＯＭＢＥ法でも良い。
【００１８】
【発明の効果】本発明により、発光面に被着される半導
体膜の表面が大気中の酸素で酸化されて、酸化膜が形成
されてもキャリアの非発行再結合がないため、半導体膜
表面から素子内部への酸化は促進せず、素子劣化を抑制
することが可能となる。
体膜の表面が大気中の酸素で酸化されて、酸化膜が形成
されてもキャリアの非発行再結合がないため、半導体膜
表面から素子内部への酸化は促進せず、素子劣化を抑制
することが可能となる。
【図１】本発明の１実施例を示す要部断面図である。
【図２】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図３】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図４】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図５】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図６】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図７】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図８】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図９】本発明の１実施例によるプロセスを説明するた
めの断面図である。
めの断面図である。
【図１０】本発明の１実施例によるプロセスを説明する
ための断面図である。
ための断面図である。
【図１１】本発明の他の実施例を示す要部断面図である
。
。
【図１２】本発明の使用例を示す図である。
【図１３】本発明の使用例を示す図である。
【図１４】従来例を示す図である。
１０，３０ 基板
１１，１３，３１，３３ クラッド層１２，３２
活性層 ３４ 電流拡散層 １４，３５ 高抵抗半導体膜 １５，１６，３６，３７ 電極 ２０，２３ レジスト ２１ 溝 ２２ メサ ４０ ＬＥＤチップ ４２ 樹脂モールド ５０ 組立基板 ５３ 反射枠 ５４ ガラス
活性層 ３４ 電流拡散層 １４，３５ 高抵抗半導体膜 １５，１６，３６，３７ 電極 ２０，２３ レジスト ２１ 溝 ２２ メサ ４０ ＬＥＤチップ ４２ 樹脂モールド ５０ 組立基板 ５３ 反射枠 ５４ ガラス
Claims (2)
- 【請求項１】 Ａｌを含有する半導体材料で構成され
た発光面と、該発光面を覆い、発光エネルギーより大き
な禁制帯幅を有し、比較的高抵抗な半導体材料で構成さ
れた光出射面と、を具備してなることを特徴とする半導
体発光素子。 - 【請求項２】 半導体ウエハー主面上に、クラッド層
で挟まれた活性層を含み、Ａｌを含有する半導体材料で
構成された積層構造を形成し、前記積層構造をメサ状に
て発光面を形成した後、少なくとも前記発光面上に、発
光エネルギーより大きな禁制帯幅を有し、比較的高抵抗
な半導体材料を気相成長させてなることを特徴とする半
導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3327891A JP2655943B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3327891A JP2655943B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04273174A true JPH04273174A (ja) | 1992-09-29 |
| JP2655943B2 JP2655943B2 (ja) | 1997-09-24 |
Family
ID=12382065
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3327891A Expired - Fee Related JP2655943B2 (ja) | 1991-02-28 | 1991-02-28 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2655943B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
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- 1991-02-28 JP JP3327891A patent/JP2655943B2/ja not_active Expired - Fee Related
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