JP2595624Y2 - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置Info
- Publication number
- JP2595624Y2 JP2595624Y2 JP1990111303U JP11130390U JP2595624Y2 JP 2595624 Y2 JP2595624 Y2 JP 2595624Y2 JP 1990111303 U JP1990111303 U JP 1990111303U JP 11130390 U JP11130390 U JP 11130390U JP 2595624 Y2 JP2595624 Y2 JP 2595624Y2
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- JP
- Japan
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- capacitor
- capacitance value
- filter
- semiconductor device
- active filters
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Description
【考案の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本考案は、アクティブフィルタと呼ばれているよう
な、複数のフィルタを備えた半導体装置に関する。
な、複数のフィルタを備えた半導体装置に関する。
［考案の概要］ 本考案は、８ミリビデオの輝度信号処理に用いられて
いる半導体装置のように、外部定数により基準電流を作
り、この基準電流にもとづいてコンデンサを含む複数の
フィルタの特性を制御する半導体装置において、 全部のコンデンサのパターンを、同一容量値で形と向
きとを統一することにより、 寄生容量のマスクずれ等に発生するばらつきを阻止し
て、フィルタ特性の精度を高めることができるようにし
たものである。
いる半導体装置のように、外部定数により基準電流を作
り、この基準電流にもとづいてコンデンサを含む複数の
フィルタの特性を制御する半導体装置において、 全部のコンデンサのパターンを、同一容量値で形と向
きとを統一することにより、 寄生容量のマスクずれ等に発生するばらつきを阻止し
て、フィルタ特性の精度を高めることができるようにし
たものである。
［従来の技術］ この種の従来の半導体装置としては、例えば特開昭61
−224715号公報に示されているように、トランジスタと
抵抗器とコンデンサとを組み合わた複数のアクティブフ
ィルタを備え、これらのアクティブフィルタに外部定数
により作られた基準電流を供給して、それぞれのフィル
タ特性を制御するものが知られている。具体的には、第
３図に示すような、ローパスフィルタにIxを外付け回路
で供給している。このローパスフィルタの相互インダク
タンスgmとカットオフ周波数ω0とは、 となるので、Ixを外付け回路によって、フィルタの特性
を制御するようにしてある。
−224715号公報に示されているように、トランジスタと
抵抗器とコンデンサとを組み合わた複数のアクティブフ
ィルタを備え、これらのアクティブフィルタに外部定数
により作られた基準電流を供給して、それぞれのフィル
タ特性を制御するものが知られている。具体的には、第
３図に示すような、ローパスフィルタにIxを外付け回路
で供給している。このローパスフィルタの相互インダク
タンスgmとカットオフ周波数ω0とは、 となるので、Ixを外付け回路によって、フィルタの特性
を制御するようにしてある。
［考案が解決しようとする課題］ 前述の半導体装置では、フィルタ特性の関係から、１
つのフィルタ中のコンデンサの容量が10pF、別のもう１
つのフィルタ中のコンデンサの容量が25pFというよう
に、全部のコンデンサが異なる容量値で構成されている
のが一般的である。しかし、半導体装置の製造プロセス
において、１つの半導体基板上に容量の異なる複数のコ
ンデンサのパターンを作る場合、各パターンの形や向き
が異なることにより、各コンデンサの寄生容量やパター
ニングでのマスクずれ等にばらつきを生じ、フィルタ特
性の精度が低下するという不都合がある。例えば、コン
デンサの容量値をＣ、コンデンサのパターン面積をＳ、
層間膜圧をｄとすると、容量値Ｃは、 であり、容量値Ｃのばらつき範囲が±10％の場合、d,S
によるばらつきがそれぞれ５％，±８％だと仮定する
と、コンデンサの形状を同一にすることにより、Ｓによ
るばらつき±８％（マスクずれ等によるばらつき）を小
さくすることができる。
つのフィルタ中のコンデンサの容量が10pF、別のもう１
つのフィルタ中のコンデンサの容量が25pFというよう
に、全部のコンデンサが異なる容量値で構成されている
のが一般的である。しかし、半導体装置の製造プロセス
において、１つの半導体基板上に容量の異なる複数のコ
ンデンサのパターンを作る場合、各パターンの形や向き
が異なることにより、各コンデンサの寄生容量やパター
ニングでのマスクずれ等にばらつきを生じ、フィルタ特
性の精度が低下するという不都合がある。例えば、コン
デンサの容量値をＣ、コンデンサのパターン面積をＳ、
層間膜圧をｄとすると、容量値Ｃは、 であり、容量値Ｃのばらつき範囲が±10％の場合、d,S
によるばらつきがそれぞれ５％，±８％だと仮定する
と、コンデンサの形状を同一にすることにより、Ｓによ
るばらつき±８％（マスクずれ等によるばらつき）を小
さくすることができる。
また、寄生容量Ｃ′は、パターンの周長ｌに比例して
発生するので、Ｃ′＝0.1×ｌとすると、同じ面積Ｓ＝2
0の場合でも、第4,5図に示すように、形状が異なると、
全体の容量C0は、第４図の場合は、ｌ＝24,C′＝2.4pF,
C0＝Ｃ＋Ｃ′＝22.4pFとなり、第５図の場合は、ｌ＝1
8,C′＝1.8pF,C0＝Ｃ＋Ｃ′＝21.8pFとなる。これらの
容量値Ｃのばらつきが前記（１）式によって、フィルタ
特性のばらつきにつながり、精度が悪くなる。
発生するので、Ｃ′＝0.1×ｌとすると、同じ面積Ｓ＝2
0の場合でも、第4,5図に示すように、形状が異なると、
全体の容量C0は、第４図の場合は、ｌ＝24,C′＝2.4pF,
C0＝Ｃ＋Ｃ′＝22.4pFとなり、第５図の場合は、ｌ＝1
8,C′＝1.8pF,C0＝Ｃ＋Ｃ′＝21.8pFとなる。これらの
容量値Ｃのばらつきが前記（１）式によって、フィルタ
特性のばらつきにつながり、精度が悪くなる。
［課題を解決するための手段］ そこで本考案にあっては、コンデンサを含む複数のア
クティブフィルタを基準電流にもとづいて制御する半導
体集積回路装置において、上記複数のアクティブフィル
タにおける全部のコンデンサのパターンを、同一容量値
で形と向きとを統一したものを用いて構成し、前記アク
ティブフィルタ個々に要求される容量値と、上記パター
ンにより得られる容量値との差分は、上記アクティブフ
ィルタ個々のフィルタ特性を決める電流値を上記アイテ
ィブフィルタ個々で変えることにより調整するものであ
る。
クティブフィルタを基準電流にもとづいて制御する半導
体集積回路装置において、上記複数のアクティブフィル
タにおける全部のコンデンサのパターンを、同一容量値
で形と向きとを統一したものを用いて構成し、前記アク
ティブフィルタ個々に要求される容量値と、上記パター
ンにより得られる容量値との差分は、上記アクティブフ
ィルタ個々のフィルタ特性を決める電流値を上記アイテ
ィブフィルタ個々で変えることにより調整するものであ
る。
［作用］ コンデンサ各々における寄生容量やパターニングでの
マスクずれ等が均一になる。
マスクずれ等が均一になる。
［実施例］ 先ず、実施例の構造を説明する。
第２図に示すように、この一実施例の半導体装置で
は、基本的には、外部定数１により基準電流I0を作り、
この基準電流I0を半導体装置２の入力端子３から複数の
フィルタ4,5に供給して、それぞれのフィルタ特性を制
御するようになっている。各フィルタ4,5は、トランジ
スタQ1，Q2と抵抗器R1，R2とコンデンサC1，C2とからな
るアクティブフィルタに構成してある。
は、基本的には、外部定数１により基準電流I0を作り、
この基準電流I0を半導体装置２の入力端子３から複数の
フィルタ4,5に供給して、それぞれのフィルタ特性を制
御するようになっている。各フィルタ4,5は、トランジ
スタQ1，Q2と抵抗器R1，R2とコンデンサC1，C2とからな
るアクティブフィルタに構成してある。
ここで、複数のフィルタにおけるコンデンサC1，C2全
部のパターンP1，P2，P3は、第１図に示すように、同一
容量値で、形と向きとが統一してある。具体的には、回
路設計上は、一方のフィルタ４でのコンデンサC1に要求
される容量値が10pF、他方のフィルタ５でのコンデンサ
C2に要求される容量値が25pFである仮定すると、全部の
コンデンサC1，C2の容量値である10pFと25pFとの最大公
約数“5pF"を求め、この最大公約数“5pF"を参考に基本
容量値C0としての10pFを決定し、この基本コンデンサC0
におけるパターンの形と向きとを決定してある。そし
て、上記一方のフィルタ４でのコンデンサC1のように、
要求される容量値が10pFの場合には、１個の基本コンデ
ンサC0で構成し、また、他方のフィルタ５でのフィルタ
C2のように、要求される容量値が25pFの場合には、２個
の基本コンデンサC0を並列に接続して構成し、基準電流
I0にもとづくフィルタ特性をきめる電流値を、フィルタ
4,5個々で変えるようにしてある。
部のパターンP1，P2，P3は、第１図に示すように、同一
容量値で、形と向きとが統一してある。具体的には、回
路設計上は、一方のフィルタ４でのコンデンサC1に要求
される容量値が10pF、他方のフィルタ５でのコンデンサ
C2に要求される容量値が25pFである仮定すると、全部の
コンデンサC1，C2の容量値である10pFと25pFとの最大公
約数“5pF"を求め、この最大公約数“5pF"を参考に基本
容量値C0としての10pFを決定し、この基本コンデンサC0
におけるパターンの形と向きとを決定してある。そし
て、上記一方のフィルタ４でのコンデンサC1のように、
要求される容量値が10pFの場合には、１個の基本コンデ
ンサC0で構成し、また、他方のフィルタ５でのフィルタ
C2のように、要求される容量値が25pFの場合には、２個
の基本コンデンサC0を並列に接続して構成し、基準電流
I0にもとづくフィルタ特性をきめる電流値を、フィルタ
4,5個々で変えるようにしてある。
次に実施例の作用を説明する。
パターンの形と向きとが統一された基本コンデンサC0
を組み合わせることにより、複数のフィルタ4,5の要求
される容量値の異なるコンデンサC1，C2を構成してある
ので、上記コンデンサC1，C2に寄生容量やパターニング
でのマスクずれ等が均一なる。
を組み合わせることにより、複数のフィルタ4,5の要求
される容量値の異なるコンデンサC1，C2を構成してある
ので、上記コンデンサC1，C2に寄生容量やパターニング
でのマスクずれ等が均一なる。
［考案の効果］ 以上のように本考案のよれば、全部のコンデンサのパ
ターンを、同一容量値で形と向きとを統一してあるの
で、コンデンサ個々に生じる寄生容量やマスクずれ等の
ばらつきを阻止して、フィルタ特性の精度を高めること
ができる。
ターンを、同一容量値で形と向きとを統一してあるの
で、コンデンサ個々に生じる寄生容量やマスクずれ等の
ばらつきを阻止して、フィルタ特性の精度を高めること
ができる。
第１図は本考案の一実施例に使用するコンデンサのパタ
ーンを示す平面図、第２図は同実施例の半導体装置を示
す構成図、第３図は従来例を示す回路図、第4,5図は従
来例のコンデンサのパターンを示す平面図である。 C1，C2…コンデンサ、4,5…フィルタ、P1，P2，P3…パ
ターン、I0…基準電流。
ーンを示す平面図、第２図は同実施例の半導体装置を示
す構成図、第３図は従来例を示す回路図、第4,5図は従
来例のコンデンサのパターンを示す平面図である。 C1，C2…コンデンサ、4,5…フィルタ、P1，P2，P3…パ
ターン、I0…基準電流。
フロントページの続き (72)考案者 中口 雅敏 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソ ニー株式会社内 (56)参考文献 特開 昭63−167512（ＪＰ，Ａ) 特開 平１−183907（ＪＰ，Ａ) 実開 昭64−8712（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭57−39125（ＪＰ，Ｕ)
Claims (1)
- 【請求項１】コンデンサを含む複数のアクティブフィル
タを基準電流にもとづいて制御する半導体集積回路装置
において、 上記複数のアクティブフィルタにおける全部のコンデン
サのパターンを、同一容量値で形と向きとを統一したも
のを用いて構成し、 上記アクティブフィルタ個々に要求される容量値と、上
記パターンにより得られる容量値との差分は、上記アク
ティブフィルタ個々のフィルタ特性を決める電流値を上
記アクティブフィルタ個々で変えることにより調整する ことを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990111303U JP2595624Y2 (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1990111303U JP2595624Y2 (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | 半導体装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0467818U JPH0467818U (ja) | 1992-06-16 |
| JP2595624Y2 true JP2595624Y2 (ja) | 1999-05-31 |
Family
ID=31858729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1990111303U Expired - Lifetime JP2595624Y2 (ja) | 1990-10-24 | 1990-10-24 | 半導体装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2595624Y2 (ja) |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5739125U (ja) * | 1980-08-14 | 1982-03-02 | ||
| JP2522274B2 (ja) * | 1986-12-27 | 1996-08-07 | ソニー株式会社 | フィルタ調整装置 |
| JPS648721U (ja) * | 1987-07-06 | 1989-01-18 | ||
| JPH01183907A (ja) * | 1988-01-18 | 1989-07-21 | Nec Ic Microcomput Syst Ltd | フィルタ回路 |
-
1990
- 1990-10-24 JP JP1990111303U patent/JP2595624Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0467818U (ja) | 1992-06-16 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |