JPH04271207A - 搬送システムのブレーキ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばリニアモータに
より駆動される台車を磁石によって制動するブレーキ装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばクリーンルーム内において
半導体のウェハ等を搬送するシステムとして、台車をリ
ニアモータにより駆動するものが知られている。このよ
うな搬送システムにおいて、台車を制動するため、停止
位置には電磁石から成る磁力ブレーキ機構が設けられ、
台車の荷台等の左右の端部にはこの電磁石に吸引される
被制動部が形成される。磁力ブレーキ機構は、被制動部
の下面に対応した位置に配設され、台車が近接すると励
磁されて吸引力を発揮し、被制動部を吸引して台車を制
動する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】磁力ブレーキ機構は、
台車の慣性力に対して充分に大きなブレーキ力を発揮す
るものでなければならず、したがって電磁石は大きな吸
引力を発揮できなければならない。ところがこのような
電磁石は、大きいコイルを必要とし、消費電力が大きい
という問題を有している。また電磁石は励磁し続けると
発熱し、特に台車を停止させるような大きな吸引力を発
揮するものにおける発熱量は大きく、このため電磁石の
信頼性が不安定になるおそれがある。本発明の目的は、
小さい電力で、充分に大きなブレーキ力を発揮すること
が可能であり、しかも発熱の問題が生じないブレーキ装
置を提供することにある。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送システ
ムのブレーキ装置は、停止位置に設けられ、台車に対し
てブレーキ力を付与する永久磁石から成る制動部材と、
台車に形成され、ブレーキ力を受ける被制動部と、制動
部材を被制動部に対して接近および離間すべく往復動さ
せ、制動部材を被制動部に近接させることによりブレー
キ力を被制動部に作用させて上記台車を制動する制御機
構とを備えたことを特徴としている。

【０００５】

【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は、本発明の第１の実施例に係るブレーキ装置を備え
た搬送システムの案内レール１０の内部を透視して示す
ものであり、この図において、本発明と直接関係のない
部材については図示が省略されている。

【０００６】案内レール１０は、基台１１と、この基台
１１の両側部から立ち上がる側壁１２と、各側壁１２の
上端に連設された水平壁１３とを有する。各水平壁１３
の間には、案内レール１０の長手方向に延びるスリット
１４が形成される。各側壁１２の内壁面には、それぞれ
車輪支持部１５が突設される。車輪支持部１５は案内レ
ール１０の長手方向に延び、図示しない台車の車輪を支
持する。なお、案内レール１０の下面には、種々の配線
を収容するためのダクトカバー１６が設けられる。

【０００７】基台１１の上面には、所定間隔毎にリニア
モータの固定子１７が配設され、図示しない台車には、
固定子１７と協働する走行子が設けられる。周知のよう
に、台車は、固定子１７と走行子の間に発生する吸引力
または反発力を推力として走行する。台車の停止位置に
おいて、固定子１７の前方および後方には、それぞれ一
対の磁力ブレーキ機構２０、３０が設けられる。停止位
置の手前においては、固定子１７と走行子の間に発生す
る吸引力または反発力がブレーキ力として台車に作用し
、台車が減速して微速状態になると、停止位置において
、磁力ブレーキ機構２０、３０が発生する吸引力により
制動されて停止する。

【０００８】図２は、案内レール１０と台車４０を示す
。この図において、台車４０の支持部材４１には、車輪
４２が回転自在に支持され、車輪４２は案内レール１０
の車輪支持部１５によって支持される。連結棒４３は支
持部材４１から上方に突出し、案内レール１０のスリッ
ト１４を通って延び、連結棒４３の上端部には荷台４４
が固定される。一方、支持部材４１の下端部には、リニ
アモータの走行子４５である二次導体が設けられる。 走行子４５は例えばアルミニウムから成る平板であり、
台車４０の運転時、固定子１７の上面に沿って走行する
。走行子４５の左右の両端には、鉄片等から成り水平方
向に延びる被制動部４６がそれぞれ連設される。

【０００９】図３および図４は、磁力ブレーキ機構２０
と台車４０の被制動部４６との位置関係を示すものであ
る。この図において一対の磁力ブレーキ機構２０が示さ
れているが、他の一対の磁力ブレーキ機構３０（図１）
も同様な構成を有する。各磁力ブレーキ機構２０はそれ
ぞれ制御機構２１を有し、この制御機構２１はコイル２
２と、このコイル２２の軸心部に昇降自在に設けられた
プランジャ２３とから構成されるリニアソレノイドであ
る。プランジャ２３の上端部には、永久磁石から成る制
動部材２４が固定され、制動部材２４の上面は、被制動
部４６の下面に対向する。

【００１０】制動部材２４は、制御機構２１により昇降
駆動され、台車４０の被制動部４６に対して接近および
離間すべく上下方向に往復動せしめられる。図３に示す
状態では、台車４０が磁力ブレーキ機構２０の真上に到
来しているが、制動部材２４は下降位置にあり、被制動
部４６から離れた位置にある。したがって制動部材２４
すなわち磁石の吸引力は被制動部材４６には及ばず、台
車４０は制動されない。これに対し、図４に示すように
、台車４０が磁力ブレーキ機構２０に接近した状態にお
いて、コイル２２が励磁されると、プランジャ２３が上
方へ突出し、これにより制動部材２４が被制動部４６に
近接してこれを下方に吸引する。この結果、ブレーキ力
が被制動部４６に作用し、台車４０が制動される。この
制動を解除するには、コイル２２を消磁すればよく、こ
れにより制動部材２４が下降して被制動部４６から離間
し、台車４０は制動部材２４の吸引力、すなわちブレー
キ力から解放される。

【００１１】以上のように本実施例は、制御機構２１の
コイル２２を励磁または消磁することにより、永久磁石
である制動部材２４を昇降させ、ブレーキ力を台車４０
に付与するように構成されている。すなわち本実施例は
、従来のように電磁石によりブレーキ力を発生するもの
ではなく、永久磁石の吸引力によりブレーキ力を得るよ
うに構成されている。そして、このブレーキ力を台車４
０に付与するためには、制御機構２１のコイル２１を励
磁させるだけよく、このために必要な電力は、電磁石を
用いた従来装置よりも小さくて済む。また本実施例では
、台車４０を停止位置に保持するためにはコイル２２を
励磁させる必要があるが、このコイル２２は、制動部材
２４を上昇位置に保持するための力を発揮するだけの電
力を供給されればよく、この電力は従来の電磁石による
ブレーキ機構のコイルに対する供給電力よりも小さい。 したがって、本実施例におけるコイル２２の発熱量は小
さく、制動部材２４は安定的に上昇位置に保持される。

【００１２】図５および図６は、本発明の第２の実施例
を示すものである。この実施例において、走行子４５の
両側に形成された各被制動部材４６に対応し、一対の磁
力ブレーキ機構５０が設けられる。各磁力ブレーキ機構
５０の制御機構５１は、ロータリーソレノイドであり、
その回転軸５２に固定されたアーム５３の端部には、永
久磁石から成る制動部材５４が設けられる。制御機構５
１のコイル（図示せず）を励磁または消磁することによ
り、回転軸５２を介して制動部材５４が回転し、被制動
部４６に近接し、あるいは被制動部４６から離間する。

【００１３】図５に示す状態では、台車４０が磁力ブレ
ーキ機構５０の真上に到来しているが、制動部材５４は
被制動部４６から離間しており、制動部材５４の磁石の
吸引力は被制動部材４６には及ばず、台車４０は制動さ
れない。これに対し、図６に示すように、台車４０が磁
力ブレーキ機構５０に接近した状態において、制動部材
５４が回転移動して被制動部４６に近接すると、制動部
材５４は被制動部４６を下方に吸引し、これによりブレ
ーキ力が被制動部４６に作用し、台車４０が制動される
。この制動の解除は、制動部材５４を回転させて被制動
部４６から離間させればよい。

【００１４】この第２の実施例も制動部材５４として永
久磁石を有し、この制動部材５４を台車４０の被制動部
４６に対して接近および離間すべく往復動させるように
構成されている。したがって、この実施例によっても、
第１の実施例と同様な効果が得られる。

【００１５】図７は、本発明の第３の実施例を示すもの
である。この実施例における各磁力ブレーキ機構６０の
制御機構６１は、第１の実施例と同様にリニアソレノイ
ドであるが、この制御機構６１のプランジャ６２は水平
方向外方に延びており、各プランジャ６２の先端部に、
永久磁石から成る制動部材６３が設けられる。したがっ
て、制御機構６１のコイル（図示せず）を励磁または消
磁することにより、プランジャ６２を介して制動部材６
３が外方に突出し、あるいは後退する。

【００１６】図７の左側に示す状態では、制動部材６３
は後退して被制動部４６から離間しており、したがって
制動部材６３の磁石の吸引力は被制動部材４６には及ば
ず、台車４０は制動されない。これに対し、図７の右側
に示す状態では、制動部材６３が突出して被制動部４６
の真下に位置しており、したがって制動部材６３の吸引
力は被制動部４６に作用し、台車４０が制動される。

【００１７】この第３の実施例も制動部材６３として永
久磁石を有しており、上記各実施例と同様な効果が得ら
れるが、プランジャ６２が水平方向に延びる構成である
ため、上記各実施例に比べてブレーキ機構６０の高さを
低く抑えることができ、ブレーキ装置の設置スペースを
削減することができる。

【００１８】なお、制動部材２４、５４、６３と台車４
０の被制動部４６との間隔を変化させる制御機構２１、
５１、６１の構成は、上記各実施例に限定されず、種々
の構成を採用することができる。

【００１９】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、小さい電
力で、充分に大きなブレーキ力を発揮することが可能で
あり、しかも発熱の問題が生じないブレーキ装置を得る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るブレーキ装置を備えた
搬送システムの案内レールの内部を透視して示す図であ
る。

【図２】案内レールと台車を示す断面図である。

【図３】第１の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示し、ブレーキ力が作用しない状態を示す正面図である
。

【図４】第１の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示し、ブレーキ力が作用している状態を示す正面図であ
る。

【図５】第２の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示し、ブレーキ力が作用しない状態を示す正面図である
。

【図６】第２の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示し、ブレーキ力が作用している状態を示す正面図であ
る。

【図７】第３の実施例に係る磁力ブレーキ機構と台車を
示す正面図である。

【符号の説明】

２０、３０、５０、６０　　磁力ブレーキ機構２１、５
１、６１　　制御機構 ２４、５４、６３　　制動部材 ４０　　台車 ４６　　被制動部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　停止位置に設けられ、台車に対してブ
   レーキ力を付与する永久磁石から成る制動部材と、上記
   台車に形成され、上記ブレーキ力を受ける被制動部と、
   上記制動部材を被制動部に対して接近および離間すべく
   往復動させ、上記制動部材を被制動部に近接させること
   によりブレーキ力を該被制動部に作用させて上記台車を
   制動する制御機構とを備えたことを特徴とする搬送シス
   テムのブレーキ装置。