JPH04171974A - 増幅回路 - Google Patents
増幅回路Info
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- JPH04171974A JPH04171974A JP30011790A JP30011790A JPH04171974A JP H04171974 A JPH04171974 A JP H04171974A JP 30011790 A JP30011790 A JP 30011790A JP 30011790 A JP30011790 A JP 30011790A JP H04171974 A JPH04171974 A JP H04171974A
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- Japan
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- electrode
- resistor
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- resistance
- film resistance
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Links
- 230000003321 amplification Effects 0.000 title 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 title 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 13
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- DYRBFMPPJATHRF-UHFFFAOYSA-N chromium silicon Chemical group [Si].[Cr] DYRBFMPPJATHRF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Amplifiers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は演算回路に関し、特に帰還部がCR(容量抵抗
)で構成された増幅回路に関する。
)で構成された増幅回路に関する。
従来、位相補償を含む増幅回路として、第5図に示す回
路が知られている。第5図において、演算増幅器10の
負入力部と入力端子11との間には抵抗Rsが、出力部
と負入力部との間には抵抗Rf及び容量C1が接続され
、そして、前記演算増幅器10の正入力から抵抗R1を
介して接地されている。そして前記抵抗R1及び容量C
fは、各々別々に構成されている。
路が知られている。第5図において、演算増幅器10の
負入力部と入力端子11との間には抵抗Rsが、出力部
と負入力部との間には抵抗Rf及び容量C1が接続され
、そして、前記演算増幅器10の正入力から抵抗R1を
介して接地されている。そして前記抵抗R1及び容量C
fは、各々別々に構成されている。
前述した従来の演算増幅器10を用いて構成した増幅回
路では、帰還抵抗Rrが薄膜抵抗で構成され、並列に接
続される位相補償用の容量Crが、MO8容量で構成さ
れている。このため、帰還抵抗Rtを大きくしようとす
るとき、マスクレイアウト上面積が大きくなるという欠
点がある。
路では、帰還抵抗Rrが薄膜抵抗で構成され、並列に接
続される位相補償用の容量Crが、MO8容量で構成さ
れている。このため、帰還抵抗Rtを大きくしようとす
るとき、マスクレイアウト上面積が大きくなるという欠
点がある。
ここで、抵抗値及び容量値は以下に示す式で得られる。
薄膜抵抗で構成される帰還抵抗R1は、抵抗長L c
を抵抗幅W c +面積抵抗率ρ6゜及びコーナー数N
でコーナーの全抵抗値は0.5Nρ8゜とすると、次式
となる。
を抵抗幅W c +面積抵抗率ρ6゜及びコーナー数N
でコーナーの全抵抗値は0.5Nρ8゜とすると、次式
となる。
R,=ρsc” (L c +0.5 N ・Wc)
/We・・・(1) また、容量C1は面積A及び単位容量Cより、次式とな
る。
/We・・・(1) また、容量C1は面積A及び単位容量Cより、次式とな
る。
C,=C@A ・・・
(2)例えば帰還抵抗Re ” 1001(Ω、容量C
r =4pF、薄膜抵抗成分がシリコンクロムの場合9
面積抵抗率1.5 kΩ/口、単位容ff15.3 X
10−’p F/μm2とすると、第6図に示すよう
に、横方向X 2 = 215 u m +縦方向Y
2 = 16Ei a mとなり、面積は次のように大
きな面積になる。
(2)例えば帰還抵抗Re ” 1001(Ω、容量C
r =4pF、薄膜抵抗成分がシリコンクロムの場合9
面積抵抗率1.5 kΩ/口、単位容ff15.3 X
10−’p F/μm2とすると、第6図に示すよう
に、横方向X 2 = 215 u m +縦方向Y
2 = 16Ei a mとなり、面積は次のように大
きな面積になる。
面積X2 ” Y2 ”3589011 m2””(3
)尚、第6図の半導体基板上の平面図において、抵抗R
,と絶縁拡散領域8,9内の容量C2のパターンレイア
ウトが示されており、双方は接続端子12.13間に、
並列接続されている。
)尚、第6図の半導体基板上の平面図において、抵抗R
,と絶縁拡散領域8,9内の容量C2のパターンレイア
ウトが示されており、双方は接続端子12.13間に、
並列接続されている。
本発明の目的は、前記問題点を解決し、小面積でR,C
を構成できるようにした増幅回路を提供することにある
。
を構成できるようにした増幅回路を提供することにある
。
本発明の増幅回路の構成は、演算増幅器と、第1の入力
端子と前記演算増幅器の負入力部との間に接続された第
1の抵抗と、前記演算増幅器の出力部と負入力部との間
に接続された第2の抵抗と、前記第2の抵抗に並列に接
続された位相補償用の容量と、前記演算増幅器の正入力
から第3の抵抗を介して接地されている増幅回路におい
て、前記容量を構成する一方の電極を薄膜抵抗で構成し
、前記電極ともう一方の電極とを接続したことを特徴と
する。
端子と前記演算増幅器の負入力部との間に接続された第
1の抵抗と、前記演算増幅器の出力部と負入力部との間
に接続された第2の抵抗と、前記第2の抵抗に並列に接
続された位相補償用の容量と、前記演算増幅器の正入力
から第3の抵抗を介して接地されている増幅回路におい
て、前記容量を構成する一方の電極を薄膜抵抗で構成し
、前記電極ともう一方の電極とを接続したことを特徴と
する。
次に本発明について図面を参照して説明する。
第1図は本発明の一実施例の増幅回路の断面図である。
第1図において、本実施例のRC部分は、半導体基板内
のエピタキシャル成長層5が、絶縁拡散領域8,9内に
形成され、さらに共通電極3が形成され、Cとなる絶縁
膜7を介してRが形成されている。
のエピタキシャル成長層5が、絶縁拡散領域8,9内に
形成され、さらに共通電極3が形成され、Cとなる絶縁
膜7を介してRが形成されている。
本実施例は、接続端子1が容量の共通電極3と薄膜抵抗
4の一方に接続されている。
4の一方に接続されている。
また、接続端子2は薄膜抵抗で構成されている電極4の
他方に接続されている。共通電極3の上には絶縁膜6,
7が形成され、その上に薄膜抵抗4が形成されることに
より、薄膜抵抗4と共通電極3との間にMO8容量C8
r ct I C2t・・・C,、Cfi+□が構成さ
れている。そして、薄膜抵抗(R,、R2、・−Rfi
)4とMO5容量C6゜・・・1cfl+□とから、第
2図に示すような分布定数回路が構成されることになる
。第2図において、接続端子1は共通電極3と薄膜抵抗
4の一方に接続されていることにより、第3図に示すよ
うな抵抗Rと容量Cが並列となる等価回路で表わすこと
ができる。
他方に接続されている。共通電極3の上には絶縁膜6,
7が形成され、その上に薄膜抵抗4が形成されることに
より、薄膜抵抗4と共通電極3との間にMO8容量C8
r ct I C2t・・・C,、Cfi+□が構成さ
れている。そして、薄膜抵抗(R,、R2、・−Rfi
)4とMO5容量C6゜・・・1cfl+□とから、第
2図に示すような分布定数回路が構成されることになる
。第2図において、接続端子1は共通電極3と薄膜抵抗
4の一方に接続されていることにより、第3図に示すよ
うな抵抗Rと容量Cが並列となる等価回路で表わすこと
ができる。
そして、従来例と同様の帰還抵抗R,=100にΩ、容
量Cr =4pF、面積抵抗率1.51(Ω/口、単位
容量5.3 X 10−’1) F / μm2.及び
横方向X1=215μmとすると、第4図に示すように
、縦方向Y、=125μmとなり、次式となる。
量Cr =4pF、面積抵抗率1.51(Ω/口、単位
容量5.3 X 10−’1) F / μm2.及び
横方向X1=215μmとすると、第4図に示すように
、縦方向Y、=125μmとなり、次式となる。
面積X 1” Y 1= 26875 μm2.、、
(4)以上の結果より、従来例に比べ本実施例の面積は
、前記式(4)÷(3)より、面積比=X1・Yl/
X 2・Y2=0.75となり、面積は従来に比べ0.
75に縮小できる。又、抵抗値が小さく相対精度が必要
な時は、抵抗幅が大きくなり抵抗の面積が大きくなり、
より有効的である。
(4)以上の結果より、従来例に比べ本実施例の面積は
、前記式(4)÷(3)より、面積比=X1・Yl/
X 2・Y2=0.75となり、面積は従来に比べ0.
75に縮小できる。又、抵抗値が小さく相対精度が必要
な時は、抵抗幅が大きくなり抵抗の面積が大きくなり、
より有効的である。
尚、第4図において、絶縁拡散領域8,9上に、電極4
が形成され、外部へ伸びる接続端子1.2が形成される
。
が形成され、外部へ伸びる接続端子1.2が形成される
。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は、容量の一方の電極を薄
膜抵抗で構成し、前記電極のもう一方の電極を接続する
ことにより、マスクレイアウト上同一アイソレーション
に抵抗と容量を構成することができ、マスクレイアウト
の面積を減少することができる効果がある。
膜抵抗で構成し、前記電極のもう一方の電極を接続する
ことにより、マスクレイアウト上同一アイソレーション
に抵抗と容量を構成することができ、マスクレイアウト
の面積を減少することができる効果がある。
第1図は本発明の一実施例の増幅回路を示す断面図、第
2図、第3図はいずれも第1図の等価回路を示す回路図
、第4図は第3図のパターンレイアウトを示す平面図、
第5図は増幅回路の構成を示す回路図、第6図は従来例
のパターンレイアウトを示す平面図である。 1.2,12.13・・・接続端子、3・・・共通電極
、4・・・電極、5・・・エピタキシャル成長層、6゜
7・・・絶縁膜、8,9・・・絶縁拡散領域、10・・
・演算増幅器、t i−・・入力端子、RS + Rr
+ Ra + R1+ R2+R,・・・薄膜抵抗、
Cf HCO+ C1+ C21Cn + C71+
1 ・・”MO8容量。
2図、第3図はいずれも第1図の等価回路を示す回路図
、第4図は第3図のパターンレイアウトを示す平面図、
第5図は増幅回路の構成を示す回路図、第6図は従来例
のパターンレイアウトを示す平面図である。 1.2,12.13・・・接続端子、3・・・共通電極
、4・・・電極、5・・・エピタキシャル成長層、6゜
7・・・絶縁膜、8,9・・・絶縁拡散領域、10・・
・演算増幅器、t i−・・入力端子、RS + Rr
+ Ra + R1+ R2+R,・・・薄膜抵抗、
Cf HCO+ C1+ C21Cn + C71+
1 ・・”MO8容量。
Claims (1)
- 演算増幅器と、第1の入力端子と前記演算増幅器の負
入力部との間に接続された第1の抵抗と、前記演算増幅
器の出力部と負入力部との間に接続された第2の抵抗と
、前記第2の抵抗に並列に接続された容量と、前記演算
増幅器の正入力から第3の抵抗を介して接地された増幅
回路において、前記容量を構成する一方の電極を薄膜抵
抗で構成し、前記電極と他方の電極とを接続したことを
特徴とする増幅回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30011790A JPH04171974A (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | 増幅回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30011790A JPH04171974A (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | 増幅回路 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04171974A true JPH04171974A (ja) | 1992-06-19 |
Family
ID=17880928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30011790A Pending JPH04171974A (ja) | 1990-11-06 | 1990-11-06 | 増幅回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04171974A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003502896A (ja) * | 1999-06-10 | 2003-01-21 | レイセオン・カンパニー | 寄生振動を低減したトランジスタ増幅器 |
JP2008219507A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | 低雑音増幅器 |
JP2010136005A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Seiko Epson Corp | 増幅回路、基準電圧生成回路、集積回路装置、電気光学装置、及び電子機器 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60249357A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
-
1990
- 1990-11-06 JP JP30011790A patent/JPH04171974A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60249357A (ja) * | 1984-05-25 | 1985-12-10 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003502896A (ja) * | 1999-06-10 | 2003-01-21 | レイセオン・カンパニー | 寄生振動を低減したトランジスタ増幅器 |
JP2008219507A (ja) * | 2007-03-05 | 2008-09-18 | Mitsubishi Electric Corp | 低雑音増幅器 |
JP2010136005A (ja) * | 2008-12-03 | 2010-06-17 | Seiko Epson Corp | 増幅回路、基準電圧生成回路、集積回路装置、電気光学装置、及び電子機器 |
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