JPS63220101A - プラスチツク製光学部品の反射防止膜 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、プロジエクシッンテレビ、ビデオカメラ、ス
チルカメラなどの光学系に使用されるプラスチック製光
学部品の反射防止膜に関するものである。

従来の技術 従来、レンズなどの光学部品には無機ガラスが多く使用
されてきたが、近年、軽量で加工が容易であり、かつ量
産に適している点ですぐれているプラスチックが光学部
品の素材として用いられるようになってきた。ところが
、プラスチックレンズなどのプラスチック製光学部品は
無機ガラスと同様に表面での光の反射が大きいという欠
点がある。この欠点を解消するために、プラスチック製
光学部品の表面に無機ガラス表面に形成される反射防止
膜と同様な反射防止膜を形成することによって表面反射
を防止することは一般技術としてよ（知られている。（
例えば「精密プラスチック光学レンズの設計、成形技術
とその問題点」トリケッブス技術資料集磁８７　　Ｐ６
−１−Ｐ６−４）以下図面を参照しながら従来のプラス
チック製光学部品の反射防止膜について説明する。第２
図はプラスチック製光学部品の表面に無機ガラス表面に
形成される反射防止膜と同様なフン化マグネシウムから
なる反射防止膜を形成した構造を示す図であり、第３図
（ｂｌは反射防止膜を光学的膜厚λｏ／４（λ。＝５５
０ｎｍ）の厚さに形成したときの、分光反射特性を示す
図、比較のための第３図（Ｃ）は反射防止膜を形成しな
い場合のプラスチック製光学部品の分光反射特性を示す
図である。第２図において、１はプラスチック製光学部
品、５はフン化マグネシウムよりなる反射防止膜である
。

前記反射防止膜５は一般には真空蒸着法によって形成さ
れるが最近では、反射防止膜とプラスチック製光学部品
との密着性や耐久性を向上させるためにプラスチック製
光学部品を６０℃〜８０℃に加熱する方法やＲＦビイオ
ンブレーティング法を用いて反射防止膜を形成する方法
が行なわれている。

発明が解決しようとする問題点 しかしながら、上記従来例において真空蒸着法によって
フン化マグネシウムからなる反射防止膜を形成する例で
は、プラスチックの流動温度、熱変形温度が低く、また
、プラスチック内部からの放出ガスの問題もあるため、
無機ガラス基板に蒸着膜を形成する時のような基板加熱
（通常３００℃〜４００℃）を行なって強固な蒸着膜の
形成ができない、そのため、５０℃〜６０℃以テの低温
でプラスチック製光学部品の表面に反射防止膜を形成し
ていたが、この低温で形成された反射防止膜はプラスチ
ック表面との密着性も悪く、耐久性も低いものである。

また、前記のようにプラスチック製光学部品を６０℃〜
８０℃に加熱したりＲＦビイオンブレーティング法を用
いて反射防止膜を形成した場合には、反射防止膜にクラ
ンクが生じやすく、また、形成時の条件を一定にし、か
つプラスチ・７り表面の状態を一定に保持するのも困難
であり量産には適するものでない。さらに、第３図（ｂ
）に示すように、フッ化マグネシウムの単層膜での反射
防止膜は、中心波長（λ。）において残存反射率が約１
，５％あり、プラスチック製光学部品の反射防止膜とし
ては充分の特性をもっていない。

以上のように従来のプラスチック製光学部品の反射防止
膜には、プラスチック表面との密着性が悪く、耐久性に
も劣り、反射防止膜としての光学特性も充分でないとい
う問題点を有していた。

本発明は上記問題点に鑑み、プラスチック製光学部品に
対して密着性、耐久性および光学特性に優れた反射防止
膜を提供するものである。

問題点を解決するための手段 本発明は前記問題点を解決するために、プラスチック製
光学部品の表面に、表面側がら空気側へ順に、第１層、
第２層、第３層の３層構造の蒸着膜を形成して反射防止
膜を構成する構造であって、第１層は一酸化ケイ素、第
２層は酸化ジルコニウム、第３層は二酸化ケイ素からな
ることを特徴とした反射防止膜を提供するものである。

作用 本発明は、プラスチック製光学部品の表面に、−酸化ケ
イ素、酸化ジルコニウム、二酸化ケイ素からなる３層反
射防止膜を形成するものであり、その結果、密着性、耐
久性および光学特性に優れた反射防止膜を得ることがで
きる。

実施例 以下本発明の一実施例について図面を参照しながら説明
する。

第１図は本発明のプラスチック製光学部品の反射防止膜
の構成を示す図であり、第３図（ａ）はその分光反射特
性例を示す。第１図において、２は一酸化ケイ素からな
る第１層、３は酸化ジルコニウムからなる第２Ｎ、４は
二酸化ケイ素からなる第３層であり、本発明の実施例に
おけるその具体的内容は第１表に示すとおりである。ま
た、それぞれの層はプラスチック製光学部品を６０’Ｃ
以下に保持した状態の下で、真空蒸着法により形成した
。

上記本発明の実施例の反射防止膜と従来の反射防止膜と
の密着性、耐久性を比較するために行なった試験は、（
１）セロテープ剥離試験（温度４０℃、相対湿度８５％
の高温・高温雰囲気中に３００時間放置した後、セロテ
ープをプラスチック製光学部品表面に密着し、引きはが
す、（２）耐湿試験（温度４０℃、相対湿度９５％の高
温・高温雰囲気中に１０００時間放置）　、（３）熱衝
撃試験（温度−３０℃、７０”Ｃの低温および高温の雰
囲気中に交互に３０分間ずつの放置を約１００時間）で
あり、比較のための従来の反射防止膜は、前記従来例の
１つであるプラスチック製光学部品の表面にフッ化マグ
ネシウムの反射防止膜を真空蒸着法によって、光学的膜
厚λ。／４（λｏ　＝　５５０ｎｍ）の厚さに形成した
ものであリ、第２図に示す構造のものである。密着性、
耐久性試験の結果は第２表に示すとおりである。

第２表かられかるように本発明の反射防止膜は従来の反
射防止膜より密着性、耐久性の点ですぐれている。また
分光反射特性も第３図（ａ）かられかるように中心波長
（λ。＝５５０ｎｍ）で反射率約０．６％であり従来例
より反射防止膜としてすぐれている。さらに、従来例は
、反射防止膜形成時にクランクが発生することがあった
が本発明の実施例においては反射防止膜は常時安定して
いた。

なお、前記実施例では、各膜厚を第１表に示すようなも
のにしたが、膜厚は特に上記の値に限定されるものでは
なく、設計波長に応じて変化させればよ（、構造が第１
図に示すようなものになっていれば何でもよい。

発明の効果 以上の説明から明らかなように、本発明のプラスチック
製光学部品の反射防止膜は、−酸化ケイ素からなる第１
層、酸化ジルコニウムからなる第２層、二酸化ケイ素か
らなる第３層という３層構造をとることによって、プラ
スチック製光学部品との密着性を高め、反射防止膜の耐
久性を向上すると共に、分光反射特性にもすぐれ、クラ
ンクの発生も阻止するので、従来例のもつ欠点を解消す
る効果を有する。また、本発明のプラスチック製光学部
品の反射防止膜は量産にも適しているためにその実用上
の価値は大なるものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明のプラスチック製光学部品の反射防止
膜の構成図、第２図は、従来のプラスチック製光学部品
の反射防止膜の構成図、第３図は、分光反射特性図であ
る。 （ａ）・・・・・・本発明の一実施例におけるプラスチ
ック製光学部品の反射防止膜、（ｂ）・・・・・・従来
のプラスチック製光学部品の反射防止膜（フッ化マグネ
シウムからなる単層膜）、（Ｃ）・・・・・・反射防止
膜を形成していないプラスチック製光学部品、１・・・
・・・プラスチック製光学部品、２・・・・・・−酸化
ケイ素からなる薄膜、３・・・・・・酸化ジルコニウム
からなる薄膜、４・・・・・・二酸化ケイ素からなる薄
膜、５・・・・・・フン化マグネシウムからなる薄膜。 代理人の氏名　弁理士　中足敏男　はか１名１−−−プ
ラスチく１隘九ｆｆ都発 ２−−−−１町１１ミイヒ箇ブー−辷り・ら４」ご層ミ
ａΣロー（第１図　　　　４−：Ｊけイ系う・らζ瑛衷
第　２　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. プラスチック製光学部品の表面に、前記表面側から空気
   側へ順に、第１層、第２層、第３層の３層構造の蒸着膜
   を形成して反射防止膜を構成する構造であって、前記第
   １層は一酸化ケイ素からなり、前記第２層は酸化ジルコ
   ニウム、前記第３層は二酸化ケイ素からなることを特徴
   とするプラスチック製光学部品の反射防止膜。