JPH04271203A - 搬送システムのブレーキ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばリニアモータに
より駆動される台車を所定の停止位置に固定する位置決
め機構を備えたブレーキ装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えばクリーンルーム内において
半導体のウェハ等を搬送するシステムとして、台車をリ
ニアモータにより駆動するものが知られている。このよ
うな搬送システムにおいて、台車を制動するため、停止
位置には電磁石から成る磁力ブレーキ機構が設けられる
。また一方、停止位置には、台車を所定の位置に固定す
るため、機械的な位置決め機構が設けられる。台車は、
高速で移動する間はリニアモータにより制動されるが、
停止位置に近づき低速になると、磁力ブレーキ機構によ
って制動されて停止し、停止位置においては位置決め機
構によって位置決め固定される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところが従来の磁力ブ
レーキ機構と位置決め機構は、台車に対して相互に独立
に作用し、互いに異なる位置に設けられており、特に位
置決め機構は、台車の案内レールの側部に設けられてい
た。したがって、停止位置の近傍はこれらの機構を設け
るために大きなスペースを必要とし、搬送システムの小
型化を困難にしていた。本発明は、台車の停止位置の近
傍における各機構の設置スペースを削減し、かつ台車を
確実に停止位置に位置決めすることができるブレーキ装
置を得ることを目的としてなされたものである。

【０００４】

【課題を解決するための手段】本発明に係る搬送システ
ムのブレーキ装置は、台車の停止位置に設けられ、台車
に対してブレーキ力を付与するブレーキ機構と、台車に
形成され、ブレーキ力が作用する被制動部と、ブレーキ
機構の近傍に設けられ、被制動部に穿設された開口に嵌
入可能な位置決めピンとを備えたことを特徴としている
。

【０００５】

【実施例】以下図示実施例により本発明を説明する。図
１は、本発明の第１の実施例に係るブレーキ装置を備え
た搬送システムの案内レール１０の内部を透視して示す
ものであり、この図において、本発明と直接関係のない
部材については図示が省略されている。

【０００６】案内レール１０は、基台１１と、この基台
１１の両側部から立ち上がる側壁１２と、各側壁１２の
上端に連設された水平壁１３とを有する。各水平壁１３
の間には、案内レール１０の長手方向に延びるスリット
１４が形成される。各側壁１２の内壁面には、それぞれ
車輪支持部１５が突設される。車輪支持部１５は案内レ
ール１０の長手方向に延び、図示しない台車の車輪を支
持する。なお、案内レール１０の下面には、種々の配線
を収容するためのダクトカバー１６が設けられる。

【０００７】基台１１の上面には、所定間隔毎にリニア
モータの固定子１７が配設され、図示しない台車には、
固定子１７と協働する走行子が設けられる。周知のよう
に、台車は、固定子１７と走行子の間に発生する吸引力
または反発力を推力として走行する。台車の停止位置に
おいて、固定子１７の前方および後方には、それぞれ一
対の磁力ブレーキ機構２０、３０が設けられる。停止位
置の手前においては、固定子１７と走行子の間に発生す
る吸引力または反発力がブレーキ力として台車に作用し
、台車が減速して微速状態になると、停止位置において
、磁力ブレーキ機構２０、３０が発生する吸引力により
制動されて停止する。

【０００８】図２は、案内レール１０と台車４０を示す
。この図において、台車４０の支持部材４１には、車輪
４２が回転自在に支持され、車輪４２は案内レール１０
の車輪支持部１５によって支持される。連結棒４３は支
持部材４１から上方に突出し、案内レール１０のスリッ
ト１４を通って延び、連結棒４３の上端部には荷台４４
が固定される。一方、支持部材４１の下端部には、リニ
アモータの走行子４５である二次導体が設けられる。 走行子４５は例えばアルミニウムから成る平板であり、
台車４０の運転時、固定子１７の上面に沿って走行する
。走行子４５の左右の両端には、鉄片から成り水平方向
に延びる被制動部４６がそれぞれ連設される。

【０００９】図３および図４は、磁力ブレーキ機構２０
と台車４０の被制動部４６との位置関係を示すものであ
る。この図において、磁力ブレーキ機構２０が示されて
いるが、他の磁力ブレーキ３０（図１）も同様な構成を
有する。磁力ブレーキ２０は電磁石から成り、コイル２
１と、このコイル２１の軸心部から突出する電磁石ヨー
ク２２とを有する。電磁石ヨーク２２は、台車４０が近
接した時、この台車４０の被制動部４６に対向する位置
に設けられ、電磁石ヨーク２２の中心部には上下方向に
延びる貫通孔２３が形成される。磁力ブレーキ機構２０
の下方には、リニアソレノイドから成る位置決め機構５
０が配設される。この位置決め機構５０は、コイル５１
と、このコイル５１の軸心部に昇降自在に設けられた位
置決めピン５２とを備える。位置決めピン５２は、例え
ばアルミニウム等の常磁性体の材料から成形され、コイ
ル５１から上方に突出し、電磁石ヨーク２２の貫通孔２
３内に挿入される。一方台車４０の被制動部４６には、
位置決めピン５２が嵌入する開口４７が形成される。

【００１０】本実施例の作用を説明する。台車４０は停
止位置に近づくと、リニアモータによって減速せしめら
れる。そして台車４０が微速状態になると、磁力ブレー
キ２０、３０のコイルが励磁され、この結果台車４０は
電磁石ヨーク２２に吸引されて停止する。この停止動作
の開始時において、位置決め機構５０のコイル５１は励
磁されておらず、位置決めピン５２の頭部５３は、図３
に示すように、電磁石ヨーク２２の貫通孔２３内に位置
しており、被制動部４６の開口４７には嵌入していない
。この後台車４０が停止すると、位置決め機構５０のコ
イル５１が励磁され、図４に示すように位置決めピン５
２が貫通孔２３から突出し、被制動部４６の開口４７に
嵌入する。しかして台車４０は、位置決めピン５２が開
口４７に係合することにより、その停止位置に確実に位
置決めされる。

【００１１】台車４０が発進する際、まず位置決め機構
５０のコイル５１が消磁され、これにより位置決めピン
５２が開口４７から開放される。次いで、磁力ブレーキ
機構２０のコイル２１が消磁されてブレーキ力が開放さ
れ、台車４０はリニアモータから得られる推力によって
駆動される。

【００１２】以上のように本実施例は、磁力ブレーキ機
構２０と位置決め機構５０とが同じ位置に設けられ、位
置決めピン５２が磁力ブレーキ機構２０の貫通孔２３を
通って台車４０の開口４７に係合するように構成されて
いる。すなわち、位置決め機構５０は、磁力ブレーキ機
構２０と同様に案内レール１０の内部に設けられ、した
がって停止位置の側部には、従来のように位置決め機構
５０を設けるためのスペースを必要とせず、これにより
搬送システムは小型化される。

【００１３】なお、位置決め機構５０は必ずしもリニア
ソレノイドから成るものである必要はなく、位置決めピ
ン５２をモータにより昇降駆動するよう構成されていて
もよい。

【００１４】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、台車の停
止位置の近傍における各機構の設置スペースが削減され
、しかも台車を確実に停止位置に位置決めすることがで
きるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るブレーキ装置を備えた
搬送システムの案内レールの内部を透視して示す図であ
る。

【図２】案内レールと台車を示す断面図である。

【図３】本発明の一実施例に係る磁力ブレーキ機構と位
置決め機構と台車を示し、位置決め機構が作動していな
い状態を示す正面図である。

【図４】本発明の一実施例に係る磁力ブレーキ機構と位
置決め機構と台車を示し、位置決め機構が作動している
状態を示す正面図である。

【符号の説明】

２０、３０　　磁力ブレーキ機構 ２２　　電磁石ヨーク ４０　　台車 ４６　　被制動部 ４７　　開口 ５２　　位置決めピン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　台車の停止位置に設けられ、該台車に
   対してブレーキ力を付与するブレーキ機構と、上記台車
   に形成され、上記ブレーキ力が作用する被制動部と、上
   記ブレーキ機構の近傍に設けられ、上記被制動部に穿設
   された開口に嵌入可能な位置決めピンとを備えたことを
   特徴とする搬送システムのブレーキ装置。