JPS60151602A - プラスチツク製光学部品の反射防止膜 - Google Patents
プラスチツク製光学部品の反射防止膜Info
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- JPS60151602A JPS60151602A JP59008054A JP805484A JPS60151602A JP S60151602 A JPS60151602 A JP S60151602A JP 59008054 A JP59008054 A JP 59008054A JP 805484 A JP805484 A JP 805484A JP S60151602 A JPS60151602 A JP S60151602A
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- Japan
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- plastic optical
- layer
- antireflection film
- thin film
- plastic
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- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
- G02B1/115—Multilayers
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- Physics & Mathematics (AREA)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
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- Optics & Photonics (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はプロジェクションテレビ、ビデオカメラ、スチ
ルカメラなどの光学系に使用されるプラスチック製光学
部品の反射防止膜に関するものである。
ルカメラなどの光学系に使用されるプラスチック製光学
部品の反射防止膜に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、レンズなどの光学部品には無機ガラスが多く使用
されてきたが、近年、軽量で加工が容易であり、かつ量
産に適している点ですぐれているプラスチックが光学部
品の素材として用いられるようになってきた。ところが
、プラスチックレンズなどのプラスチック製光学部品は
無機ガラスと同様に表面での光の反射が大きいとい、う
欠点があった。前記の欠点を解消するためにプラスチッ
ク製光学部品の表面に無機ガラスの表面に形成される反
射防止膜と同様な反射防止膜を形成することによって表
面反射を防止することは一般技術としてよく知られてい
る。しかしながらプラスチ、り製光学部品の反射防止膜
には実際上、種々の問題点がある。
されてきたが、近年、軽量で加工が容易であり、かつ量
産に適している点ですぐれているプラスチックが光学部
品の素材として用いられるようになってきた。ところが
、プラスチックレンズなどのプラスチック製光学部品は
無機ガラスと同様に表面での光の反射が大きいとい、う
欠点があった。前記の欠点を解消するためにプラスチッ
ク製光学部品の表面に無機ガラスの表面に形成される反
射防止膜と同様な反射防止膜を形成することによって表
面反射を防止することは一般技術としてよく知られてい
る。しかしながらプラスチ、り製光学部品の反射防止膜
には実際上、種々の問題点がある。
以下図面を参照しながら従来のプラスチックレンズの反
射防止膜について説明する。第１図および第２図はプラ
スチック製光学部品の表面に無機ガラスの表面に形成さ
れる反射防止膜と同様な反射防止膜を形成した構造を示
す図であり、第１図。
射防止膜について説明する。第１図および第２図はプラ
スチック製光学部品の表面に無機ガラスの表面に形成さ
れる反射防止膜と同様な反射防止膜を形成した構造を示
す図であり、第１図。
第２図において１１．２１はプラスチック製光学部品、
１２．２２は弗化マグネシウム（ＭｇＦ２）の層、２３
は酸化アルミニウム（Ａ１２０３）の層、２４は酸化ジ
ルコニウム（Ｚ ｒ Ｏ２）の層である。
１２．２２は弗化マグネシウム（ＭｇＦ２）の層、２３
は酸化アルミニウム（Ａ１２０３）の層、２４は酸化ジ
ルコニウム（Ｚ ｒ Ｏ２）の層である。
膜である。前記の反射防止膜はいずれも誘電体物質から
なる反射防止膜であり、一般には真空蒸着法によって形
成されているが、プラスチックは流動温度、熱変形温度
が低く、すなわち耐熱性が悪く、また、プラスチック内
部からの水分等の放出ガスの影響もあるため無機ガラス
基板に反射防止膜を形成するときのような基板加熱（通
常２００〜４００“’Ｃ）ができない。前記の基板加熱
は光学部品表面に付着している水分等の吸着ガスを取り
除くとともに、表面に形成される反射防止膜を強固なも
のとし耐久性を向上させるために無機ガラス反射防止膜
を真空蒸着法によって形成するときには多くの場合性な
われるものである。その基板加熱がプラスチックの場合
にはできないために従来は５０”Ｃ〜６０”Ｃ以下の低
温で反射防止膜を形成していたが、この低温で形成され
た反射防止膜はプラスチック表面との密着力が小さく、
耐久性も低いものであった。そこで密着力、耐久性を向
上させるためにプラスチックの表面にプラズマ処理を施
したり、イオンブレーティング法により反射防止膜を形
成しｌ）、あるいは、プラスチック表面にプラスチック
と密着側のよい熱硬化性有機薄膜やガラス性硬化薄膜を
形成しその上に反射防止膜を形成したシするなどの工夫
がされているが、前記プラズマ処理およびイオンブレー
ティング法は実際の量産において、反射防止膜の形成条
件を一１常に一定に制御するのが困難であり、また反、
射防止膜にクラ、りが生じたりする。壕だ、前記のプラ
スチック表面に熱硬化性有機薄膜を形成する方法では、
前記有機薄膜を塗布あるいは浸漬法によって形成ｌ〜て
いるので膜厚を一定に維持するのが困難であり、プラス
チック表面の面精度を悪くするおそれがある。壕だ、ガ
ラス性硬化薄膜は通常、蒸着によって形成されているが
、この場合には膜厚を厚く蒸着する必要があるためにク
ラックがガラス性硬化薄膜に発生しやすいという問題が
ある。
なる反射防止膜であり、一般には真空蒸着法によって形
成されているが、プラスチックは流動温度、熱変形温度
が低く、すなわち耐熱性が悪く、また、プラスチック内
部からの水分等の放出ガスの影響もあるため無機ガラス
基板に反射防止膜を形成するときのような基板加熱（通
常２００〜４００“’Ｃ）ができない。前記の基板加熱
は光学部品表面に付着している水分等の吸着ガスを取り
除くとともに、表面に形成される反射防止膜を強固なも
のとし耐久性を向上させるために無機ガラス反射防止膜
を真空蒸着法によって形成するときには多くの場合性な
われるものである。その基板加熱がプラスチックの場合
にはできないために従来は５０”Ｃ〜６０”Ｃ以下の低
温で反射防止膜を形成していたが、この低温で形成され
た反射防止膜はプラスチック表面との密着力が小さく、
耐久性も低いものであった。そこで密着力、耐久性を向
上させるためにプラスチックの表面にプラズマ処理を施
したり、イオンブレーティング法により反射防止膜を形
成しｌ）、あるいは、プラスチック表面にプラスチック
と密着側のよい熱硬化性有機薄膜やガラス性硬化薄膜を
形成しその上に反射防止膜を形成したシするなどの工夫
がされているが、前記プラズマ処理およびイオンブレー
ティング法は実際の量産において、反射防止膜の形成条
件を一１常に一定に制御するのが困難であり、また反、
射防止膜にクラ、りが生じたりする。壕だ、前記のプラ
スチック表面に熱硬化性有機薄膜を形成する方法では、
前記有機薄膜を塗布あるいは浸漬法によって形成ｌ〜て
いるので膜厚を一定に維持するのが困難であり、プラス
チック表面の面精度を悪くするおそれがある。壕だ、ガ
ラス性硬化薄膜は通常、蒸着によって形成されているが
、この場合には膜厚を厚く蒸着する必要があるためにク
ラックがガラス性硬化薄膜に発生しやすいという問題が
ある。
以上のように従来のプラスチック製光学部品の反射防止
膜には、プラスチ・ツク表面との密着力が小さく、耐久
性も低いという問題点を有しており、以上の問題点の解
決手段として適当左方法もなかった・ 発明の目的 本発明の目的は、プラスチック表面との密着力が大きく
耐久性が高く、かつ、量産性にすぐれたプラスチック製
光学部品の反射防止膜を提供することである。
膜には、プラスチ・ツク表面との密着力が小さく、耐久
性も低いという問題点を有しており、以上の問題点の解
決手段として適当左方法もなかった・ 発明の目的 本発明の目的は、プラスチック表面との密着力が大きく
耐久性が高く、かつ、量産性にすぐれたプラスチック製
光学部品の反射防止膜を提供することである。
発明の構成
本発明のプラスチック製光学部品の反射防止膜は、プラ
スチック製光学部品の表面に、前記光学部品の表面側か
ら空気側へ順に、金属薄膜層、誘電体薄膜層、金属薄膜
層を形成して反射防止膜を構成したことを特徴とするも
のであり、これにより、プラスチックの表面との密着力
が大きく、耐久性が高く、かつ、量産性にすぐれたプラ
スチック製光学部品の反射防止膜を提供するものである
。
スチック製光学部品の表面に、前記光学部品の表面側か
ら空気側へ順に、金属薄膜層、誘電体薄膜層、金属薄膜
層を形成して反射防止膜を構成したことを特徴とするも
のであり、これにより、プラスチックの表面との密着力
が大きく、耐久性が高く、かつ、量産性にすぐれたプラ
スチック製光学部品の反射防止膜を提供するものである
。
実施例の説明
以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。
する。
第３図は本発明の実施例におけるプラスチック製光学部
品の反射防止膜の構成を示すものである。
品の反射防止膜の構成を示すものである。
第３図において、３１はプラスチック製光学部品、３３
は酸化アルミニウムの層、３４は酸化ジルコニウムの層
、３２は弗化マグネシウムの層、３５゜３６はクロムの
層であり、その具体的内容は下記の第１表に示すとおり
である。
は酸化アルミニウムの層、３４は酸化ジルコニウムの層
、３２は弗化マグネシウムの層、３５゜３６はクロムの
層であり、その具体的内容は下記の第１表に示すとおり
である。
第１表
捷だ上記の各層はプラスチック製光学部品を６０ ”Ｃ
以下に保持した状態の下で真空蒸着法により形成した。
以下に保持した状態の下で真空蒸着法により形成した。
上記本発明の実施例の反射防止膜と従来の反射防止膜と
のプラスチックに対する密着力および耐久性を比較する
ために行なった試験は、（１）密着試験（粘着テープの
引きはがしによる剥離テスト）、（２１耐湿試験（温度
６６Ｃ１湿度９６％の高温・高湿雰囲気中に５００時間
放置） 、’ （３） 耐熱試験（温度８５”′Ｃの高
温雰囲気中に６００時間放置）。
のプラスチックに対する密着力および耐久性を比較する
ために行なった試験は、（１）密着試験（粘着テープの
引きはがしによる剥離テスト）、（２１耐湿試験（温度
６６Ｃ１湿度９６％の高温・高湿雰囲気中に５００時間
放置） 、’ （３） 耐熱試験（温度８５”′Ｃの高
温雰囲気中に６００時間放置）。
（４）熱衝撃試験（温度−３０”Ｃ、７０”Ｃ（７）低
温オよび高温の雰囲気中に交互に３ｏ分間ずつの放置を
５０時間）で、比較のための従来の反射防止膜は、前記
従来例の１つであるプラスチック製光学部品の表面に３
層反射防止膜を形成したものであり、その具体的内容は
下記の第２表に示すとおりである。また前記試験の結果
を第３表に示す。
温オよび高温の雰囲気中に交互に３ｏ分間ずつの放置を
５０時間）で、比較のための従来の反射防止膜は、前記
従来例の１つであるプラスチック製光学部品の表面に３
層反射防止膜を形成したものであり、その具体的内容は
下記の第２表に示すとおりである。また前記試験の結果
を第３表に示す。
第２表
以下余白
第３表
上記第３表かられかるように本発明の反射防止膜は従来
の反射防止膜よりプラスチックとの密着力および耐久性
にすぐれている。
の反射防止膜よりプラスチックとの密着力および耐久性
にすぐれている。
なお、上の実施例では各膜厚を第１表に示すようなもの
にしたが、膜厚は特に上記の値に限定されるものではな
く、反射防止膜の設計波長に応じて変化させればよく、
金属薄膜層の厚さが約１０八以上あれば密着力および耐
久性の向上が図れる、また、前記実施例では金属薄膜層
はクロムの単体から構成されていたが、他にニッケルの
単体もしくは両者の合金でも前記と同様の効果を得るこ
とができる。さらに、誘電体薄膜層が単層あるいは他の
多層構造であっても反射防止膜の密着力、耐久性の向上
が図れる。
にしたが、膜厚は特に上記の値に限定されるものではな
く、反射防止膜の設計波長に応じて変化させればよく、
金属薄膜層の厚さが約１０八以上あれば密着力および耐
久性の向上が図れる、また、前記実施例では金属薄膜層
はクロムの単体から構成されていたが、他にニッケルの
単体もしくは両者の合金でも前記と同様の効果を得るこ
とができる。さらに、誘電体薄膜層が単層あるいは他の
多層構造であっても反射防止膜の密着力、耐久性の向上
が図れる。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明のプラスチック
製光学部品の反射防止膜は、プラスチック製光学部品の
表面側から空気側へ順に、金属薄膜層、誘電体薄膜層、
金属薄膜層を形成して反射防止膜を構成することにより
、プラスチック製光学部品を６０“Ｃ以下に保持した状
態で形成しても反射防止膜とプラスチックとの密着力を
大きくし、反射防止膜の耐久性を向上するので従来例の
もつ欠点を解消する効果を有する。丑だ、本発明のプラ
スチック製光学部品の反射防止膜は容易に実現すること
ができるので量産にも適しており、その実用上の価値は
大なるものがある。
製光学部品の反射防止膜は、プラスチック製光学部品の
表面側から空気側へ順に、金属薄膜層、誘電体薄膜層、
金属薄膜層を形成して反射防止膜を構成することにより
、プラスチック製光学部品を６０“Ｃ以下に保持した状
態で形成しても反射防止膜とプラスチックとの密着力を
大きくし、反射防止膜の耐久性を向上するので従来例の
もつ欠点を解消する効果を有する。丑だ、本発明のプラ
スチック製光学部品の反射防止膜は容易に実現すること
ができるので量産にも適しており、その実用上の価値は
大なるものがある。
第１図および第２図は、従来例のプラスチック製光学部
品の反射防止膜の構成を示す図、第３図は本発明の実施
例におけるグラスチック製光学部品の反射防止膜の構成
を示す図である。 １１．２１．３１ ・・ プラスチック製光学部品、１
２，２２．３２− 弗化マグネシウムの層、２３．３３
・・・−酸化アルミニウムの層、２４゜３４ 酸化ジル
コニウムの層、３５．３６・−・・クロムの層。
品の反射防止膜の構成を示す図、第３図は本発明の実施
例におけるグラスチック製光学部品の反射防止膜の構成
を示す図である。 １１．２１．３１ ・・ プラスチック製光学部品、１
２，２２．３２− 弗化マグネシウムの層、２３．３３
・・・−酸化アルミニウムの層、２４゜３４ 酸化ジル
コニウムの層、３５．３６・−・・クロムの層。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）プラスチック製光学部品の表面に、前記光学部品
の表面側から空気側へ順に、金属薄膜層、誘電体薄膜層
、金属薄膜層を形成して反射防止膜を構成したことを特
徴とするプラスチック製光学部品の反射防止膜。 （２）金属薄膜層は、ニッケル（Ｎ１）あるいはクロム
（Ｃｒ ）の単体、もしくは両者の合金からなることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載のプラスチック製
光学部品の反射防止膜。 光学部品の反射防止膜。 （４）金属薄膜層および誘電体薄膜層は、プラスチック
製光学部品を６０”Ｃ以下に保持した状態で形成された
ものであることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
のプラスチック製光学部品の反射防止膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59008054A JPS60151602A (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59008054A JPS60151602A (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60151602A true JPS60151602A (ja) | 1985-08-09 |
Family
ID=11682614
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59008054A Pending JPS60151602A (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | プラスチツク製光学部品の反射防止膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60151602A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480904A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Transparent plate stuck with conductive antireflection film |
-
1984
- 1984-01-19 JP JP59008054A patent/JPS60151602A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6480904A (en) * | 1987-09-22 | 1989-03-27 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | Transparent plate stuck with conductive antireflection film |
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