JPH0393645A - 紫外線透過ガラス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は紫外線透過ガラスに関する。

従来技術および課題 近年、紫外線撮影用レンズ（考古学、警察鑑定等に用い
る）、紫外線消去ＥＦＲＯＭの窓用ガラス、および水銀
ランプを光源に用いる光学系等に使用される光学ガラス
においては、より短波長の光を、より高効率に透過し、
かつ耐ソラリゼーシＢン性に優れた紫外線透過ガラスが
望まれている。

特に、ステッパーに使用される縮小投影レンズにおいて
は、レンズ単品の芯厚も厚く、レンズ枚数も多いので、
紫外域において内部透過率〉９５％で、かつ紫外線照射
による透過率の劣化がないこと（耐ソラリゼーシａン性
）が要求されている。

また、従来の紫外線透過ガラスに於ては、ｄ線に対する
屈折率が１．５５未満であったが、縮小投影レンズ等の
紫外域の光学系に於ては、色収差補正の為に、より高屈
折率の光学ガラスが必要になってきた。

紫外線透過ガラスとしては、特公昭５４−３６１６４号
公報に： Ｂ　！０　１−Ｓ　ｉｏ　．−Ｌａ，Ｏ　．−Ｚ　ｒｏ
−２価金属酸化物の組或物およびＳｎＯ．の導入による
還元技術が開示されており、透過率λＴ８０＞　３　６
　５　ｎ■（ガラス厚１０ｍｍ透過波長）が達或されて
いる：特開昭５５−３３２９号公報： Ｂ．Ｏ．−Ｓｉｎ．−Ｌａ．Ｏ，−Ｙｂ．０３の組或物
およびＳｎＯ．の導入による還元技術が開示されている
。

透過率λＴ８０＞　３　６　５　ｎｍ（ガラス厚１０ｍ
ａ＋透過波長）が達威されている； 特公昭５５−３７５００号公報および特公昭５６−４０
０９４号公報にはｐ，ｏ，系の組戊物が開示されており
、透過率λＴ８０＞　３　６　５　ｎｍ（ガラス厚１０
＋ａｍ透過波長）が達威されている：特開昭５８−１３
０１３６号公報： Ｐ！０１−Ｔａ，Ｏ．系組威物が開示されており、透過
率λＴ８０＞　３　６　５　ｎ＋ｍ（ガラス厚１０ｍｍ
透過波長）が達虞されている； 特開昭６０−４６９４６号公報： Ｂ．０．−Ｓｉｎ．−１！．０．−ＣａＯ系組虞物が開
示されており、Ｆｅ，Ｏｎ＜０．０３重量％であり、少
量の還元剤を含有させてもよい旨の記載がある。

厚さ３．６ａ＋ｍ、λ−２５．７ｎ−の透過率は約６９
％である： 特開昭６０−７７１４４号公報： ３３　２０　３−　Ｓ　ｔｏ　ｔ　　Ｎａｎｏ　　ＡＱ
ｚＯ　ｓ系組放物が開示されており、Ｆ２．５〜１０重
量％であり、ＳｎＯ２による還元に関する記載がある。

厚さｌＩＩＩＩＩ１であり、λ−２５３．７ｎｍの透過
率は８　０〜８　５％である； 特開昭６０−２００８４２号公報： Ｓ　ｉｏ　ｚ　−　Ｂ　２０　＠　−　Ａｆｆ１０　ｚ
　−　Ｒ　！Ｏおよびｐｘｏ．１〜６重量％の組或物か
らなる多孔質の反射防止膜（表面処理）を有するガラス
が開示されている；特開昭６０−２１５５４７号公報： Ｓｉｎ．−ＡＱ２Ｏ３−Ｂ，Ｏ，−ＣａＯ−ＨｇＯ−Ｂ
ａＯおよびＦｅ！０３く２Ｏ０ｐｐｆｆｉからなる組成
物開示されている。透過＄−８０％が達威されている：
特開昭６　１−２０　１６４０号公報：Ｓｉｎｇ−Ｂ１
０３−ＡＱ＠Ｏ，−Ｎａｎｏ−（ＣａＯ＋ＨｇＯ＋Ｚｎ
Ｏ）−ＮｉＯ−Ｃｏｏの組成物が開示されている； 特開昭６２−２７３４６号公報： Ｐ　．０　．　−　Ｓ　ｉｏ　．　−　ＡＱ．０．の組
成物が開示されている； 特開昭６２−６５９５１号公報： Ｐ　１　０＆　−　Ｂ　＊　Ｏ　ｓ　−　Ａ　Ｑ＊　Ｏ
　ｓおよびＮｉｐ（１５重量％、Ｃ００くｌ５重量％か
らなる組戊物が開示されている： 特開昭６２−８７４３３号公報： ＳｉＯ＊−Ｂ１０３　　ＢａＯからなり、Ｆｅおよびそ
の他の遷移金属＜　１　ｐｐｍの組成物が開示されてい
る。

透過率λＴ８０−３００〜３２０（ガラス厚１０ｍｍ透
過波長）が達威されている； 特開昭６２−１５３１４２号公報： Ｓ　１０１−Ｂ　２　０　ｓ　−　Ａ　Ｑ　！　Ｏ　Ｓ
　−　Ｒ　＠　Ｏ　−　Ｒ　Ｏ　カらなる組成物および
還元剤カーボン、酒石酸、Ｓｉ，Ａｆｆ，を使用する記
載がある。厚さｌ　ｍｎ＋，λ−２５３．７ｎｍでの透
過率７５％が達威されている；特開昭６３−１１５４４
号公報： Ｐ　２０　＊−　Ｌａ１０　３　　Ｌ　ｉｌｏの組虞物
が開示されている： 特開昭６３−２６５８４０号公報： Ｓｉ０１−Ｂ１０３−Ｐ＊Ｏｓ−ＴｉＯ！−Ｎｂ＊Ｏｓ
−（Ｚ　ｎｏ　十Ｐ　ｂｏ　）−　（Ｌ　ｉｘＯ　＋　
ＮａｔＯ　＋Ｋ　＊Ｏ　）の組或物が開示されており、
透過率λＴ８０＞　４　２　０が達威されている： 特開昭６３−２８２１３９号公報： ＳｉＯ＊−Ａ（ｌｘｏｓ　　Ｂ！ＯＳ　　Ｎａ＝０−（
ｔ．ｉ，ｏ＋Ｋ２Ｏ）−ＢａＯ−（Ａｓ．Ｏ，＋Ｓｂ，
Ｏ，）−ＮｉＯ−Ｃ００の組或物が開示されている； 等が知られているが、本発明とは戊分系および紫外部で
の高い透過率にする為の方法が異なり、また透過率のよ
り向上が望まれる。

また、Ｊ　．Ｎｏｎ−Ｃｒｙｓｔ．Ｓｏｌｉｄｓ　ｌ　
Ｏ　７（１　９８９）、３０頁には、高純度原料を使っ
た３！Ｒ分アルカリ土類一メタリン酸塩ガラスが開示さ
れているが本発明と戊分系が異なり、透過率λＴ５０（
厚さ１０一一、透過率５０％の波長）−　１　９　５〜
３００ｎａ＋である。

発明が解決しようとする課題 本発明は、紫外域における透過率が大きく、なおかつ紫
外線照射による透過率の劣化のない（あるいは極めて少
ない）光学ガラス、さらに詳しくはアッベ数νｄが４７
〜６１，屈折率ｎｄが１．６３〜１．７６であり、かつ
１０ｍｍ厚で８０％以上の透過率が得られる波長が３２
０ｎｍ以下である光学ガラスを提供することを目的とす
る。

課題を解決するための手段 すなわち、本発明は下記組或ガラスを溶融して作製した
耐ソラリゼーション性に優れた紫外線高透過ガラス； Ｓｉｎｇ Ｂ！０３ ＢａＯ Ｌａ！Ｏｓ ＭｇＯ ＣａＯ ＳｒＯ ＺｎＯ ＺｒＯ． Ｙ２０３ Ｎａ．Ｏ Ｋ！０ １２２Ｏ， １〜２７重量％ ｌ５〜４０重量％ ６〜４５重量％ ７〜４５重量％ ０〜１０重量％ ０〜３０重量％ ０−１１重量％ ０〜４０重量％ ０〜　８重量％ ０〜　３重量％ ０〜　５重量％ ０〜　５重量％ ０〜　５重量％ Ｆ　ｅ　　　　　　　　＜　３　ｐｐｍｃ　ｒ　　　　
　　　　＜　３　ｐｐｍ還元性添加物　　　　く０．２
　重量％（ただし、Ｆｅ％Ｃｒおよびその他の遷移金属
の含量は３　ｐｐａ＋より少ない）に関する。

このように製造したガラスは、耐ンラリゼーション性も
、良好である。

一般にガラスにおける紫外域での主な吸収原因は （１）ガラス中のＦ　ｅ　Ｓ　＋、およびＣ『●“を初
めとする多くの遷移金属イオン （２）ガラス中に溶けだした白金（溶融るつぼが白金で
ある場合） （３）ガラス構造による紫外域での基礎吸収等がある。

一方、紫外線透過ガラスに使われる波長は、おおよそ２
　５　０〜４　４　０ｎａ＋付近であり、前記（３）に
よる吸収は、この波長より短波長側にあると思われ、ガ
ラス成分に吸収のない戒分を使用する限り、２　５　０
〜４　４　０ｎｍ付近の吸収は、主に（１）、および（
２）によると思われる。特に、（１）のＦｅ”◆或はＣ
　ｒ”の吸収波長はＦｅ”＋が３８０ｎｍ，Ｃｒ●◆が
３５０ｎｍであり、かつ吸収係数が大きく、少量混入し
ても透過率の劣化を招く。

本発明は、鉄、クロムであっても、その原子価状態がＦ
ｅ”　、Ｃｒ”の低原子状態であれば、その吸収波長は
、Ｆ””　”　ｌ　０　５　０　ｎ１１％　Ｃ　ｒエ＋
：４３０ｎ閣であることを利用するものである。

ＳｉＯ１は、その含有量が１重量％（以下ｗｔ％と示す
）未満では、Ｂ．０，の揮発が激しくなるので脈理が生
じあくなる上に、化学的耐久性が悪くなる。また、Ｓｉ
ｎ．の含有量が２７ｖｔ％より多くなると、溶融温度が
高くなる上に、ガラス粘度が高くなり、溶融性が悪くな
る． Ｂ！０，は、その含有量が１５ｗｔ％未満では、液相温
度が高くなり、４０ｗｔ％より多いと揮発が激しくなっ
て、脈理が生じ易くなる。

ＢａＯおよびＬａ．Ｏ．はガラスを高屈折率低分散にす
る虞分であり、本発明の目標とする光学性能を達虞する
為に必要であると共に、ガラス粘度を適当に下げるもの
で、Ｓｉｎｇの融解助剤としても働く。そして、ＢａＯ
の含有量が６ｗｔ％未満では、これらの働きが充分でな
くなり、一方、４５ｗｔ％より多いと化学的耐久性が悪
くなる。またＬａｇＯ，の含有量が７ｗｔ％未満でも、
これらの働きが十分でなくなり、４５ｗｔ％より多いと
液相温度が高くなる。

ＭｇＯ，Ｃａｂ１Ｓｒ’ｓ　ＺｎＯｓ　ＺｒＯ，および
Ｙ．Ｏ．は、ＢａＯおよびＬａ２Ｏ３と類似した光学性
能を持つものでＢａＯと共に用いられる。ＭｇＯ，Ｃａ
ｂ，ＳｒＯ，ＺｒＯ＝およびＹ２Ｏ，は、それぞれｌＱ
ｗｔ％、３０ｗｔ％、１１ｗｔ％、８ｗｔ％、３ｗｔ％
より多くなると液相温度が高くなる。また、ＺｎＯは４
０ｗｔ％より多いと、ガラス粘度が低くなる。

Ｎａ１０およびＫ２Ｏは溶融助剤として、また、ガラス
粘度を調整するために加えられうるが、それぞれ５ｖｔ
％より多いと化学的耐久性が悪くなる。

／１２Ｏ，は、ガラスの化学的耐久性を向上させる慟き
があるが、５ｗｔ％より多いと、逆にガラス粘性が高く
なり、溶融性が悪くなる。

還元性添加物としてはＳｉ，Ｃ等が挙げられ、それらの
物質は、原料中および工程（るつぼ）から混入した不純
物（鉄、クロム等）を低原子価状態に還元し、紫外域で
の透過率向上の働きをする。それらの使用量は、０−２
ｗｔ％までの量であり、ｓｉについては０　．　ｌ　ｖ
ｔ％までの量が好ましい。還元性物質を０．２ｗｔ％以
上使用すると、それらの物質がガラス中に未溶融物とし
て残り、逆に紫外線透過率の劣化をもたらす。

Ｆｅ３４、Ｃ，ｍｓは、紫外域での透過率を大きく劣化
させる虞分であり、その吸収系数が大きい為、Ｆｅ及び
Ｃｒとしてそれぞれａｐｐ一以下の含量とする。　Ｆｅ
，Ｃｒおよびその他の遷移金属（例えばＭｎ，Ｎｉ％Ｃ
ｏ）等は、紫外域での透過率の劣化の観点からそれらの
合計量が３　ｐｐｖａ以下となるようにする。

光学ガラスの製造は、ガラス原料（粉体）を１回溶融、
混合して得られる溶融物を所望の型に流し込み、冷却固
化形或することを行ないうる。別の方法としてガラス原
料（粉体）を粗溶解し、カレット（ガラス粒子）を一旦
作り、光学恒数を合わせる為に、その後仕上げ溶融する
ことも行なわれる。

前者の製法の場合には、るつぼとして高純度なセラミッ
クスのものを使用する。後者の製法の場合も、粗溶解に
は高純度なセラミックスるつぼを使用し、仕上げ溶解に
中性、或は還元性雰囲気下で高純度な白金るつぼを使用
することが好ましい。

このように高純度セラミックスを使用するのは、本発明
は還元剤を使用するため、粗溶解では白金るつぼを使用
しにくいためである。

高純度なセラミックスるつぼとしては、石英、アルミナ
、カーボン等の材料からなり、その材料中の不純物がＦ
　ｅ＜　３　ｐｐｔｎｓ　Ｃ　ｒ＜　３　ｐＩ’Ｌその
他の遷移金属（例えば（Ｍｎ％Ｎｉ％Ｃｏ）等の含量が
３　ｐｐｍであるものを使用する。かかるるつぼの使用
はガラス組或物中にＦｅ，Ｃｒ等の混入防止に有効であ
る。

高純度白金金るつぼとしては、不純物およびその量が上
記高純度なセラミックスるつぼと同様のものを使用する
ことが好ましい。そのような高純度白金を使用するのは
高純度セラミックスるつぼを使用するのと同様の理由に
よる。

ガラスレンズの溶融を通常の空気雰囲気下で行うことも
可能であるが、中性雰囲気下あるいは還元性雰囲気下で
行うことは有用である。

中性雰囲気下での溶融は、低原子価状態にしたＦｅ”　
、Ｃｒ”＋を高原子化状態（Ｆｅ”　、Ｃｒ”　：紫外
域での吸収）になるのを防ぐのに有効であり、かかる雰
囲気は、Ａｒ１Ｎ１等の不活性ガスを使用することによ
り可能である。

還元性雰囲気下での溶融は、高原子価状態（Ｆｅ”Ｃ　
ｒ”等）を低原子価状態（Ｆｅ”　、Ｃｒ”　）に還元
する働きをすとともに、低原子価状態にしたＦｅ”　、
Ｃｒ３＋を高原子化状態（Ｆｅｓ＋、Ｃｒ′＋）になる
のを防ぐのにも有効である。かかる雰囲気は、Ｎ，、Ａ
ｒ等の不活性気体に、５容量％程度のＨ，、Ｇｏ等の還
元性気体を混合することにより得られる。

本発明の紫外線透過ガラスの作製を全工程を通じて中性
雰囲気または還元性雰囲気下で行なうと、還元剤の添加
は必ずしも必要ではなく、その場合にも、本発明の目的
を達或できることを見出だした． 二二に本発明は下記組或ガラスを、非酸化性雰囲気下で
溶融することを特徴とする耐ソラリゼーション性に優れ
た紫外線高透過ガラス：Ｓｉ０１　　　　　　　　１〜
２７重量％Ｂ＊Ｏｓ　　　　　　　１５〜４０重量％Ｂ
ａＯ　　　　　　　　６〜４５重量％Ｌ　ａｍ　ｏ　ｚ
　　　　　　　７　〜４　５重量％ＭｇＯ　　　　　　
　　０〜１０重量％ＣａＯ　　　　　　　　　０〜３０
重量％ＳｒＯ　　　　　　　　　Ｏ”１１重量％ＺｎＯ
　　　　　　　　０〜４０重量％ＺｒＯ．　　　　　　
　　０〜　８重量％ｙ，ｏ，　　　　　　　　０〜　３
重量％Ｎａ．０　　　　　　　　０〜　５重量％Ｋ，Ｏ
　　　　　　　　０〜　５重量％Ａａ，ｏ，　　　　　
　　０〜　５重量％Ｆ　ｅ　　　　　　　　　＜　ａ　
ｐｐ■Ｃ　ｒ　　　　　　　　＜　３　ｐｐｍ（ただし
、Ｆｅ，Ｃｒおよびその他の遷移金属の含量はａｐｐ一
より少ない）を提供するものである。

非酸化性雰囲気は、前記した中性雰囲気または還元性雰
囲気を意味する。

還元手法のみを使うことは、使わない場合より、Ｆｅ”
◆−＊　ｐ　６”　、（　ｒ”　−１１（　ｒ”＋の酸
化還元平衡を積極的に還元状態Ｆｅ！＋　、Ｃ，＄４の
方へずらすことができ、相対的にガラスに混入している
総鉄量、総クロム量のうちＦｅ！＋、Ｃｒｓ＋の割合を
多くできる。

そのためにも原料は不純物（鉄、クロム等）を極力少な
くした高純度原料を使用し、ガラス溶融るつぼは、前記
したような高純度セラミックス製るつぼまたは白金製る
つぼを使用することが好ましい。

以下、実施例を挙げて本発明を説明する。

！隻豊 本発明の耐ソラリゼーシ１ンに優れた紫外線透過ガラス
を、表１および表２に示した組或、条件下で以下のよう
にして作製した。

尚、ガラス原料中のＦｅ，Ｃｒおよびその他の遷移金属
の合計含量は３　ｐｐ’ｌＡ以下で行った。

（１）　　一回溶融 表１中最上段の数字１−１４は、一回溶融してガラスを
製造した場合の実施例を示す。

表ｌに示す組虞ガラスを、ガラス量として１００ｇを石
英るつぼ中、１２５０〜１３５０℃の温度で溶融、攪拌
後、予熱した鋳型に流し込み威形、徐冷することによっ
て製造した。

（２）２回溶融 表１中、最上段の数字１−Ｒ−１４−Ｒは２回溶融して
ガラスを製造した場合の実施例を示す。

２回目の溶融は、溶融時に非酸化性雰囲気を使った。ガ
ラスは上記（１）で使用した同様の組虞のガラスを非酸
化性雰囲気下、白金るつぼ中１２００〜１３００℃の温
度で溶融、攪拌後、予熱した鋳型に流み成形し、徐冷し
て製造した． （３）雰囲気 表２中、最上段の数字１−Ｅ−１４−Ｅは、還元剤を使
用せず、非酸化性雰囲気を使った実施例を示す。表２に
示す組虞ガラスを、ガラス量として１００ｇを白金、石
英、アルミナ、およびカーボンるつぼ中、非酸化性雰囲
気下、１２５０〜１３５０℃の温度で溶融し、攪拌後、
予熱した鋳型に流し込んでｆＲＭ％徐冷して製造した。

比較例として、Ｒ−２、Ｒ−７を表２中に示した。

なお表中のそれぞれの原料としては、炭酸塩、硝酸塩、
および酸化物等の適当な化合物を用いた。

また各表中、λＴ８０は日本光学硝子工業会規格に基づ
き、厚さ１０ｗｍで対面を平行に鏡面研磨した試料の分
光透過車曲線を求め、透過率８０％の波長を示したもの
である．λ′Ｔ８０は、同規格に基づき前試料にＩＯＯ
Ｗ高圧水銀灯から３１）＋ｍ離して、３時間照射し、２
０分後にλＴ８０と同様にして測定したものである。

雰囲気の備中，Ｎ２は窒素、Ａｒはアルゴン、Ｈ２は９
５％窒素＋５％水素、ＣＯは９５％窒素＋５％一酸化炭
素をそれぞれ表す。

また（ｎｄ　−　１　）の値は（ｎｄ−１）＊１０００
０の値を表す。

（以下、余白） 発明の効果 本発明の紫外線透過ガラスは、紫外線透過率が大きく、
耐紫外線劣化性に優れている。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、下記組成ガラスを溶融して作製した耐ソラリゼーシ
   ョン性に優れた紫外線高透過ガラス；ＳｉＯ＿２１〜２
   ７重量％ Ｂ＿２Ｏ＿３１５〜４０重量％ ＢａＯ６〜４５重量％ Ｌａ＿２Ｏ＿３７〜４５重量％ ＭｇＯ０〜１０重量％ ＣａＯ０〜３０重量％ ＳｒＯ０〜１１重量％ ＺｎＯ０〜４０重量％ ＺｒＯ＿２０〜８重量％ Ｙ＿２Ｏ＿３０〜３重量％ Ｎａ＿２Ｏ０〜５重量％ Ｋ＿２Ｏ０〜５重量％ Ａｌ＿２Ｏ＿３０〜５重量％ Ｆｅ＜３ｐｐｍ Ｃｒ＜３ｐｐｍ 還元性添加物＜０．２重量％ ただし、Ｆｅ、Ｃｒおよびその他の遷移金属の含量は３
   ｐｐｍより少ない。 ２、還元性添加物がＳｉであり、その添加量がＳｉ＜０
   ．１重量％である請求項１記載のガラス。 ３、還元性添加物がＣであり、その添加量がＣ＜０．２
   重量％である請求項１記載のガラス。 ４、溶融する際のるつぼが、高純度石英、アルミナ、白
   金およびカーボンである請求項１〜３記載のガラス。 ５、溶融する際のるつぼの不純物量が、Ｆｅ＜３ｐｐｍ
   、Ｃｒ＜３ｐｐｍ、およびその他の遷移金属の含量＜３
   ｐｐｍである請求項４記載のるつぼ。 ６、溶融が粗溶融と再溶融からなり、再溶融が高純度白
   金るつぼで行なわれる請求項１〜５いずれかに記載のガ
   ラス。 ７、高純度白金がＦｅ＜３ｐｐｍ、Ｃｒ＜３ｐｐｍ、お
   よびその他の遷移金属の含量＜３ｐｐｍの純度である請
   求項６記載のるつぼ。 ８、再溶融をＡｒ、およびＮ＿２の中性雰囲気、或はＮ
   ＿２＋５％Ｈ＿２およびＮ＿２＋５％ＣＯの還元性雰囲
   気で行なう請求項１〜６記載のガラス。 ９、下記組成ガラスを、非酸化性雰囲気下で溶融するこ
   とを特徴とする耐ソラリゼーション性に優れた紫外線高
   透過ガラス； ＳｉＯ＿２１〜２７重量％ Ｂ＿２Ｏ＿３１５〜４０重量％ ＢａＯ６〜４５重量％ Ｌａ＿２Ｏ＿３７〜４５重量％ ＭｇＯ０〜１０重量％ ＣａＯ０〜３０重量％ ＳｒＯ０〜１１重量％ ＺｎＯ０〜４０重量％ ＺｒＯ＿２０〜８重量％ Ｙ＿２Ｏ＿３０〜３重量％ Ｎａ＿２Ｏ０〜５重量％ Ｋ＿２Ｏ０〜５重量％ Ａｌ＿２Ｏ＿３０〜５重量％ Ｆｅ＜３ｐｐｍ Ｃｒ＜３ｐｐｍ ただし、Ｆｅ、Ｃｒ、およびその他の遷移金属の含量は
   ３ｐｐｍより少ない。 １０、非酸化性雰囲気が、Ａｒ、およびＮ＿２の中性雰
   囲気である請求項９記載のガラス。 １１、非酸化性雰囲気が、Ｎ＿２＋５％Ｈ２、およびＮ
   ＿２＋５％ＣＯの還元性雰囲気である請求項９記載のガ
   ラス。 １２、溶融する際のるつぼが、高純度石英、アルミナ、
   白金、およびカーボンである請求項９記載のガラス。 １３、溶融する際のるつぼの不純物量が、Ｆｅ＜３ｐｐ
   ｍ、Ｃｒ＜３ｐｐｍ、およびその他の遷移金属の含量＜
   ３ｐｐｍである請求項１２記載のるつぼ。