JPH04271206A - 搬送システムのブレーキ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばリニアモータに
より駆動される台車を磁石によって制動するブレーキ装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばクリーンルーム内において
半導体のウェハ等を搬送するシステムとして、台車をリ
ニアモータにより駆動するものが知られている。このよ
うな搬送システムにおいて、台車を制動するため、停止
位置には電磁石から成る磁力ブレーキ機構が設けられ、
台車の荷台等の左右の端部にはこの電磁石に吸引される
被制動部が形成される。磁力ブレーキ機構は、被制動部
の下面に対応した位置に配設され、台車が近接すると励
磁されて吸引力を発揮し、被制動部を吸引して台車を制
動する。すなわち、電磁石の作用面と被制動部の被作用
面とは、それぞれ水平であって停止位置において相互に
対向し、作用面と被作用面の間に作用する吸引力により
、台車は制動される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このように従来のブレ
ーキ機構においては、電磁石の作用面と被制動部の被作
用面がそれぞれ水平面であるので、制動時、電磁石によ
って発生するブレーキ力は、被制動部すなわち台車を垂
直下方に吸引するだけであり、台車を正確に所定の停止
位置に停止させることは困難である。本発明の目的は、
台車を正確に所定の停止位置に停止させることができる
ブレーキ装置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送システ
ムのブレーキ装置は、停止位置に設けられ、台車に対し
てブレーキ力を付与するための磁石を有する磁力ブレー
キ機構と、台車に形成され、磁力ブレーキ機構のブレー
キ力を受ける被制動部とを備え、磁力ブレーキ機構の磁
石の作用面と上記被制動部の被作用面とが、水平面に対
して傾斜するとともに停止位置において相互に対向する
ことを特徴としている。

【０００５】

【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は、本発明の第１の実施例に係るブレーキ装置を備え
た搬送システムの案内レール１０の内部を透視して示す
ものであり、この図において、本発明と直接関係のない
部材については図示を省略されている。

【０００６】案内レール１０は、基台１１と、この基台
１１の両側部から立ち上がる側壁１２と、各側壁１２の
上端に連設された水平壁１３とを有する。各水平壁１３
の間には、案内レール１０の長手方向に延びるスリット
１４が形成される。各側壁１２の内壁面には、それぞれ
車輪支持部１５が突設される。車輪支持部１５は案内レ
ール１０の長手方向に延び、図示しない台車の車輪を支
持する。なお、案内レール１０の下面には、種々の配線
を収容するためのダクトカバー１６が設けられる。

【０００７】基台１１の上面には、所定間隔毎にリニア
モータの固定子１７が配設され、図示しない台車には、
固定子１７と協働する走行子が設けられる。周知のよう
に、台車は、固定子１７と走行子の間に発生する吸引力
または反発力を推力として走行する。台車の停止位置に
おいて、固定子１７の前方および後方には、それぞれ一
対の磁力ブレーキ機構２０、３０が設けられる。停止位
置の手前においては、固定子１７と走行子の間に発生す
る吸引力または反発力がブレーキ力として台車に作用し
、台車が減速して微速状態となると、停止位置において
、磁力ブレーキ機構２０、３０が発生する吸引力により
制動されて停止する。

【０００８】図２は、案内レール１０と台車４０を示す
。この図において、台車４０の支持部材４１には、車輪
４２が回転自在に支持され、車輪４２は案内レール１０
の車輪支持部１５によって支持される。連結棒４３は支
持部材４１から上方に突出し、案内レール１０のスリッ
ト１４を通って延び、連結棒４３の上端部には荷台４４
が固定される。一方支持部材４１の下端部には、リニア
モータの走行子４５である二次導体が設けられる。走行
子４５は例えばアルミニウムから成る平板であり、台車
４０の運転時、固定子１７の上面に沿って走行する。 走行子４５の左右の両端には、鉄片等から成る被制動部
４６がそれぞれ連設される。車輪４２の前後には、想像
線で示すようにガイドローラ４８が設けられる。ガイド
ローラ４８は案内レール１０の垂直内壁面１９に案内さ
れ、通常の走行状態においてガイドローラ４８と垂直内
壁面１９との間には例えば０．５ｍｍのクリアランスが
形成される。

【０００９】図３は、磁力ブレーキ機構２０と台車４０
の被制動部４６との位置関係を示すものである。この図
において、一対の磁力ブレーキ機構２０が示されている
が、他の一対の磁力ブレーキ機構３０（図１）も同様な
構成を有する。各磁力ブレーキ機構２０は電磁石から成
り、それぞれコイル２１と、このコイル２１の軸心部か
ら突出する鉄心２２とを有する。各鉄心２２の上端部に
は、制動部材２３が連結される。各制動部材２３には、
水平面に対して傾斜する作用面２４が形成される。各制
動部材２３の作用面２４は、台車４０に対して内側が低
くなるように傾斜しており、すなわち相互に反対方向に
傾斜する。台車４０の被制動部４６の外側に形成された
被作用面４７は、停止位置において作用面２４に対向す
るよう、水平面に対して傾斜し、斜め下方を向いている
。

【００１０】制動部材２３は、コイル２１に電流を流し
た時、鉄心２２を介して吸引力すなわちブレーキ力を発
生し、被制動部４６を水平面に対して傾斜した方向に吸
引する。したがって各被制動部４６は、それぞれ制動部
材２３によって斜め下方に吸引され、これにより台車４
０は制動されて停止する。停止後、一対の磁力ブレーキ
機構２０のうち、一方のブレーキ機構２０のコイル２１
に対する電力供給が停止され、このブレーキ機構２０の
制動部材２３の吸引力が消滅する。この結果、台車４０
は他方の磁力ブレーキ機構２０のみにより吸引されるこ
ととなり、その制動部材２３から受ける吸引力の水平方
向の成分により、水平方向に吸引される。これにより、
台車４０の一方のガイドローラ４８（図２）が案内レー
ル１０の垂直内壁面１９（図２）に当接し、台車４０は
所定の停止位置に位置決めされる。なお、台車４０の停
止後に消磁されるブレーキ機構２０は、台車４０の左右
のいずれのものでもよく、目的に応じて適当な方が選定
される。

【００１１】以上のように本実施例では、台車４０の停
止後、走行子４５の左右の端部に設けられた各被制動部
４６がブレーキ機構２０、３０によって水平方向を向く
吸引力を受け、台車４０は、一方のガイドローラ４８が
案内レール１０に係合するように水平方向に変位せしめ
られる。これにより台車４０は停止位置に固定され、前
後方向への変位が防止されることとなり、台車４０の位
置決めが高精度に行われる。

【００１２】図４は、本発明の第２の実施例を示すもの
である。この実施例では、制動部材２３の作用面２４は
、台車４０に対して外側が低くなるように傾斜しており
、台車４０の被作用面４７は、停止位置において作用面
２４に対向するよう、水平面に対して傾斜する。

【００１３】なお制動部材２３は、上記各実施例におい
ては電磁石であったが、永久磁石によって構成すること
も可能であり、この場合、制動部材２３は、台車４０に
対するブレーキ力を発生あるいは消滅させるため、昇降
駆動されることが必要である。

【００１４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、台車は水
平方向に吸引されて停止するので、台車の停止位置にお
ける位置決めを高精度に行うことができるという効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係るブレーキ装置を備
えた搬送システムの案内レールの内部を透視して示す図
である。

【図２】案内レールと台車を示す断面図である。

【図３】第１の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示す正面図である。

【図４】第２の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示す正面図である。

【符号の説明】

２０、３０　　磁力ブレーキ機構 ２３　　制動部材 ２４　　作用面 ４０　　台車 ４６　　被制動部 ４７　　被作用面 ４８　　ガイドローラ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　ガイドローラが案内レールにより案内
   されて走行する台車を有する搬送システムであって、停
   止位置に設けられ、上記台車に対してブレーキ力を付与
   するための磁石を有する磁力ブレーキ機構と、上記台車
   に形成され、上記磁力ブレーキ機構のブレーキ力を受け
   る被制動部とを備え、上記磁力ブレーキ機構の磁石の作
   用面と上記被制動部の被作用面とは、水平面に対して傾
   斜するとともに停止位置において相互に対向することを
   特徴とする搬送システムのブレーキ装置。