JPH04260004A - 合成樹脂製反射鏡 - Google Patents
合成樹脂製反射鏡Info
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- JPH04260004A JPH04260004A JP3042545A JP4254591A JPH04260004A JP H04260004 A JPH04260004 A JP H04260004A JP 3042545 A JP3042545 A JP 3042545A JP 4254591 A JP4254591 A JP 4254591A JP H04260004 A JPH04260004 A JP H04260004A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、合成樹脂製反射鏡に係
り、特に高精度を要求される光学部品において、形状安
定性の良い合成樹脂製反射鏡に関する。
り、特に高精度を要求される光学部品において、形状安
定性の良い合成樹脂製反射鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】合成樹脂製反射鏡は、従来より用いられ
てきたガラス製反射鏡に比較して軽量であり、形状の自
由度も大きいなどの理由から光学部品として広く用いら
れつつある。
てきたガラス製反射鏡に比較して軽量であり、形状の自
由度も大きいなどの理由から光学部品として広く用いら
れつつある。
【０００３】従来、このような合成樹脂製反射鏡は、ア
クリル樹脂あるいはポリカ−ボネイト樹脂などを射出成
形したものの表面にＡｌなどの金属膜を真空蒸着によっ
て成膜し、さらにこの合成樹脂製反射鏡に耐擦傷性や耐
腐食性をもたせるために、金属膜上にＳｉＯ２ などの
誘電体よりなる保護膜が形成される。ところが、合成樹
脂ではガラスと異なり熱による線膨張率も大きく、吸水
性もあるため、使用する環境の温度・湿度の影響を受け
て形状が変形する。特に、上記合成樹脂は、反射面を構
成する金属または誘電体との膨張係数の差異が大きいた
め、高精度な形状精度を維持することが非常に困難であ
った。
クリル樹脂あるいはポリカ−ボネイト樹脂などを射出成
形したものの表面にＡｌなどの金属膜を真空蒸着によっ
て成膜し、さらにこの合成樹脂製反射鏡に耐擦傷性や耐
腐食性をもたせるために、金属膜上にＳｉＯ２ などの
誘電体よりなる保護膜が形成される。ところが、合成樹
脂ではガラスと異なり熱による線膨張率も大きく、吸水
性もあるため、使用する環境の温度・湿度の影響を受け
て形状が変形する。特に、上記合成樹脂は、反射面を構
成する金属または誘電体との膨張係数の差異が大きいた
め、高精度な形状精度を維持することが非常に困難であ
った。
【０００４】そこで、従来は、環境の湿度変化の影響を
受けないように、特公平２−１１６６６号公報に開示さ
れるように、軟質合成樹脂により裏面コ−ト膜（バック
コ−ト膜）を形成する方法が行われている。
受けないように、特公平２−１１６６６号公報に開示さ
れるように、軟質合成樹脂により裏面コ−ト膜（バック
コ−ト膜）を形成する方法が行われている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、軟質合成樹脂
により裏面コ−ト膜を形成する上記従来の方法において
も、樹脂層からの透湿は存在するため吸湿による極微少
な影響は抑えきれず、また、裏面コ−ト膜の温度線膨張
率も基板のそれと近いため、温度による変形には全く効
果がなかった。
により裏面コ−ト膜を形成する上記従来の方法において
も、樹脂層からの透湿は存在するため吸湿による極微少
な影響は抑えきれず、また、裏面コ−ト膜の温度線膨張
率も基板のそれと近いため、温度による変形には全く効
果がなかった。
【０００６】合成樹脂製反射鏡、特に図５に示すような
ダハ形状の合成樹脂基板１においては、面精度、特にダ
ハ角度が非常に高いレベルで要求されることが多い。例
えば、カメラのような製品においては、−１０℃〜＋４
０℃の雰囲気中および７０℃，８０％ＲＨ雰囲気放置後
においても、ダハ角度が９０°±１５” 以内といった
高精度を要求されている。しかし、従来の設計あるいは
製造方法では、こうした高いレベルの要求には応え切れ
ていない実態にあった。
ダハ形状の合成樹脂基板１においては、面精度、特にダ
ハ角度が非常に高いレベルで要求されることが多い。例
えば、カメラのような製品においては、−１０℃〜＋４
０℃の雰囲気中および７０℃，８０％ＲＨ雰囲気放置後
においても、ダハ角度が９０°±１５” 以内といった
高精度を要求されている。しかし、従来の設計あるいは
製造方法では、こうした高いレベルの要求には応え切れ
ていない実態にあった。
【０００７】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、温度や湿度の変化に対して、反射面のニ
ュートン干渉縞の変形の少ない合成樹脂製反射鏡を提供
することを目的とする。
されたもので、温度や湿度の変化に対して、反射面のニ
ュートン干渉縞の変形の少ない合成樹脂製反射鏡を提供
することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、所望の形状に成形した合成樹脂基板の一
方の面に金属または金属と誘電体の組み合わせからなる
反射層を有する合成樹脂製反射鏡において、合成樹脂基
板を非晶質ポリオレフィン系樹脂により形成した。
に、本発明は、所望の形状に成形した合成樹脂基板の一
方の面に金属または金属と誘電体の組み合わせからなる
反射層を有する合成樹脂製反射鏡において、合成樹脂基
板を非晶質ポリオレフィン系樹脂により形成した。
【０００９】前記金属はＡｌまたはＡｇが適しており、
前記誘電体はＳｉＯ，ＳｉＯ２，ＭｇＦ２，ＣｅＦ３，
Ａｌ２ Ｏ３，ＺｒＯ２，Ｔａ２ Ｏ５，ＣｅＯ２，Ｔ
ｉＯ２ のうちの少なくとも１種が適している。
前記誘電体はＳｉＯ，ＳｉＯ２，ＭｇＦ２，ＣｅＦ３，
Ａｌ２ Ｏ３，ＺｒＯ２，Ｔａ２ Ｏ５，ＣｅＯ２，Ｔ
ｉＯ２ のうちの少なくとも１種が適している。
【００１０】
【作用】すなわち、本発明では、合成樹脂基板が膜材料
である金属または誘電体との湿度あるいは熱線膨張係数
の違いによって変形が引き起こされることに着目し、合
成樹脂基板を、成形時の収縮の小さい非晶質でかつ耐熱
性に優れ、吸水の小さい非晶質ポリオレフィン系樹脂に
より形成することとした。これにより、合成樹脂基板の
変形を抑制し、基板の温度・湿度による変形をニュ−ト
ン干渉縞による観測のレベルでなくすことができる。し
たがって、あらかじめ温湿度による変化量を見込んでの
光学系の組み込み設計を行う必要がないため、光学設計
の自由度も非常に大きくなる。
である金属または誘電体との湿度あるいは熱線膨張係数
の違いによって変形が引き起こされることに着目し、合
成樹脂基板を、成形時の収縮の小さい非晶質でかつ耐熱
性に優れ、吸水の小さい非晶質ポリオレフィン系樹脂に
より形成することとした。これにより、合成樹脂基板の
変形を抑制し、基板の温度・湿度による変形をニュ−ト
ン干渉縞による観測のレベルでなくすことができる。し
たがって、あらかじめ温湿度による変化量を見込んでの
光学系の組み込み設計を行う必要がないため、光学設計
の自由度も非常に大きくなる。
【００１１】
【実施例１】図１は本発明による実施例１の合成樹脂反
射鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂からな
るダハ形状の合成樹基板１の表面には、真空蒸着法を用
いて、密着層のＳｉＯ層２、 反射鏡のＡｌ層３、保護
層のＳｉＯ２ 層４が順次成膜されている。ＳｉＯ層２
、Ａｌ層３およびＳｉＯ２ 層４の各膜厚は、それぞれ
１００Å、８００Åおよび３００Åである。
射鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂からな
るダハ形状の合成樹基板１の表面には、真空蒸着法を用
いて、密着層のＳｉＯ層２、 反射鏡のＡｌ層３、保護
層のＳｉＯ２ 層４が順次成膜されている。ＳｉＯ層２
、Ａｌ層３およびＳｉＯ２ 層４の各膜厚は、それぞれ
１００Å、８００Åおよび３００Åである。
【００１２】本実施例の合成樹脂製反射鏡を製造するに
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気した後、
合成樹脂基板１にＳｉＯ層２を抵抗加熱法によって蒸着
し、続いてＡｌ層３を電子ビ−ム法によって蒸着し、さ
らにＳｉＯ２ 層４を電子ビ−ム法によって蒸着した。
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気した後、
合成樹脂基板１にＳｉＯ層２を抵抗加熱法によって蒸着
し、続いてＡｌ層３を電子ビ−ム法によって蒸着し、さ
らにＳｉＯ２ 層４を電子ビ−ム法によって蒸着した。
【００１３】
【実施例２】図２は本発明による実施例２の合成樹脂製
反射鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂から
なるダハ形状の合成樹脂基板１の表面には、真空蒸着法
を用いて反射層のＡｇ層５、保護層と増反射層を兼ねる
ＭｇＦ２ 層６およびＴｉＯ２ 層７が順次成膜されて
いる。また、裏面には、同じく真空蒸着法を用いてＭｇ
Ｆ２ 層６の裏面コ−ト層が成膜されている。表面のＡ
ｇ層５，ＭｇＦ２ 層６およびＴｉＯ２ 層７の各膜厚
は、それぞれ８００Å， １１００Åおよび８００Åで
ある。裏面のＭｇＦ２ 層６の膜厚は８００Åである。
反射鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂から
なるダハ形状の合成樹脂基板１の表面には、真空蒸着法
を用いて反射層のＡｇ層５、保護層と増反射層を兼ねる
ＭｇＦ２ 層６およびＴｉＯ２ 層７が順次成膜されて
いる。また、裏面には、同じく真空蒸着法を用いてＭｇ
Ｆ２ 層６の裏面コ−ト層が成膜されている。表面のＡ
ｇ層５，ＭｇＦ２ 層６およびＴｉＯ２ 層７の各膜厚
は、それぞれ８００Å， １１００Åおよび８００Åで
ある。裏面のＭｇＦ２ 層６の膜厚は８００Åである。
【００１４】本実施例の合成樹脂製反射鏡を製造するに
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気した後、
合成樹脂基板１に電子ビ−ム法によってＡｇ層５を蒸着
し、さらにＭｇＦ２ 層６およびＴｉＯ２ 層７を電子
ビ−ム法によって蒸着した。それに引き続いて合成樹脂
基板１を反転させ、電子ビ−ム法によってＭｇＦ２ 層
６を蒸着した。
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気した後、
合成樹脂基板１に電子ビ−ム法によってＡｇ層５を蒸着
し、さらにＭｇＦ２ 層６およびＴｉＯ２ 層７を電子
ビ−ム法によって蒸着した。それに引き続いて合成樹脂
基板１を反転させ、電子ビ−ム法によってＭｇＦ２ 層
６を蒸着した。
【００１５】
【実施例３】図３は本発明の実施例３の合成樹脂製反射
鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂からなる
ダハ形状の合成樹脂基板１の表面には、真空蒸着法を用
いて反射層のＡｌ層３、保護層と増反射層を兼ねるＭｇ
Ｆ２ 層６，ＺｒＯ３ 層８およびＳｉＯ２ 層４が順
次成膜されている。また、裏面には、同じく真空蒸着法
を用いてＡｌ層３の裏面コ−ト層が成膜されている。表
面のＡｌ層３， ＭｇＦ２ 層６，ＺｒＯ２ 層８およ
びＳｉＯ２ 層４の各膜厚は、それぞれ８００Å，８０
０Å，３００Åおよび８００Åである。裏面のＡｌ層３
の膜厚は、８００Åである。
鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂からなる
ダハ形状の合成樹脂基板１の表面には、真空蒸着法を用
いて反射層のＡｌ層３、保護層と増反射層を兼ねるＭｇ
Ｆ２ 層６，ＺｒＯ３ 層８およびＳｉＯ２ 層４が順
次成膜されている。また、裏面には、同じく真空蒸着法
を用いてＡｌ層３の裏面コ−ト層が成膜されている。表
面のＡｌ層３， ＭｇＦ２ 層６，ＺｒＯ２ 層８およ
びＳｉＯ２ 層４の各膜厚は、それぞれ８００Å，８０
０Å，３００Åおよび８００Åである。裏面のＡｌ層３
の膜厚は、８００Åである。
【００１６】本実施例の合成樹脂製反射鏡を製造するに
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気した後、
合成樹脂基板１にＡｌ層３， ＭｇＦ２ 層６，ＺｒＯ
３ 層８およびＳｉＯ２ 層４を電子ビ−ム法によって
順次蒸着した。 それに引き続いて合成樹脂基板１を反転させ、電子ビ−
ム法によってＡｌ層３を蒸着した。
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気した後、
合成樹脂基板１にＡｌ層３， ＭｇＦ２ 層６，ＺｒＯ
３ 層８およびＳｉＯ２ 層４を電子ビ−ム法によって
順次蒸着した。 それに引き続いて合成樹脂基板１を反転させ、電子ビ−
ム法によってＡｌ層３を蒸着した。
【００１７】
【実施例４】図４は本発明の実施例４の合成樹脂製反射
鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂からなる
ダハ形状の合成樹脂基板１の表面には、スパッタリング
法を用いて反射層のＡｌ層３、保護層のＳｉＯ２ 層４
が順次成膜されている。また、裏面には、同じくスパッ
タリング法を用いてＳｉＯ２ 層４が成膜されている。 表面のＡｌ層３およびＳｉＯ２ 層４の各膜厚は、それ
ぞれ８００Åおよび３００Åである。裏面のＳｉＯ２
層４の膜厚は、８００Åである。
鏡を示すもので、非晶質ポリオレフィン系樹脂からなる
ダハ形状の合成樹脂基板１の表面には、スパッタリング
法を用いて反射層のＡｌ層３、保護層のＳｉＯ２ 層４
が順次成膜されている。また、裏面には、同じくスパッ
タリング法を用いてＳｉＯ２ 層４が成膜されている。 表面のＡｌ層３およびＳｉＯ２ 層４の各膜厚は、それ
ぞれ８００Åおよび３００Åである。裏面のＳｉＯ２
層４の膜厚は、８００Åである。
【００１８】本実施例の合成樹脂製反射鏡を製造するに
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気し、その
後排気を続けながらＡｒガスを導入して真空度を３×１
０−３Ｔｏｒｒに保つ。この状態でＡｌ層３をＤＣスパ
ッタリング法、ＳｉＯ２ 層４をＲＦスパッタリング法
によって順次成膜した。これに引き続き合成樹脂基板１
を反転させ、反射面と同様にして今度はＳｉＯ２ 層４
のみをマグネトロンスパッタリング法により成膜した。
は、真空槽内を１×１０−５Ｔｏｒｒまで排気し、その
後排気を続けながらＡｒガスを導入して真空度を３×１
０−３Ｔｏｒｒに保つ。この状態でＡｌ層３をＤＣスパ
ッタリング法、ＳｉＯ２ 層４をＲＦスパッタリング法
によって順次成膜した。これに引き続き合成樹脂基板１
を反転させ、反射面と同様にして今度はＳｉＯ２ 層４
のみをマグネトロンスパッタリング法により成膜した。
【００１９】本発明による実施例１〜４の場合と、従来
のようにポリカーボネイト樹脂により合成樹脂基板を形
成し、実施例１と同様に表面のみにコートした場合（比
較例１）および実施例４と同様に両面コートした場合（
比較例２）との、ダハ角度の温湿度による変化の様子を
表１に示した。
のようにポリカーボネイト樹脂により合成樹脂基板を形
成し、実施例１と同様に表面のみにコートした場合（比
較例１）および実施例４と同様に両面コートした場合（
比較例２）との、ダハ角度の温湿度による変化の様子を
表１に示した。
【００２０】高温高湿試験は、７０℃、８０％ＲＨ、１
００ｈｒ 後に反射鏡の温度が室温に戻った時点で測定
した。
００ｈｒ 後に反射鏡の温度が室温に戻った時点で測定
した。
【００２１】
【表１】
【００２２】表１から判るように、合成樹脂基板１の表
面（反射面）だけでなく裏面にも表面と同様の材料およ
び手法で薄膜層（裏面コート層）を施した実施例２〜４
では、より高精度なものが得られる。この裏面コート層
は、金属もしくは誘電体またはそれらの組合せにより形
成する。また、上記各実施例では、反射層を金属と誘電
体との組み合わせによって形成したが、金属の単層のみ
によって形成してもよいのは勿論である。
面（反射面）だけでなく裏面にも表面と同様の材料およ
び手法で薄膜層（裏面コート層）を施した実施例２〜４
では、より高精度なものが得られる。この裏面コート層
は、金属もしくは誘電体またはそれらの組合せにより形
成する。また、上記各実施例では、反射層を金属と誘電
体との組み合わせによって形成したが、金属の単層のみ
によって形成してもよいのは勿論である。
【００２３】なお、本発明の反射鏡は、上記実施例にお
いてダハ形状基板を対象として説明したが、形状は他の
ものでもよく、特に光学的に精度を求められる反射鏡に
対して有効である。また、手法についても真空蒸着法、
スパッタリン法だけでなく、イオンプレーティング法な
どでも有効なことは勿論である。
いてダハ形状基板を対象として説明したが、形状は他の
ものでもよく、特に光学的に精度を求められる反射鏡に
対して有効である。また、手法についても真空蒸着法、
スパッタリン法だけでなく、イオンプレーティング法な
どでも有効なことは勿論である。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明の合成樹脂製反射
鏡によれば、高精度を要求されるような合成樹脂製反射
鏡において、特殊な加工法あるいは特殊な加工条件を用
いずに、すなわち生産性を犠牲にすることなしに、温度
あるいは湿度による形状の変化を抑えることができる。 その結果として、合成樹脂成形品の形状、材質あるいは
組み付けといった光学系全体の設計の自由度を大きくす
ることが可能となる。
鏡によれば、高精度を要求されるような合成樹脂製反射
鏡において、特殊な加工法あるいは特殊な加工条件を用
いずに、すなわち生産性を犠牲にすることなしに、温度
あるいは湿度による形状の変化を抑えることができる。 その結果として、合成樹脂成形品の形状、材質あるいは
組み付けといった光学系全体の設計の自由度を大きくす
ることが可能となる。
【図１】本発明の実施例１の合成樹脂製反射鏡を示す正
面図である。
面図である。
【図２】本発明の実施例２の合成樹脂製反射鏡を示す正
面図である。
面図である。
【図３】本発明の実施例３の合成樹脂製反射鏡を示す正
面図である。
面図である。
【図４】本発明の実施例４の合成樹脂製反射鏡を示す正
面図である。
面図である。
【図５】ダハ形状の合成樹脂基板を示す斜視図である。
１ 合成樹脂基板
２ ＳｉＯ層
３ Ａｌ層
４ ＳｉＯ２ 層
５ Ａｇ層
６ ＭｇＦ２ 層
７ ＴｉＯ２ 層
８ ＺｒＯ２ 層
Claims (2)
- 【請求項１】 所望の形状に成形した合成樹脂基板の
一方の面に金属または金属と誘電体の組み合わせからな
る反射層を有する合成樹脂製反射鏡において、合成樹脂
基板が非晶質ポリオレフィン系樹脂からなることを特徴
とする合成樹脂製反射鏡。 - 【請求項２】 前記金属がＡｌまたはＡｇからなり、
前記誘電体がＳｉＯ，ＳｉＯ２，ＭｇＦ２，ＣｅＦ３，
Ａｌ２ Ｏ３，ＺｒＯ２，Ｔａ２ Ｏ５，ＣｅＯ２，Ｔ
ｉＯ２ のうちの少なくとも１種からなる請求項１記載
の合成樹脂製反射鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3042545A JPH04260004A (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 合成樹脂製反射鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3042545A JPH04260004A (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 合成樹脂製反射鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04260004A true JPH04260004A (ja) | 1992-09-16 |
Family
ID=12639032
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3042545A Withdrawn JPH04260004A (ja) | 1991-02-14 | 1991-02-14 | 合成樹脂製反射鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04260004A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08304614A (ja) * | 1995-05-12 | 1996-11-22 | Ricoh Co Ltd | 合成樹脂製反射鏡、その製造方法および製造装置 |
| EP1320772A4 (en) * | 2000-08-23 | 2004-10-20 | Vtec Technologies Llc | MIRROR DEVICE MADE OF TRANSPARENT PLASTIC OR POLYMER AND METHOD FOR THEIR PRODUCTION |
| JP2011203725A (ja) * | 2003-08-07 | 2011-10-13 | Sabic Innovative Plastics Ip Bv | 反射性物品及びその製造方法 |
| JP2014531606A (ja) * | 2011-07-01 | 2014-11-27 | ジョンソン コントロールズ オートモーティブ エレクトロニクス エスエイエス | 光学素子を製造する方法、光学素子及びディスプレイデバイス |
| CN109852930A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种补偿中口径介质膜平面反射镜镀膜形变的方法 |
-
1991
- 1991-02-14 JP JP3042545A patent/JPH04260004A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08304614A (ja) * | 1995-05-12 | 1996-11-22 | Ricoh Co Ltd | 合成樹脂製反射鏡、その製造方法および製造装置 |
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| JP2011203725A (ja) * | 2003-08-07 | 2011-10-13 | Sabic Innovative Plastics Ip Bv | 反射性物品及びその製造方法 |
| JP2014531606A (ja) * | 2011-07-01 | 2014-11-27 | ジョンソン コントロールズ オートモーティブ エレクトロニクス エスエイエス | 光学素子を製造する方法、光学素子及びディスプレイデバイス |
| US9494795B2 (en) | 2011-07-01 | 2016-11-15 | Andre Mendiboure | Method of manufacturing an optical element, optical element and display device |
| CN109852930A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-06-07 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种补偿中口径介质膜平面反射镜镀膜形变的方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
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