JP3212623B2 - 磁気浮上搬送装置及びその駆動方法 - Google Patents
磁気浮上搬送装置及びその駆動方法Info
- Publication number
- JP3212623B2 JP3212623B2 JP00404891A JP404891A JP3212623B2 JP 3212623 B2 JP3212623 B2 JP 3212623B2 JP 00404891 A JP00404891 A JP 00404891A JP 404891 A JP404891 A JP 404891A JP 3212623 B2 JP3212623 B2 JP 3212623B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rail
- sensor
- bogie
- magnetic levitation
- carriage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気浮上により被搬送
物を所定位置に搬送する磁気浮上搬送装置に関する。
物を所定位置に搬送する磁気浮上搬送装置に関する。
【０００２】近年、半導体工場では半導体デバイスの高
集積化に伴い高クリーン化、自動化、高効率化が要求さ
れている。そのため、磁気浮上による搬送装置が提供さ
れており、搬送の高速化とカーブ走行を両立させる必要
がある。
集積化に伴い高クリーン化、自動化、高効率化が要求さ
れている。そのため、磁気浮上による搬送装置が提供さ
れており、搬送の高速化とカーブ走行を両立させる必要
がある。
【０００３】
【従来の技術】一般に、磁気浮上搬送装置は、リニアモ
ータを駆動源としてレールに台車を上下方向の磁石で吸
引し、横方向の磁石で走行位置を制御することで高速に
駆動することができる。ところで、搬送装置を設置する
場所によってはレールをカーブさせる必要があり、カー
ブ走行を行わせる場合には横方向の磁石がレールと接触
することから、上下方向の磁石のみで浮上し、横方向の
磁石を設けていない。
ータを駆動源としてレールに台車を上下方向の磁石で吸
引し、横方向の磁石で走行位置を制御することで高速に
駆動することができる。ところで、搬送装置を設置する
場所によってはレールをカーブさせる必要があり、カー
ブ走行を行わせる場合には横方向の磁石がレールと接触
することから、上下方向の磁石のみで浮上し、横方向の
磁石を設けていない。
【０００４】ここで、図６に、従来の磁気浮上搬送装置
の概略図を示す。図６はカーブ走行させるために上下方
向の磁石のみが設けられたものである。すなわち、磁気
浮上搬送装置５０は、レール５１，台車５２及び位置検
出手段５３により構成される。レール５１の下方にはリ
ニアモータ５４が台車５２の進行方向に所定間隔で連設
され、該リニアモータ５４の左右に進行方向に突部５５
ａ〜５５ｄが一体に形成される。
の概略図を示す。図６はカーブ走行させるために上下方
向の磁石のみが設けられたものである。すなわち、磁気
浮上搬送装置５０は、レール５１，台車５２及び位置検
出手段５３により構成される。レール５１の下方にはリ
ニアモータ５４が台車５２の進行方向に所定間隔で連設
され、該リニアモータ５４の左右に進行方向に突部５５
ａ〜５５ｄが一体に形成される。
【０００５】台車５２は、リニアモータ５４の下方に駆
動部５６が設けられ、その左右に該レール５１の突部５
５ａ〜５５ｄと対向して凹形状のコア５６，５７が設け
られる。このコア５６，５７にはコイル５６ａ，５７ａ
がそれぞれ巻回されて電磁石５８，５９を構成する。ま
た、台車５２は、下方にケース６０が設けられ、ケース
５８に例えばウエハ６１が収納されて搬送される。な
お、位置検出手段５３は、スリット５３ａ及びエンコー
ダ５３ｂにより構成される。
動部５６が設けられ、その左右に該レール５１の突部５
５ａ〜５５ｄと対向して凹形状のコア５６，５７が設け
られる。このコア５６，５７にはコイル５６ａ，５７ａ
がそれぞれ巻回されて電磁石５８，５９を構成する。ま
た、台車５２は、下方にケース６０が設けられ、ケース
５８に例えばウエハ６１が収納されて搬送される。な
お、位置検出手段５３は、スリット５３ａ及びエンコー
ダ５３ｂにより構成される。
【０００６】このような磁気浮上搬送装置５０は、レー
ル５１の突部５５ａ〜５５ｄと電磁石５８，５９との間
で吸引力が働き、リニアモータ５４により台車５２が移
動する。この場合、レール５１がカーブ形状に設けられ
た場合でも横方向に磁石がないことからカーブ走行が可
能である。
ル５１の突部５５ａ〜５５ｄと電磁石５８，５９との間
で吸引力が働き、リニアモータ５４により台車５２が移
動する。この場合、レール５１がカーブ形状に設けられ
た場合でも横方向に磁石がないことからカーブ走行が可
能である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の磁気浮
上搬送装置５０は、低速ながらもカーブ走行が可能であ
るが、横方向の磁石による走行位置の制御が行われない
ことから、直線走行においても高速にできず、脱線防止
のため常に低速にしなければならない。従って、全区間
の走行に長時間を要するという問題がある。
上搬送装置５０は、低速ながらもカーブ走行が可能であ
るが、横方向の磁石による走行位置の制御が行われない
ことから、直線走行においても高速にできず、脱線防止
のため常に低速にしなければならない。従って、全区間
の走行に長時間を要するという問題がある。
【０００８】そこで、本発明は上記課題に鑑みなされた
もので、カーブ走行及び直線部の高速走行可能な磁気浮
上搬送装置を提供することを目的とする。
もので、カーブ走行及び直線部の高速走行可能な磁気浮
上搬送装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１に、本発明の原理説
明図を示す。図１（Ａ）における磁気浮上搬送装置１
は、第１の発明として、レール２上を台車３が浮上しな
がら移動するに当り、このレール２は直線部４及び曲線
部５により構成され、曲線部５は直線部４より幅が狭く
形成される。なお、台車３における６ａ，６ｂは案内用
磁石である。
明図を示す。図１（Ａ）における磁気浮上搬送装置１
は、第１の発明として、レール２上を台車３が浮上しな
がら移動するに当り、このレール２は直線部４及び曲線
部５により構成され、曲線部５は直線部４より幅が狭く
形成される。なお、台車３における６ａ，６ｂは案内用
磁石である。
【００１０】また、第２の発明として図示しないが、レ
ール２の直線部４の終端部分４ａには第１のセンサ及び
該第１のセンサの検出により台車３を減速させる減速駆
動手段が設けられ、レール２の曲線部５から至る直線部
４の始端部分４ｂには第２のセンサ及び該第２のセンサ
の検出により台車３を加速させる加速駆動手段が設けら
れる。
ール２の直線部４の終端部分４ａには第１のセンサ及び
該第１のセンサの検出により台車３を減速させる減速駆
動手段が設けられ、レール２の曲線部５から至る直線部
４の始端部分４ｂには第２のセンサ及び該第２のセンサ
の検出により台車３を加速させる加速駆動手段が設けら
れる。
【００１１】次に、図１（Ｂ）における第３の発明は、
ステップ１で、前記レールの直線部上で高速に前記台車
を移動させる。また、ステップ２で、該レールの直線部
の終端部分に該台車が位置したときに減速させて、該直
線部より幅の狭い曲線部上を低速で移動させる。そし
て、ステップ３で、該台車が該レールの曲線部より該直
線部に位置したときに加速させて、該直線部で高速に移
動させるものである。
ステップ１で、前記レールの直線部上で高速に前記台車
を移動させる。また、ステップ２で、該レールの直線部
の終端部分に該台車が位置したときに減速させて、該直
線部より幅の狭い曲線部上を低速で移動させる。そし
て、ステップ３で、該台車が該レールの曲線部より該直
線部に位置したときに加速させて、該直線部で高速に移
動させるものである。
【００１２】
【作用】図１に示すように、レール２の曲線部５を直線
部４より狭く形成している。すなわち、台車３が曲線部
５を移動する場合、レール２の端部が案内用磁石に当る
ことはなく、直線部４で該案内用磁石６ａ，６ｂにより
位置調整しながら走行させる。
部４より狭く形成している。すなわち、台車３が曲線部
５を移動する場合、レール２の端部が案内用磁石に当る
ことはなく、直線部４で該案内用磁石６ａ，６ｂにより
位置調整しながら走行させる。
【００１３】この場合、台車３を、曲線部５では低速走
行させ、直線部４では高速走行させる。台車３の曲線部
５の低速走行は直線部４の終端部分４ａに設けられた第
１のセンサ及び減速駆動手段により減速させ、直線部４
の高速走行は直線部４の始端部分４ｂに設けられた第２
のセンサ及び加速駆動手段により加速させる。
行させ、直線部４では高速走行させる。台車３の曲線部
５の低速走行は直線部４の終端部分４ａに設けられた第
１のセンサ及び減速駆動手段により減速させ、直線部４
の高速走行は直線部４の始端部分４ｂに設けられた第２
のセンサ及び加速駆動手段により加速させる。
【００１４】従って、カーブ走行及び直線部の高速走行
を両立させることが可能となり、搬送時間の短縮を図る
ことが可能となる。
を両立させることが可能となり、搬送時間の短縮を図る
ことが可能となる。
【００１５】
【実施例】図２に、本発明の一実施例の構成図を示す。
図２の磁気浮上搬送装置１は、レール２の直線部４に台
車３が位置した場合を示しており、曲線部５に位置した
場合は図３に示される。
図２の磁気浮上搬送装置１は、レール２の直線部４に台
車３が位置した場合を示しており、曲線部５に位置した
場合は図３に示される。
【００１６】図２において、磁気浮上搬送装置１は、台
車３，固定部１０及び位置検出手段１１により構成され
る。固定部１０は、その上部に所定数の駆動手段である
リニアモータが所定間隔で連設され（後述する）、
「Ｔ」字状の左右上部の下方に、複数の突部１３ａ，１
３ｂがライン状に一体で設けられたレール２（直線部
４）が形成される。
車３，固定部１０及び位置検出手段１１により構成され
る。固定部１０は、その上部に所定数の駆動手段である
リニアモータが所定間隔で連設され（後述する）、
「Ｔ」字状の左右上部の下方に、複数の突部１３ａ，１
３ｂがライン状に一体で設けられたレール２（直線部
４）が形成される。
【００１７】台車３は、上面に被搬送物である例えばウ
エハ１４が収納されるケース１５が設けられ、リニアモ
ータ１２，レール２を覆うように湾曲状に形成されたも
のである。この台車３の内側には、レール２の両端に近
接させて案内用磁石６ａ，６ｂが設けられる。この案内
用磁石６ａ，６ｂは、コアにコイルが巻回された電磁石
であり、台車３が移動する際の横振れを防止し、走行位
置を制御する。また、台車３の内側の端部に浮上用磁石
１６ａ，１６ｂが設けられる。この浮上用磁石１６ａ，
１６ｂは「コ」の字状のコア１７ａ，１７ｂにコイル１
８ａ，１８ｂが巻回されており、コア１７ａ，１７ｂの
先端とレール１３の突部１２ａ，１２ｂが対向する。す
なわち、レール２と浮上用磁石１６ａ，１６ｂ間で吸引
磁力が働き台車３を浮上させ、図２紙面上垂直方向に台
車３を移動させる。また、台車３には上記案内用磁石６
ａ，６ｂ，浮上用磁石１６ａ，１６ｂ等を駆動するバッ
テリ１９が設けられる。
エハ１４が収納されるケース１５が設けられ、リニアモ
ータ１２，レール２を覆うように湾曲状に形成されたも
のである。この台車３の内側には、レール２の両端に近
接させて案内用磁石６ａ，６ｂが設けられる。この案内
用磁石６ａ，６ｂは、コアにコイルが巻回された電磁石
であり、台車３が移動する際の横振れを防止し、走行位
置を制御する。また、台車３の内側の端部に浮上用磁石
１６ａ，１６ｂが設けられる。この浮上用磁石１６ａ，
１６ｂは「コ」の字状のコア１７ａ，１７ｂにコイル１
８ａ，１８ｂが巻回されており、コア１７ａ，１７ｂの
先端とレール１３の突部１２ａ，１２ｂが対向する。す
なわち、レール２と浮上用磁石１６ａ，１６ｂ間で吸引
磁力が働き台車３を浮上させ、図２紙面上垂直方向に台
車３を移動させる。また、台車３には上記案内用磁石６
ａ，６ｂ，浮上用磁石１６ａ，１６ｂ等を駆動するバッ
テリ１９が設けられる。
【００１８】位置検出手段１１は、台車３に設けられた
スリット板１１ａと固定部２側に設けられたエンコーダ
１１ｂとにより構成される。すなわち、エンコーダ１１
ｂがスリット板１１ａのスリットを検出して台車３の位
置を検出する。
スリット板１１ａと固定部２側に設けられたエンコーダ
１１ｂとにより構成される。すなわち、エンコーダ１１
ｂがスリット板１１ａのスリットを検出して台車３の位
置を検出する。
【００１９】ここで、図３に、本発明の曲線部を示した
構成図を示す。図３はレール２の曲線部５を示したもの
で他の構成は図２と同様である。すなわち、レール２の
曲線部５は直線部４の両端から狭く形成したものであ
る。
構成図を示す。図３はレール２の曲線部５を示したもの
で他の構成は図２と同様である。すなわち、レール２の
曲線部５は直線部４の両端から狭く形成したものであ
る。
【００２０】そして、図４に、図２及び図３における概
略説明を示す。図４において、レール２の直線部４及び
曲線部５上にはリニアモータ（例えば誘導型）１２が所
定間隔で連設される。また、台車３の進行方向（矢印方
向）におけるレール２の直線部４の終端部分４ａには第
１のセンサ２０が設けられ、該第１のセンサ２０の後方
に減速駆動手段である減速用リニアモータ２１が設けら
れる。また、レール２の曲線部５から至る直線部４の始
端部分４ｂには第２のセンサ２２が設けられ、その前方
に加速駆動手段である加速用リニアモータ２３が設けら
れる。
略説明を示す。図４において、レール２の直線部４及び
曲線部５上にはリニアモータ（例えば誘導型）１２が所
定間隔で連設される。また、台車３の進行方向（矢印方
向）におけるレール２の直線部４の終端部分４ａには第
１のセンサ２０が設けられ、該第１のセンサ２０の後方
に減速駆動手段である減速用リニアモータ２１が設けら
れる。また、レール２の曲線部５から至る直線部４の始
端部分４ｂには第２のセンサ２２が設けられ、その前方
に加速駆動手段である加速用リニアモータ２３が設けら
れる。
【００２１】このような磁気浮上搬送装置１は、まず、
台車３が浮上用磁石１６ａ，１６ｂにより、固定部１０
のレール２を磁力で吸引し、リニアモータ１２でレール
２上を移動する。この場合、レール２の直線部４では、
台車３の案内用磁石６ａ，６ｂにより走行位置が制御さ
れることから、高速走行を行う。そこで、直線部４の終
端部分４ａに台車３が位置すると第１のセンサ２０が検
知して減速用リニアモータ２１を駆動する。これによ
り、台車３は曲線部５に低速で突入し、該曲線部５を低
速で移動させる。この場合、曲線部５は直線部４より狭
く形成されていることから、該曲線部５に台車３の案内
用磁石６ａ，６ｂが接触することがない。そして、曲線
部５より直線部４に台車３が始動すると、第２のセンサ
２２により検知して加速用リニアモータ２３を駆動す
る。従って、直線部４で台車３は再び高速走行を行うも
のである。
台車３が浮上用磁石１６ａ，１６ｂにより、固定部１０
のレール２を磁力で吸引し、リニアモータ１２でレール
２上を移動する。この場合、レール２の直線部４では、
台車３の案内用磁石６ａ，６ｂにより走行位置が制御さ
れることから、高速走行を行う。そこで、直線部４の終
端部分４ａに台車３が位置すると第１のセンサ２０が検
知して減速用リニアモータ２１を駆動する。これによ
り、台車３は曲線部５に低速で突入し、該曲線部５を低
速で移動させる。この場合、曲線部５は直線部４より狭
く形成されていることから、該曲線部５に台車３の案内
用磁石６ａ，６ｂが接触することがない。そして、曲線
部５より直線部４に台車３が始動すると、第２のセンサ
２２により検知して加速用リニアモータ２３を駆動す
る。従って、直線部４で台車３は再び高速走行を行うも
のである。
【００２２】このように、台車３は、レール２の直線部
４を高速で走行することができると共に、曲線部５でカ
ーブ走行をも行うことができるものである。
４を高速で走行することができると共に、曲線部５でカ
ーブ走行をも行うことができるものである。
【００２３】次に、図５に、本発明の他の実施例を示
す。図１〜図４は、レール２の曲線部５を直線部４の両
端より狭くした場合を示したものであるが、図５におい
ては、曲線部５の外径部分は直線部４と同じラインと
し、内径部分を狭くしたものである。一般に、台車３が
カーブ走行する場合、曲線部５の内径部分を移動する台
車３の案内用磁石６ｂがレール２に接触し易いものであ
り、これを回避させたものである。但し、台車３の進行
方向の長さ、及び曲線部５の曲率により、適宜選択され
るものである。
す。図１〜図４は、レール２の曲線部５を直線部４の両
端より狭くした場合を示したものであるが、図５におい
ては、曲線部５の外径部分は直線部４と同じラインと
し、内径部分を狭くしたものである。一般に、台車３が
カーブ走行する場合、曲線部５の内径部分を移動する台
車３の案内用磁石６ｂがレール２に接触し易いものであ
り、これを回避させたものである。但し、台車３の進行
方向の長さ、及び曲線部５の曲率により、適宜選択され
るものである。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、レールの
曲線部を直線部より狭く形成し、曲線部では減速させ、
直線部では加速させることにより、レールの直線部を高
速で走行することができると共に、曲線部でカーブ走行
をも行うことができ、搬送時間を全体的に短縮すること
ができる。
曲線部を直線部より狭く形成し、曲線部では減速させ、
直線部では加速させることにより、レールの直線部を高
速で走行することができると共に、曲線部でカーブ走行
をも行うことができ、搬送時間を全体的に短縮すること
ができる。
【図１】本発明の原理説明図である。
【図２】本発明の一実施例の構成図である。
【図３】本発明のレールの曲線部を示した構成図であ
る。
る。
【図４】図２及び図３における概略説明図である。
【図５】本発明の他の実施例の構成図である。
【図６】従来の磁気浮上搬送装置の概略断面図である。
２ レール ３ 台車 ４ 直線部 ４ａ 終端部分 ４ｂ 始端部分 ５ 曲線部 ６ａ，６ｂ 案内用磁石 １２ リニアモータ １４ ウエハ １６ａ，１６ｂ 浮上用磁石 ２０ 第１のセンサ ２１ 減速用リニアモータ ２２ 第２のセンサ ２３ 加速用リニアモータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B60L 13/03 - 13/10 B65G 54/02
Claims (2)
- 【請求項１】 被搬送物（１４）を収納し、浮上用磁石
（１６ａ，１６ｂ）及び案内用磁石（６ａ，６ｂ）を有
する台車（３）を、直線部（４）及び曲線部（５）を有
するレール（２）上で該レール（２）に備えられた駆動
手段（１２）により浮上させて移動させる磁気浮上搬送
装置において、前記台車（３）の進行方向における前記レール（２）の
直線部（４）の終端部分（４ａ）に、第１のセンサ（２
０）及び該第１のセンサ（２０）の検出により該台車
（３）を減速させる減速駆動手段（２１）を設けると共
に、 該レール（２）の曲線部（５）から至る該直線部（４）
の始端部分（４ｂ）に、第２のセンサ（２２）及び該第
２のセンサ（２２）の検出により該台車（３）を加速さ
せる加速駆動手段（２３）を設け、 前記レール（２）の曲線部（５）の幅を、前記直線部
（４）より狭く形成することを特徴とする磁気浮上搬送
装置。 - 【請求項２】 被搬送物（１４）を収納し、浮上用磁石
（１６ａ，１６ｂ）及び案内用磁石（６ａ，６ｂ）を有
する台車（３）を、直線部（４）及び曲線部（５）を有
するレール（２）上で該レール（２）に備えられた駆動
手段（１２）により浮上させて移動させる磁気浮上搬送
装置の駆動方法において、 前記レール（２）の直線部（４）上で高速に前記台車
（３）を移動させ、 該レール（２）の直線部（４）の終端部分（４ａ）に該
台車（３）が位置したことを第１のセンサ（２０）によ
り検出した際に、該台車（３）を減速させて、該直線部
（４）より幅の狭い曲線部（５）上を低速で移動させ、 該台車（３）が該レール（２）の曲線部（５）より該直
線部（４）に位置したことを第２のセンサ（２２）によ
り検出した際に、該台車（３）を加速させて、該直線部
（４）で高速に移動させることを特徴とする磁気浮上搬
送装置の駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00404891A JP3212623B2 (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 磁気浮上搬送装置及びその駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00404891A JP3212623B2 (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 磁気浮上搬送装置及びその駆動方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04236104A JPH04236104A (ja) | 1992-08-25 |
| JP3212623B2 true JP3212623B2 (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=11574028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00404891A Expired - Fee Related JP3212623B2 (ja) | 1991-01-17 | 1991-01-17 | 磁気浮上搬送装置及びその駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3212623B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6996531B2 (ja) * | 2019-06-11 | 2022-01-17 | 村田機械株式会社 | 搬送装置 |
-
1991
- 1991-01-17 JP JP00404891A patent/JP3212623B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04236104A (ja) | 1992-08-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP0474321A2 (en) | Transportation system of a floated-carrier type | |
| JP2553043B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH09252504A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPH07228346A (ja) | 搬送装置、搬送処理装置及び被処理物搬送処理方法 | |
| JP3212623B2 (ja) | 磁気浮上搬送装置及びその駆動方法 | |
| JP2607455B2 (ja) | 電磁推進装置 | |
| JPH0252829U (ja) | ||
| JP2547403B2 (ja) | 真空装置用磁気浮上搬送装置 | |
| JPH0646510A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JP2582742Y2 (ja) | リニア直流モータ式搬送装置 | |
| JP2602810B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JP2555542B2 (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JP3144837B2 (ja) | 磁気浮上式走行装置 | |
| JPH11165633A (ja) | 走行台車の進路変更装置 | |
| JPH04117111A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPS6181105A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS6115559A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH05260614A (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JP2976504B2 (ja) | 磁気浮上式搬送装置 | |
| JPH11215614A (ja) | 浮上式搬送装置 | |
| JPH0919005A (ja) | 吸引式磁気浮上車 | |
| JP3393696B2 (ja) | 停止位置決め装置 | |
| JPH083123Y2 (ja) | 搬送車 | |
| JPS63287303A (ja) | 磁気浮上搬送装置 | |
| JPH0616240A (ja) | 磁気浮上搬送車の停止保持装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20010703 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |