JPH0426611B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0426611B2 JPH0426611B2 JP62043493A JP4349387A JPH0426611B2 JP H0426611 B2 JPH0426611 B2 JP H0426611B2 JP 62043493 A JP62043493 A JP 62043493A JP 4349387 A JP4349387 A JP 4349387A JP H0426611 B2 JPH0426611 B2 JP H0426611B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- formula
- ethane
- bis
- group
- mol
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 25
- VFURVLVRHAMJKG-UHFFFAOYSA-N dichloro-[2-[dichloro(methyl)silyl]ethyl]-methylsilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)CC[Si](C)(Cl)Cl VFURVLVRHAMJKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 10
- 239000000460 chlorine Chemical group 0.000 claims description 5
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 claims description 5
- WDVUXWDZTPZIIE-UHFFFAOYSA-N trichloro(2-trichlorosilylethyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)CC[Si](Cl)(Cl)Cl WDVUXWDZTPZIIE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical group [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 2
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N bromine Chemical group BrBr GDTBXPJZTBHREO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 4
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 claims 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims 4
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims 4
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 claims 3
- 150000002431 hydrogen Chemical group 0.000 claims 3
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims 3
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 claims 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 claims 1
- VGQOKOYKFDUPPJ-UHFFFAOYSA-N chloro-[2-[chloro(dimethyl)silyl]ethyl]-dimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)CC[Si](C)(C)Cl VGQOKOYKFDUPPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 150000003377 silicon compounds Chemical class 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 26
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 25
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 24
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 21
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 16
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000009987 spinning Methods 0.000 description 12
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 11
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 11
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical class CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 230000009102 absorption Effects 0.000 description 7
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 6
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N trichloro(ethenyl)silane Chemical compound Cl[Si](Cl)(Cl)C=C GQIUQDDJKHLHTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000005050 vinyl trichlorosilane Substances 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 5
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 4
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical class Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N dichloro(methyl)silicon Chemical compound C[Si](Cl)Cl KTQYJQFGNYHXMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002074 melt spinning Methods 0.000 description 4
- 239000005055 methyl trichlorosilane Substances 0.000 description 4
- 239000005048 methyldichlorosilane Substances 0.000 description 4
- JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N methyltrichlorosilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)Cl JLUFWMXJHAVVNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FXMNVBZEWMANSQ-UHFFFAOYSA-N chloro(silyl)silane Chemical class [SiH3][SiH2]Cl FXMNVBZEWMANSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 3
- GUUVPOWQJOLRAS-UHFFFAOYSA-N Diphenyl disulfide Chemical compound C=1C=CC=CC=1SSC1=CC=CC=C1 GUUVPOWQJOLRAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N Methylamine Chemical compound NC BAVYZALUXZFZLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012700 ceramic precursor Substances 0.000 description 2
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- YLJJAVFOBDSYAN-UHFFFAOYSA-N dichloro-ethenyl-methylsilane Chemical compound C[Si](Cl)(Cl)C=C YLJJAVFOBDSYAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- IICCLYANAQEHCI-UHFFFAOYSA-N 4,5,6,7-tetrachloro-3',6'-dihydroxy-2',4',5',7'-tetraiodospiro[2-benzofuran-3,9'-xanthene]-1-one Chemical compound O1C(=O)C(C(=C(Cl)C(Cl)=C2Cl)Cl)=C2C21C1=CC(I)=C(O)C(I)=C1OC1=C(I)C(O)=C(I)C=C21 IICCLYANAQEHCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 [1,2-bis(methyldichlorosilyl)ethane] 1,2- Bis(methyldichlorosilyl)ethane Chemical compound 0.000 description 1
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000005915 ammonolysis reaction Methods 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- ZWOASCVFHSYHOB-UHFFFAOYSA-N benzene-1,3-dithiol Chemical compound SC1=CC=CC(S)=C1 ZWOASCVFHSYHOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 1
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 1
- 238000006356 dehydrogenation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 230000008014 freezing Effects 0.000 description 1
- 238000007710 freezing Methods 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000002198 insoluble material Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001089 mineralizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 description 1
- 238000000053 physical method Methods 0.000 description 1
- 238000003918 potentiometric titration Methods 0.000 description 1
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 229930187593 rose bengal Natural products 0.000 description 1
- 229940081623 rose bengal Drugs 0.000 description 1
- STRXNPAVPKGJQR-UHFFFAOYSA-N rose bengal A Natural products O1C(=O)C(C(=CC=C2Cl)Cl)=C2C21C1=CC(I)=C(O)C(I)=C1OC1=C(I)C(O)=C(I)C=C21 STRXNPAVPKGJQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920005573 silicon-containing polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N trichlorosilane Chemical compound Cl[SiH](Cl)Cl ZDHXKXAHOVTTAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005052 trichlorosilane Substances 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/56—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides
- C04B35/565—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide
- C04B35/571—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on carbides or oxycarbides based on silicon carbide obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/589—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained from Si-containing polymer precursors or organosilicon monomers
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08G—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED OTHERWISE THAN BY REACTIONS ONLY INVOLVING UNSATURATED CARBON-TO-CARBON BONDS
- C08G77/00—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule
- C08G77/60—Macromolecular compounds obtained by reactions forming a linkage containing silicon with or without sulfur, nitrogen, oxygen or carbon in the main chain of the macromolecule in which all the silicon atoms are connected by linkages other than oxygen atoms
- C08G77/62—Nitrogen atoms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
- Silicon Polymers (AREA)
- Inorganic Fibers (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Description
産業上の利用分野
本発明は、セラミツクス前駆体として好適に使
用される有機シラザン重合体の製造方法に関す
る。 従来の技術及び発明が解決しようとする問題点 セラミツクスは、耐熱性、耐摩耗性、高温強度
等に優れた材料として注目を集めているが、固
く、そして脆いため、セラミツクスを加工するこ
とは極めて困難である。従つて、セラミツクス製
品を製造する場合、セラミツクス材料の微粉末を
加圧等の方法により予め所望の形状に成形した
後、焼結する方法、或いはセラミツクス前駆体と
しての有機重合体を溶融若しくは溶剤に溶解し、
これを所望の形状に加工した後、焼成して無機化
する前駆体法などが採用されている。上記前駆体
法の最大の特徴は、微粉末による焼結法では不可
能な形状のセラミツクス製品を得ることができ、
従つて繊維状或いはシート状といつた特殊形状の
製品を製造し得ることである。 この場合、一般にセラミツクスと呼ばれるもの
のうちSiC及びSi3N4は、それぞれSiCが耐熱性、
高温強度に優れ、Si3N4が耐熱衝撃性、破壊靭性
に優れるなど、高温での優れた特性を有するため
に広く注目を集めており、このため従来より、下
記〜に示すように、前駆体法によるSiC−
Si3N4系セラミツクスの製造方法及びその有機珪
素前駆体の製造方法に関する種々の提案がなされ
ているが、これらの提案はいずれも問題点を有す
るものであつた。即ち、 米国特許第3853567号明細書には、クロロシ
ラン類とアミン類とを反応させ、次いで200〜
800℃に加熱してカルボシラザンを得た後、こ
れを紡糸、不融化して800〜2000℃で高温焼成
することにより、SiC−Si3N4系セラミツクス
を得る方法が開示されている。しかし、この方
法は、カルボシラザンを得るために520〜650℃
という高温が必要であつて、工業的製法として
極めて困難であること、またカルボシラザンを
無機化する際にセラミツク収率が約55％という
低収率となることといつた欠点を有する。な
お、この米国特許明細書の実施例には、クロロ
シラン類としてはメチルトリクロロシラン、ジ
メチルジクロロシラン、アミン類としてはメチ
ルアミンの例しか記述されていない。 米国特許第4097294号明細書には、種々の珪
素を含有するポリマーが熱分解によつてセラミ
ツク物質に変換されることが示されている。し
かし、シラザンポリマーに関しては僅かに一例
しか開示されておらず、しかもそのセラミツク
化収率は最大で12％という低収率である。ま
た、この米国特許明細書にはセラミツクスの繊
維化、薄膜化等も可能であると記載されている
が、単にその可能性を示唆したに過ぎず、前駆
体法で最も重要とされるポリマーの成形性、加
工性については全く言及されていない。 特開昭57−117532号公報には、クロロジシラ
ン類とジシラザン類との反応により、特開昭57
−139124号公報にはクロロシラン類とジシラザ
ン類との反応により、特開昭58−63725号公報
にはクロロジシラン類とアンモニアとの反応に
より、特開昭60−135431号公報にはトリクロロ
シランとジシラザン類との反応により、それぞ
れシラザンポリマーを得ることが示されてい
る。また、米国特許第4535007号明細書にはク
ロロシラン類及びジシラザン類に金属ハロゲン
化物を添加することにより、特開昭60−208331
号公報にはクロロジシラン類及びジシラザン類
に金属ハロゲン化物を添加することにより、そ
れぞれシラザンポリマーを製造することが開示
されている。以上のシラザンポリマーは、いず
れも熱分解によつてセラミツク化が可能である
とされている。しかしながら、セラミツク化収
率はいずれのシラザンポリマーも50〜60％であ
つて低収率である。また、上記各刊行物は、
の明細書と同様に前駆体法で最も重要であるポ
リマーの成形性、加工性については詳しく記載
されておらず、特に、繊維化の実施例のないも
の、或いは繊維化した実施例はあつてもそのセ
ラミツク化繊維の強度については言及していな
いものが殆どである。僅かに特開昭60−208331
号公報に強度の記載が見られるが、この場合も
引張強度で53Kg／mm2或いは63Kg／mm2という極め
て強度の低いものしか得られていない。 特開昭60−226890号公報には、
用される有機シラザン重合体の製造方法に関す
る。 従来の技術及び発明が解決しようとする問題点 セラミツクスは、耐熱性、耐摩耗性、高温強度
等に優れた材料として注目を集めているが、固
く、そして脆いため、セラミツクスを加工するこ
とは極めて困難である。従つて、セラミツクス製
品を製造する場合、セラミツクス材料の微粉末を
加圧等の方法により予め所望の形状に成形した
後、焼結する方法、或いはセラミツクス前駆体と
しての有機重合体を溶融若しくは溶剤に溶解し、
これを所望の形状に加工した後、焼成して無機化
する前駆体法などが採用されている。上記前駆体
法の最大の特徴は、微粉末による焼結法では不可
能な形状のセラミツクス製品を得ることができ、
従つて繊維状或いはシート状といつた特殊形状の
製品を製造し得ることである。 この場合、一般にセラミツクスと呼ばれるもの
のうちSiC及びSi3N4は、それぞれSiCが耐熱性、
高温強度に優れ、Si3N4が耐熱衝撃性、破壊靭性
に優れるなど、高温での優れた特性を有するため
に広く注目を集めており、このため従来より、下
記〜に示すように、前駆体法によるSiC−
Si3N4系セラミツクスの製造方法及びその有機珪
素前駆体の製造方法に関する種々の提案がなされ
ているが、これらの提案はいずれも問題点を有す
るものであつた。即ち、 米国特許第3853567号明細書には、クロロシ
ラン類とアミン類とを反応させ、次いで200〜
800℃に加熱してカルボシラザンを得た後、こ
れを紡糸、不融化して800〜2000℃で高温焼成
することにより、SiC−Si3N4系セラミツクス
を得る方法が開示されている。しかし、この方
法は、カルボシラザンを得るために520〜650℃
という高温が必要であつて、工業的製法として
極めて困難であること、またカルボシラザンを
無機化する際にセラミツク収率が約55％という
低収率となることといつた欠点を有する。な
お、この米国特許明細書の実施例には、クロロ
シラン類としてはメチルトリクロロシラン、ジ
メチルジクロロシラン、アミン類としてはメチ
ルアミンの例しか記述されていない。 米国特許第4097294号明細書には、種々の珪
素を含有するポリマーが熱分解によつてセラミ
ツク物質に変換されることが示されている。し
かし、シラザンポリマーに関しては僅かに一例
しか開示されておらず、しかもそのセラミツク
化収率は最大で12％という低収率である。ま
た、この米国特許明細書にはセラミツクスの繊
維化、薄膜化等も可能であると記載されている
が、単にその可能性を示唆したに過ぎず、前駆
体法で最も重要とされるポリマーの成形性、加
工性については全く言及されていない。 特開昭57−117532号公報には、クロロジシラ
ン類とジシラザン類との反応により、特開昭57
−139124号公報にはクロロシラン類とジシラザ
ン類との反応により、特開昭58−63725号公報
にはクロロジシラン類とアンモニアとの反応に
より、特開昭60−135431号公報にはトリクロロ
シランとジシラザン類との反応により、それぞ
れシラザンポリマーを得ることが示されてい
る。また、米国特許第4535007号明細書にはク
ロロシラン類及びジシラザン類に金属ハロゲン
化物を添加することにより、特開昭60−208331
号公報にはクロロジシラン類及びジシラザン類
に金属ハロゲン化物を添加することにより、そ
れぞれシラザンポリマーを製造することが開示
されている。以上のシラザンポリマーは、いず
れも熱分解によつてセラミツク化が可能である
とされている。しかしながら、セラミツク化収
率はいずれのシラザンポリマーも50〜60％であ
つて低収率である。また、上記各刊行物は、
の明細書と同様に前駆体法で最も重要であるポ
リマーの成形性、加工性については詳しく記載
されておらず、特に、繊維化の実施例のないも
の、或いは繊維化した実施例はあつてもそのセ
ラミツク化繊維の強度については言及していな
いものが殆どである。僅かに特開昭60−208331
号公報に強度の記載が見られるが、この場合も
引張強度で53Kg／mm2或いは63Kg／mm2という極め
て強度の低いものしか得られていない。 特開昭60−226890号公報には、
【式】
で示される有機珪素化合物とアンモニアとの反
応により、アンモノリシス生成物を得た後、こ
の生成物をアルカリ金属又はアルカリ土類金属
の水素化物で脱水素縮合させてシラザンポリマ
ーを得る方法が開示されている。この方法で得
られるポリマーは、脱水素縮合の度合いによつ
てその性状をオイル状から融点を持たない固体
まで種々調整することが可能であるとされてい
る。しかし、ポリマーを溶融した状態から成
形、加工する場合、例えば溶融紡糸法で連続繊
維を製造する場合には、ポリマーが一定重合度
でかつ熱的に安定であることが必要であるが、
上記方法では重合を途中で停止させないとポリ
マーが融点を持たない固体となつてしまい、溶
融可能なポリマーを得るためには反応時間、反
応温度、触媒量、溶媒量等の微妙なコントロー
ルを必要とし、その調整が非常に困難であると
共に、再現性に欠けるという問題がある。更
に、この方法によつて得られるポリマーは熱的
に安定でなく、ゲル状物の生成を伴うといつた
欠点があり、以上の二つの点から上記方法はシ
ラザンポリマーの工業的製法として適当ではな
い。 特開昭60−228489号公報には、
応により、アンモノリシス生成物を得た後、こ
の生成物をアルカリ金属又はアルカリ土類金属
の水素化物で脱水素縮合させてシラザンポリマ
ーを得る方法が開示されている。この方法で得
られるポリマーは、脱水素縮合の度合いによつ
てその性状をオイル状から融点を持たない固体
まで種々調整することが可能であるとされてい
る。しかし、ポリマーを溶融した状態から成
形、加工する場合、例えば溶融紡糸法で連続繊
維を製造する場合には、ポリマーが一定重合度
でかつ熱的に安定であることが必要であるが、
上記方法では重合を途中で停止させないとポリ
マーが融点を持たない固体となつてしまい、溶
融可能なポリマーを得るためには反応時間、反
応温度、触媒量、溶媒量等の微妙なコントロー
ルを必要とし、その調整が非常に困難であると
共に、再現性に欠けるという問題がある。更
に、この方法によつて得られるポリマーは熱的
に安定でなく、ゲル状物の生成を伴うといつた
欠点があり、以上の二つの点から上記方法はシ
ラザンポリマーの工業的製法として適当ではな
い。 特開昭60−228489号公報には、
重合工程
〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン〕 撹拌機、温度計、ガス導入管、蒸溜装置を装備
し、乾燥した500mlの４つ口フラスコに１，２−
ビス（メチルジクロロシリル）エタン76.8ｇ
（0.3mol）及び｛（CH3）3Si｝2NH177.5ｇ
（1.1mol）を仕込んだ。次いで、N2雰囲気下で混
合物を徐々に加熱し（釜温が92℃に達したところ
で還流が開始し、その蒸気温度は59℃であつた）、
生成してくる揮発性成分を系外に留出させながら
徐々に反応温度を300℃まで上げ、この温度で３
時間保持した。N2気流下、この反応物を室温ま
で冷却し、反応物に100mlの脱水ヘキサンを加え
て溶解させて不溶物を過した後、ヘキサン及び
低分子量物を200℃、100mmHg下でストリツプし
た。残留物はガラス状黄色固体の重合体で59ｇを
得た。このものは分子量2650（ベンゼンモル凝固
点降下法、以下同じ。）、融点130℃であり、電位
差滴定から残存塩素は100ppm以下であつた。ま
た、IRからは3400cm-1cmにNH、2980cm-1にCH、
1260cm-1にSiCH3の各々の吸収が認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：メチルジクロロシラン＝80：20（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
61.4ｇ（0.24mol）、メチルジクロロシラン6.9ｇ
（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝2NH177.5ｇ（1.1mol）
を重合工程と同様に500mlの４つ口フラスコに
仕込み、反応温度300℃で１時間保持して反応さ
せ、冷却して同様に処理した。薄黄色固体53ｇが
得られ、このものは分子量2100、融点82℃であつ
た。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：メチルトリクロロシラン＝70：30（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
53.8ｇ（0.24mol）、メチルトリクロロシラン13.4
ｇ（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝2NH194ｇ（1.2mol）
を重合工程と同様に500mlの４つ口フラスコに
仕込み、反応温度280℃で30分間反応させ、処理
した。薄黄色固体43.7ｇが得られ、このものは分
子量1800、融点70℃であつた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：ビニルトリクロロシラン＝70：30（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
125.4ｇ（0.49mol）、ビニルトリクロロシラン
33.9ｇ（0.21mol）、｛（CH3）3Si｝2NH258.2ｇ
（1.6mol）を重合工程と同様に１の４つ口フ
ラスコに仕込み、反応温度250℃で３時間反応さ
せ、処理した。薄黄色固体103.5ｇが得られ、こ
のものは分子量3100、融点110℃であつた。また、
IRからは3400cm-1にNH、2950cm-1にＣ−Ｈ、
1260cm-1にSi−Me、1420cm-1にCH2＝CH−の
各々の吸収が認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（トリクロロシリル）エタン：メ
チルジクロロシラン：メチルビニルジクロロシラ
ン＝50：25：25（モル％）〕 １，２−ビス（トリクロロシリル）エタン44.6
ｇ（0.15mol）、メチルジクロロシラン8.6ｇ
（0.075mol）、メチルビニルジクロロシラン10.6ｇ
（0.075mol）、｛（CH3）3Si｝2NH129ｇ（0.8mol）を
重合工程と同様に500mlの４つ口フラスコに仕
込み、反応温度260℃で２時間反応させた。薄黄
色固体45ｇが得られ、このものは分子量2720、融
点125℃であつた。また、IRからは3400cm-1に
NH、2950cm-1にＣ−Ｈ、2150cm-1にSi−Ｈ、
1260cm-1にSi−Me、1420cm-1にCH2＝CH−の
各々の吸収が認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：ビニルトリクロロシラン＝98：２（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
75.3ｇ（0.294mol）、ビニルトリクロロシラン0.9
ｇ（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝2NH218.9ｇ
（1.356mol）を重合工程と同様に500mlの４つ
口フラスコに仕込み、反応温度240℃で1.5時間反
応させた。白色固体57ｇが得られ、このものは分
子量2250、融点86℃であつた。また、IRからは
3400cm-1にNH、2950cm-1にＣ−Ｈ、1420cm-1に
CH2＝CH−、1260cm-1にSi−Meの各々の吸収が
認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：１，２−ビス（トリクロロシリル）エタン：
ビニルトリクロロシラン＝50：20：30（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
38.4ｇ（0.15mol）、１，２−ビス（トリクロロシ
リル）エタン17.8ｇ（0.06mol）、ビニルトリクロ
ロシラン13.5ｇ（0.09mol）、｛（CH3）3Si｝2NH184
ｇ（1.14mol）を重合工程と同様に500mlの４
つ口フラスコに仕込み、反応温度250℃で２時間
反応させた。白色固体49ｇが得られ、このものは
分子量4200、融点220℃であつた。また、IRから
は3400cm-1にNH、2950cm-1にＣ−Ｈ、1420cm-1
にCH2＝CH−、1260cm-1にSi−Meの各々の吸収
が認められた。 〔参考例〕 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇをモ
ノホール紡糸装置により190℃にて溶融紡糸した。
紡糸は３時間後も非常に良好で、巻取速度400
ｍ／minで実施した。得られた生糸は従来になく
強いもので、引張強度を測定したところ10Kg／mm2
であつた。次いで得られた生糸を電子線にて
2000Mradで不融化処理を行なつた。その後、わ
ずかな張力下、N2気流中100℃／Hrの昇温速度
で1100℃にて30分間焼成した。セラミツクス収率
は72％であり、得られた繊維は繊維径8μ、引張
強度270Kg／mm2、弾性率18t／mm2という物性であつ
た。また、繊維組成を元素分析により分析したと
ころ、Si58.8％、C25.8％、N15.2％、O0.2％から
なるSiC−Si3N4を主体とする繊維であることが
確認された。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体20ｇを繊
維化工程と同様の紡糸装置を用いて140℃にて
溶融紡糸した。巻取速度は420ｍ／minで、紡糸
は非常に良好であつた。更に得られた生糸をわず
かな張力下、電子線装置にて500Mradで不融化
処理を行なつた。次いで、無張力下N2気流中で
100℃／Hrの昇温速度で1200℃にて30分間焼成し
た。セラミツクス収率は70％であり、得られた繊
維は繊維径7μ、引張強度280Kg／mm2、弾性率20t／
mm2であつた。繊維組成を元素分析したところ、
SiC−Si3N4を主体とする繊維であつた。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体20ｇを繊
維化工程と同様の紡糸装置を用いて130℃にて
溶融紡糸した。巻取速度は450ｍ／minで、紡糸
は非常に良好であつた。更に得られた生糸を空気
中にて50〜80℃（５℃／Hr）で加熱して不融化
を行なつた。次いで、わずかな張力下、N2気流
中で100℃／Hrの昇温速度で1150℃にて30分間焼
成した。セラミツクス収率は68％であり、繊維径
6μ、引張強度230Kg／mm2、弾性率19t／mm2のSiC−
Si3N4を主体とする繊維であつた。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇに光
増感剤としてローズベンガル0.06ｇを加え、テト
ラヒドロフランに溶解、混合させた後、テトラヒ
ドロフランを100℃、５mmHgの減圧下で除去し
た。次いで、繊維化工程と同様の紡糸装置を用
いて170℃、巻取速度420ｍ／minで溶融紡糸し
た。得られた生糸をわずかな張力下、N2気流中
で紫外線照射装置（東芝光化学用水銀ランプＨ−
400P型）を用いて15cmの距離から３時間光照射
し、不融化を行なつた。その後、得られた繊維を
張力下N2気流中で100℃／Hrの昇温速度で1200
℃にて１時間焼成した。セラミツクス収率は74％
であり、繊維径7μ、引張強度250Kg／mm2、弾性率
23t／mm2のSiC−Si3N4を主体とする繊維であつ
た。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇに加
硫剤として二硫化ジフエニール0.06ｇを加え、テ
トラヒドロフランに溶解、混合させた後、テトラ
ヒドロフランを100℃、５mmHgの減圧下で除去し
た。次いで、繊維化工程と同様の紡糸装置を用
いて溶融紡糸した。得られた生糸を繊維化工程
と同様の紫外線装置を用いて光照射し、不融化処
理を行なつた。その後、得られた生糸を張力下
N2気流中で100℃／Hrの昇温速度で1100℃にて
30分間焼成した。セラミツクス収率は68％であ
り、繊維径8μ、引張強度235Kg／mm2、弾性率
20.5t／mm2のSiC−Si3N4を主体とする繊維であつ
た。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇに加
硫剤として１，３−ベンゼンジチオール0.003ｇ
を加え、更に増感剤としてベンゾフエノン３mgを
１のテトラヒドロフランに溶解し、この溶液
100mlを加えて溶解させる。次いでテトラヒドロ
フランを減圧留去し、繊維化工程と同様の紡糸
装置を用いて170℃にて溶融紡糸を行なつた。更
に得られた生糸を繊維化工程と同様に光不融化
処理を行なつた後、わずかな張力下N2気流中で
100℃／Hrの昇温速度で1100℃にて30分間焼成し
た。セラミツクス収率は70％であり、繊維径9μ、
引張強度260Kg／mm2、弾性率20t／mm2のSiC−
Si3N4を主体とする繊維であつた。 セラミツク成形体 重合工程で得られたシラザン重合体0.5ｇと
SiC微粉末10ｇ、ヘキサン２ｇを分散混練した
後、ヘキサンを蒸発させた。この粉末を1000Kg／
mm2の成形圧で加圧成形して直径25mm×厚さ10mmの
圧粉成形体を得た。次いでこの圧粉体をアルゴン
雰囲気中で室温から1000℃迄２時間、1000℃から
1950℃迄１時間かけて昇温し、1950℃にて30分間
保持した後冷却したところ、密度2.85ｇ／cm3、曲
げ強度30Kg／mm2のSiC成形体が得られた。 〔比較例〕 重合工程 撹拌機、温度計、ガス導入管、蒸留装置を装備
した500mlの乾燥した４つ口フラスコにメチルト
リクロロシラン35.8ｇ（10.24mol）、ジメチルジ
クロロシラン7.7ｇ（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝
2NH137.2ｇ（0.85mol）を仕込んだ。以下、上記
実施例の重合工程と同様の方法で、反応温度
270℃で30分間反応させた後、常温に冷却した。
青黄色固体21ｇが得られ、このものは分子量
1700、融点65℃であつた。 繊維化工程 得られたシラザン重合体20ｇをモノホール（ノ
ズル、直径0.5mm）紡糸装置に仕込み、N2気流下
120℃で溶融させ、紡糸を行なつた。紡糸は糸切
れが激しく、かつ得られた生糸は非常に脆いもの
であり、生糸の強度を測定したとこ0.5Kg／mm2で
あつた。次いで、この生糸を電子線装置を用いて
2000Mradで不融化処理し、N2気流下100℃／Hr
の昇温速度で1100℃にて30分間焼成した。セラミ
ツクス収率は48％であり、得られた繊維は一部融
着したものであつた。また、未融着部の繊維物性
を測定したところ、繊維径8μ、引張強度20Kg／
mm2、弾性率4t／mm2で非常に低物性であつた。
ン〕 撹拌機、温度計、ガス導入管、蒸溜装置を装備
し、乾燥した500mlの４つ口フラスコに１，２−
ビス（メチルジクロロシリル）エタン76.8ｇ
（0.3mol）及び｛（CH3）3Si｝2NH177.5ｇ
（1.1mol）を仕込んだ。次いで、N2雰囲気下で混
合物を徐々に加熱し（釜温が92℃に達したところ
で還流が開始し、その蒸気温度は59℃であつた）、
生成してくる揮発性成分を系外に留出させながら
徐々に反応温度を300℃まで上げ、この温度で３
時間保持した。N2気流下、この反応物を室温ま
で冷却し、反応物に100mlの脱水ヘキサンを加え
て溶解させて不溶物を過した後、ヘキサン及び
低分子量物を200℃、100mmHg下でストリツプし
た。残留物はガラス状黄色固体の重合体で59ｇを
得た。このものは分子量2650（ベンゼンモル凝固
点降下法、以下同じ。）、融点130℃であり、電位
差滴定から残存塩素は100ppm以下であつた。ま
た、IRからは3400cm-1cmにNH、2980cm-1にCH、
1260cm-1にSiCH3の各々の吸収が認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：メチルジクロロシラン＝80：20（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
61.4ｇ（0.24mol）、メチルジクロロシラン6.9ｇ
（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝2NH177.5ｇ（1.1mol）
を重合工程と同様に500mlの４つ口フラスコに
仕込み、反応温度300℃で１時間保持して反応さ
せ、冷却して同様に処理した。薄黄色固体53ｇが
得られ、このものは分子量2100、融点82℃であつ
た。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：メチルトリクロロシラン＝70：30（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
53.8ｇ（0.24mol）、メチルトリクロロシラン13.4
ｇ（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝2NH194ｇ（1.2mol）
を重合工程と同様に500mlの４つ口フラスコに
仕込み、反応温度280℃で30分間反応させ、処理
した。薄黄色固体43.7ｇが得られ、このものは分
子量1800、融点70℃であつた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：ビニルトリクロロシラン＝70：30（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
125.4ｇ（0.49mol）、ビニルトリクロロシラン
33.9ｇ（0.21mol）、｛（CH3）3Si｝2NH258.2ｇ
（1.6mol）を重合工程と同様に１の４つ口フ
ラスコに仕込み、反応温度250℃で３時間反応さ
せ、処理した。薄黄色固体103.5ｇが得られ、こ
のものは分子量3100、融点110℃であつた。また、
IRからは3400cm-1にNH、2950cm-1にＣ−Ｈ、
1260cm-1にSi−Me、1420cm-1にCH2＝CH−の
各々の吸収が認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（トリクロロシリル）エタン：メ
チルジクロロシラン：メチルビニルジクロロシラ
ン＝50：25：25（モル％）〕 １，２−ビス（トリクロロシリル）エタン44.6
ｇ（0.15mol）、メチルジクロロシラン8.6ｇ
（0.075mol）、メチルビニルジクロロシラン10.6ｇ
（0.075mol）、｛（CH3）3Si｝2NH129ｇ（0.8mol）を
重合工程と同様に500mlの４つ口フラスコに仕
込み、反応温度260℃で２時間反応させた。薄黄
色固体45ｇが得られ、このものは分子量2720、融
点125℃であつた。また、IRからは3400cm-1に
NH、2950cm-1にＣ−Ｈ、2150cm-1にSi−Ｈ、
1260cm-1にSi−Me、1420cm-1にCH2＝CH−の
各々の吸収が認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：ビニルトリクロロシラン＝98：２（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
75.3ｇ（0.294mol）、ビニルトリクロロシラン0.9
ｇ（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝2NH218.9ｇ
（1.356mol）を重合工程と同様に500mlの４つ
口フラスコに仕込み、反応温度240℃で1.5時間反
応させた。白色固体57ｇが得られ、このものは分
子量2250、融点86℃であつた。また、IRからは
3400cm-1にNH、2950cm-1にＣ−Ｈ、1420cm-1に
CH2＝CH−、1260cm-1にSi−Meの各々の吸収が
認められた。 重合工程 〔１，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタ
ン：１，２−ビス（トリクロロシリル）エタン：
ビニルトリクロロシラン＝50：20：30（モル％）〕 １，２−ビス（メチルジクロロシリル）エタン
38.4ｇ（0.15mol）、１，２−ビス（トリクロロシ
リル）エタン17.8ｇ（0.06mol）、ビニルトリクロ
ロシラン13.5ｇ（0.09mol）、｛（CH3）3Si｝2NH184
ｇ（1.14mol）を重合工程と同様に500mlの４
つ口フラスコに仕込み、反応温度250℃で２時間
反応させた。白色固体49ｇが得られ、このものは
分子量4200、融点220℃であつた。また、IRから
は3400cm-1にNH、2950cm-1にＣ−Ｈ、1420cm-1
にCH2＝CH−、1260cm-1にSi−Meの各々の吸収
が認められた。 〔参考例〕 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇをモ
ノホール紡糸装置により190℃にて溶融紡糸した。
紡糸は３時間後も非常に良好で、巻取速度400
ｍ／minで実施した。得られた生糸は従来になく
強いもので、引張強度を測定したところ10Kg／mm2
であつた。次いで得られた生糸を電子線にて
2000Mradで不融化処理を行なつた。その後、わ
ずかな張力下、N2気流中100℃／Hrの昇温速度
で1100℃にて30分間焼成した。セラミツクス収率
は72％であり、得られた繊維は繊維径8μ、引張
強度270Kg／mm2、弾性率18t／mm2という物性であつ
た。また、繊維組成を元素分析により分析したと
ころ、Si58.8％、C25.8％、N15.2％、O0.2％から
なるSiC−Si3N4を主体とする繊維であることが
確認された。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体20ｇを繊
維化工程と同様の紡糸装置を用いて140℃にて
溶融紡糸した。巻取速度は420ｍ／minで、紡糸
は非常に良好であつた。更に得られた生糸をわず
かな張力下、電子線装置にて500Mradで不融化
処理を行なつた。次いで、無張力下N2気流中で
100℃／Hrの昇温速度で1200℃にて30分間焼成し
た。セラミツクス収率は70％であり、得られた繊
維は繊維径7μ、引張強度280Kg／mm2、弾性率20t／
mm2であつた。繊維組成を元素分析したところ、
SiC−Si3N4を主体とする繊維であつた。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体20ｇを繊
維化工程と同様の紡糸装置を用いて130℃にて
溶融紡糸した。巻取速度は450ｍ／minで、紡糸
は非常に良好であつた。更に得られた生糸を空気
中にて50〜80℃（５℃／Hr）で加熱して不融化
を行なつた。次いで、わずかな張力下、N2気流
中で100℃／Hrの昇温速度で1150℃にて30分間焼
成した。セラミツクス収率は68％であり、繊維径
6μ、引張強度230Kg／mm2、弾性率19t／mm2のSiC−
Si3N4を主体とする繊維であつた。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇに光
増感剤としてローズベンガル0.06ｇを加え、テト
ラヒドロフランに溶解、混合させた後、テトラヒ
ドロフランを100℃、５mmHgの減圧下で除去し
た。次いで、繊維化工程と同様の紡糸装置を用
いて170℃、巻取速度420ｍ／minで溶融紡糸し
た。得られた生糸をわずかな張力下、N2気流中
で紫外線照射装置（東芝光化学用水銀ランプＨ−
400P型）を用いて15cmの距離から３時間光照射
し、不融化を行なつた。その後、得られた繊維を
張力下N2気流中で100℃／Hrの昇温速度で1200
℃にて１時間焼成した。セラミツクス収率は74％
であり、繊維径7μ、引張強度250Kg／mm2、弾性率
23t／mm2のSiC−Si3N4を主体とする繊維であつ
た。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇに加
硫剤として二硫化ジフエニール0.06ｇを加え、テ
トラヒドロフランに溶解、混合させた後、テトラ
ヒドロフランを100℃、５mmHgの減圧下で除去し
た。次いで、繊維化工程と同様の紡糸装置を用
いて溶融紡糸した。得られた生糸を繊維化工程
と同様の紫外線装置を用いて光照射し、不融化処
理を行なつた。その後、得られた生糸を張力下
N2気流中で100℃／Hrの昇温速度で1100℃にて
30分間焼成した。セラミツクス収率は68％であ
り、繊維径8μ、引張強度235Kg／mm2、弾性率
20.5t／mm2のSiC−Si3N4を主体とする繊維であつ
た。 繊維化工程 重合工程で得られたシラザン重合体30ｇに加
硫剤として１，３−ベンゼンジチオール0.003ｇ
を加え、更に増感剤としてベンゾフエノン３mgを
１のテトラヒドロフランに溶解し、この溶液
100mlを加えて溶解させる。次いでテトラヒドロ
フランを減圧留去し、繊維化工程と同様の紡糸
装置を用いて170℃にて溶融紡糸を行なつた。更
に得られた生糸を繊維化工程と同様に光不融化
処理を行なつた後、わずかな張力下N2気流中で
100℃／Hrの昇温速度で1100℃にて30分間焼成し
た。セラミツクス収率は70％であり、繊維径9μ、
引張強度260Kg／mm2、弾性率20t／mm2のSiC−
Si3N4を主体とする繊維であつた。 セラミツク成形体 重合工程で得られたシラザン重合体0.5ｇと
SiC微粉末10ｇ、ヘキサン２ｇを分散混練した
後、ヘキサンを蒸発させた。この粉末を1000Kg／
mm2の成形圧で加圧成形して直径25mm×厚さ10mmの
圧粉成形体を得た。次いでこの圧粉体をアルゴン
雰囲気中で室温から1000℃迄２時間、1000℃から
1950℃迄１時間かけて昇温し、1950℃にて30分間
保持した後冷却したところ、密度2.85ｇ／cm3、曲
げ強度30Kg／mm2のSiC成形体が得られた。 〔比較例〕 重合工程 撹拌機、温度計、ガス導入管、蒸留装置を装備
した500mlの乾燥した４つ口フラスコにメチルト
リクロロシラン35.8ｇ（10.24mol）、ジメチルジ
クロロシラン7.7ｇ（0.06mol）、｛（CH3）3Si｝
2NH137.2ｇ（0.85mol）を仕込んだ。以下、上記
実施例の重合工程と同様の方法で、反応温度
270℃で30分間反応させた後、常温に冷却した。
青黄色固体21ｇが得られ、このものは分子量
1700、融点65℃であつた。 繊維化工程 得られたシラザン重合体20ｇをモノホール（ノ
ズル、直径0.5mm）紡糸装置に仕込み、N2気流下
120℃で溶融させ、紡糸を行なつた。紡糸は糸切
れが激しく、かつ得られた生糸は非常に脆いもの
であり、生糸の強度を測定したとこ0.5Kg／mm2で
あつた。次いで、この生糸を電子線装置を用いて
2000Mradで不融化処理し、N2気流下100℃／Hr
の昇温速度で1100℃にて30分間焼成した。セラミ
ツクス収率は48％であり、得られた繊維は一部融
着したものであつた。また、未融着部の繊維物性
を測定したところ、繊維径8μ、引張強度20Kg／
mm2、弾性率4t／mm2で非常に低物性であつた。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 下記一般式〔〕 （但し、式中Ｒは水素、塩素、臭素、メチル基、
エチル基、フエニル基又はビニル基、R1は水素
又はメチル基、Ｘは塩素又は臭素をそれぞれ示
す。） で示される有機珪素化合物又は前記〔〕式及び
下記一般式〔〕 （但し、式中R2及びR3は水素、塩素、臭素、メ
チル基、エチル基、フエニル基又はビニル基、Ｘ
は塩素又は臭素をそれぞれ示す。） で示される有機珪素化合物の混合物と、下記一般
式〔〕 （但し、式中R4、R5及びR6は水素、メチル基、
エチル基、フエニル基又はビニル基を示す。） で示されるジシラザンとを無水雰囲気下において
温度25〜350℃で反応させ、副生する揮発生成分
を系外に留出させて有機シラザン重合体を得るこ
とを特徴とする有機シラザン重合体の製造方法。 ２ 〔〕式及び〔〕式で示される有機珪素化
合物の混合比が50〜100モル％：０〜50モル％の
割合で使用した特許請求の範囲第１項記載の製造
方法。 ３ 〔〕式の有機珪素化合物が１，２−ビス
（クロロジメチルシリル）エタンである特許請求
の範囲第１項又は第２項記載の製造方法。 ４ 〔〕式の有機珪素化合物が１，２−ビス
（ジクロロメチルシリル）エタンである特許請求
の範囲第１項又は第２項記載の製造方法。 ５ 〔〕式の有機珪素化合物が１，２−ビス
（トリクロロシリル）エタンである特許請求の範
囲第１項又は第２項記載の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62043493A JPS63210133A (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| US07/159,315 US4847345A (en) | 1987-02-25 | 1988-02-23 | Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom |
| DE3805796A DE3805796C2 (de) | 1987-02-25 | 1988-02-24 | Verfahren zur Herstellung von organischen Silazanpolymeren und Keramikmaterialien daraus |
| FR888802317A FR2611208B1 (fr) | 1987-02-25 | 1988-02-25 | Procede pour la preparation de polyorganosilazanes et de materiaux ceramiques en derivant |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62043493A JPS63210133A (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 有機シラザン重合体の製造方法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3306489A Division JPH0798866B2 (ja) | 1991-10-25 | 1991-10-25 | セラミックスの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63210133A JPS63210133A (ja) | 1988-08-31 |
| JPH0426611B2 true JPH0426611B2 (ja) | 1992-05-07 |
Family
ID=12665239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62043493A Granted JPS63210133A (ja) | 1987-02-25 | 1987-02-25 | 有機シラザン重合体の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4847345A (ja) |
| JP (1) | JPS63210133A (ja) |
| DE (1) | DE3805796C2 (ja) |
| FR (1) | FR2611208B1 (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5055431A (en) * | 1985-04-26 | 1991-10-08 | Sri International | Polysilazanes and related compositions, processes and uses |
| US5176941A (en) * | 1987-11-07 | 1993-01-05 | Hoechst Aktiengesellschaft | Process of producing a ceramic/fiber composite using a molten polysilazone |
| DE3840770A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Polymere ethylenverbrueckte chlorsilazane, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare, siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung |
| DE3840773A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Sinterfaehiges keramikpulver, verfahren zu seiner herstellung, daraus hergestellte siliziumnitridkeramik, verfahren zu deren herstellung sowie deren verwendung |
| DE3840777A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Chlorhaltige, silazanpolymere, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare, siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung |
| DE3840776A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Oligomere silazane und verfahren zu ihrer herstellung |
| DE3840778A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Polysubstituierte oligosilazane und verfahren zu ihrer herstellung |
| DE3840775A1 (de) * | 1988-12-03 | 1990-06-07 | Hoechst Ag | Polymere chlorsilazane, verfahren zu ihrer herstellung, aus ihnen herstellbare, siliziumnitrid enthaltende keramische materialien, sowie deren herstellung |
| JPH0365550A (ja) * | 1989-07-31 | 1991-03-20 | Nkk Corp | ポリシラザンの成形方法 |
| US5547623A (en) * | 1989-08-21 | 1996-08-20 | Dow Corning Corporation | Method for continuous spinning and pyrolysis of ceramic filaments from a resin |
| JPH0662776B2 (ja) * | 1989-08-24 | 1994-08-17 | 信越化学工業株式会社 | ポリチタノカルボシラザン重合体及び該重合体を用いたセラミックスの製造方法 |
| JPH0615619B2 (ja) * | 1989-12-20 | 1994-03-02 | 信越化学工業株式会社 | ハフニウム含有シラザン重合体の製造方法及び該重合体を用いたセラミックスの製造方法 |
| JPH03190933A (ja) * | 1989-12-20 | 1991-08-20 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法及び該重合体を用いたセラミックスの製造方法 |
| FR2673201A1 (fr) * | 1991-02-26 | 1992-08-28 | Rhone Poulenc Chimie | Fibres inorganiques a base de silicium, de carbone, d'azote et d'oxygene. |
| US5242870A (en) * | 1991-10-09 | 1993-09-07 | University Of Florida | SIC fibers having low oxygen content and methods of preparation |
| JP3200292B2 (ja) * | 1994-08-05 | 2001-08-20 | 三菱鉛筆株式会社 | 焼成色鉛筆芯及びその製造方法 |
| US6806021B2 (en) * | 2001-04-02 | 2004-10-19 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Method for forming a pattern and method of manufacturing semiconductor device |
| US7842774B2 (en) * | 2007-07-24 | 2010-11-30 | United Technologies Corporation | Preceramic silazane polymer for ceramic materials |
| US20090256275A1 (en) * | 2008-04-09 | 2009-10-15 | International Business Machines Corporation | Thermomechanically-activated tip shape and registry restoration for probe array devices utilizing thermomechanically-activated polymers |
| WO2021224224A1 (en) * | 2020-05-07 | 2021-11-11 | Merck Patent Gmbh | Polycarbosilazane, and composition comprising the same, and method for producing silicon-containing film using the same |
| JP2022067344A (ja) * | 2020-10-20 | 2022-05-06 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ポリカルボシラザンおよびそれを含む組成物、ならびにそれを用いたケイ素含有膜の製造方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1328514A (en) * | 1970-01-09 | 1973-08-30 | Dow Corning Ltd | Trisilylated amine compound with silacyclobutane ring |
| DE2218960A1 (de) * | 1972-04-19 | 1973-11-08 | Bayer Ag | Formkoerper aus mogenen mischungen von siliciumcarbid und siliciumnitrid und verfahren zu ihrer erstellung |
| US4097294A (en) * | 1976-08-23 | 1978-06-27 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Preparation of ceramics |
| US4340619A (en) * | 1981-01-15 | 1982-07-20 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of poly(disilyl)silazane polymers and the polymers therefrom |
| US4404153A (en) * | 1981-01-15 | 1983-09-13 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of poly(disilyl)silazane polymers and the polymers therefrom |
| US4312970A (en) * | 1981-02-20 | 1982-01-26 | Dow Corning Corporation | Silazane polymers from {R'3 Si}2 NH and organochlorosilanes |
| US4395460A (en) * | 1981-09-21 | 1983-07-26 | Dow Corning Corporation | Preparation of polysilazane polymers and the polymers therefrom |
| US4540803A (en) * | 1983-11-28 | 1985-09-10 | Dow Corning Corporation | Hydrosilazane polymers from [R3 Si]2 NH and HSiCl3 |
| US4543344A (en) * | 1983-11-28 | 1985-09-24 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramic material prepared by pyrolysis of hydrosilazane polymers from (R3 Si)2 NH and HSiCl3 |
| US4482669A (en) * | 1984-01-19 | 1984-11-13 | Massachusetts Institute Of Technology | Preceramic organosilazane polymers |
| US4482689A (en) * | 1984-03-12 | 1984-11-13 | Dow Corning Corporation | Process for the preparation of polymetallo(disily)silazane polymers and the polymers therefrom |
| US4595775A (en) * | 1984-04-06 | 1986-06-17 | Petrarch Systems, Inc. | N-methylhydridosilazanes, polymers thereof, methods of making same and silicon nitrides produced therefrom |
| US4535007A (en) * | 1984-07-02 | 1985-08-13 | Dow Corning Corporation | Silicon nitride-containing ceramics |
| JPS61135437A (ja) * | 1984-12-05 | 1986-06-23 | Toyo Radiator Kk | 過給器用放熱器の製造方法 |
| JPS61261634A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-19 | Toyota Motor Corp | 過給機付き内燃機関の燃料カツト制御装置 |
| JPS62290730A (ja) * | 1986-06-10 | 1987-12-17 | Shin Etsu Chem Co Ltd | 有機シラザン重合体の製造方法 |
| DE3620635A1 (de) * | 1986-06-20 | 1987-12-23 | Wacker Chemie Gmbh | Verfahren zum verringern des halogengehalts von halogenhaltigen polycarbosilanen und polysilanen |
| US4869854A (en) * | 1986-10-31 | 1989-09-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom |
-
1987
- 1987-02-25 JP JP62043493A patent/JPS63210133A/ja active Granted
-
1988
- 1988-02-23 US US07/159,315 patent/US4847345A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-02-24 DE DE3805796A patent/DE3805796C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1988-02-25 FR FR888802317A patent/FR2611208B1/fr not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3805796A1 (de) | 1988-09-08 |
| DE3805796C2 (de) | 1995-10-05 |
| US4847345A (en) | 1989-07-11 |
| JPS63210133A (ja) | 1988-08-31 |
| FR2611208A1 (fr) | 1988-08-26 |
| FR2611208B1 (fr) | 1992-09-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0426611B2 (ja) | ||
| JPH0215577B2 (ja) | ||
| JPH0426612B2 (ja) | ||
| US5041515A (en) | Methods for preparing polytitanocarbosilazane polymers and ceramics therefrom | |
| US4824918A (en) | Method of producing silicon carbide preceramic vinyl-containing polymers | |
| EP0434428B1 (en) | A method for manufacturing a hafnium-containing silazane polymer and a method for manufacturing a ceramic from said polymer | |
| JPH0798865B2 (ja) | セラミックスの製造方法 | |
| US5200371A (en) | Method for preparing organic silazane polymers and method for preparing ceramics from the polymers | |
| JPH0532787A (ja) | セラミツクスの製造方法 | |
| JPH0577691B2 (ja) | ||
| JP2518119B2 (ja) | セラミックスの製造方法 | |
| JPH0362667B2 (ja) | ||
| JPH0234565A (ja) | 有機シラザン重合体の不融化方法 | |
| US5145813A (en) | Process for manufacturing organic silazane polymers and ceramics therefrom | |
| JPH0313188B2 (ja) | ||
| US5210058A (en) | Method for preparing organic silazane polymers and method for preparing ceramics from the polymers | |
| JPH07119283B2 (ja) | 有機シラザン重合体の不融化方法 | |
| JPH0219135B2 (ja) | ||
| JPH04153226A (ja) | ホウ素含有シラザン重合体の製造方法及びセラミックスの製造方法 | |
| JPH01118528A (ja) | メチルポリシラザンの製造法 |