JPH0415558B2 - - Google Patents

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JPH0415558B2
JPH0415558B2 JP14604885A JP14604885A JPH0415558B2 JP H0415558 B2 JPH0415558 B2 JP H0415558B2 JP 14604885 A JP14604885 A JP 14604885A JP 14604885 A JP14604885 A JP 14604885A JP H0415558 B2 JPH0415558 B2 JP H0415558B2
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JP
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channel
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transistor
mos transistor
differential amplifier
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JP14604885A
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Shigeru Atsumi
Sumio Tanaka
Takashi Kamei
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Toshiba Corp
Toshiba Electronic Device Solutions Corp
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Toshiba Corp
Toshiba Microelectronics Corp
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は半導体メモリに係り、特にCMOS型
(相補性絶縁ゲート型)メモリのセルデータ読み
出し系に関するものであり、EPROM(紫外線消
去・再書き込み可能なメモリ)とかSRAM(スタ
テイツク型ランダムアクセスメモリ)に使用され
るものである。
〔発明の技術的背景〕
第5図は、CMOS型のEPROMにおけるセルデ
ータ読み出し系を概略的に示しており、1はフロ
ーテイングゲート型トランジスタからなる不揮発
性のメモリセル、2は上記メモリセル1を選択す
るためのワード線、3は上記メモリセル1の一端
に接続されたビツト線、4はNチヤネルのMOS
トランジスタからなるトランスフアゲート、5は
上記トランスフアゲート4のゲート電極に所定の
バイアス電圧を与えるバイアス回路、6は上記ト
ランスフアゲート4を介して前記ビツト線3に接
続されているセンス線、7は上記センス線6と電
源との間に接続されたMOSトランジスタからな
る負荷トランジスタである。8はCMOS型差動
増幅器からなるセンスアンプであり、上記センス
線6の電位を基準電位発生用ダミー回路9から与
えられる基準電位と比較して上記センス線6の読
み出しデータ“1”または“0”を検出するもの
である。上記基準電位発生用ダミー回路9は、ダ
ミー用のメモリセル1′、ワード線2′、ビツト線
3′、トランスフアゲート4′、バイアス回路5′、
センス線6′、負荷トランジスタ7′からなり、上
記負荷トランジスタ7′のトランジスタのサイズ
を前記負荷トランジスタ7のサイズよりも大きく
とることにより、前記読み出しデータの“1”,
“0”に対応するセンス線6の2つの電位の中間
に位置する中間電位を基準電位として出力するも
のである。
なお、第5図中には図示していないが、ビツト
線に直列にビツト線選択用MOSトランジスタが
挿入されている。
次に、上記データ読み出し系の動作を第6図に
示すビツト線電位対セル電流特性および第7図に
示すセンス線電位対負荷電流特性を参照して説明
する。メモリセル1およびダミー用メモリセル
1′が選択されたとき、メモリセル1に予めデー
タの書き込みが行なわれていない場合にはメモリ
セル1はオン状態になり、負荷トランジスタ7か
らメモリセル電流に等しい負荷電流が流れてセン
ス線6図のロウレベル電位VSLが定まる。これに
対して、メモリセル1の予めデータの書き込みが
行なわれていると、メモリセルトランジスタの閾
値電圧VTHが非書き込み状態よりもΔVTHだけ大き
くなつている。この場合、ΔVTHの大きさに応じ
てメモリセル電流が減少し、VTH+ΔVTH>VCC(読
み出し時のメモリセル電源電位)であるとメモリ
セル1は完全にオフ状態になり、メモリセル電流
は零になる。このとき、ビツト線電位VELは、ト
ランスフアゲートトランジスタ4の閾値電圧を
VTHNで表わすと、そのゲートバイアス電位より
VTHNだけ低い値(たとえばバイアス電位が3Vで
あれば約1.5V)になつており、負荷電流は零で
あり、センス線6にはハイレベル電位VSHが現わ
れる。このように、バイアス回路5によつてビツ
ト線VELの電位を約1.5V以下に抑えているので、
読み出し時にメモリセル1に不要に高い電位が印
加されて、その記憶内容が変化する(誤書き込み
が生じる)ことは防止される。また、ビツト線電
位振幅は小さくなり、ビツト線遅延も小さくな
る。
ところで、センスアンプ8のセンス特性を決め
る上で前記負荷トランジスタ7の特性が重要にな
つてくる。CMOS回路においては、負荷トラン
ジスタとして第8図a乃至cに示すような(a)Pチ
ヤネルエンハンスメント型のアクテイブロード
型、(b)Pチヤネルエンハンスメント型のゲート
(G)・ドレイン(D)短絡型、(c)Nチヤネルエン
ハンスメント型のG・D短絡型の3種が考えられ
る。これらの3種の負荷トランジスタのうち、プ
ロセスパラメータのばらつきに対するマージンあ
るいはセンス線の遅延を考えたとき、種々検討の
結果、前記(b)のPチヤネルG・D短絡型が最も優
れていることが分つており、このことは既に本願
出願人によつて特願昭58−92641号により提案さ
れている。このようなPチヤネルG・D型の負荷
を前記第5図の回路に使用した場合、例えばVCC
を5V、Pチヤネルトランジスタのゲート閾値電
圧VTHPを0.8Vとすると、センス線6のハイレベ
ルVSHは、 VCC−VTHP=4.2V になる。また、センス線6のロウレベルVSLは、
負荷トランジスタ7の負荷サイズによつて決まる
が、例えばアクセスタイム、プロセスマージン等
を考えると2.5Vとするのが適当である。つまり、
ビツト線電位VBLは上記負荷トランジスタによつ
てVSL又はVSHに増幅されてセンス線電位VSとな
る。
一方、前記CMOS型差動増幅器8として、従
来は第9図に示すようなPチヤネルカレントミラ
ー回路を負荷とするものが使用されていた。ここ
で、N1およびN2は差動対をなすNチヤネルトラ
ンジスタ、N3は定電流源用のNチヤネルトラン
ジスタ、P1およびP2はカレントミラー接続され
たPチヤネルトランジスタであり、センス線電位
VSが前述したようにたとえば2.5Vから4.2Vの間
で変化するものとすれば、その中間レベル(たと
えば3.2V)に基準電位Vrefが設定されている。
〔背景技術の問題点〕
しかし、前述したようにセンス線負荷にPチヤ
ネルG・D短絡型を用いると共に差動増幅器とし
てPチヤネルカレントミラー型を用いると、次の
ような問題がある。即ち、上記差動増幅器におい
て、センス線電位VSがハイレベルVSHまたはロウ
レベルVSLのときのNチヤネルトランジスタN1
電流IN1およびPチヤネルトランジスタP1の電流
IP1の変化は第10図に示すようになり、センス
線電位VSがロウレベルのときでも上記Nチヤネ
ルトランジスタN1に電流が流れるので、このと
きに増幅器出力としてハイレベルを出すためには
前記PチヤネルトランジスタP1のサイズを十分
に大きくとらなければならない。このことは、差
動増幅器内のNチヤネルトランジスタとPチヤネ
ルトランジスタとのサイズ比の選択の自由度が小
さくなり、センス線電位VSがハイレベルのとき
における差動増幅器のロウレベル出力が出にく
く、その電位が高くなつてしまう。つまり、Nチ
ヤネルトランジスタN1に関しては、そのゲート
閾値電圧VTHNが0.8Vであるとすれば、そのゲー
ト電位(センス線電位VS)がハイレベル(4.2V)
のときにVG−VTHが3.4V(=4.2−0.8)になり、上
記ゲート電位がロウレベル(2.5V)のときにVG
−VTHは1.7V(=2.5−0.8)になるので、センス線
電位VSのハイレベル、ロウレベルによるNチヤ
ネルトランジスタN1の電流差が余り十分でなく、
そのドレイン電位(差動増幅器出力)はロウレベ
ル、ハイレベルの電位差が余り十分でなくなる。
第11図は、前記Pチヤネルカレントミラー型差
動増幅器の入力(センス線電位)対出力特性を示
しており、前述したように差動増幅器のロウレベ
ルが出にくくなつている様子が分り、またセンス
線電位の変化に対して差動増幅器の出力が必らず
しも敏感に変化してはいない。上記センス線電位
は前述したように選択セルの電流値によつて定ま
るが、この電位はセル電流の値によつて連続的に
変化する。このため、メモリセルに対する書き込
み電荷量によつて定まるセル閾値電圧変化分
ΔVTHによつては、センス線電位が基準電位Vref
と極めて近い状態になることが有り得る。このよ
うな場合、前述したようにPチヤネルカレントミ
ラー型差動増幅器の感度が悪いと、この差動増幅
器の動作遅延が大きくなつてしまう。
〔発明の目的〕
本発明は上記の事情に鑑みてなされたもので、
センス線負荷としてPチヤネルG・D短絡型トラ
ンジスタを用いた場合に得られるセンス線電位の
変化に対してCMOS型差動増幅器によるセンス
動作の高感度化、高速化を実現し得る半導体メモ
リを提供するものである。
〔発明の概要〕
即ち、本発明は、センス線負荷としてPチヤネ
ルG・D型トランジスタを用いる半導体メモリに
おいて、CMOS型差動増幅器として負荷がNチ
ヤネルカレントミラー回路のものを用いたことを
特徴とするものである。
これによつて、センス線電位のハイレベル、ロ
ウレベルに対する差動増幅器のセンス動作用Pチ
ヤネルトランジスタの電流差が充分に得られるよ
うになり、これに伴つて差動増幅器出力電位の電
位差も充分に得られるようになり、センス動作の
高感度化、高速化が実現される。
〔発明の実施例〕
以下、図面を参照して本発明の一実施例を詳細
に説明する。
第1図はCMOS型EPROMのセルデータ読み出
し系を示しており、トランスフアゲート4、バイ
アス回路5、センス線6、PチヤネルG・D短絡
型の負荷トランジスタ7、基準電位発生用ダミー
回路9はそれぞれ第6図を参照して前述した従来
例と同様であり、センス線電位VSをダミー回路
9からの基準電位Vrefと比較してセンス増幅する
ためのCMOS型差動増幅器10として、負荷が
Nチヤネルカレントミラー回路であつてPチヤネ
ルの差動対トランジスタP3,P4およびPチヤネ
ルの定電流源用トランジスタP5を有するNチヤ
ネルカレントミラー型のものが使用されている点
で従来例とは異なる。ここで、上記差動対トラン
ジスタP3,P4およびカレントミラー用トランジ
スタN4,N5は同じサイズに形成されており、定
電流源用トランジスタP5のソースにVCC電源電位
が与えられ、カレントミラー用トランジスタN4
N5のソースにVSS電位(接地電位)が与えられて
いる。
上記構成のNチヤネルカレントミラー型差動増
幅器10にあつては、センス線電位VSがハイレ
ベル(たとえば4.2V)のとき、Pチヤネルトラ
ンジスタP3は完全にオフ状態になり、そのドレ
イン電位(差動増幅器出力)は速やかにVSS電位
に下がるので十分なロウレベル出力が得られる。
また、センス線電位VSがロウレベル(たとえば
2.5V)のとき、PチヤネルトランジスタP3の静
特性は第2図に示すように非飽和領域の傾きが大
きいので十分なハイレベル出力(たとえば4.7V)
が得られる。ここで、IN4はトランジスタN4の電
流である。つまり、上記Pチヤネルトランジスタ
P3のゲート電位(センス線電位)VGがハイレベ
ル(前記4.2V、但し、Pチヤネルトランジスタ
7の閾値電圧VTHPを0.8Vとし、VCCを5Vと仮定し
ているため、VG=VCC−VTHP=4.2Vとなる)。の
とき、PチヤネルトランジスタP3のゲートとソ
ースとの間に印加される電圧VGSは、 VGS=VCC−VG=VCC−(VCC−VTHP) =VTHP である。
従つて、PチヤネルトランジスタP3の閾値電
圧をVTH(=VTHP)とすると、 VGS−VTH=VTHP−VTHP=0 となる。
つまり、Pチヤネルトランジスタ7がオフ状態
のときは、必ずPチヤネルトランジスタP3もオ
フ状態となる。上記ゲート電位がロウレベル(前
記2.5V)のときには、VGS−VTHは、−(VCC−2.5
−VTHP)=−(5−2.5−0.8)=−1.7Vになるので、
センス線電位のハイレベル、ロウレベルによるP
チヤネルトランジスタP3の電流差が十分に得ら
れ、そのドレイン電位(差動増幅器出力)はロウ
レベル、ハイレベルの電位差が十分(たとえば
4.7V)に得られる。しかも、上記差動増幅器出
力電位はPチヤネルトランジスタ、Nチヤネルト
ランジスタのサイズ比に依存しない。
ここで、上記Nチヤネルカレントミラー型差動
増幅器の入出力特性を第3図中に実線で示し、対
比のために従来のPチヤネルカレントミラー型差
動増幅器を使用したときのその入出力特性を第3
図中に点線で示す。この図からも分るように、N
チヤネルカレントミラー型を使用したときには、
Pチヤネルカレントミラー型のものを使用したと
きよりも、差動増幅器出力の振幅が大きく、セン
ス線電位(差動増幅器入力)の変化に対するセン
ス感度も高くなつている。
また、前記センス線電位とNチヤネルカレント
ミラー型差動増幅器10のPチヤネルトランジス
タP3の電流との関係(5極管領域)を第4図中
に実線で示し、対比のために従来のPチヤネルカ
レントミラー型差動増幅器のNチヤネルトランジ
スタ(第10図N1)の電流特性を第4図中に点
線で示す。この図において、カレントミラー負荷
電流と上記PチヤネルトランジスタP3の電流と
の差が差動増幅器出力を立ち上げ、あるいは立ち
下げる電流に相当し、この電流差は従来のカレン
トミラー負荷電流とNチヤネルトランジスタN1
の電流との差に比べて倍近く拡大していることが
分る。このことは、差動増幅器における動作遅延
が、Nチヤネルカレントミラー型では従来のPチ
ヤネルカレントミラー型のものの半分近くに小さ
くなつていることに相当する。
即ち、上述したように、センス線負荷としてP
チヤネルG・D短絡型トランジスタを使用し、セ
ンスアンプ用のCMOS型差動増幅器としてNチ
ヤネルカレントミラー型を使用する組み合わせに
より、プロセスマージンが大きく、センス感度が
高く、高速のセルデータ読み出し系を実現するこ
とが可能である。
〔発明の効果〕
上述したように本発明の半導体メモリによれ
ば、センス線負荷としてPチヤネルG・D短絡型
トランジスタを使用し、センスアンプ用の
CMOS型差動増幅器としてNチヤネルカレント
ミラー型を使用する組合せによつて、プロセスマ
ージンが大きく、センスアンプのセンス感度が高
く、高速のセルデータ読み出し系を実現できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例に係るCMOS型
EPROMのセルデータ読み出し系を示す回路図、
第2図は第1図中の差動増幅器におけるセンス線
電位入力トランジスタの電流と差動増幅器出力と
の関係を示す特性図、第3図は第1図中の差動増
幅器におけるセンス線電位入力と差動増幅器出力
との関係を示す特性図、第4図は第1図中の差動
増幅器におけるセンス線電位入力とトランジスタ
電流との関係を示す特性図、第5図はCMOS型
EPROMのセルデータを読み出し系の一般的な構
成を示す図、第6図は第5図中のビツト線の電位
とメモリセルの電流との関係を示す特性図、第7
図は第5図中のセンス線の電位と負荷電流との関
係を示す特性図、第8図a乃至cは第5図中のセ
ンス線負荷トランジスタの相異なる例を示す回路
図、第9図は第5図中の差動増幅器の従来例を示
す回路図、第10図は第9図の差動増幅器におけ
るトランジスタ電流と差動増幅器出力との関係を
示す特性図、第11図は第9図の差動増幅器にお
けるセンス線電位入力と差動増幅器出力との関係
を示す特性図である。 1,MC……メモリセル、3,3′,BL,
……ビツト線、QBLBL……ビツト線選択用ト
ランジスタ、7……負荷トランジスタ、10……
Nチヤネルカレントミラー型差動増幅器。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 メモリセルと、このメモリセルに接続された
    ビツト線と、このビツト線に直列に挿入されたビ
    ツト線選択用MOSトランジスタと、ゲートおよ
    びドレインが上記ビツト線に接続され、ソースに
    第1の基準電位が印加されたPチヤネルエンハン
    スメント型トランジスタと、ゲートが上記ビツト
    線に接続され、ソースに上記第1の基準電位が印
    加された第1のPチヤネル型MOSトランジスタ
    と、ゲートに第2の基準電位が印加され、ソース
    に上記第1の基準電位が印加された第2のPチヤ
    ネル型MOSトランジスタと、ドレインが上記第
    1のPチヤネル型MOSトランジスタのドレイン
    に接続され、ソースに第3の基準電位が印加され
    た第1のNチヤネル型MOSトランジスタと、ゲ
    ートおよびドレインがそれぞれ上記第2のPチヤ
    ネル型MOSトランジスタのドレインおよび上記
    第1のNチヤネル型MOSトランジスタのゲート
    に接続され、ソースに上記第3の基準電位が印加
    された第2のNチヤネル型MOSトランジスタと
    を具備し、上記Pチヤネルエンハンスメント型ト
    ランジスタは、上記ビツト線の負荷回路であり、
    上記第1および第2のPチヤネル型MOSトラン
    ジスタおよび上記第1および第2のNチヤネル型
    MOSトランジスタは、センスアンプとして動作
    するNチヤネルカレントミラー型差動増幅器を構
    成し、上記差動増幅器の出力は、上記第1のPチ
    ヤネル型MOSトランジスタおよび上記第1のN
    チヤネル型MOSトランジスタの接続点から得ら
    れることを特徴とする半導体メモリ。
JP60146048A 1985-07-03 1985-07-03 半導体メモリ Granted JPS628398A (ja)

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