JPH04261544A - 光重合性記録材料の造像的照射による印刷板またはフォトレジストの製法 - Google Patents

光重合性記録材料の造像的照射による印刷板またはフォトレジストの製法

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JPH04261544A
JPH04261544A JP3122425A JP12242591A JPH04261544A JP H04261544 A JPH04261544 A JP H04261544A JP 3122425 A JP3122425 A JP 3122425A JP 12242591 A JP12242591 A JP 12242591A JP H04261544 A JPH04261544 A JP H04261544A
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ルドルフ、ツェルタニ
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ディーター、モール
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    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/20Exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/2022Multi-step exposure, e.g. hybrid; backside exposure; blanket exposure, e.g. for image reversal; edge exposure, e.g. for edge bead removal; corrective exposure
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    • G03F7/26Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
    • G03F7/28Processing photosensitive materials; Apparatus therefor for obtaining powder images

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】本発明は、重合体結合剤、遊離基によって
重合できる化合物、特にアクリル酸エステルまたはアル
クアクリル酸エステル(alkacryliceste
r)、および光開始剤または光開始剤組み合わせを含有
する光重合性記録材料の造像的照射による印刷版または
フォトレジストの製法に関する。
【0002】DE−B第1,214,085号明細書(
米国特許第3,144,331号明細書)から、印刷版
支持体および感光性層を具備する光重合性記録材料の感
度(その感度は分子状酸素の吸収のため減少されている
)を元に戻すために、感光性層を、光重合を開始するの
に必要な化学線の線量の70〜98%に露光することが
既知である。例えば、露光は、透明印刷版支持体を通し
て生じ、使用する化学線の波長は放射線の10〜70%
のみが光重合性層によって吸収されるようなものである
。このプロセスにおいては、1つの拡散および1つの造
像的露光は、一般原則として行う。次いで、拡散または
予備露光を行った後に、造像的露光は放射線の全量まで
行う。
【0003】染料を含有する光重合性層を先ず400n
mよりも長い波長および少なくとも1500ルーメン/
 m2 の強度を有する光に約60分間拡散露光し、次
いで、造像的に露光する方法は、米国特許第4,716
,097号明細書に開示されている。
【0004】DE−A第2,412,571号明細書は
、先ず拡散露光を短時間行い、次いで、露光部中の層が
事実上完全に硬化するまで、造像的露光を行う印刷版の
光硬化性層の硬化法を記載している。拡散露光は、予備
露光だけではなく、造像的露光のための放射線と同じ強
度で重合体層を硬化するのに必要な時間の90%以下続
く。
【0005】EP−A第53,708号明細書は、記録
材料の光重合性層を造像的露光に付し、露光前または露
光後に高温に短時間加熱し、次いで、現像するレリーフ
コピーの製法を記載している。
【0006】EP−A第284,938号明細書は、分
子中にウレタン基、第三級アミノ基および場合によって
尿素基を有する(メタ)アクリル酸エステル、重合体結
合剤および光開始剤として光還元性染料(所望ならば、
感放射線トリハロメチル化合物との組み合わせ)を含有
する光重合性混合物を記載している。EP−A第321
,827号明細書は、ウレタン基を含有しない以外は(
メタ)アクリル酸エステルを含有する同様の混合物を記
載している。
【0007】EP−A第364,735号明細書は、(
a)重合体結合剤、(b)遊離基によって重合でき且つ
少なくとも1個の重合性基を含有する化合物、(c)光
還元性染料、(d)放射線によって開裂できるトリハロ
メチル化合物、および(e)メタロセン化合物、特にチ
タノセンまたはジルコノセンを含有する光重合性混合物
を記載している。
【0008】使用されたメタロセンは、配位子として2
個の置換または非置換シクロペンタジエニル基および2
個の置換フェニル基を担持するものである。従来の刊行
物ではない先願の独国特許出願P第4,007,428
.5号明細書は、メタロセンとしてジシクロペンタジエ
ニルビス−2,4,6−トリフルオロフェニルチタンま
たはジシクロペンタジエニルビス−2,4,6−トリフ
ルオロフェニルジルコニウムを含有する上記組成物の更
に他の光重合性混合物を記載している。これらの混合物
は、極めて高い光感度を有する。
【0009】従来の刊行物ではない先願の独国特許出願
P第4,011,023.0号明細書は、印刷版の全面
積露光用露光ステーションおよび加熱ステーションを具
備する造像的露光印刷版用後処理装置を記載している。 全面積露光は、500〜700nmのスペクトル範囲内
の光を使用して行っている。加工する光重合性印刷版の
組成についての詳細な情報は、与えられていない。
【0010】本発明の目的は、既に非常に高い光感度を
有する光重合性記録材料の造像的露光による印刷版、特
に平版印刷版またはフォトレジストの製法を提案するこ
とにあり且つ画像の露光時のエネルギー要件が実質上減
少でき、かくて実際に対応して高い光感度を達成する好
適な加工工程を提案することにある。
【0011】本発明によれば、光重合性記録材料の造像
的照射による印刷版またはフォトレジストの製法(その
光重合性層は重合体結合剤、遊離基によって重合でき且
つ少なくとも1個の末端エチレン性二重結合を含有する
エチレン性不飽和化合物および照射時に遊離基を形成す
る重合開始剤または開始剤組み合わせを含有し、そして
材料を造像的照射後に短時間加熱し、次いで、現像する
)が提案される。
【0012】本発明に係る方法は、遊離基形成重合開始
剤としてメタロセン化合物を使用し、材料を造像的露光
前、造像的露光と同時または造像的露光後に原稿なしで
少なくとも400nmの波長を有する可視光線に短時間
露光することからなる。
【0013】原稿なしでの加熱および露光は、先願P第
4,011,023.0号明細書に記載の装置などの装
置で有利に行うことができる。露光工程の順序は、所望
通りであり、好ましくは材料は先ず造像的露光または照
射に付し、次いで、原稿なしに露光し、最後に加熱する
【0014】造像的照射は、好ましくは、標準複写光ま
たはレーザー線を使用して投影によって行うことができ
る。使用できる投影光源の例は、水銀蒸気ランプ、キセ
ノンランプ、金属ハライドランプ、フラッシュライトラ
ンプ、カーボンアークランプなどであり、強度および/
または露光期間は低く保つことが可能である。好適なレ
ーザー光源は、特に可視スペクトル範囲内で、例えば、
488および514nmで放出するレーザーである。こ
の目的で、例えば、比較的低い出力、例えば、10〜2
5mWを有するアルゴンイオンレーザーは、有利に使用
できる。造像的照射の線量は、好ましくは、更なる処理
なしに層の完全な硬化に必要な線量の5〜50%の範囲
内である。エネルギーの必要量の残部は、拡散露光(即
ち、原稿なし)とその後の加熱との組み合わせによって
本発明に従って供給する。
【0015】原稿なしでの露光の場合には、500nm
よりも長い波長を有する非常に高い割合の光を放出する
比較的低い出力の光源、例えば、蛍光灯が、使用される
。 放出範囲は、一般に、400〜700nm、好ましくは
450〜650nmである。層表面は、一般に、約10
〜80ルクスの強度に露光する。線量は、完全な硬化が
それによって硬化すべき画線部上への画像露光および熱
処理との組み合わせで達成されるように選ばなければな
らない。非画線部は、もはや現像液に完全には可溶性で
はないような程度まで加熱との組み合わせでの拡散露光
によって硬化するようにならないことを保証しなければ
ならない。所望の画像弁別は、必要線量の5〜50%の
上記範囲内の画像露光または照射で達成できる。
【0016】加熱は、それ自体既知の方法での現像前に
最終処理工程として行う。この目的で、完全に露光され
た材料は、温度60〜140℃、好ましくは80〜12
0℃、特に90〜110℃に約10秒〜2分間加熱する
。大抵の場合には、必要とされる処理時間は、30〜8
0秒の範囲内である。この処理時に、温度は、金属支持
体、特にアルミニウム上の印刷版を加熱する時には、有
利には印刷版のバック上で、例えば、市販の温度試験ス
トリップを使用して測定しなければならない。加熱は、
空気循環により、接触加熱により、または赤外線により
生ずることができる。
【0017】驚異的なことに、本発明に係る方法は、非
常に特定の光重合性材料においてのみ感度の所望の増大
を生ずることが見出された。かくて、光開始剤として9
−フェニルアクリジンを含有し且つ単量体としてトリメ
チロールエタントリアクリレートを含有する既知の光重
合性材料を使用するならば、適切な再露光および再加熱
は、事実上感度の増大を達成しないことが示された。し
かしながら、メタロセン、特にチタノセンまたはジルコ
ノセンを光開始剤として使用するならば、幾つかの程度
だけの光感度の増大は、同じ処理によって達成される。
【0018】開始剤として使用するメタロセンは、それ
自体既知であり且つ例えば、米国特許第3,717,5
58号明細書、第4,590,287号明細書およびか
第4,707,432号明細書から光開始剤としても既
知である。好ましくは、元素の周期表の亜族IVからの
元素のメタロセン、特にチタンおよびジルコニウムの化
合物が、使用される。この種の化合物は、EP−A第3
64,735号明細書に記載されている。大多数の既知
のメタロセン、特にチタノセンのうち、一般式
【化1】 の化合物が、好ましい。この式中、Meは四価金属原子
、特にTiまたはZrであり、R1 およびR2 は同
一または異種のシクロペンタジエニル基(置換してもよ
い)であり、R3 およびR4 は同一または異種のフ
ェニル基(置換してもよい)である。
【0019】シクロペンタジエニル基は、特に炭素数1
〜4のアルキル基、塩素原子、フェニルまたはシクロヘ
キシル基で置換でき、またはアルキレン基によって互い
に結合できる。シクロペンタジエニル基は、好ましくは
非置換であるか、アルキル基または塩素原子で置換され
ている。
【0020】R3 およびR4 は、好ましくは結合に
対してo位に少なくとも1個のフッ素原子を含有し且つ
残りがF、Cl、Brなどのハロゲン原子、炭素数1〜
4のアルキルまたはアルコキシ基、ポリオキシアルキレ
ン基(エーテル化またはエステル化してもよい)、また
は複素環式基、例えば、ピロリル基で置換できるフェニ
ル基である。ポリオキシアルキレン基は、一般に、1〜
6個のオキシアルキレン単位を有し、好ましくはフェニ
ル基の4位にあり且つ炭素数1〜18のアルキルまたは
アシル基でエーテル化またはエステル化できる。それは
、特にポリオキシエチレン基である。
【0021】メタロセン化合物の相対量は、一般に、光
重合性層に対して0.01〜10、好ましくは0.05
〜8重量%である。
【0022】光重合性層は、更に他の光開始剤成分とし
て光還元性染料を含有できる。好適な染料は、特にキサ
ンテン、ベンゾキサンテン、ベンゾチオキサンテン、チ
アジン、ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジン染料
である。
【0023】好適なキサンテンおよびチアジン染料は、
例えば、EP−A第287,817号明細書に記載され
ている。好適なベンゾキサンテンおよびベンゾチオキサ
ンテン染料は、DE−A第2,025,291号明細書
およびEP−A第321,828号明細書に記載されて
いる。
【0024】好適なポルフィリン染料の一例は、ヘマト
ポルフィリンであり且つ好適なアクリジン染料の一例は
、塩酸アクリフラビニウムクロリドである。
【0025】キサンテン染料の例は、エオシンB(C.
I.No. 45400)、エオシンJ(C.I. N
o.45380)、エオシンアルコール可溶物(C.I
.45386)、シアノシン(C.I.No. 454
10)、ローズベンガル、エリトロシン(C.I.No
. 45430)、2,3,7−トリヒドロキシ−9−
フェニルキサンテン−6−オンおよびローダミン6G(
C.I.No. 45160)である。
【0026】チアジン染料の例は、チオニン(C.I.
No. 52000)、アズレA(C.I.No. 5
2005)およびアズレC(C.I.No. 5200
2)である。
【0027】ピロニン染料の例は、ピロニンB(C.I
.45010)およびピロニンGY(C.I.No. 
45005)である。光還元性染料の量は、一般に、フ
ィルムの0.01〜10重量%、好ましくは0.05〜
4重量%である。
【0028】光感度を増大するために、光重合性層は、
光分解によって開裂できるトリハロメチル基を有する化
合物を追加的に含有できる。これらの化合物は、光重合
性混合物用遊離基形成光開始剤としてそれ自体既知であ
る。特に、ハロゲンとして塩素および臭素、特に塩素を
含有する化合物は、この種の補助開始剤として好適であ
ることが証明された。トリハロメチル基は、芳香族炭素
環または複素環式環に直接またはスルー共役(thro
ugh−conjugated)鎖を介して結合できる
。親構造中にトリアジン環を有する化合物(親構造は好
ましくは2個のトリハロメチル基を担持する)、特にE
P−A第137,452号明細書、DE−A第2,71
8,259号明細書およびDE−A第2,243,62
1号明細書に記載のものが、好ましい。より短いUV波
長領域内で吸収する異なる親構造を有する化合物、例え
ば、フェニルトリハロメチルスルホンまたはフェニルト
リハロメチルケトン、例えば、フェニルトリブロモメチ
ルスルホンも、好適である。ハロゲン化合物は、一般に
、フィルムの0.01〜10重量%、好ましくは0.0
5〜4重量%の量で使用される。
【0029】光重合性層は、所望ならば、更に他の開始
剤成分としてアクリジン、フェナジンまたはキノキサリ
ン化合物を含有できる。これらの化合物は、光開始剤と
して既知であり且つDE−C第2,027,467号明
細書および第2,039,861号明細書に記載されて
いる。重合開始剤の合計量は、一般に0.05〜20重
量%、好ましくは0.1〜10重量%である。
【0030】本発明の目的で好適である重合性化合物は
、既知であり且つ例えば、米国特許第2,760,86
3号明細書および第3,060,023号明細書に記載
されている。
【0031】好ましい例は、二価または多価アルコール
のアクリル酸エステルおよびメタクリル酸エステル、例
えば、エチレングリコールジアクリレート、ポリエチレ
ングリコールジメタクリレート、トリメチロールエタン
、トリメチロールプロパン、ペンタエリトリトールおよ
びジペンタエリトリトールのアクリレートおよびメタク
リレートおよび多価脂環式アルコールまたはN置換アク
リルアミドおよびメタクリルアミドのアクリレートおよ
びメタクリレートである。モノ−またはジイソシアネー
トと多価アルコールの部分エステルとの反応生成物も、
有利に使用される。この種の単量体は、DE−A第2,
064,079号明細書、第2,361,041号明細
書および第2,822,190号明細書に記載されてい
る。
【0032】分子中に少なくとも1個の光酸化性基およ
び所望ならば少なくとも1個のウレタン基を含有する重
合性化合物が、特に好ましい。好適な光酸化性基は、特
にアミノ基、尿素基、チオ基(複素環式環の成分である
こともできる)、エノール基およびカルボキシル基(オ
レフィン二重結合との組み合わせ)である。この種の基
の例は、トリエタノールアミノ、トリフェニルアミノ、
チオ尿素、イミダゾール、オキサゾール、チアゾール、
アセチルアセトニル、N−フェニルグリシンおよびアス
コルビン酸基である。第一級、第二級および特に第三級
アミノ基を有する重合性化合物が、好ましい。
【0033】光酸化性基を含有する化合物の例は、式I
【化2】 〔式中、Qは
【化3】
【化4】
【化5】 または−S−であり、Rはアルキル、ヒドロキシアルキ
ルまたはアリール基であり、R5 およびR6 は各々
水素原子、アルキル基またはアルコキシアルキル基であ
り、R7 は水素原子、メチルまたはエチル基であり、
X1 は炭素数2〜12の飽和炭化水素基であり、X2
 は(c+1)価飽和炭化水素基であり、そして5個ま
でのメチレン基は酸素原子で置換でき、D1 およびD
2 は各々炭素数1〜5の飽和炭化水素基であり、Eは
炭素数2〜12の飽和炭化水素基、5〜7環員の脂環式
基(これは所望ならば環員として2個までのN、Oまた
はS原子を含有できる)、炭素数6〜12のアリーレン
基または5または6環員の複素環式芳香族基であり、a
は0または1〜4の数であり、bは0または1であり、
cは1〜3の整数であり、mはQの原子価に応じて2、
3または4であり、nは1〜mの整数であり、同じ定義
のすべての記号は互いに同一または異種であることが可
能である〕のアクリル酸エステルおよびアルクアクリル
酸エステルである。この式の化合物、その製法および用
途は、EP−A第287,818号明細書に詳述されて
いる。一般式Iの化合物において1個よりも多い基Rま
たは角括弧に記載の種類の1個よりも多い基が中心の基
Qに結合されているならば、これらの基は、互いに異な
ることができる。
【0034】Qのすべての置換基が重合性基であり、即
ち、mがnである化合物は、一般に好ましい。一般に、
aは、1個以下の基において0であり、好ましくはすべ
ての基において0ではない。好ましくは、aは1である
【0035】Rがアルキルまたはヒドロキシアルキル基
であるならば、この基は、一般に2〜8個の炭素原子、
好ましくは2〜4個の炭素原子を有する。アリール基R
は、一般に1個または2個の環上、好ましくは1個の環
上で置換でき且つ炭素数5までのアルキルまたはアルコ
キシ基またはハロゲン原子で置換してもよい。
【0036】R5 およびR6 がアルキルまたはアル
コキシアルキル基であるならば、1〜5個の炭素原子を
含有することができる。R7 は、好ましくは水素原子
またはメチル基、特にメチル基である。
【0037】X1 は、好ましくは直鎖または分枝脂肪
族または脂環式基(好ましくは炭素数4〜10)である
。 X2 は、好ましくは2〜15個の炭素原子を有し、そ
れらの5個までは酸素原子で置換できる。純粋な炭素鎖
が包含されるならば、炭素数2〜12、好ましくは2〜
6のものが、一般に使用される。また、X2 は、炭素
数5〜10の脂環式基、特にシクロヘキシレン基である
ことができる。D1 およびD2 は、同一または異種
であることができ且つ2個の窒素原子と一緒に5〜10
個の環員、好ましくは6個の環員を有する飽和複素環式
環を形成する。
【0038】Eがアルキレン基であるならば、Eは、好
ましくは2〜6個の炭素原子を有し且つアリーレン基と
して好ましくはフェニレン基である。好ましい脂環式基
はシクロヘキシレン基であり、好ましい芳香族複素環式
物はヘテロ原子としてのNまたはSおよび5または6個
の環員を有するものである。cの値は、好ましくは1で
ある。
【0039】光酸化性基を含有する更に他の好適な化合
物は、式II
【化6】 〔式中、Q、R、R5 、R6 、R7 、mおよびn
は上記意味を有し、Qは追加的に基
【化7】 (式中、E′は式III
【化8】 (式中、cは式Iと同様の意味を有する)の基である)
であることができ;a′およびb′は1〜4の整数であ
る〕の化合物である。
【0040】この式の化合物、その製法および用途は、
EP−A第316,706号明細書に詳述されている。
【0041】光酸化性基を有する更に他の好適な化合物
は、式IV
【化9】 〔式中、Q′は−N−、
【化10】 または
【化11】 であり、X1 ′はCi H2iまたは
【化12】 であり、D3 は炭素数4〜8の飽和炭化水素基(これ
は窒素原子と一緒に5または6員環を形成)であり、Z
は水素原子または式
【化13】 の基であり、iおよびkは1〜12の整数であり、n′
はQ′の原子価に応じて1、2または3であり、R7 
、X1 、X2 、D1 、D2 、aおよびbは式I
で与えられた意味を有し、同じ定義のすべての記号は互
いに同一または異種であることが可能であり且つ基Q上
の少なくとも1個の置換基中のaは0である〕のアクリ
ル酸エステルおよびアルクアクリル酸エステルである。
【0042】式IVの化合物のうち、尿素基に加えて少
なくとも1個のウレタン基を含有するものが、好ましい
【0043】式IV中の記号aは、好ましくは0または
1である。iは、好ましくは2〜10の数である。
【0044】式IVの重合性化合物は、式Iの化合物と
類似に生成する。式IVの化合物およびその製法は、E
P−A第355,387号明細書に詳述されている。
【0045】光重合性フィルム中の重合性化合物の%は
、一般に不揮発性成分に対して約10〜80重量%、好
ましくは20〜60重量%である。
【0046】使用できる結合剤の例は、塩素化ポリエチ
レン、塩素化ポリプロピレン、ポリアルキル(メタ)ア
クリレート(アルキル基は、例えば、メチル、エチル、
n−ブチル、i−ブチル、n−ヘキシルまたは2−エチ
ルヘキシルである)、アルキル(メタ)アクリレートと
アクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデン、スチ
レン、ブタジエンなどの少なくとも1種の単量体との共
重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル/アクリロニトリ
ル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン/ア
クリロニトリル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリビニル
アルコール、ポリアクリロニトリル、アクリロニトリル
/スチレン共重合体、アクリロニトリル/ブタジエン/
スチレン共重合体、ポリスチレン、ポリメチルスチレン
、ポリアミド(例えば、ナイロン−6)、ポリウレタン
、メチルセルロース、エチルセルロース、アセチルセル
ロース、ポリビニルホルマールおよびポリビニルブチラ
ールである。
【0047】水不溶性であり、有機溶媒に可溶性であり
且つ水性アルカリ性溶液に可溶性または少なくとも膨潤
性である結合剤が、特に好適である。
【0048】カルボキシル含有結合剤、例えば、(メタ
)アクリル酸および/またはそれらの不飽和同族体、例
えば、クロトン酸からなる共重合体、無水マレイン酸ま
たはそのモノエステルの共重合体、ヒドロキシル含有重
合体とジカルボン酸無水物との反応生成物およびそれら
の混合物が、特に挙げられるべきである。
【0049】基を担持する重合体と酸性水素との反応生
成物(これは活性化イソシアネートと完全または部分的
に反応されている)、例えば、ヒドロキシル含有重合体
と脂肪族または芳香族スルホニルイソシアネートまたは
ホスフィニルイソシアネートとの反応生成物も、好適で
ある。
【0050】下記のものも好適である:ヒドロキシル含
有重合体、例えば、ヒドロキシルアルキル(メタ)アク
リレート共重合体、アリルアルコール共重合体、ビニル
アルコール共重合体、ポリウレタンまたはポリエステル
およびエポキシ樹脂(十分な数の遊離OH基を担持する
か水性アルカリ性溶液に可溶性であるような方式で変性
される限り)、または芳香族的に結合されたヒドロキシ
ル基を担持するこの種の重合体、例えば、縮合性カルボ
ニル化合物、特にホルムアルデヒド、アセトアルデヒド
またはアセトンとフェノール類との縮合物またはヒドロ
キシスチレン共重合体。最後に、(メタ)アクリルアミ
ドとアルキル(メタ)アクリレートとの共重合体も、使
用できる。
【0051】上記重合体は、分子量500〜200,0
00またはそれ以上、好ましくは1,000〜100,
000および酸価10〜250、好ましくは20〜20
0またはヒドロキシル価50〜750、好ましくは10
0〜500を有するならば、特に好適である。感光性層
中の結合剤の量は、一般に20〜90重量%、好ましく
は40〜80重量%である。
【0052】所期用途および所望の性質に応じて、広範
囲の物質が光重合性フィルムに添加剤として存在できる
。例は、単量体の熱重合を防止するための抑制剤、水素
供与体、染料、着色顔料および未着色顔料、発色剤、指
示薬、可塑剤および連鎖移動剤である。これらの成分は
、有利には開始プロセスに重要な化学線領域内での最低
の可能な吸収を有するような方式で選ばれる。
【0053】この説明の文脈で、化学線は、エネルギー
が少なくとも可視光線のものに対応するいかなる放射線
も意味すると理解される。特に、可視光線および長波紫
外線、また短波紫外線、レーザー放射線、電子およびX
線は、好適である。光感度は、約300nm〜700n
mである。
【0054】本発明に係る方法に可能な応用は、凸版印
刷、オフセット印刷、凹版印刷、スクリーン印刷、レリ
ーフコピー用印刷版の光機械的製版、例えば、点字にお
けるテキスト、個々のコピー、染料画像、顔料画像など
の製造である。更に、プロセスは、エッチレジストの光
機械的製造、例えば、名札、複写回路の製作および化学
ミリングのために使用できる。平版印刷版の製版および
フォトレジスト技術は、特定の重要性を有する。
【0055】好適な支持体の例は、アルミニウム、鋼、
亜鉛、銅およびプラスチックシート、例えば、ポリエチ
レンテレフタレートまたは酢酸セルロース製のもの、お
よびスクリーン印刷支持体、例えば、パーロン(Per
lon)ガーゼである。多くの場合に、支持体の表面の
平版特性を改善するか複写層の化学線領域内の支持体の
反射を減少するために(ハレーション防止)層の接着を
適当に調整する目的で、支持体の表面を前処理(化学的
にまたは機械的に)に付すことが有利である。
【0056】一般に、光重合性材料を光重合時に実質上
空気酸素の効果に対して保護することが有利である。混
合物を薄い複写層の形態で適用する場合には、低い酸素
透過性を有する好適なトップフィルムを適用することが
推奨される。このフィルムは、自立性であり且つ複写層
を現像する前に除去してもよい。この目的で、例えば、
ポリエステルフィルムが、好適である。トップフィルム
は、現像液に可溶性である材料からも作ることができ、
または現像時に少なくとも未硬化部分において除去でき
る。
【0057】これに好適である材料の例は、ポリビニル
アルコール、ポリホスフェート、糖類などである。この
種のトップコートは、一般に、厚さ0.1〜10μm、
好ましくは1〜5μmを有する。
【0058】現像のためには、材料は、好適な現像液、
例えば、有機溶媒で処理するが、好ましくは弱アルカリ
性水溶液で処理し、そして層の未露光部は除去し、露光
部は支持体上に残る。現像液は、小さい部分(好ましく
は5重量%未満)の水混和性有機溶媒を含有できる。現
像液は、湿潤剤、染料、塩類および他の添加剤を更に含
有できる。
【0059】現像は、光重合性層の未露光部と一緒に全
トップコートを除去する。
【0060】本発明の実施例を以下に与える。そこで、
gがcm3 に関連するように、重量部(pbw)は、
容量部(pbv)に関連する。%および量は、特に断ら
ない限り、重量単位である。例1〜7(比較例)  酸
化物層3g/ m2 を有し且つポリビニルホスホン酸
の水溶液で前処理された電気化学的粗面化/陽極処理ア
ルミニウムを印刷版用支持体として使用した。支持体を
下記組成の溶液で被覆した。すべてのこれらの操作を赤
色光線下で行った。  プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル22pbw中のメチルエチルケトン中の、ス
チレンとメタクリル酸n−ヘキシルとメタクリル酸とか
らなり(10:60:30)且つ酸価190を有する三
元共重合体の22.3%濃度の溶液2.84pbw、表
1の単量体1.49pbw、エオシンアルコール可溶物
(C.I.45386)0.04pbw、2,4−ビス
−トリクロロメチル−6−(4−スチリルフェニル)−
s−トリアジン0.03pbwおよびジシクロペンタジ
エニルビス(ペンタフルオロフェニル)チタン0.01
pbw。
【0061】混合物は、乾燥重量2.4〜2.8g/ 
m2 が得られるような方式でスピン被覆することによ
って塗布した。次いで、プレートを100℃において空
気循環乾燥オーブン中で2分間乾燥した。次いで、プレ
ートをポリビニルアルコールの15%濃度の水溶液(残
留アセチル基12%、K値4)で被覆した。乾燥後、重
量2.5〜4g/ m2 を有するトップコートが、得
られた。得られた印刷版を距離110cmにおいて13
ステップ露光ウェッジ下で濃度増分0.15で2kWの
金属ハライドランプに露光した。可視光線における印刷
版の感度を試験するために、透過エッジ455nmを有
するショット製の3mm厚のエッジフィルターと、灰色
フィルターとして均一な暗色化(濃度1.4)および有
効なスペクトル範囲にわたって均一な吸収を有する銀フ
ィルムとを露光ウェッジ上に装着した。プレートを10
秒間露光し、次いで、100℃で1分間加熱した。次い
で、下記組成の現像液を使用して、それらを現像した。
【0062】完全に脱イオンされた水4000pbw中
のメタケイ酸ナトリウム×9H2 O  120pbw
、塩化ストロンチウム2.13pbw、非イオン湿潤剤
(ココナッツ脂肪アルコール/約8個のオキシエチレン
単位を有するポリオキシエチレンエーテル)1.2pb
wおよび消泡剤0.12pbw。
【0063】プレートを脂肪印刷インキで被覆した。表
2に与える完全に架橋されたウェッジステップが、得ら
れた。
【0064】表1例 No.  単量体1    トリ
エタノールアミン1モルとメタクリル酸イソシアナトエ
チル3モルとの反応生成物2    N,N′−ビス(
β−ヒドロキシエチル)ピペリジン1モルとメタクリル
酸イソシアナトエチル2モルとの反応生成物3    
トリエタノールアミン1モルとメタクリル酸グリシジル
3モルとの反応生成物4    2,2,4−トリメチ
ルヘキサメチレンジイソシアネート1モルとメタクリル
酸2−ヒドロキシエチル2モルとの反応生成物5   
 ヘキサメチレンジイソシアネート1モルとメタクリル
酸2−ヒドロキシエチル1モルとトリエタノールアミン
0.33モルとの反応生成物6    トリメチロール
エタントリアクリレート7    ヘキサメチレンジイ
ソシアネート1モルとメタクリル酸2−ヒドロキシエチ
ル0.5モルと2−ピペリジノエタノール0.25モル
との反応生成物例8〜14  例1〜7に記載の印刷版
をそこに記載のように製版し、造像的露光に付した。次
いで、それらを約400〜700nmの光を放出する蛍
光灯からの拡散光(500nm未満のスペクトル部分を
フィルターによって吸収)で全面積にわたって15ルク
スの光強度で20秒間再露光した後、例1〜7と同様に
加熱し、現像した。得られたウェッジステップの数を表
2に示す。
【0065】表2            例 N0.
      灰色フィルター      ウェッジステ
ップ1            あり        
        6〜72            あ
り                  73    
        あり               
 5〜9  4    あり            
    4〜5            5     
       あり              5〜
76            あり         
         −★6            な
し  1〜2  7            あり  
              8〜9        
    8      あり            
    9〜119            あり  
                1010あり   
             8〜1211      
      あり                7
〜8          12           
 あり                8〜1013
            あり           
     2〜313            なし 
               3〜514あり   
           11〜12★画像なし例15 
 被覆重量2.5g/ m2 が得られるような方式で
、下記組成の溶液を例1〜7に述べた支持体上にそこと
同じ条件下でスピン被覆した。
【0066】プロピレングリコールモノメチルエーテル
22pbw中の例1に述べた三元共重合体溶液2.84
pbw、表7の単量体1.49pbw、エオシンアルコ
ール可溶物(C.I.45386)0.04pbw、2
,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(4−スチリル
フェニル)−s−トリアジン0.03pbwおよびジシ
クロペンタジエニルビス(2,4,6−トリフルオロフ
ェニル)チタン0.01pbw。
【0067】ポリビニルアルコールからなるトップコー
トを適用した後、プレートを例1〜7と同じ方式で5秒
間露光し、次いで、現像した。可視光線における印刷版
の感度を試験するために、透過エッジ455nmを有す
るショット製の3mm厚のエッジフィルターと、灰色フ
ィルターとして均一な暗色化(濃度1.1)を有する銀
フィルムとを露光ウェッジ上に装着した。8〜9の完全
架橋ウェッジステップが、得られた。更に他の実験にお
いて、印刷版を例8〜14に述べるように拡散再露光に
露光した。11〜12の完全架橋ウェッジステップが、
得られた。
【0068】両方の場合とも、印刷版は、スカムを含ま
ずに現像され且つ150,000よりも多い優秀な印刷
物を与えた。例16  例7と同様に製版した光重合性
印刷版にアルゴンイオンレーザー(λ=488nm)に
よって市販のフィルム露光装置で182μJ/cm2 
で照射し、例7と同様に再露光なしに加工した。150
,000よりも多い優秀な印刷物が、得られた。同じ印
刷版を例14に記載のようにレーザー照射後に375ル
クス秒で再露光した。これらの条件下では、印刷版を完
全に硬化するのに32μJ/cm2の照射エネルギーし
か必要とされなかったことが見出された。再度、150
,000よりも多い印刷物が、得られた。
【0069】更に他の実験においては、500ルクス秒
を使用した再露光を行ったところ、レーザー画像形成に
18μJ/cm2 しか必要としなかった。例17  
乾燥後に被覆重量15g/ m2 が得られるような方
式で、例7からのコーティング溶液を二軸延伸された3
5μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム上にス
ピン被覆した。次いで、フィルムを100℃において空
気循環乾燥オーブン中で3分間乾燥した。次いで、フィ
ルムを115℃および1.5m/分で35μmの銅層が
被覆された絶縁プレートからなる清浄化支持体上に積層
した。
【0070】原稿としてステップウェッジを使用して、
フィルムを例1に記載のようにエッジフィルター455
nm下で2kWの金属ハライドランプ(距離140cm
)に30秒間露光し、再露光した後、例1〜7に記載の
ように加熱し、フィルム除去後、吹付けプロセッサー中
で0.8%濃度の炭酸ナトリウム溶液で20秒間現像し
た。8個の完全架橋ウェッジステップが、得られた。架
橋フィルムは、プリント回路テクノロジーで普通である
塩化鉄(III)溶液に抵抗性であった。耐エッチング
性は、良好であった。例18(比較例)  下記被覆溶
液を例1〜7に記載の支持体に塗布し、乾燥した。
【0071】2−メトキシエタノール13pbw中の酸
価115を有するメタクリル酸/メタクリル酸メチル混
合重合体1.4pbw、トリメチロールエタントリアク
リレート1.4pbw、ジヒドロキシエトキシヘキサン
0.2pbwおよび9−フェニルアクリジン0.05p
bw。
【0072】プレートをステップウェッジ下で5,00
0Wの金属ハライドランプに35秒間露光した後、例1
と同様に加熱した。6〜7の完全架橋ウェッジステップ
が、得られた。更に他の実験において、同じプレートを
15秒だけ露光し、画像露光の後に300ルクス秒で拡
散露光に付し、次いで、加熱した。画像は、得られなか
った。35秒の未変化画像露光後の300ルクス秒での
拡散露光は、同様に6〜7の完全架橋ウェッジステップ
を与えた。

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光重合性記録材料の造像的照射による印刷
    版またはフォトレジストの製法において、前記光重合性
    記録材料の光重合性層は重合体結合剤、遊離基によって
    重合でき且つ少なくとも1個の末端エチレン性二重結合
    を含有するエチレン性不飽和化合物および照射時に遊離
    基を形成する重合開始剤または開始剤の組み合わせを含
    有し、そして材料を造像的照射後に短時間加熱し、次い
    で、現像する方法であって、前記遊離基形成重合開始剤
    としてメタロセン化合物を使用し、前記材料を造像的露
    光前、造像的露光と同時または造像的露光後に原稿なし
    で少なくとも400nmの波長を有する可視光線に短時
    間露光することを特徴とする、光重合性記録材料の造像
    的照射による印刷版またはフォトレジストの製法。
  2. 【請求項2】材料を原稿の不在下で露光なしで且つ追加
    の加熱なしで層の完全な硬化に必要なエネルギーの5〜
    50%に対応する照射エネルギーで造像的露光に付す、
    請求項1に記載の方法。
  3. 【請求項3】レーザー光線を使用して造像的照射を行う
    、請求項1に記載の方法。
  4. 【請求項4】化学線を使用して、造像的照射を投影露光
    によって行う、請求項1に記載の方法。
  5. 【請求項5】造像的に露光された材料を温度60〜14
    0℃に追加的に加熱する、請求項1に記載の方法。
  6. 【請求項6】材料を10〜120秒間追加的に加熱する
    、請求項1または5に記載の方法。
  7. 【請求項7】追加的加熱および再露光は、画線部を完全
    に硬化し且つ非画線部が現像液に完全に可溶性のままで
    あるような強度を有する、請求項1または2に記載の方
    法。
  8. 【請求項8】光重合性記録材料を先ず造像的照射に付し
    、次いで、原稿なしに露光し、次いで、加熱する、請求
    項1に記載の方法。
  9. 【請求項9】光還元性染料を補助開始剤として光重合性
    層に加える、請求項1に記載の方法。
  10. 【請求項10】遊離基によって重合できる化合物が、少
    なくとも1個の光酸化性基を含有する、請求項1または
    9に記載の方法。
  11. 【請求項11】放射線によって開裂できるトリハロメチ
    ル化合物を光重合性層に追加的に配合する、請求項9に
    記載の方法。
  12. 【請求項12】メタロセンが、チタノセンまたはジルコ
    ノセンである、請求項11に記載の方法。
  13. 【請求項13】光還元性染料が、キサンテン、トリアジ
    ン、ピロニン、ポルフィリンまたはアクリジン染料であ
    る、請求項9に記載の方法。
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