JPH04213208A - Ｌｃ共振器の製造方法 - Google Patents
Ｌｃ共振器の製造方法Info
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- JPH04213208A JPH04213208A JP40084590A JP40084590A JPH04213208A JP H04213208 A JPH04213208 A JP H04213208A JP 40084590 A JP40084590 A JP 40084590A JP 40084590 A JP40084590 A JP 40084590A JP H04213208 A JPH04213208 A JP H04213208A
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- Japan
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- resonator
- capacitor
- electrode
- electrodes
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- Pending
Links
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 27
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 abstract 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
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- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Coils Or Transformers For Communication (AREA)
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
- Filters And Equalizers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はＬＣ共振器に関し、特
にたとえばＬＣフィルタとして用いられる、ＬＣ共振器
に関する。
にたとえばＬＣフィルタとして用いられる、ＬＣ共振器
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来のＬＣ共振器は、たとえば巻線型，
プリント型または積層チップ型など各種のコイルと各種
のコンデンサとを任意に組み合わせて構成されていた。
プリント型または積層チップ型など各種のコイルと各種
のコンデンサとを任意に組み合わせて構成されていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般に、ＬＣ共振器の
共振周波数は、
共振周波数は、
【０００４】
【数１】
【０００５】で表され、インダクタンスＬと容量Ｃの値
を正確に設定することが要求されるが、従来のＬＣ共振
器では、インダクタンスＬおよび容量Ｃの値が機械的精
度に依存するため高精度に設定できなかった。また、そ
れぞれ単体のコイルおよびコンデンサを準備する必要が
あり大型化するという問題点があった。それゆえに、こ
の発明の主たる目的は、高精度でありかつ小型化が図れ
る、ＬＣ共振器を提供することである。
を正確に設定することが要求されるが、従来のＬＣ共振
器では、インダクタンスＬおよび容量Ｃの値が機械的精
度に依存するため高精度に設定できなかった。また、そ
れぞれ単体のコイルおよびコンデンサを準備する必要が
あり大型化するという問題点があった。それゆえに、こ
の発明の主たる目的は、高精度でありかつ小型化が図れ
る、ＬＣ共振器を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明は、基板上に薄
膜形成技術によって形成したインダクタおよびコンデン
サを備える、ＬＣ共振器である。
膜形成技術によって形成したインダクタおよびコンデン
サを備える、ＬＣ共振器である。
【０００７】
【作用】基板上に、たとえばフォトリソグラフィなどの
薄膜形成技術によって、薄膜状のインダクタ（コイル）
およびコンデンサ電極を形成し、ＬＣ共振回路を形成す
る。
薄膜形成技術によって、薄膜状のインダクタ（コイル）
およびコンデンサ電極を形成し、ＬＣ共振回路を形成す
る。
【０００８】
【発明の効果】この発明によれば、フォトリソグラフィ
などの薄膜形成技術を用いてＬＣ共振回路を形成するの
で、同一基板上にインダクタンスＬおよび容量Ｃを一体
的に形成でき、ＬＣ共振器の小型化が図れる。また、薄
膜形成技術を用いるため、インダクタンスＬおよび容量
Ｃの寸法精度を高くでき、ばらつきの小さい高精度のＬ
Ｃ共振器を得ることができる。
などの薄膜形成技術を用いてＬＣ共振回路を形成するの
で、同一基板上にインダクタンスＬおよび容量Ｃを一体
的に形成でき、ＬＣ共振器の小型化が図れる。また、薄
膜形成技術を用いるため、インダクタンスＬおよび容量
Ｃの寸法精度を高くでき、ばらつきの小さい高精度のＬ
Ｃ共振器を得ることができる。
【０００９】この発明の上述の目的，その他の目的，特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【００１０】
【実施例】図１を参照して、この実施例のＬＣ共振器１
０は、コの字パターン共振器として構成されたものであ
る。ＬＣ共振器１０はチップ状の誘電体基板１２を含み
、誘電体基板１２の上面には、長方形をしたコンデンサ
電極１４および略正方形をしたコンデンサ電極１６が形
成される。コンデンサ電極１４は、その一方端が誘電体
基板１２の左端縁にまで形成される。また、コンデンサ
電極１４と１６とは略コ字形状をしたコイル１８によっ
て接続される。また、誘電体基板１２の下面には、コン
デンサ電極１４と対向する位置に長方形をしたコンデン
サ電極２０が、コンデンサ電極１６と対向する位置に略
正方形をしたコンデンサ電極２２がそれぞれ形成される
。コンデンサ電極２０は、その一方端が誘電体基板１２
の右端縁にまで形成される。また、コンデンサ電極２０
と２２とは略Ｌ字形状をしたコイル２４によって接続さ
れる。
０は、コの字パターン共振器として構成されたものであ
る。ＬＣ共振器１０はチップ状の誘電体基板１２を含み
、誘電体基板１２の上面には、長方形をしたコンデンサ
電極１４および略正方形をしたコンデンサ電極１６が形
成される。コンデンサ電極１４は、その一方端が誘電体
基板１２の左端縁にまで形成される。また、コンデンサ
電極１４と１６とは略コ字形状をしたコイル１８によっ
て接続される。また、誘電体基板１２の下面には、コン
デンサ電極１４と対向する位置に長方形をしたコンデン
サ電極２０が、コンデンサ電極１６と対向する位置に略
正方形をしたコンデンサ電極２２がそれぞれ形成される
。コンデンサ電極２０は、その一方端が誘電体基板１２
の右端縁にまで形成される。また、コンデンサ電極２０
と２２とは略Ｌ字形状をしたコイル２４によって接続さ
れる。
【００１１】そして、誘電体基板１２の上下両主面全面
には、図５に示すようなたとえばポリイミドなどからな
る絶縁膜２６および３０がそれぞれ形成される。そして
、誘電体基板１２の左右両側面には、外部電極３０およ
び３２がそれぞれ形成され、外部電極３０はコンデンサ
電極１４に、外部電極３２はコンデンサ電極２０にそれ
ぞれ接続される。
には、図５に示すようなたとえばポリイミドなどからな
る絶縁膜２６および３０がそれぞれ形成される。そして
、誘電体基板１２の左右両側面には、外部電極３０およ
び３２がそれぞれ形成され、外部電極３０はコンデンサ
電極１４に、外部電極３２はコンデンサ電極２０にそれ
ぞれ接続される。
【００１２】このように形成されるＬＣ共振器１０は、
図２に示すように、コンデンサ電極１４と２０との間に
コンデンサすなわち容量Ｃ１、コンデンサ電極１６と２
２との間にコンデンサすなわち容量Ｃ２がそれぞれ形成
される。そして、外部電極３０とコンデンサ電極１６と
の間にはコイル１８すなわちインダクタンスＬ１が介挿
され、外部電極３２とコンデンサ電極２２との間にはコ
イル２４すなわちインダクタンスＬ２が介挿された等価
回路で表せる。
図２に示すように、コンデンサ電極１４と２０との間に
コンデンサすなわち容量Ｃ１、コンデンサ電極１６と２
２との間にコンデンサすなわち容量Ｃ２がそれぞれ形成
される。そして、外部電極３０とコンデンサ電極１６と
の間にはコイル１８すなわちインダクタンスＬ１が介挿
され、外部電極３２とコンデンサ電極２２との間にはコ
イル２４すなわちインダクタンスＬ２が介挿された等価
回路で表せる。
【００１３】このＬＣ共振器１０は、以下に述べるよう
にして製造される。まず、図３に示すように、チップ状
の誘電体基板１２を準備する。そして、図４に示すよう
に、誘電体基板１２の上下両主面には、たとえばフォト
リソグラフィなどの薄膜形成技術によって、所望形状の
コイルおよびコンデンサ電極が形成される。すなわち、
まず、誘電体基板１２の上下両主面全面に導体膜を形成
し、エッチングにより、誘電体基板１２の上面にコンデ
ンサ電極１４，１６およびコイル１８を、誘電体基板１
２の下面にコンデンサ電極２０，２２およびコイル２４
をそれぞれ形成する。
にして製造される。まず、図３に示すように、チップ状
の誘電体基板１２を準備する。そして、図４に示すよう
に、誘電体基板１２の上下両主面には、たとえばフォト
リソグラフィなどの薄膜形成技術によって、所望形状の
コイルおよびコンデンサ電極が形成される。すなわち、
まず、誘電体基板１２の上下両主面全面に導体膜を形成
し、エッチングにより、誘電体基板１２の上面にコンデ
ンサ電極１４，１６およびコイル１８を、誘電体基板１
２の下面にコンデンサ電極２０，２２およびコイル２４
をそれぞれ形成する。
【００１４】そして、図５に示すように、誘電体基板１
２の上下両主面全面に、絶縁膜２６および２８を形成し
て、絶縁処理を行う。その後、図６に示すように、誘電
体基板１２の左右両側面に外部電極３０および３２を形
成して、ＬＣ共振器１０が完成する。このようにして得
られるＬＣ共振器１０は、誘電体基板１２の厚みとほぼ
等しい厚みに形成でき、低背形でありかつ超小型のＬＣ
共振器が得られる。
２の上下両主面全面に、絶縁膜２６および２８を形成し
て、絶縁処理を行う。その後、図６に示すように、誘電
体基板１２の左右両側面に外部電極３０および３２を形
成して、ＬＣ共振器１０が完成する。このようにして得
られるＬＣ共振器１０は、誘電体基板１２の厚みとほぼ
等しい厚みに形成でき、低背形でありかつ超小型のＬＣ
共振器が得られる。
【００１５】また、従来のように、部品の選別やトリミ
ングなどの工程を要せず、簡単に製造できるので、低コ
スト化をも図れる。また、図７に示す他の実施例のＬＣ
共振器１０´は、並列共振器として形成されたものであ
る。すなわち、ＬＣ共振器１０´は誘電体基板１２を含
み、誘電体基板１２の上面には、長方形をしたコンデン
サ電極３４とスパイラル状のコイル３６とが形成される
。コンデンサ電極３４の一方端およびコイル３６の外端
３６ａは、それぞれ誘電体基板１２の左端縁にまで形成
される。また、誘電体基板１２の下面には、コンデンサ
電極３４と対向する位置に長方形をしたコンデンサ電極
３８が形成され、また、貫通孔４０を通してコイル３６
の内端３６ｂに接続された直線状のコイル４２が形成さ
れる。コンデンサ電極３８の一方端およびコイル４２の
一方端は、それぞれ誘電体基板１２の右端縁にまで形成
される。そして、誘電体基板１２の上下両主面全面には
、図示しない絶縁膜が形成される。そして、誘電体基板
１２の左右両側面には外部電極３０および３２がそれぞ
れ形成され、外部電極３０にコンデンサ電極３４の一方
端とコイル３６の外端３６ａとが接続され、外部電極３
２にコンデンサ電極３８の一方端とコイル４２の一方端
とが接続される。
ングなどの工程を要せず、簡単に製造できるので、低コ
スト化をも図れる。また、図７に示す他の実施例のＬＣ
共振器１０´は、並列共振器として形成されたものであ
る。すなわち、ＬＣ共振器１０´は誘電体基板１２を含
み、誘電体基板１２の上面には、長方形をしたコンデン
サ電極３４とスパイラル状のコイル３６とが形成される
。コンデンサ電極３４の一方端およびコイル３６の外端
３６ａは、それぞれ誘電体基板１２の左端縁にまで形成
される。また、誘電体基板１２の下面には、コンデンサ
電極３４と対向する位置に長方形をしたコンデンサ電極
３８が形成され、また、貫通孔４０を通してコイル３６
の内端３６ｂに接続された直線状のコイル４２が形成さ
れる。コンデンサ電極３８の一方端およびコイル４２の
一方端は、それぞれ誘電体基板１２の右端縁にまで形成
される。そして、誘電体基板１２の上下両主面全面には
、図示しない絶縁膜が形成される。そして、誘電体基板
１２の左右両側面には外部電極３０および３２がそれぞ
れ形成され、外部電極３０にコンデンサ電極３４の一方
端とコイル３６の外端３６ａとが接続され、外部電極３
２にコンデンサ電極３８の一方端とコイル４２の一方端
とが接続される。
【００１６】このようにして形成されるＬＣ共振器１０
´では、図８に示すように、コンデンサ電極３４と３８
との間にコンデンサすなわち容量Ｃ３が形成され、コイ
ル３６と４２とによってインダクタンスＬ３が形成され
る。なお、ＬＣ共振器１０´は先の実施例と同様にして
製造される。また、その他の実施例として、図９に示す
ように、積層コンデンサ４４の上面および下面にＬＣ共
振器を形成してもよい。すなわち、積層コンデンサ４４
の上面４６にコンデンサ電極１４，１６およびコイル１
８を形成し、また、図示しないが、積層コンデンサ４４
の下面４８に、コンデンサ電極２０，２２およびコイル
２４を形成する。
´では、図８に示すように、コンデンサ電極３４と３８
との間にコンデンサすなわち容量Ｃ３が形成され、コイ
ル３６と４２とによってインダクタンスＬ３が形成され
る。なお、ＬＣ共振器１０´は先の実施例と同様にして
製造される。また、その他の実施例として、図９に示す
ように、積層コンデンサ４４の上面および下面にＬＣ共
振器を形成してもよい。すなわち、積層コンデンサ４４
の上面４６にコンデンサ電極１４，１６およびコイル１
８を形成し、また、図示しないが、積層コンデンサ４４
の下面４８に、コンデンサ電極２０，２２およびコイル
２４を形成する。
【００１７】このように積層コンデンサ４４の上面およ
び下面にＬＣ共振器を一体的に形成することによって、
ＬＣ共振器と積層コンデンサとがコンパクトに複合化さ
れた複合部品とすることができる。また、さらにその他
の実施例として、図１０に示すように、ＬＣ共振器１０
および１０´を１枚の誘電体基板５０上に複数個（この
実施例では３個）形成し、それぞれを電気的に結合して
一体化された共振器ブロックとしてもよい。
び下面にＬＣ共振器を一体的に形成することによって、
ＬＣ共振器と積層コンデンサとがコンパクトに複合化さ
れた複合部品とすることができる。また、さらにその他
の実施例として、図１０に示すように、ＬＣ共振器１０
および１０´を１枚の誘電体基板５０上に複数個（この
実施例では３個）形成し、それぞれを電気的に結合して
一体化された共振器ブロックとしてもよい。
【００１８】さらに、コイルを２層，３層と順次積み重
ねてもよい。
ねてもよい。
【図１】この発明の一実施例を示す平面図解図である。
【図２】図１の実施例の等価回路図である。
【図３】誘電体基板を準備した状態を示す斜視図である
。
。
【図４】コイルおよびコンデンサ電極を形成した状態を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図５】絶縁膜を形成した状態を示す斜視図である。
【図６】外部電極を形成した状態を示す斜視図である。
【図７】この発明の他の実施例を示す平面図解図である
。
。
【図８】図７の実施例の等価回路図である。
【図９】この発明のその他の実施例を示す斜視図である
。
。
【図１０】この発明のさらにその他の実施例を示す図解
図である。
図である。
Claims (1)
- 【請求項１】基板上に薄膜形成技術によって形成したイ
ンダクタおよびコンデンサを備える、ＬＣ共振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40084590A JPH04213208A (ja) | 1990-12-07 | 1990-12-07 | Ｌｃ共振器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP40084590A JPH04213208A (ja) | 1990-12-07 | 1990-12-07 | Ｌｃ共振器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04213208A true JPH04213208A (ja) | 1992-08-04 |
Family
ID=18510720
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP40084590A Pending JPH04213208A (ja) | 1990-12-07 | 1990-12-07 | Ｌｃ共振器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04213208A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08102635A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-04-16 | Tokin Corp | Ｌｃｒ複合部品 |
| JPH0969742A (ja) * | 1995-09-01 | 1997-03-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Ｌｃフィルタ |
| KR101974906B1 (ko) | 2017-11-28 | 2019-05-03 | 가부시키가이샤 노다스크린 | Lc 공진 소자 및 공진 소자 어레이 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02237008A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
-
1990
- 1990-12-07 JP JP40084590A patent/JPH04213208A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02237008A (ja) * | 1989-03-09 | 1990-09-19 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08102635A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-04-16 | Tokin Corp | Ｌｃｒ複合部品 |
| JPH0969742A (ja) * | 1995-09-01 | 1997-03-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | Ｌｃフィルタ |
| KR101974906B1 (ko) | 2017-11-28 | 2019-05-03 | 가부시키가이샤 노다스크린 | Lc 공진 소자 및 공진 소자 어레이 |
| CN110100290A (zh) * | 2017-11-28 | 2019-08-06 | 野田士克林股份有限公司 | Lc谐振元件和谐振元件阵列 |
| US11328861B2 (en) | 2017-11-28 | 2022-05-10 | Noda Screen Co., Ltd. | LC resonance element and resonance element array |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 19970826 |