JPH0394177A - テストピースの抵抗を測定する回路 - Google Patents
テストピースの抵抗を測定する回路Info
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- JPH0394177A JPH0394177A JP2027020A JP2702090A JPH0394177A JP H0394177 A JPH0394177 A JP H0394177A JP 2027020 A JP2027020 A JP 2027020A JP 2702090 A JP2702090 A JP 2702090A JP H0394177 A JPH0394177 A JP H0394177A
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
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- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は第1の電子半導体スイッチ、テストピースおよ
びテストピースを流れるテスト電流を測定する電流測定
装置を含むテスト回路と、第1の電子半導体スイッチに
並列に接続され、テスト回路中の電圧降ドを測定する装
置を含む第2の電子半導体スイッチを含む測定装置とを
含むテストピスの抵抗を測定する回路に関する。
びテストピースを流れるテスト電流を測定する電流測定
装置を含むテスト回路と、第1の電子半導体スイッチに
並列に接続され、テスト回路中の電圧降ドを測定する装
置を含む第2の電子半導体スイッチを含む測定装置とを
含むテストピスの抵抗を測定する回路に関する。
[従来技術]
印刷された導体をトリガーする半導体スイッチは理想的
なスイッチではないため、例えば、印刷回路板上の印刷
された導体またはその一部分の抵抗を測定する際に問題
が生じる。さらに厳密には、残留電流は半導体スイッチ
が開いている場合には並列抵抗を介して流れ、一方スイ
ッチが閉じている場合には直列抵抗で電圧降下が発生す
る。これは半導体スイッチが閉じている場合、すなわち
テストピースに電気接続されている場合、直列抵抗にお
ける電圧降下により測定にエラーが生じることを意味す
る。
なスイッチではないため、例えば、印刷回路板上の印刷
された導体またはその一部分の抵抗を測定する際に問題
が生じる。さらに厳密には、残留電流は半導体スイッチ
が開いている場合には並列抵抗を介して流れ、一方スイ
ッチが閉じている場合には直列抵抗で電圧降下が発生す
る。これは半導体スイッチが閉じている場合、すなわち
テストピースに電気接続されている場合、直列抵抗にお
ける電圧降下により測定にエラーが生じることを意味す
る。
[発明の解決すべき課題]
このために第1図のようにテストピースに対する接続は
、IL列に接続され第1図においてコンタクトで表され
ている2つの半導体スイッチ1および2を介して行われ
る″ケルビン( K elvin )法”によって抵抗
を測定することが知られている。テスト電流は1つのス
イッチ1およびその直列抵抗3を介してテストピース7
に供給される。スイ・ンチ1の直列抵抗3て発生した電
圧降下は他方のスイッチ2の前に接続された電圧δII
1定装置l2によりて測定され、スイッチ2はスイッチ
1と同時に閉じられる。これは直列抵抗3の電圧降下を
測定して補償する方法であり、接続点5に対する整列を
含む。示されている例において、テストピース7は印刷
回路板8上の印刷された導体の一部であり、その一部は
概略的に示されたテストピン9および10によって接触
される。テスト回路中の電流l,を測定する装置は11
で示されている。
、IL列に接続され第1図においてコンタクトで表され
ている2つの半導体スイッチ1および2を介して行われ
る″ケルビン( K elvin )法”によって抵抗
を測定することが知られている。テスト電流は1つのス
イッチ1およびその直列抵抗3を介してテストピース7
に供給される。スイ・ンチ1の直列抵抗3て発生した電
圧降下は他方のスイッチ2の前に接続された電圧δII
1定装置l2によりて測定され、スイッチ2はスイッチ
1と同時に閉じられる。これは直列抵抗3の電圧降下を
測定して補償する方法であり、接続点5に対する整列を
含む。示されている例において、テストピース7は印刷
回路板8上の印刷された導体の一部であり、その一部は
概略的に示されたテストピン9および10によって接触
される。テスト回路中の電流l,を測定する装置は11
で示されている。
本発明の目的は、構成に必要なチ・ノブ面および5
テスト回路において生じる電力損失に関して改善された
上述のような回路を提供することである。
上述のような回路を提供することである。
[課題解決のための手段コ
この問題は、第1の半導体スイッチはI GBTタイプ
のトランジスタであり、第2の半導体スイッチは電昇効
果トランジスタである回路を特徴とする初めに述べられ
た種類のテストピースの抵抗を測定する回路によって解
決される。
のトランジスタであり、第2の半導体スイッチは電昇効
果トランジスタである回路を特徴とする初めに述べられ
た種類のテストピースの抵抗を測定する回路によって解
決される。
本発明の本質的な特徴は、テスト回路用のスイッチとし
てIGBTタイプのトランジスタ(絶縁ゲー1・双極ト
ランジスタ)を、また測定回路用のスイッチとしてMO
Sタイプのトランジスタを特別に選択することであり、
以下の特性を得ることができる。
てIGBTタイプのトランジスタ(絶縁ゲー1・双極ト
ランジスタ)を、また測定回路用のスイッチとしてMO
Sタイプのトランジスタを特別に選択することであり、
以下の特性を得ることができる。
(1)テスト回路の電力消費は非常に低い。その結果、
半導体飼料の結晶温度はlGBTトランジスタのスイッ
チング処理期間中目立って上昇されないため、残留電流
はIGBTトランジスタが遮断されたとき加熱により増
大されない。
半導体飼料の結晶温度はlGBTトランジスタのスイッ
チング処理期間中目立って上昇されないため、残留電流
はIGBTトランジスタが遮断されたとき加熱により増
大されない。
(2)測定回路中を流れる測定電流は非常に小さ6
《(μA範囲で)、比較的高い直列抵抗4における電圧
損失は僅かなので測定は正確である。
損失は僅かなので測定は正確である。
(3)IGBT}ランジスタおよびMOS}ランジスタ
は同一マスクで形成されることができるため、技術的な
製遣処理は比較的簡単である。
は同一マスクで形成されることができるため、技術的な
製遣処理は比較的簡単である。
(4)kHz範囲で測定およびテストを行うために回路
を使用しても問題は生じないため、■GBTトランジス
タの比較的長いスイッチング時間が許容される。
を使用しても問題は生じないため、■GBTトランジス
タの比較的長いスイッチング時間が許容される。
本発明のその他の有効な特徴は特許請求の範囲2乃至I
Oから明らかになるであろう。
Oから明らかになるであろう。
本発明およびその特徴は以降図面を参照して詳細に説明
される。
される。
[実施例]
第2図において、第1図により既に説明された素子は同
じ符号で示されている。示されているように、第1図の
テスト回路中の半導体スイ・ンチ1は制御接続l7を介
してトリガーされることができるIGBTタイプのトラ
ンジスタ(絶縁ゲート双極トランジスタ)15と置換さ
れている。対応的に、第1図の測定回路中の半導体スイ
ッチ2は制御接続18によってトリガーされるMOSト
ランジスタと置換される。制御接続17および18はI
GBTトランジスタl5およびMOSトランジスタ16
が一緒にトリガーまたはクロックされることができるよ
うに接合点l9で結合されることが好ましい。
じ符号で示されている。示されているように、第1図の
テスト回路中の半導体スイ・ンチ1は制御接続l7を介
してトリガーされることができるIGBTタイプのトラ
ンジスタ(絶縁ゲート双極トランジスタ)15と置換さ
れている。対応的に、第1図の測定回路中の半導体スイ
ッチ2は制御接続18によってトリガーされるMOSト
ランジスタと置換される。制御接続17および18はI
GBTトランジスタl5およびMOSトランジスタ16
が一緒にトリガーまたはクロックされることができるよ
うに接合点l9で結合されることが好ましい。
テスト電極9と10との間の印刷導体7の抵抗は以下の
ようにテストされる。
ようにテストされる。
スイッチングオン電位はトランジスタi5および16が
同時に切替えられるように接合点19に供給される。I
G B T l−ランジスタ15およびテスト電極9
とIOとの間の印刷導体の部分を流れる電流■1は電流
測定装置1lによって測定される。同時にIGBTトラ
ンジスタ15およびそれと接続点5との間の導体の部分
における電圧降下は、測定回路中の電圧測定装置l2に
よって測定される。装置11によって行・われる測定は
電圧降下に応じて訂正され、訂正された測定値はテスト
電極9と10との間の抵抗に関する正確な情報を提供す
る。1つの重要な特徴は、テスト電流工,を伝送し電力
調節器として機能するIGBTトランジスタ{5の電力
損失が比較的低いことである。したがって、I GBT
l−ランジスタl5はスイッチング通電期間中少し加
熱されるだけであり、これはスイツチング通電期間後お
よびトランジスター5が遮断された場合に温度依存性の
残留電流をなくすのに重要である。I GBT }ラン
ジスタt5における実際の電圧降下はいずれの場合でも
良好な直線性を有するMOS}ランジスタ16を含む測
定回路によって後続的に測定されるため、IGBTトラ
ンジスタが比較的直線性を欠くことは問題ではない。い
ずれにせよ測定回路中を流れる測定電流IMは大きくな
いので、MOSタイプのトランジスタが比較的大きい電
流用に構戊されていないことも問題ではない。MOSト
ランジスタ16がトランジスター5における電圧降下を
非常に正確に測定できることだけが重要である。
同時に切替えられるように接合点19に供給される。I
G B T l−ランジスタ15およびテスト電極9
とIOとの間の印刷導体の部分を流れる電流■1は電流
測定装置1lによって測定される。同時にIGBTトラ
ンジスタ15およびそれと接続点5との間の導体の部分
における電圧降下は、測定回路中の電圧測定装置l2に
よって測定される。装置11によって行・われる測定は
電圧降下に応じて訂正され、訂正された測定値はテスト
電極9と10との間の抵抗に関する正確な情報を提供す
る。1つの重要な特徴は、テスト電流工,を伝送し電力
調節器として機能するIGBTトランジスタ{5の電力
損失が比較的低いことである。したがって、I GBT
l−ランジスタl5はスイッチング通電期間中少し加
熱されるだけであり、これはスイツチング通電期間後お
よびトランジスター5が遮断された場合に温度依存性の
残留電流をなくすのに重要である。I GBT }ラン
ジスタt5における実際の電圧降下はいずれの場合でも
良好な直線性を有するMOS}ランジスタ16を含む測
定回路によって後続的に測定されるため、IGBTトラ
ンジスタが比較的直線性を欠くことは問題ではない。い
ずれにせよ測定回路中を流れる測定電流IMは大きくな
いので、MOSタイプのトランジスタが比較的大きい電
流用に構戊されていないことも問題ではない。MOSト
ランジスタ16がトランジスター5における電圧降下を
非常に正確に測定できることだけが重要である。
第2図の回路は、接続点5だけに関する限リテスト回路
における電圧降下を測定することができ、一方第3図は
テスト回路における電圧降下が非常9 に正確に補償され得るように電圧降下がテスト電極9に
関しても測定される回路を示す。第1図および第2図に
関連して既に示された第3図の素子は対応した符号で表
される。第3図に示されているように、MOSトランジ
スタI6からは接続点5への接続の代りに付加的なテス
ト電極20に接続され、テスト電極20はテスト電極の
すぐ近くて印刷導体7と接触する。これにより測定回路
はI GBT トランジスタl5およびこれからテスト
電極9までの接続全体における電圧降下を検出する。
における電圧降下を測定することができ、一方第3図は
テスト回路における電圧降下が非常9 に正確に補償され得るように電圧降下がテスト電極9に
関しても測定される回路を示す。第1図および第2図に
関連して既に示された第3図の素子は対応した符号で表
される。第3図に示されているように、MOSトランジ
スタI6からは接続点5への接続の代りに付加的なテス
ト電極20に接続され、テスト電極20はテスト電極の
すぐ近くて印刷導体7と接触する。これにより測定回路
はI GBT トランジスタl5およびこれからテスト
電極9までの接続全体における電圧降下を検出する。
したがって、第3図の回路においてテスト回路中の電圧
降下はさらに正確に補償されることができる。
降下はさらに正確に補償されることができる。
第4図によりテストピースの抵抗を測定する好ましい回
路を以下に説明する。こりの回路はテスト回路全体にお
ける、すなわちテストピース7の両側の全電圧降下を補
償する。第4図の他の図と共に説明された素子は対応し
た参照符号により示される。
路を以下に説明する。こりの回路はテスト回路全体にお
ける、すなわちテストピース7の両側の全電圧降下を補
償する。第4図の他の図と共に説明された素子は対応し
た参照符号により示される。
第3図により既に説明されたように、テストピ]0
ース7の一側(すなわち第4図では左側)はテスト電極
9および2oによって接触されている。電流源2lによ
って印加されるテスト電流I,は接続点6と22との間
を流れる。接続点6はI GBT }ランジスタ15に
よってテスト電極9に接続され、方MOS}ランジスタ
16によってテスト電極2oに接続されている。トラン
ジスタ15および16は、接合点19に制御電圧をり.
えることによって同時にオンおよびオフに切替えられる
ことができる。電圧測定装置12は、テスト電極9およ
び2oが九いに近接しているため非常に正確に接続点6
とテスト電極9との間の電圧降下を示す。
9および2oによって接触されている。電流源2lによ
って印加されるテスト電流I,は接続点6と22との間
を流れる。接続点6はI GBT }ランジスタ15に
よってテスト電極9に接続され、方MOS}ランジスタ
16によってテスト電極2oに接続されている。トラン
ジスタ15および16は、接合点19に制御電圧をり.
えることによって同時にオンおよびオフに切替えられる
ことができる。電圧測定装置12は、テスト電極9およ
び2oが九いに近接しているため非常に正確に接続点6
とテスト電極9との間の電圧降下を示す。
付加的なテスト回路および付加的な測定回路はテストピ
ース7の右側に設けられる。付加的なテスト回路はI
GBT l−ランジスタ23を備え、それによってテス
トピース7上のテスト電極24が接続点22に接続され
る。第2の測定回路はMOSI−ランジスタ25を備え
、それによってテスト電極24の付近でテストピース7
に接触するテスト電極26が電圧測定装置27を介して
接続点22に電気接続され11 る。トランジスタ23および25の制御接続31および
32は接続点30で結合され、制御電圧を供給すること
によって一緒にオンおよびオフに切替えられることがで
きる。
ース7の右側に設けられる。付加的なテスト回路はI
GBT l−ランジスタ23を備え、それによってテス
トピース7上のテスト電極24が接続点22に接続され
る。第2の測定回路はMOSI−ランジスタ25を備え
、それによってテスト電極24の付近でテストピース7
に接触するテスト電極26が電圧測定装置27を介して
接続点22に電気接続され11 る。トランジスタ23および25の制御接続31および
32は接続点30で結合され、制御電圧を供給すること
によって一緒にオンおよびオフに切替えられることがで
きる。
I GBT トランジスタ15に至る電流測定装置11
の出力28は電流源21に至る電圧測定装置27の出力
22に第2の電圧測定装Wl29を介して接続されてい
る。上記の回路においてトランジスタ15. 16.
23および25が接続点19および30に制御電圧を同
時に供給することによって同時にオンに切替えられた場
合、電流測定装置11によって測定されたテスト電流I
PはI GBT トランジスタ↓5、テスト電極9、テ
ストピース7、テスト電極24、およびIGBTトラン
ジスタ23を介して接続点6と22との間を流れる。最
終的に、電圧測定装置12は接続点6とテスト電極9と
の間の電圧降下を示す。電圧測定装置27はテスト電極
24と接続22との間の電圧陣下を示す。電圧測定装置
29は2つの上記の電圧降下の和と接続点22および2
8で電流源21により生成された電圧との間の差電圧を
決定する。した1 2 がって、差電圧はテストピース7の電圧降下に対応する
。これはこの電圧降下だけがテスト期間中に評価として
考慮されなければならないことを意味する。特に、テス
トピース7の抵抗は電流測定装置11によって示された
テスト電流■,と電圧測定装置29によって示された電
圧との積に対応する。
の出力28は電流源21に至る電圧測定装置27の出力
22に第2の電圧測定装Wl29を介して接続されてい
る。上記の回路においてトランジスタ15. 16.
23および25が接続点19および30に制御電圧を同
時に供給することによって同時にオンに切替えられた場
合、電流測定装置11によって測定されたテスト電流I
PはI GBT トランジスタ↓5、テスト電極9、テ
ストピース7、テスト電極24、およびIGBTトラン
ジスタ23を介して接続点6と22との間を流れる。最
終的に、電圧測定装置12は接続点6とテスト電極9と
の間の電圧降下を示す。電圧測定装置27はテスト電極
24と接続22との間の電圧陣下を示す。電圧測定装置
29は2つの上記の電圧降下の和と接続点22および2
8で電流源21により生成された電圧との間の差電圧を
決定する。した1 2 がって、差電圧はテストピース7の電圧降下に対応する
。これはこの電圧降下だけがテスト期間中に評価として
考慮されなければならないことを意味する。特に、テス
トピース7の抵抗は電流測定装置11によって示された
テスト電流■,と電圧測定装置29によって示された電
圧との積に対応する。
第5図は、テストピース7が各個上でただ1つのテスト
電極により接触されていることを除き第4図の回路に類
似している別の実施例を示す。テストピース7の左側に
おいて、テスト電極35はテストピース7、IGBTト
ランジスタ15およびMOS}ランジスタl6との間に
電気接続を形或する。テストピース7の右側では、テス
ト電極36がテストピース7とI GBT }ランジス
タ25との間に電気接続を形成する。測定は第4図で示
された方法で行われ、テスト電極35および36におけ
る電圧降下が検出または計算できないことだけが異なる
。しかしながら、この回路は2つのテスト電極35およ
び36だけが4つのテスト電極の代りに設けられればよ
いので構造的にかなり簡単である。こ13 れは大幅に費川および寸法を減少し、それは多少低下す
る測定の正確性を補うものである。
電極により接触されていることを除き第4図の回路に類
似している別の実施例を示す。テストピース7の左側に
おいて、テスト電極35はテストピース7、IGBTト
ランジスタ15およびMOS}ランジスタl6との間に
電気接続を形或する。テストピース7の右側では、テス
ト電極36がテストピース7とI GBT }ランジス
タ25との間に電気接続を形成する。測定は第4図で示
された方法で行われ、テスト電極35および36におけ
る電圧降下が検出または計算できないことだけが異なる
。しかしながら、この回路は2つのテスト電極35およ
び36だけが4つのテスト電極の代りに設けられればよ
いので構造的にかなり簡単である。こ13 れは大幅に費川および寸法を減少し、それは多少低下す
る測定の正確性を補うものである。
第4図および第5図は、説明された測定動作期間中オフ
に切替えられる付加的な対のトランジスタをトランジス
タ15. 16および23. 25の対と共に示す。付
加的なトランジスタの対は、例えば印刷導体の隣接する
部分等のテストピースの隣接した部分の抵抗をテストす
る際、およびトランジスタ15. 16および23.
25の対がオフされる際に任意にオンに切替えられる。
に切替えられる付加的な対のトランジスタをトランジス
タ15. 16および23. 25の対と共に示す。付
加的なトランジスタの対は、例えば印刷導体の隣接する
部分等のテストピースの隣接した部分の抵抗をテストす
る際、およびトランジスタ15. 16および23.
25の対がオフされる際に任意にオンに切替えられる。
例えば、左下に示されたトランジスタの対(詳細に示さ
れていない)はテスト電極9,20またはテスト電極3
5と反対側の付加的な印刷回路部分に隣接したテスト電
極と関連した1対のトランジスタ(示されていない)と
共にテスト電極9,20またはテスト電極35の左に隣
接した付加的な印刷導体部分をテストするために使用さ
れる。実際の測定は、テスト電極9,2oと24,26
との間またはテスト電極35と36との間の印刷回路板
の部分の抵抗の上記の測定と同じ方法で行われる。
れていない)はテスト電極9,20またはテスト電極3
5と反対側の付加的な印刷回路部分に隣接したテスト電
極と関連した1対のトランジスタ(示されていない)と
共にテスト電極9,20またはテスト電極35の左に隣
接した付加的な印刷導体部分をテストするために使用さ
れる。実際の測定は、テスト電極9,2oと24,26
との間またはテスト電極35と36との間の印刷回路板
の部分の抵抗の上記の測定と同じ方法で行われる。
1 4
既知の接触用テストピンは、上記のテスト電極の代りに
使用されることができる。第3図および第4図の実施例
において、テスト回路のテストピンはテストピンユニッ
トを形成するために測定回路の各テストピンと結合され
ることができる。例えば、テストピン9,20およびテ
ストピン24, 2Bは上記のテストピンユニット中に
結合されることができる。このことによりテストピンを
含み、印刷回路板と基準グリッド接触バンク装置との間
に接続を形成するために使用されるアダプター装置は構
造的に簡+114に構或され、さらに容易におよび急速
に組立てられることができる。例えば、第6図に対応し
たテストピンユニット40は2つのテストピン部品41
および42を互いに絶縁し結合することによって構成さ
れることができる。第6図には対応した絶縁負荷が43
で示されている。
使用されることができる。第3図および第4図の実施例
において、テスト回路のテストピンはテストピンユニッ
トを形成するために測定回路の各テストピンと結合され
ることができる。例えば、テストピン9,20およびテ
ストピン24, 2Bは上記のテストピンユニット中に
結合されることができる。このことによりテストピンを
含み、印刷回路板と基準グリッド接触バンク装置との間
に接続を形成するために使用されるアダプター装置は構
造的に簡+114に構或され、さらに容易におよび急速
に組立てられることができる。例えば、第6図に対応し
たテストピンユニット40は2つのテストピン部品41
および42を互いに絶縁し結合することによって構成さ
れることができる。第6図には対応した絶縁負荷が43
で示されている。
非対称的なトリガー動作を行うために、使用されるトラ
ンジスタのタイプは第4図および第5図の回路の上部分
岐点および下部分岐点において相補型であることが好ま
しい。それに対応して上部15 分岐点におけるp型チャンネルトランジスタは負電圧に
よりオンに切替えられ、また下部分岐点におけるn型チ
ャンネル1・ランジスタは正電圧によりオンに切替えら
れる。
ンジスタのタイプは第4図および第5図の回路の上部分
岐点および下部分岐点において相補型であることが好ま
しい。それに対応して上部15 分岐点におけるp型チャンネルトランジスタは負電圧に
よりオンに切替えられ、また下部分岐点におけるn型チ
ャンネル1・ランジスタは正電圧によりオンに切替えら
れる。
第1図は、テストピースの抵抗を測定するための既知の
回路の概略図である。 第2図は、テストピースの抵抗を測定する本発明による
回路の概略図である。 第3図乃至第6図は本発明による回路の別の態様を示す
。 7・・・印刷導体、9, 10, 20, 24. 2
G, 35. 38・・・テスト電極、11. 21・
・・電流測定装置、12, 27. 29・・・電圧測
定装置、15. 23・・・IGBTトランジスタ、1
6. 25・・・MOSトランジスタ、17. 18・
・・制御接続、40・・・テストピンユニット。
回路の概略図である。 第2図は、テストピースの抵抗を測定する本発明による
回路の概略図である。 第3図乃至第6図は本発明による回路の別の態様を示す
。 7・・・印刷導体、9, 10, 20, 24. 2
G, 35. 38・・・テスト電極、11. 21・
・・電流測定装置、12, 27. 29・・・電圧測
定装置、15. 23・・・IGBTトランジスタ、1
6. 25・・・MOSトランジスタ、17. 18・
・・制御接続、40・・・テストピンユニット。
Claims (10)
- (1)第1の電子半導体スイッチ、テストピースおよび
テストピースを流れるテスト電流を測定する電流測定装
置を含むテスト回路と、第1の電子半導体スイッチに並
列に接続され、テスト回路中の電圧降下を測定する装置
を含む第2の電子半導体スイッチを含む測定装置とを含
むテストピースの抵抗を測定する回路において、 第1の半導体スイッチはIGBTタイプのトランジスタ
であり、第2の半導体スイッチは電界効果トランジスタ
であることを特徴とする回路。 - (2)第1および第2の半導体スイッチはオンおよびオ
フに切替えるために同時にトリガーされることができる
ことを特徴とする請求項1記載の回路。 - (3)電界効果トランジスタはMOSタイプのトランジ
スタであることを特徴とする請求項1または2記載の回
路。 - (4)測定回路はIGBTタイプのトランジスタに並列
に接続され、実質的にIGBTタイプのトランジスタと
テストピースとの間のテスト回路全体に並列であること
を特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の回路
。 - (5)テストピースはテスト回路のテスト電極によって
接触され、テスト回路の一部分は接触されるべきテスト
ピースから離れたテスト電極の末端まで延在することを
特徴とする請求項4記載の回路。 - (6)テストピースはテスト回路のテスト電極によって
接触され、測定回路はテスト回路のテスト電極の1つの
付近に設けられた別のテスト電極を含んでおり、測定回
路はIGBTタイプのトランジスタおよびこのトランジ
スタとテストピースに接触しているテスト電極の接点と
の間のテスト回路全体に並列接続されていることを特徴
とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の回路。 - (7)テスト回路のテスト電極はテストピンであること
を特徴とする請求項5または6記載の回路。 - (8)テストピンは測定回路の付加的なテスト電極とし
て設けられていることを特徴とする請求項5乃至7のい
ずれか1項記載の回路。 - (9)テスト回路の1つのテストピンおよび測定回路の
別のテストピンは各々からのテストピンの2つの導電部
分を絶縁してテストピンユニットにそれらを結合するこ
とによって形成されることを特徴とする請求項8記載の
回路。 - (10)第1のテスト回路に対応した第2のテスト回路
が設けられ、第1のテスト回路からのテストピンの別の
側に配置され、テスト電流は第1および第2のテスト回
路を通って流れ、電流測定装置は第1および第2のテス
ト回路に共通であり、第2のテスト回路は第1の測定回
路に対応し第2の電圧測定装置を有する第2の測定回路
に割当てられることを特徴とする請求項1乃至9のいず
れか1項記載の回路。
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