JPH11108986A - トランジスタ測定装置、トランジスタ測定治具およびトランジスタ測定方法 - Google Patents
トランジスタ測定装置、トランジスタ測定治具およびトランジスタ測定方法Info
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- JPH11108986A JPH11108986A JP27311597A JP27311597A JPH11108986A JP H11108986 A JPH11108986 A JP H11108986A JP 27311597 A JP27311597 A JP 27311597A JP 27311597 A JP27311597 A JP 27311597A JP H11108986 A JPH11108986 A JP H11108986A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一台のトランジスタ測定装置でゲート漏れ電
流の測定とドレイン電流の測定とを行えるようにするこ
とで、測定項目の順序を任意に選択できるようにする。 【解決手段】 トランジスタ測定装置を、電界効果トラ
ンジスタ１００のゲート端子、ドレイン端子およびソー
ス端子に接続されるゲート端子用接続手段１０１、ドレ
イン端子用接続手段１０２およびソース端子用接続手段
１０３と、ゲート端子用接続手段１０１とグランドとの
間に直列接続されたスイッチ１０４、電流計１０５およ
び電源１０６と、ドレイン端子用接続手段１０２とグラ
ンドとの間に直列接続されたスイッチ１０７、電流計１
０８および電源１０９と、ソース端子用接続手段１０３
とグランドとの間に接続されたスイッチ１１０とによっ
て構成する。
流の測定とドレイン電流の測定とを行えるようにするこ
とで、測定項目の順序を任意に選択できるようにする。 【解決手段】 トランジスタ測定装置を、電界効果トラ
ンジスタ１００のゲート端子、ドレイン端子およびソー
ス端子に接続されるゲート端子用接続手段１０１、ドレ
イン端子用接続手段１０２およびソース端子用接続手段
１０３と、ゲート端子用接続手段１０１とグランドとの
間に直列接続されたスイッチ１０４、電流計１０５およ
び電源１０６と、ドレイン端子用接続手段１０２とグラ
ンドとの間に直列接続されたスイッチ１０７、電流計１
０８および電源１０９と、ソース端子用接続手段１０３
とグランドとの間に接続されたスイッチ１１０とによっ
て構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、トランジスタの
複数種類の電気的特性を測定するトランジスタ測定装置
に関するものである。
複数種類の電気的特性を測定するトランジスタ測定装置
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、トランジスタの製造工程では、
製造されたトランジスタについての所定の測定を行って
良否の判断をする工程（以下「検査工程」と記す）が行
われる。また、かかる検査工程の測定項目としては、例
えば、ゲート漏れ電流の測定や、ドレイン電流の測定等
が知られている。
製造されたトランジスタについての所定の測定を行って
良否の判断をする工程（以下「検査工程」と記す）が行
われる。また、かかる検査工程の測定項目としては、例
えば、ゲート漏れ電流の測定や、ドレイン電流の測定等
が知られている。
【０００３】ここで、ゲート漏れ電流を測定する際に
は、ゲート電圧を変更すること等により、複数種類の条
件での測定を行うのが一般的である。同様に、ドレイン
電流を測定する際にも、ドレイン電圧を変更すること等
により、複数種類の条件での測定を行うのが一般的であ
る。
は、ゲート電圧を変更すること等により、複数種類の条
件での測定を行うのが一般的である。同様に、ドレイン
電流を測定する際にも、ドレイン電圧を変更すること等
により、複数種類の条件での測定を行うのが一般的であ
る。
【０００４】従来、ゲート漏れ電流の測定とドレイン電
流の測定とは、別々の装置を用いて行っていた。
流の測定とは、別々の装置を用いて行っていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】図４は、ゲート漏れ電
流を測定する装置の構成を示す回路図である。
流を測定する装置の構成を示す回路図である。
【０００６】同図に示したように、この測定装置では、
ゲート接続端子４０１とドレイン接続端子４０２との間
には、電源４０４と電流計４０５とが直列接続されてい
る。また、ソース接続端子４０３は、スイッチ４０６を
介して接地されている。
ゲート接続端子４０１とドレイン接続端子４０２との間
には、電源４０４と電流計４０５とが直列接続されてい
る。また、ソース接続端子４０３は、スイッチ４０６を
介して接地されている。
【０００７】このような構成の測定装置によれば、電界
効果トランジスタ４００のゲート、ドレインおよびソー
スをゲート接続端子４０１、ドレイン接続端子４０２お
よびソース接続端子４０３に接続した状態で電源４０４
から所定電圧を出力することにより、ソースをフローテ
ィングにした状態でのゲート漏れ電流を電流計４０５で
測定することができる。また、スイッチ４０６を閉じた
状態で電源４０４から所定電圧を出力することにより、
ソースを接地した状態でのゲート漏れ電流を電流計４０
５で測定することができる。
効果トランジスタ４００のゲート、ドレインおよびソー
スをゲート接続端子４０１、ドレイン接続端子４０２お
よびソース接続端子４０３に接続した状態で電源４０４
から所定電圧を出力することにより、ソースをフローテ
ィングにした状態でのゲート漏れ電流を電流計４０５で
測定することができる。また、スイッチ４０６を閉じた
状態で電源４０４から所定電圧を出力することにより、
ソースを接地した状態でのゲート漏れ電流を電流計４０
５で測定することができる。
【０００８】また、図５は、ドレイン電流を測定する装
置の構成を示す回路図である。
置の構成を示す回路図である。
【０００９】同図に示したように、この測定装置では、
ゲート接続端子５０１とグランドとの間には電流計５０
４と電源５０５とが直列接続されており、ドレイン接続
端子５０２とグランドとの間には電流計５０６と電源５
０７とが直列接続されている。また、ソース接続端子５
０３は、接地されている。
ゲート接続端子５０１とグランドとの間には電流計５０
４と電源５０５とが直列接続されており、ドレイン接続
端子５０２とグランドとの間には電流計５０６と電源５
０７とが直列接続されている。また、ソース接続端子５
０３は、接地されている。
【００１０】このような構成の測定装置によれば、電界
効果トランジスタ５００のゲート、ドレインおよびソー
スをそれぞれゲート接続端子５０１，ドレイン接続端子
５０２およびソース接続端子５０３に接続して電源５０
５，５０７から所定電圧を出力することにより、ドレイ
ン電流を電流計５０４，５０６で測定することができ
る。
効果トランジスタ５００のゲート、ドレインおよびソー
スをそれぞれゲート接続端子５０１，ドレイン接続端子
５０２およびソース接続端子５０３に接続して電源５０
５，５０７から所定電圧を出力することにより、ドレイ
ン電流を電流計５０４，５０６で測定することができ
る。
【００１１】このように、従来は、ゲート漏れ電流の測
定とドレイン電流の測定とは、別々の装置を用いて行っ
ていた。そして、これらの測定項目について、電源電圧
等を変更しつつ複数種類の測定を行う場合には、まず、
ゲート漏れ電流についての全ての種類の測定を行った
後、ドレイン電流についての全ての種類の測定を行って
いた。
定とドレイン電流の測定とは、別々の装置を用いて行っ
ていた。そして、これらの測定項目について、電源電圧
等を変更しつつ複数種類の測定を行う場合には、まず、
ゲート漏れ電流についての全ての種類の測定を行った
後、ドレイン電流についての全ての種類の測定を行って
いた。
【００１２】ここで、検査工程を精度よく行うために
は、電界効果トランジスタ５００に与える電圧や電力ス
トレスが小さいものから順に、測定を行うことが望まし
い。また、検査工程を短時間で効率よく行うためには、
各測定を所要時間の短いものから実行し、各測定ごとに
不良品を除外していくことが望ましい。
は、電界効果トランジスタ５００に与える電圧や電力ス
トレスが小さいものから順に、測定を行うことが望まし
い。また、検査工程を短時間で効率よく行うためには、
各測定を所要時間の短いものから実行し、各測定ごとに
不良品を除外していくことが望ましい。
【００１３】しかしながら、従来の検査工程では、上述
したように測定内容ごとに異なる測定装置を使用してい
たため、同じ測定項目どうし（例えばゲート漏れ電流の
測定どうし或いはドレイン電流の測定どうし）では測定
順序を選択することができるものの、異なる測定項目間
では測定装置を変更しなければならないために、実質的
には測定順序を選択することができないという欠点があ
った。
したように測定内容ごとに異なる測定装置を使用してい
たため、同じ測定項目どうし（例えばゲート漏れ電流の
測定どうし或いはドレイン電流の測定どうし）では測定
順序を選択することができるものの、異なる測定項目間
では測定装置を変更しなければならないために、実質的
には測定順序を選択することができないという欠点があ
った。
【００１４】また、従来は、測定ごとに、電界効果トラ
ンジスタを測定装置から着脱していたため、測定後に次
の測定のための電界効果トランジスタと交換する際の作
業に時間を要し、作業効率が悪いという欠点もあった。
ンジスタを測定装置から着脱していたため、測定後に次
の測定のための電界効果トランジスタと交換する際の作
業に時間を要し、作業効率が悪いという欠点もあった。
【００１５】このため、異なる測定項目間でも測定順序
を自由に選択することができ且つトランジスタの交換が
容易なトランジスタ測定装置の登場が嘱望されていた。
を自由に選択することができ且つトランジスタの交換が
容易なトランジスタ測定装置の登場が嘱望されていた。
【００１６】
（１）第１の発明は、トランジスタの複数種類の電気的
特性を測定するトランジスタ測定装置に関するものであ
る。
特性を測定するトランジスタ測定装置に関するものであ
る。
【００１７】そして、トランジスタの制御端子、第１端
子および第２端子に接続される制御端子用接続手段、第
１端子用接続手段および第２端子用接続手段と、制御端
子用接続手段とグランドラインとの間に直列接続された
第１スイッチ手段、第１電流計および第１電源と、第１
端子用接続手段とグランドラインとの間に直列接続され
た第２スイッチ手段、第２電流計および第２電源と、第
２端子用接続手段とグランドラインとの間に設けられた
第３スイッチ手段とを備えている。
子および第２端子に接続される制御端子用接続手段、第
１端子用接続手段および第２端子用接続手段と、制御端
子用接続手段とグランドラインとの間に直列接続された
第１スイッチ手段、第１電流計および第１電源と、第１
端子用接続手段とグランドラインとの間に直列接続され
た第２スイッチ手段、第２電流計および第２電源と、第
２端子用接続手段とグランドラインとの間に設けられた
第３スイッチ手段とを備えている。
【００１８】このような装置によれば、複数種類の測定
項目を一台の装置で行うことができるので、測定順序の
選択の幅を広げることができる。
項目を一台の装置で行うことができるので、測定順序の
選択の幅を広げることができる。
【００１９】また、かかる発明においては、第１端子用
接続手段と第２端子用接続手段との間に設けられた第１
キャパシタと、第１端子用接続手段と第２端子用接続手
段との間に直列接続された第２キャパシタおよび第１抵
抗素子と、第２端子用接続手段と制御端子用接続手段と
の間に直列接続された第２抵抗素子および第３キャパシ
タとをさらに設けることが望ましい。
接続手段と第２端子用接続手段との間に設けられた第１
キャパシタと、第１端子用接続手段と第２端子用接続手
段との間に直列接続された第２キャパシタおよび第１抵
抗素子と、第２端子用接続手段と制御端子用接続手段と
の間に直列接続された第２抵抗素子および第３キャパシ
タとをさらに設けることが望ましい。
【００２０】これにより、第１〜第３のスイッチ手段を
開閉するときのノイズの発生を抑制することができる。
開閉するときのノイズの発生を抑制することができる。
【００２１】（２）第２の発明は、トランジスタの電気
的特性を測定するためのトランジスタ測定治具に関する
ものである。
的特性を測定するためのトランジスタ測定治具に関する
ものである。
【００２２】そして、基板上の載置部に載置されるトラ
ンジスタの制御端子、第１端子および第２端子に接続さ
れる制御端子用接続手段、第１端子用接続手段および第
２端子用接続手段と、第１端子用接続手段と第２端子用
接続手段との間に設けられた第１キャパシタと、第１端
子用接続手段と第２端子用接続手段との間に直列接続さ
れた第２キャパシタおよび第１抵抗素子と、第２端子用
接続手段と制御端子用接続手段との間に直列接続された
第２抵抗素子および第３キャパシタとを備えている。
ンジスタの制御端子、第１端子および第２端子に接続さ
れる制御端子用接続手段、第１端子用接続手段および第
２端子用接続手段と、第１端子用接続手段と第２端子用
接続手段との間に設けられた第１キャパシタと、第１端
子用接続手段と第２端子用接続手段との間に直列接続さ
れた第２キャパシタおよび第１抵抗素子と、第２端子用
接続手段と制御端子用接続手段との間に直列接続された
第２抵抗素子および第３キャパシタとを備えている。
【００２３】このような測定治具によれば、測定を行う
電界効果トランジスタの交換を容易にして、検査工程の
効率を高めることができ、従って、電界効果トランジス
タ３００の測定に要する時間を、全体として短縮するこ
とができる。
電界効果トランジスタの交換を容易にして、検査工程の
効率を高めることができ、従って、電界効果トランジス
タ３００の測定に要する時間を、全体として短縮するこ
とができる。
【００２４】かかる測定治具においては、第２端子接続
手段を、基板の表面または表裏両面に形成された金属箔
とし、制御端子用接続手段を、載置部に載置されるトラ
ンジスタの制御端子と接するように金属箔に形成された
第１アイランドとし、第１端子用接続手段を、載置部に
載置されるトランジスタの第１端子と接するように金属
箔に形成された第２アイランドとし、第２キャパシタと
第１抵抗素子とを接続する配線パターンを、第１アイラ
ンドに隣接させて金属箔に形成された第３アイランドと
し、第２抵抗素子と第３キャパシタとを接続する配線パ
ターンを、第２アイランドに隣接させて金属箔に形成さ
れた第４アイランドとすることが望ましい。
手段を、基板の表面または表裏両面に形成された金属箔
とし、制御端子用接続手段を、載置部に載置されるトラ
ンジスタの制御端子と接するように金属箔に形成された
第１アイランドとし、第１端子用接続手段を、載置部に
載置されるトランジスタの第１端子と接するように金属
箔に形成された第２アイランドとし、第２キャパシタと
第１抵抗素子とを接続する配線パターンを、第１アイラ
ンドに隣接させて金属箔に形成された第３アイランドと
し、第２抵抗素子と第３キャパシタとを接続する配線パ
ターンを、第２アイランドに隣接させて金属箔に形成さ
れた第４アイランドとすることが望ましい。
【００２５】これにより、簡単な構造で信頼性の高い測
定治具を得ることができる。
定治具を得ることができる。
【００２６】（３）第３の発明は、トランジスタの制御
端子、第１端子および第２端子に接続される制御端子用
接続手段、第１端子用接続手段および第２端子用接続手
段と、制御端子用接続手段とグランドラインとの間に直
列接続された第１スイッチ手段、第１電流計および第１
電源と、第１端子用接続手段とグランドラインとの間に
直列接続された第２スイッチ手段、第２電流計および第
２電源と、第２端子用接続手段とグランドラインとの間
に設けられた第３スイッチ手段とを備えるトランジスタ
測定装置を用いたトランジスタ測定方法に関するもので
ある。
端子、第１端子および第２端子に接続される制御端子用
接続手段、第１端子用接続手段および第２端子用接続手
段と、制御端子用接続手段とグランドラインとの間に直
列接続された第１スイッチ手段、第１電流計および第１
電源と、第１端子用接続手段とグランドラインとの間に
直列接続された第２スイッチ手段、第２電流計および第
２電源と、第２端子用接続手段とグランドラインとの間
に設けられた第３スイッチ手段とを備えるトランジスタ
測定装置を用いたトランジスタ測定方法に関するもので
ある。
【００２７】そして、第１〜第３スイッチ手段をオンし
且つ第１電源および第２電源から所定電圧を出力した状
態で第１電流計の値を測定する第１測定過程の１または
複数と、第１〜第３スイッチ手段をオンし且つ第１電源
および第２電源から所定電圧を出力した状態で第２電流
計の値を測定する第２測定過程の１または複数と、第１
スイッチ手段および第２スイッチ手段をオンし、第３ス
イッチ手段をオフし且つ第１電源および第２電源から所
定電圧を出力した状態で第１電流計の値を測定する第３
測定過程の１または複数とを、所定条件に従った順序で
行う。
且つ第１電源および第２電源から所定電圧を出力した状
態で第１電流計の値を測定する第１測定過程の１または
複数と、第１〜第３スイッチ手段をオンし且つ第１電源
および第２電源から所定電圧を出力した状態で第２電流
計の値を測定する第２測定過程の１または複数と、第１
スイッチ手段および第２スイッチ手段をオンし、第３ス
イッチ手段をオフし且つ第１電源および第２電源から所
定電圧を出力した状態で第１電流計の値を測定する第３
測定過程の１または複数とを、所定条件に従った順序で
行う。
【００２８】このような方法によれば、複数種類の測定
項目を一台の装置で行うことができるので、測定順序の
選択の幅を広げることができる。
項目を一台の装置で行うことができるので、測定順序の
選択の幅を広げることができる。
【００２９】かかる測定方法においては、所定条件を、
それぞれの第１測定過程と、それぞれの第２測定過程
と、それぞれの第３測定過程とを、第１電源および第２
電源の出力電圧が小さく且つトランジスタに与える電力
ストレスが小さくなる順序で行うこととすることが望ま
しい。
それぞれの第１測定過程と、それぞれの第２測定過程
と、それぞれの第３測定過程とを、第１電源および第２
電源の出力電圧が小さく且つトランジスタに与える電力
ストレスが小さくなる順序で行うこととすることが望ま
しい。
【００３０】これにより、測定の精度を向上させること
ができる。
ができる。
【００３１】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を用いて説明する。なお、図中、各構成成分
の大きさ、形状および配置関係は、この発明が理解でき
る程度に概略的に示してあるにすぎず、また、以下に説
明する数値的条件は単なる例示にすぎないことを理解さ
れたい。
いて、図面を用いて説明する。なお、図中、各構成成分
の大きさ、形状および配置関係は、この発明が理解でき
る程度に概略的に示してあるにすぎず、また、以下に説
明する数値的条件は単なる例示にすぎないことを理解さ
れたい。
【００３２】第１の実施の形態 以下、この発明の第１の実施の形態について、図１を用
いて説明する。
いて説明する。
【００３３】図１は、この実施の形態に係るトランジス
タ測定装置の構成を示す回路図である。
タ測定装置の構成を示す回路図である。
【００３４】同図に示したように、このトランジスタ測
定装置は、電界効果トランジスタ１００のゲート端子、
ドレイン端子およびソース端子に接続されるゲート端子
用接続手段１０１、ドレイン端子用接続手段１０２およ
びソース端子用接続手段１０３とを備えている。
定装置は、電界効果トランジスタ１００のゲート端子、
ドレイン端子およびソース端子に接続されるゲート端子
用接続手段１０１、ドレイン端子用接続手段１０２およ
びソース端子用接続手段１０３とを備えている。
【００３５】そして、ゲート端子用接続手段１０１とグ
ランドとの間には、スイッチ１０４、電流計１０５およ
び電源１０６が、直列に接続されている。
ランドとの間には、スイッチ１０４、電流計１０５およ
び電源１０６が、直列に接続されている。
【００３６】また、ドレイン端子用接続手段１０２とグ
ランドとの間には、スイッチ１０７、電流計１０８およ
び電源１０９が、直列に接続されている。
ランドとの間には、スイッチ１０７、電流計１０８およ
び電源１０９が、直列に接続されている。
【００３７】さらに、ソース端子用接続手段１０３とグ
ランドとの間には、スイッチ１１０が設けられている。
ランドとの間には、スイッチ１１０が設けられている。
【００３８】このような構成のトランジスタ測定装置に
よれば、トランジスタのゲート端子、ドレイン端子およ
びソース端子をそれぞれゲート端子用接続手段１０１、
ドレイン端子用接続手段１０２およびソース端子用接続
手段１０３に接続し、電源１０６，１０９から所定電圧
を出力させた状態で、スイッチ１０４，１０７，１１０
をすべてオンにし、このときのゲート電流およびドレイ
ン電流を電流計１０５，１０８で測定することにより、
かかるトランジスタのゲート漏れ電流やドレイン電流特
性を測定することができる。
よれば、トランジスタのゲート端子、ドレイン端子およ
びソース端子をそれぞれゲート端子用接続手段１０１、
ドレイン端子用接続手段１０２およびソース端子用接続
手段１０３に接続し、電源１０６，１０９から所定電圧
を出力させた状態で、スイッチ１０４，１０７，１１０
をすべてオンにし、このときのゲート電流およびドレイ
ン電流を電流計１０５，１０８で測定することにより、
かかるトランジスタのゲート漏れ電流やドレイン電流特
性を測定することができる。
【００３９】また、電源１０６，１０９の出力電圧を所
定値に設定した状態で、スイッチ１０４，１０７をオン
にし且つスイッチ１１０をオフにし、このときのゲート
電流およびドレイン電流を電流計１０５，１０８で測定
することにより、ソースをフローティング状態にしたと
きのゲート漏れ電流を測定することができる。
定値に設定した状態で、スイッチ１０４，１０７をオン
にし且つスイッチ１１０をオフにし、このときのゲート
電流およびドレイン電流を電流計１０５，１０８で測定
することにより、ソースをフローティング状態にしたと
きのゲート漏れ電流を測定することができる。
【００４０】次に、図１に示したトランジスタ測定装置
を用いてトランジスタの測定を行う手順の一例について
説明する。
を用いてトランジスタの測定を行う手順の一例について
説明する。
【００４１】最初に、第１の測定として、測定対象と
しての各電界効果トランジスタ１００のゲート漏れ電流
の測定を、以下のようにして行う。
しての各電界効果トランジスタ１００のゲート漏れ電流
の測定を、以下のようにして行う。
【００４２】まず、電源１０６，１０９をオンした後、
スイッチ１０４，１０７，１１０をオンする。そして、
電源１０６の出力電圧を−６Ｖに設定し、電源１０９の
出力電圧を０Ｖに設定する。そして、このときのゲート
漏れ電流の電流値を、電流計１０５によって測定する。
これにより、ソースを接地したときのゲート漏れ電流を
測定することができる。その結果、ゲート漏れ電流の値
が例えば１０μＡ未満の場合には良品と判断し、例えば
１０μＡ以上の場合には不良品と判断する。
スイッチ１０４，１０７，１１０をオンする。そして、
電源１０６の出力電圧を−６Ｖに設定し、電源１０９の
出力電圧を０Ｖに設定する。そして、このときのゲート
漏れ電流の電流値を、電流計１０５によって測定する。
これにより、ソースを接地したときのゲート漏れ電流を
測定することができる。その結果、ゲート漏れ電流の値
が例えば１０μＡ未満の場合には良品と判断し、例えば
１０μＡ以上の場合には不良品と判断する。
【００４３】上記測定で良品と判断された場合に
は、次に、第２の測定として、ドレイン電流特性の測定
を、以下のようにして行う。
は、次に、第２の測定として、ドレイン電流特性の測定
を、以下のようにして行う。
【００４４】まず、上述のようにスイッチ１０４，１０
７，１１０をオンし且つ電源１０６の出力電圧を−６Ｖ
に設定したままの状態で、電源１０９の出力電圧を＋１
０Ｖに変更する。そして、このときのドレイン電流値Ｉ
DSoff を、電流計１０８で測定する。その結果、ドレイ
ン電流値ＩDSoff が例えば１ｍＡ未満の場合には良品と
判断し、例えば１ｍＡ以上の場合には不良品と判断す
る。
７，１１０をオンし且つ電源１０６の出力電圧を−６Ｖ
に設定したままの状態で、電源１０９の出力電圧を＋１
０Ｖに変更する。そして、このときのドレイン電流値Ｉ
DSoff を、電流計１０８で測定する。その結果、ドレイ
ン電流値ＩDSoff が例えば１ｍＡ未満の場合には良品と
判断し、例えば１ｍＡ以上の場合には不良品と判断す
る。
【００４５】上記測定で良品と判断された場合に
は、続いて、第３の測定として、ドレイン電流の測定
を、以下のようにして行う。
は、続いて、第３の測定として、ドレイン電流の測定
を、以下のようにして行う。
【００４６】まず、上述のようにスイッチ１０４，１０
７，１１０をオンした状態で、電源１０９の出力電圧を
２Ｖに設定し、さらに、電源１０６の出力電圧を０Ｖに
設定する。そして、このときのドレイン電流を電流計１
０８で測定する。その結果、ドレイン電流値が例えば１
Ａ以上の場合には良品と判断し、例えば１Ａ未満の場合
には不良品と判断する。
７，１１０をオンした状態で、電源１０９の出力電圧を
２Ｖに設定し、さらに、電源１０６の出力電圧を０Ｖに
設定する。そして、このときのドレイン電流を電流計１
０８で測定する。その結果、ドレイン電流値が例えば１
Ａ以上の場合には良品と判断し、例えば１Ａ未満の場合
には不良品と判断する。
【００４７】上記測定で良品と判断された場合に
は、次に、第４の測定として、ゲート漏れ電流の測定
を、以下のようにして行う。
は、次に、第４の測定として、ゲート漏れ電流の測定
を、以下のようにして行う。
【００４８】まず、上述のようにスイッチ１０４，１０
７，１１０をオンした状態で、電源１０９の出力電圧を
０Ｖに変更し、さらに、スイッチ１１０をオフする。そ
して、電源１０９の出力電圧を再び変更して１６Ｖにす
る。そして、このときのゲート漏れ電流の電流値を、電
流計１０５によって測定する。これにより、ゲートをフ
ローティング状態にしたときのゲート漏れ電流を測定す
ることができる。この結果、ゲート漏れ電流の値が例え
ば１００μＡ未満の場合には良品と判断し、例えば１０
０μＡ以上の場合には不良品と判断する。
７，１１０をオンした状態で、電源１０９の出力電圧を
０Ｖに変更し、さらに、スイッチ１１０をオフする。そ
して、電源１０９の出力電圧を再び変更して１６Ｖにす
る。そして、このときのゲート漏れ電流の電流値を、電
流計１０５によって測定する。これにより、ゲートをフ
ローティング状態にしたときのゲート漏れ電流を測定す
ることができる。この結果、ゲート漏れ電流の値が例え
ば１００μＡ未満の場合には良品と判断し、例えば１０
０μＡ以上の場合には不良品と判断する。
【００４９】最後に、電源１０９の出力電圧を０Ｖに
設定した後、スイッチ１０４，１０７をオフし、測定を
終了する。
設定した後、スイッチ１０４，１０７をオフし、測定を
終了する。
【００５０】このように、この実施の形態によれば、１
台のトランジスタ測定装置で、ゲート漏れ電流の測定と
ドレイン電流の測定とを行うことができる。従って、複
数種類のゲート漏れ電流の測定と複数種類のドレイン電
流の測定とを、測定装置を変更することなく任意の順序
で行うことが可能となる。例えば、この実施の形態で
は、１種類ゲート漏れ電流の測定を行った後（上記測定
）、２種類のドレイン電流の測定を行い（上記測定
，）、その後、１種類ゲート漏れ電流の測定を行う
こととしたが（上記測定）、各測定項目間で測定装置
を変更する必要がない。
台のトランジスタ測定装置で、ゲート漏れ電流の測定と
ドレイン電流の測定とを行うことができる。従って、複
数種類のゲート漏れ電流の測定と複数種類のドレイン電
流の測定とを、測定装置を変更することなく任意の順序
で行うことが可能となる。例えば、この実施の形態で
は、１種類ゲート漏れ電流の測定を行った後（上記測定
）、２種類のドレイン電流の測定を行い（上記測定
，）、その後、１種類ゲート漏れ電流の測定を行う
こととしたが（上記測定）、各測定項目間で測定装置
を変更する必要がない。
【００５１】そして、この実施の形態では、これらの測
定を、電界効果トランジスタ１００に与える電圧および
電力ストレスが小さい順に行っている。これにより、上
記測定でドレイン電流ＩDSoff を測定するときにゲー
ト漏れ電流が変化する前のドレイン電流値ＩDSoff を測
定することができるので、この測定の精度を向上させる
ことができる。
定を、電界効果トランジスタ１００に与える電圧および
電力ストレスが小さい順に行っている。これにより、上
記測定でドレイン電流ＩDSoff を測定するときにゲー
ト漏れ電流が変化する前のドレイン電流値ＩDSoff を測
定することができるので、この測定の精度を向上させる
ことができる。
【００５２】また、上述の測定では、電源１０９の出
力電圧を１６Ｖに設定し且つ電源１０６を０Ｖに設定す
ることとしたので、スイッチ１１０が誤動作でオンして
電界効果トランジスタ１００のゲートが接地されても、
この電界効果トランジスタ１００にゲートストレスがか
かることはない。これに対して、電源１０９の出力電圧
を０Ｖに設定し且つ電源１０６を−１６Ｖに設定したと
すると、スイッチ１１０が誤動作でオンして電界効果ト
ランジスタ１００のゲートが接地されたときに、この電
界効果トランジスタ１００がゲートストレスを受ける。
すなわち、この実施の形態によれば、電界効果トランジ
スタ１００が受けるストレスを軽減して、この電界効果
トランジスタの故障を防止することができる。
力電圧を１６Ｖに設定し且つ電源１０６を０Ｖに設定す
ることとしたので、スイッチ１１０が誤動作でオンして
電界効果トランジスタ１００のゲートが接地されても、
この電界効果トランジスタ１００にゲートストレスがか
かることはない。これに対して、電源１０９の出力電圧
を０Ｖに設定し且つ電源１０６を−１６Ｖに設定したと
すると、スイッチ１１０が誤動作でオンして電界効果ト
ランジスタ１００のゲートが接地されたときに、この電
界効果トランジスタ１００がゲートストレスを受ける。
すなわち、この実施の形態によれば、電界効果トランジ
スタ１００が受けるストレスを軽減して、この電界効果
トランジスタの故障を防止することができる。
【００５３】なお、ここでは電圧および電力ストレスが
小さい順に行うこととしたが、例えば測定時間が短いも
のから順に測定を行うこととしてもよい。これにより、
電界効果トランジスタ１００の測定に要する時間を、全
体としてさらに短縮することができる。
小さい順に行うこととしたが、例えば測定時間が短いも
のから順に測定を行うこととしてもよい。これにより、
電界効果トランジスタ１００の測定に要する時間を、全
体としてさらに短縮することができる。
【００５４】第２の実施の形態 次に、この発明の第２の実施の形態について、図２を用
いて説明する。
いて説明する。
【００５５】図２は、この実施の形態に係るトランジス
タ測定装置の構成を示す回路図である。同図において、
図１と同じ符号を付した構成部は、それぞれ図１の場合
と同じものを示している。
タ測定装置の構成を示す回路図である。同図において、
図１と同じ符号を付した構成部は、それぞれ図１の場合
と同じものを示している。
【００５６】また、図２に示したように、このトランジ
スタ測定装置において、ドレイン端子用接続手段１０２
とソース端子用接続手段１０３との間には、例えば１０
００〜１００００ｐＦのキャパシタ２０１が設けられて
いる。さらに、ドレイン端子用接続手段１０２とソース
端子用接続手段１０３との間には、例えば１０〜１００
ｐＦのキャパシタ２０２および例えば５０Ωの抵抗素子
２０３が直列に接続されている。そして、ソース端子用
接続手段１０３とゲート端子用接続手段１０１との間に
は、例えば５０Ωの抵抗素子２０４および１００〜１０
００ｐＦのキャパシタ２０５が直列に接続されている。
スタ測定装置において、ドレイン端子用接続手段１０２
とソース端子用接続手段１０３との間には、例えば１０
００〜１００００ｐＦのキャパシタ２０１が設けられて
いる。さらに、ドレイン端子用接続手段１０２とソース
端子用接続手段１０３との間には、例えば１０〜１００
ｐＦのキャパシタ２０２および例えば５０Ωの抵抗素子
２０３が直列に接続されている。そして、ソース端子用
接続手段１０３とゲート端子用接続手段１０１との間に
は、例えば５０Ωの抵抗素子２０４および１００〜１０
００ｐＦのキャパシタ２０５が直列に接続されている。
【００５７】このような構成によれば、スイッチ１１０
をオンしたときに電界効果トランジスタ１００のドレイ
ンに発生したノイズを、キャパシタ２０１，２０２およ
び抵抗２０３からなる回路によってグランドに放出する
ことができる。また、スイッチ１１０をオンしたときに
電界効果トランジスタ１００のゲートに発生したノイズ
は、抵抗２０４およびキャパシタ２０５からなる回路に
よってグランドに放出することができる。
をオンしたときに電界効果トランジスタ１００のドレイ
ンに発生したノイズを、キャパシタ２０１，２０２およ
び抵抗２０３からなる回路によってグランドに放出する
ことができる。また、スイッチ１１０をオンしたときに
電界効果トランジスタ１００のゲートに発生したノイズ
は、抵抗２０４およびキャパシタ２０５からなる回路に
よってグランドに放出することができる。
【００５８】ここで、抵抗２０３の抵抗値は、電界効果
トランジスタ１００のソースで発生したノイズがゲート
に戻るときのループゲインが「１」以下となるような減
衰量（すなわち、このノイズが発振条件を満たさないよ
うな減衰量）が得られるように、設定する。但し、この
抵抗２０３の抵抗値が大きすぎると電界効果トランジス
タ１００のドレインで発生したノイズをグランドに放出
し難くなる。従って、この抵抗２０３の抵抗値は、上述
したように、１０〜１００オームの間で適当に設定する
ことが望ましい。
トランジスタ１００のソースで発生したノイズがゲート
に戻るときのループゲインが「１」以下となるような減
衰量（すなわち、このノイズが発振条件を満たさないよ
うな減衰量）が得られるように、設定する。但し、この
抵抗２０３の抵抗値が大きすぎると電界効果トランジス
タ１００のドレインで発生したノイズをグランドに放出
し難くなる。従って、この抵抗２０３の抵抗値は、上述
したように、１０〜１００オームの間で適当に設定する
ことが望ましい。
【００５９】また、各キャパシタ２０１，２０２，２０
５のキャパシタンスは、電界効果トランジスタ１００の
測定時に、電源１０６，１０９の出力電圧を設定してか
ら電流計１０５，１０８の電流値を測定するまでの間に
応答が終了するように設定する。
５のキャパシタンスは、電界効果トランジスタ１００の
測定時に、電源１０６，１０９の出力電圧を設定してか
ら電流計１０５，１０８の電流値を測定するまでの間に
応答が終了するように設定する。
【００６０】なお、図２に示したトランジスタ測定装置
を用いて電界効果トランジスタ１００の測定を行う手順
は、上述の第１の実施の形態の場合と同様であるので、
説明を省略する。
を用いて電界効果トランジスタ１００の測定を行う手順
は、上述の第１の実施の形態の場合と同様であるので、
説明を省略する。
【００６１】このように、この実施の形態に係るトラン
ジスタ測定装置によれば、スイッチ１１０をオンすると
きのノイズの発生を抑制して、高精度の測定を行うこと
ができる。
ジスタ測定装置によれば、スイッチ１１０をオンすると
きのノイズの発生を抑制して、高精度の測定を行うこと
ができる。
【００６２】第３の実施の形態 次に、第３の実施の形態として、この発明に係るトラン
ジスタ測定治具について説明する。
ジスタ測定治具について説明する。
【００６３】図３は、この実施の形態に係るトランジス
タ測定治具の構成を概略的に示す斜視図である。
タ測定治具の構成を概略的に示す斜視図である。
【００６４】同図に示したように、このトランジスタ測
定治具は、基板３１０上の載置部３１０ａに載置された
電界効果トランジスタ３００のゲート端子３０１、ドレ
イン端子３０２およびソース端子３０３（電界効果トラ
ンジスタ３００の裏面に設けられている）に接続される
ゲート端子用接続手段３１１、ドレイン端子用接続手段
３１２およびソース端子用接続手段３１３を備えてい
る。
定治具は、基板３１０上の載置部３１０ａに載置された
電界効果トランジスタ３００のゲート端子３０１、ドレ
イン端子３０２およびソース端子３０３（電界効果トラ
ンジスタ３００の裏面に設けられている）に接続される
ゲート端子用接続手段３１１、ドレイン端子用接続手段
３１２およびソース端子用接続手段３１３を備えてい
る。
【００６５】また、この基板３１０には、ドレイン端子
用接続手段３１２とソース端子用接続手段３１３との間
に設けられたキャパシタ３１４と、ドレイン端子用接続
手段３１２とソース端子用接続手段３１３との間に直列
接続されたキャパシタ３１５および抵抗素子３１６と、
ソース端子用接続手段３１３とゲート端子用接続手段３
１１との間に直列接続されたキャパシタ３１７および抵
抗素子３１８とを備えている。
用接続手段３１２とソース端子用接続手段３１３との間
に設けられたキャパシタ３１４と、ドレイン端子用接続
手段３１２とソース端子用接続手段３１３との間に直列
接続されたキャパシタ３１５および抵抗素子３１６と、
ソース端子用接続手段３１３とゲート端子用接続手段３
１１との間に直列接続されたキャパシタ３１７および抵
抗素子３１８とを備えている。
【００６６】ここで、ソース端子用接続手段３１３とし
ては、基板３１０の表裏両面（表面だけでもよい）に形
成された金属箔３１０ｂが用いられている。また、ゲー
ト端子用接続手段３１１としては、載置部３１０ａに載
置される電界効果トランジスタ３００のゲート端子３０
１と接するように金属箔３１０ｂに形成されたアイラン
ドが用いられている。同様に、ドレイン端子用接続手段
３１２としては、載置部３１０ａに載置される電界効果
トランジスタ３００のドレイン端子３０２と接するよう
に金属箔３１０ｂに形成されたアイランドが用いられて
いる。さらに、キャパシタ３１５と抵抗素子３１６とを
接続する配線パターン３１９としてはドレイン端子用接
続手段３１２としてのアイランドに隣接させて金属箔３
１０ｂに形成されたアイランドが用いられ、抵抗素子３
１８とキャパシタ３１７とを接続する配線パターン３２
０としては、ゲート端子用接続手段３１１としてのアイ
ランドに隣接させて金属箔３１０ｂに形成されたアイラ
ンドが用いられている。
ては、基板３１０の表裏両面（表面だけでもよい）に形
成された金属箔３１０ｂが用いられている。また、ゲー
ト端子用接続手段３１１としては、載置部３１０ａに載
置される電界効果トランジスタ３００のゲート端子３０
１と接するように金属箔３１０ｂに形成されたアイラン
ドが用いられている。同様に、ドレイン端子用接続手段
３１２としては、載置部３１０ａに載置される電界効果
トランジスタ３００のドレイン端子３０２と接するよう
に金属箔３１０ｂに形成されたアイランドが用いられて
いる。さらに、キャパシタ３１５と抵抗素子３１６とを
接続する配線パターン３１９としてはドレイン端子用接
続手段３１２としてのアイランドに隣接させて金属箔３
１０ｂに形成されたアイランドが用いられ、抵抗素子３
１８とキャパシタ３１７とを接続する配線パターン３２
０としては、ゲート端子用接続手段３１１としてのアイ
ランドに隣接させて金属箔３１０ｂに形成されたアイラ
ンドが用いられている。
【００６７】このように、図３に示したトランジスタ測
定治具は、図２に示したトランジスタ測定装置の回路構
成のうち、各接続手段１０１〜１０３および各素子２０
１〜２０５に対応する構成部を備えている。
定治具は、図２に示したトランジスタ測定装置の回路構
成のうち、各接続手段１０１〜１０３および各素子２０
１〜２０５に対応する構成部を備えている。
【００６８】そして、このトランジスタ測定治具を、ス
イッチ１０４，１０７、電流計１０５，１０８および電
源１０６，１０９を備えた本体部（図示せず）にセット
することにより、図２に示した回路構成と同様のトラン
ジスタ測定装置を得ることができる。
イッチ１０４，１０７、電流計１０５，１０８および電
源１０６，１０９を備えた本体部（図示せず）にセット
することにより、図２に示した回路構成と同様のトラン
ジスタ測定装置を得ることができる。
【００６９】また、電界効果トランジスタ３００の測定
を終了したときには、このトランジスタ測定治具を、別
の電界効果トランジスタ３００を載置したトランジスタ
測定治具と交換して、次の測定を行えばよい。
を終了したときには、このトランジスタ測定治具を、別
の電界効果トランジスタ３００を載置したトランジスタ
測定治具と交換して、次の測定を行えばよい。
【００７０】このように、この実施の形態に係るトラン
ジスタ測定治具によれば、測定を行う電界効果トランジ
スタの交換を容易にして、検査工程の効率を高めること
ができ、従って、電界効果トランジスタ３００の測定に
要する時間を、全体として短縮することができる。
ジスタ測定治具によれば、測定を行う電界効果トランジ
スタの交換を容易にして、検査工程の効率を高めること
ができ、従って、電界効果トランジスタ３００の測定に
要する時間を、全体として短縮することができる。
【００７１】なお、以上説明した各実施の形態では、電
界効果トランジスタの測定を行う場合を例にとって説明
したが、バイポーラトランジスタの測定にもこの発明を
適用できることはもちろんである。
界効果トランジスタの測定を行う場合を例にとって説明
したが、バイポーラトランジスタの測定にもこの発明を
適用できることはもちろんである。
【００７２】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、この発明に
よれば、異なる測定項目間でも測定順序を自由に選択す
ることができ且つトランジスタの交換が容易なトランジ
スタ測定装置を提供することができる。
よれば、異なる測定項目間でも測定順序を自由に選択す
ることができ且つトランジスタの交換が容易なトランジ
スタ測定装置を提供することができる。
【図１】第１の実施の形態に係るトランジスタ測定装置
の構成を示す回路図である。
の構成を示す回路図である。
【図２】第２の実施の形態に係るトランジスタ測定装置
の構成を示す回路図である。
の構成を示す回路図である。
【図３】第３の実施の形態に係るトランジスタ測定治具
の構成を概略的に示す斜視図である。
の構成を概略的に示す斜視図である。
【図４】従来のトランジスタ測定装置の構成を示す回路
図である。
図である。
【図５】従来のトランジスタ測定装置の構成を示す回路
図である。
図である。
１００，３００ 電界効果トランジスタ １０１，３１１ ゲート端子用接続手段 １０２，３１２ ドレイン端子用接続手段 １０３，３１３ ソース端子用接続手段 １０４，１０７，１１０ スイッチ １０５，１０８ 電流計 １０６，１０９ 電源 ２０１，２０２，２０５，３１４，３１５，３１７ キ
ャパシタ ２０３，２０４，３１６，３１８ 抵抗素子 ３１０ 基板 ３１０ａ 載置部 ３１０ｂ 金属箔
ャパシタ ２０３，２０４，３１６，３１８ 抵抗素子 ３１０ 基板 ３１０ａ 載置部 ３１０ｂ 金属箔
Claims (10)
- 【請求項１】 トランジスタの複数種類の電気的特性を
測定するトランジスタ測定装置において、 前記トランジスタの制御端子、第１端子および第２端子
に接続される制御端子用接続手段、第１端子用接続手段
および第２端子用接続手段と、 前記制御端子用接続手段とグランドラインとの間に直列
接続された第１スイッチ手段、第１電流計および第１電
源と、 前記第１端子用接続手段と前記グランドラインとの間に
直列接続された第２スイッチ手段、第２電流計および第
２電源と、 前記第２端子用接続手段と前記グランドラインとの間に
設けられた第３スイッチ手段と、 を備えたことを特徴とするトランジスタ測定装置。 - 【請求項２】 前記第１端子用接続手段と前記第２端子
用接続手段との間に設けられた第１キャパシタと、 前記第１端子用接続手段と前記第２端子用接続手段との
間に直列接続された第２キャパシタおよび第１抵抗素子
と、 前記第２端子用接続手段と前記制御端子用接続手段との
間に直列接続された第２抵抗素子および第３キャパシタ
と、 をさらに有することを特徴とする請求項１に記載のトラ
ンジスタ測定装置。 - 【請求項３】 前記トランジスタが電界効果トランジス
タであり、前記制御端子がゲート端子であり、前記第１
端子がドレイン端子であり、且つ、前記第２端子がソー
ス端子であることを特徴とする請求項１または２に記載
のトランジスタ測定装置。 - 【請求項４】 トランジスタの電気的特性を測定するた
めのトランジスタ測定治具において、 基板上の載置部に載置される前記トランジスタの制御端
子、第１端子および第２端子に接続される制御端子用接
続手段、第１端子用接続手段および第２端子用接続手段
と、 前記第１端子用接続手段と前記第２端子用接続手段との
間に設けられた第１キャパシタと、 前記第１端子用接続手段と前記第２端子用接続手段との
間に直列接続された第２キャパシタおよび第１抵抗素子
と、 前記第２端子用接続手段と前記制御端子用接続手段との
間に直列接続された第２抵抗素子および第３キャパシタ
と、 を備えたことを特徴とするトランジスタ測定治具。 - 【請求項５】 前記第２端子接続手段が、前記基板の表
面または表裏両面に形成された金属箔であり、 前記制御端子用接続手段が、前記載置部に載置される前
記トランジスタの前記制御端子と接するように前記金属
箔に形成された第１アイランドであり、 前記第１端子用接続手段が、前記載置部に載置される前
記トランジスタの前記第１端子と接するように前記金属
箔に形成された第２アイランドであり、 前記第２キャパシタと前記第１抵抗素子とを接続する配
線パターンが、前記第１アイランドに隣接させて前記金
属箔に形成された第３アイランドであり、 前記第２抵抗素子と前記第３キャパシタとを接続する配
線パターンが、前記第２アイランドに隣接させて前記金
属箔に形成された第４アイランドである、 ことを特徴とする請求項４に記載のトランジスタ測定治
具。 - 【請求項６】 前記トランジスタが電界効果トランジス
タであり、前記制御端子がゲート端子であり、前記第１
端子がドレイン端子であり、且つ、前記第２端子がソー
ス端子であることを特徴とする請求項４または５に記載
のトランジスタ測定治具。 - 【請求項７】 トランジスタの制御端子、第１端子およ
び第２端子に接続される制御端子用接続手段、第１端子
用接続手段および第２端子用接続手段と、前記制御端子
用接続手段とグランドラインとの間に直列接続された第
１スイッチ手段、第１電流計および第１電源と、前記第
１端子用接続手段と前記グランドラインとの間に直列接
続された第２スイッチ手段、第２電流計および第２電源
と、前記第２端子用接続手段と前記グランドラインとの
間に設けられた第３スイッチ手段とを備えるトランジス
タ測定装置を用いたトランジスタ測定方法において、 前記第１〜第３スイッチ手段をオンし且つ前記第１電源
および前記第２電源から所定電圧を出力した状態で前記
第１電流計の値を測定する第１測定過程の１または複数
と、前記第１〜第３スイッチ手段をオンし且つ前記第１
電源および前記第２電源から所定電圧を出力した状態で
前記第２電流計の値を測定する第２測定過程の１または
複数と、前記第１スイッチ手段および前記第２スイッチ
手段をオンし、前記第３スイッチ手段をオフし且つ前記
第１電源および前記第２電源から所定電圧を出力した状
態で前記第１電流計の値を測定する第３測定過程の１ま
たは複数とを、所定条件に従った順序で行うことを特徴
とするトランジスタの測定方法。 - 【請求項８】 前記トランジスタが電界効果トランジス
タであり、前記制御端子がゲート端子であり、前記第１
端子がドレイン端子であり、且つ、前記第２端子がソー
ス端子であることを特徴とする請求項７に記載のトラン
ジスタ測定方法。 - 【請求項９】 前記第１測定過程および前記第３測定過
程がゲート漏れ電流を測定する過程であり、前記第２測
定過程がドレイン電流を測定する過程であることを特徴
とする請求項７または８に記載のトランジスタ測定方
法。 - 【請求項１０】 前記所定条件が、それぞれの前記第１
測定過程と、それぞれの前記第２測定過程と、それぞれ
の前記第３測定過程とを、前記第１電源および前記第２
電源の出力電圧が小さく且つ前記トランジスタに与える
電力ストレスが小さくなる順序で行うことであることを
特徴とする請求項７〜９のいずれかに記載のトランジス
タの測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27311597A JPH11108986A (ja) | 1997-10-06 | 1997-10-06 | トランジスタ測定装置、トランジスタ測定治具およびトランジスタ測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27311597A JPH11108986A (ja) | 1997-10-06 | 1997-10-06 | トランジスタ測定装置、トランジスタ測定治具およびトランジスタ測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11108986A true JPH11108986A (ja) | 1999-04-23 |
Family
ID=17523350
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27311597A Withdrawn JPH11108986A (ja) | 1997-10-06 | 1997-10-06 | トランジスタ測定装置、トランジスタ測定治具およびトランジスタ測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11108986A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010210330A (ja) * | 2009-03-09 | 2010-09-24 | Espec Corp | 半導体試験装置および測定装置 |
| WO2015001374A1 (en) * | 2013-07-04 | 2015-01-08 | Freescale Semiconductor, Inc. | A gate drive circuit and a method for controlling a power transistor |
| KR20160027428A (ko) * | 2014-08-29 | 2016-03-10 | 엘지디스플레이 주식회사 | 박막트랜지스터의 누설전류 측정방법 |
-
1997
- 1997-10-06 JP JP27311597A patent/JPH11108986A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
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