JPH0383803A - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
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- JPH0383803A JPH0383803A JP22234889A JP22234889A JPH0383803A JP H0383803 A JPH0383803 A JP H0383803A JP 22234889 A JP22234889 A JP 22234889A JP 22234889 A JP22234889 A JP 22234889A JP H0383803 A JPH0383803 A JP H0383803A
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Landscapes
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、オゾンを発生させるための放電体に関するも
のである。
のである。
オゾンは乾燥空気中で放電を行うことにより得られるも
ので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用さ
れている。
ので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用さ
れている。
このようなオゾンの発生装置としては、たとえは特公昭
５５−３７４８３号公報に示されるようにアルミナセラ
Ｑ ７クスからなる誘電体をはさんで放電を行うように
したものが用いられていた。また、特開昭５９−４４７
９７号公報などに示されているように、セラミツクスか
らなる誘電体の内部に面状の誘導電極を、表面に線状の
放電電極をそれぞれ形成し、これらの電極間に高周波電
圧を印加して沿面放電を発生させるようにしたものも用
いられていた。
５５−３７４８３号公報に示されるようにアルミナセラ
Ｑ ７クスからなる誘電体をはさんで放電を行うように
したものが用いられていた。また、特開昭５９−４４７
９７号公報などに示されているように、セラミツクスか
らなる誘電体の内部に面状の誘導電極を、表面に線状の
放電電極をそれぞれ形成し、これらの電極間に高周波電
圧を印加して沿面放電を発生させるようにしたものも用
いられていた。
さらに、上記誘導電極と放電電極を形成してなるオゾン
発生用放電体において、放電電極は放電中に消耗しやす
いため、これを覆うようにガラスから成る保護層を形成
することも行われていたく特開昭６３−６６８８０号公
報参照）。
発生用放電体において、放電電極は放電中に消耗しやす
いため、これを覆うようにガラスから成る保護層を形成
することも行われていたく特開昭６３−６６８８０号公
報参照）。
ところが、上記の如きガラスからなる保護層は放電によ
り浸食されやすく、次第にオゾン発生量が低下してしま
うという問題点があった。
り浸食されやすく、次第にオゾン発生量が低下してしま
うという問題点があった。
そのため、保護層の材質としてさまざまなセラもツクス
を用いることが考えられているが、その場合保護層が薄
いと製造が困難であり、ピンホールが発生しやすく、逆
に保護層が厚いと放電特性が悪くなりオゾン発生量が低
下するなどの問題点があった。またセラよツクの種類が
異なると、最適厚みも異なるため、保護層の厚み調整が
非常に難しいものであった。
を用いることが考えられているが、その場合保護層が薄
いと製造が困難であり、ピンホールが発生しやすく、逆
に保護層が厚いと放電特性が悪くなりオゾン発生量が低
下するなどの問題点があった。またセラよツクの種類が
異なると、最適厚みも異なるため、保護層の厚み調整が
非常に難しいものであった。
上記に鑑みて本発明は、オゾン発生用放電体の放電電極
を覆うように保護層を形成するとともに、誘電体層の静
電容量Ｃ２と保護層の静電容量Ｃ２との比をｃ＋／ Ｃ
２≦０．５とすればオゾン発生量を高くできることを見
い出したものである。
を覆うように保護層を形成するとともに、誘電体層の静
電容量Ｃ２と保護層の静電容量Ｃ２との比をｃ＋／ Ｃ
２≦０．５とすればオゾン発生量を高くできることを見
い出したものである。
なお、上記誘電体層の静電容量Ｃ０とは誘電体層をはさ
んで形成された面状誘導電極と線状放電電極間の静電容
量のことであり、一方保護層の静電容量Ｃ２とは、保護
層の上に前記面状誘導電極と同じ大きさの電極を置いた
ときの、この電極と前記放電電極間の静電容量のことで
ある。
んで形成された面状誘導電極と線状放電電極間の静電容
量のことであり、一方保護層の静電容量Ｃ２とは、保護
層の上に前記面状誘導電極と同じ大きさの電極を置いた
ときの、この電極と前記放電電極間の静電容量のことで
ある。
以下本発明の実施例を図によって説明する。
第１図（ａ） （ｂ）に示すオゾン発生用放電体は、未
焼成セラミック板１に面状の誘導電極３を、もう−枚の
未焼成セラミックス２に線状の放電電極６を、それぞれ
タングステン、モリブデンなどのペーストを塗布して形
成し、これらのセラミック板１．２を積層した後、上記
放ｉｔ極４を覆うようにセラミックスからなる保護Ｊｉ
５を印刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法などにより形
成して全体を焼成−体化したものである。このオゾン発
生用放電体は、上記セラミック板２が誘電体層となり、
誘導電極３と放電電極４間に電圧を印加すると沿面放電
が生じ、オゾンを発生させることができる。
焼成セラミック板１に面状の誘導電極３を、もう−枚の
未焼成セラミックス２に線状の放電電極６を、それぞれ
タングステン、モリブデンなどのペーストを塗布して形
成し、これらのセラミック板１．２を積層した後、上記
放ｉｔ極４を覆うようにセラミックスからなる保護Ｊｉ
５を印刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法などにより形
成して全体を焼成−体化したものである。このオゾン発
生用放電体は、上記セラミック板２が誘電体層となり、
誘導電極３と放電電極４間に電圧を印加すると沿面放電
が生じ、オゾンを発生させることができる。
また、他の例として、第２図（ａ） （ｂ） （Ｃ）に
示すオゾン発生用放電体は、まず、第２図（ａ）に示す
ように未焼成セラミック板１１の表面にタングステン、
モリブデン等からなる面状の誘導電極１３を形成し、こ
れを覆うように誘電体層としてのセラミック層１２を印
刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法などにより形成した
後、このセラミック層１２の上にタングステン、モリブ
デン等からなる線状の放電電極１４を形成し、これを覆
うようにセラミックスの保護層１５を前記と同様の手段
で形成したものである。このオゾン発生用放電体は、コ
ーティングにより形成したセラミック層１２を誘電体層
としていることから、誘電体層を薄くして、放電特性を
向上させることができる。
示すオゾン発生用放電体は、まず、第２図（ａ）に示す
ように未焼成セラミック板１１の表面にタングステン、
モリブデン等からなる面状の誘導電極１３を形成し、こ
れを覆うように誘電体層としてのセラミック層１２を印
刷、吹き付け、ＣＶＤ法、ＰＶＤ法などにより形成した
後、このセラミック層１２の上にタングステン、モリブ
デン等からなる線状の放電電極１４を形成し、これを覆
うようにセラミックスの保護層１５を前記と同様の手段
で形成したものである。このオゾン発生用放電体は、コ
ーティングにより形成したセラミック層１２を誘電体層
としていることから、誘電体層を薄くして、放電特性を
向上させることができる。
次に、第２図（ａ） （ｂ） （ｃ）に示すオゾン発生
用放電体において、誘電体層としてのセラ處ツク層１２
の材質、厚みＴい及び保護層１５の材質、厚みＴ２を種
々に変化させたものを試作し、それぞれ誘電体層、保護
層の静電容量Ｃ＋、Ｃｚを測定した後、実際のオゾン発
生量を調べた。
用放電体において、誘電体層としてのセラ處ツク層１２
の材質、厚みＴい及び保護層１５の材質、厚みＴ２を種
々に変化させたものを試作し、それぞれ誘電体層、保護
層の静電容量Ｃ＋、Ｃｚを測定した後、実際のオゾン発
生量を調べた。
なお、誘電体層の静電容量Ｃ，とは誘導電極１３と放電
電極１４の間の静電容量であり、保護層の静電容量Ｃ７
とは保護層１５の上面に誘導電極１３と同じ大きさの電
極を置いたときの、この電極と放電電極１４間の静電容
量のことである。
電極１４の間の静電容量であり、保護層の静電容量Ｃ７
とは保護層１５の上面に誘導電極１３と同じ大きさの電
極を置いたときの、この電極と放電電極１４間の静電容
量のことである。
また、上記誘導電極１３は５ｎｕ＋ Ｘ ２０ｍｎ＋−
，放電電極１４は１ｍｍ Ｘ １７．５ｍ＋ａの大きさ
でタングステンにより形成し、オゾン発生時の条件は、
５℃、湿度３０％で１次側電圧３．５Ｖを６０秒印加さ
せたときのオゾン発生量を調べた。
，放電電極１４は１ｍｍ Ｘ １７．５ｍ＋ａの大きさ
でタングステンにより形成し、オゾン発生時の条件は、
５℃、湿度３０％で１次側電圧３．５Ｖを６０秒印加さ
せたときのオゾン発生量を調べた。
まず、誘電体層１２、保護１ｉｆ１５をいずれも、アル
ミナセラミックスにより形成した場合の実験結果を第１
表および第３図に示す。なお、このアル藁ナセラξツク
スは、９２％のＡ１□０３と残部がＳｉＯ２゜ＭｇＯ，
ＣａＯなどからなり、誘電率９．５のものを用いた。
ミナセラミックスにより形成した場合の実験結果を第１
表および第３図に示す。なお、このアル藁ナセラξツク
スは、９２％のＡ１□０３と残部がＳｉＯ２゜ＭｇＯ，
ＣａＯなどからなり、誘電率９．５のものを用いた。
〔以下余白〕
第
１
表
第１表、およびＣ＋／Ｃｚとオゾン発生量の関係を示す
第３図より明らかに、誘電体層と保護層の静電容量の比
ＣＩ／Ｃ！が０．４より大きくなると極端にオゾン発生
量が低下し、特にＣ，／Ｃ２が０．５より大きいとオゾ
ン発生量がほとんど０になることがわかる。
第３図より明らかに、誘電体層と保護層の静電容量の比
ＣＩ／Ｃ！が０．４より大きくなると極端にオゾン発生
量が低下し、特にＣ，／Ｃ２が０．５より大きいとオゾ
ン発生量がほとんど０になることがわかる。
次に、誘電体層、保護層の材質として、誘電率６．８の
ムライトを用いた場合の実験結果を第２表、第３表に示
す。
ムライトを用いた場合の実験結果を第２表、第３表に示
す。
第２表、第３表の結果も、第１表と同様であり、誘電体
層と保護層の静電容量の比Ｃ，／Ｃ！が０．４より大き
くなると極端にオゾン発生量が低下し、特にＣＩ／Ｃ！
が０．５より大きいとオゾン発生量がほとんど０どなっ
た。
層と保護層の静電容量の比Ｃ，／Ｃ！が０．４より大き
くなると極端にオゾン発生量が低下し、特にＣＩ／Ｃ！
が０．５より大きいとオゾン発生量がほとんど０どなっ
た。
また、たとえば第１表中の弘３と第３表中の磁２を比較
してみると、両者は誘電体層、保ｆｉ層の厚みはほぼ同
じであるが、保護層の材質が異なるため静電容量の比Ｃ
＋／Ｃｚも異なり、オゾン発生量も異なっている。即ち
、オゾン発生量は誘電体層と保ｉｉ層の厚みの比ではな
く、静電容量の比によって決定されることが確認されて
いる。
してみると、両者は誘電体層、保ｆｉ層の厚みはほぼ同
じであるが、保護層の材質が異なるため静電容量の比Ｃ
＋／Ｃｚも異なり、オゾン発生量も異なっている。即ち
、オゾン発生量は誘電体層と保ｉｉ層の厚みの比ではな
く、静電容量の比によって決定されることが確認されて
いる。
さらに、上記実施例ではセラミック材としてアル累す、
ムライトを用いたもののみを示したが、この他にフォル
ステライト、ステアタイト、ジルコン、チタニア系セラ
ミックスなどさまざまなものを用いても同様の結果であ
った。
ムライトを用いたもののみを示したが、この他にフォル
ステライト、ステアタイト、ジルコン、チタニア系セラ
ミックスなどさまざまなものを用いても同様の結果であ
った。
したがって、放電電極上にセラミックスの保護層を形成
したオゾン発生用放電体において、オゾン発生量を多く
するためには、セラミックスの種類にかかわらず、誘電
体層の静電容量Ｃｉと保護層の静電容量Ｃ２の比Ｃ＋／
Ｃｚを０．５以下とすれば良く、特にＣＩ／Ｃ！を０．
４以下とすればもっとも優れていることがわかった。
したオゾン発生用放電体において、オゾン発生量を多く
するためには、セラミックスの種類にかかわらず、誘電
体層の静電容量Ｃｉと保護層の静電容量Ｃ２の比Ｃ＋／
Ｃｚを０．５以下とすれば良く、特にＣＩ／Ｃ！を０．
４以下とすればもっとも優れていることがわかった。
ただし、これはオゾン発生量の点のみから見たものであ
って、放電電極の保護という観点からは保護層の厚みが
大きいほど良いため、実際には、静電容量の比Ｃ＋／Ｃ
ｚが０．５以下の範囲内で、保護層の厚みを最大にすれ
ば良い。
って、放電電極の保護という観点からは保護層の厚みが
大きいほど良いため、実際には、静電容量の比Ｃ＋／Ｃ
ｚが０．５以下の範囲内で、保護層の厚みを最大にすれ
ば良い。
また誘電体層の静電容量Ｃ＋と保護層の静電容量Ｃ！は
、それぞれ理論的に下記の式によって求められる。
、それぞれ理論的に下記の式によって求められる。
ＣＩ＝８゜・６．・Ｓ ／ Ｔｌ
Ｃ２＝８゜・ε□ ・Ｓ ／ ｒｚ
これらの２式より
ＣＩ／ Ｃ２” ε、・ｈ ／ε２ ・Ｔ。
したがって、Ｃ１／ ｃｚを小さくするためには、保護
層の誘電率ε２を大きくするか厚みＴｔを小さくすれば
良いことがわかる。また、保護層の厚みＴ２は、１５μ
糟より小さいと製造が困難で、ボイドが発生しやすいな
どの問題が生じるが、そのような場合は、誘電率ε２の
大きな材質を用いれば厚みＴ２を大きくすることができ
、上記問題を解消できる。
層の誘電率ε２を大きくするか厚みＴｔを小さくすれば
良いことがわかる。また、保護層の厚みＴ２は、１５μ
糟より小さいと製造が困難で、ボイドが発生しやすいな
どの問題が生じるが、そのような場合は、誘電率ε２の
大きな材質を用いれば厚みＴ２を大きくすることができ
、上記問題を解消できる。
畝上のように本発明によれば、オゾン発生用放電体の線
状放電電極を覆うように保護層を形成するとともに、誘
電体層の静電容量Ｃ１と前記保１ｉｉｉの静電容量Ｃ２
の比をＣ＋／Ｃｔ≦０．５としたことによって、放電特
性およびオゾン発生量を低下させることなく線状放電電
極の浸食を防止し、長期間にわたってオゾン発生量の変
化が少ない、高性能のオゾン発生用放電体を提供できる
。
状放電電極を覆うように保護層を形成するとともに、誘
電体層の静電容量Ｃ１と前記保１ｉｉｉの静電容量Ｃ２
の比をＣ＋／Ｃｔ≦０．５としたことによって、放電特
性およびオゾン発生量を低下させることなく線状放電電
極の浸食を防止し、長期間にわたってオゾン発生量の変
化が少ない、高性能のオゾン発生用放電体を提供できる
。
第１図（ａ）は本発明実施例に係るオゾン発生用放電体
を示す分解斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）中のＸ−
Ｘ線断面図である。 第２図（ａ） （ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施例に
係るオゾン発生用放電体の製造工程を示す斜視図である
。第２図（ｃ）は同図（ｂ）中のＹ−Ｙ線断面図である
。 第３図は本発明のオゾン発生装置における誘電体層と保
ｆｆ１層の静電容量の比Ｃ＋／Ｃｚとオゾン発生量の関
係を示すグラフである。 １’、１１ ：セラミック板 ２，１２：誘電体層３
．１３ ：誘導電極 ４，１４８放電電極５．１
５７保護層
を示す分解斜視図、第１図（ｂ）は同図（ａ）中のＸ−
Ｘ線断面図である。 第２図（ａ） （ｂ）はそれぞれ本発明の他の実施例に
係るオゾン発生用放電体の製造工程を示す斜視図である
。第２図（ｃ）は同図（ｂ）中のＹ−Ｙ線断面図である
。 第３図は本発明のオゾン発生装置における誘電体層と保
ｆｆ１層の静電容量の比Ｃ＋／Ｃｚとオゾン発生量の関
係を示すグラフである。 １’、１１ ：セラミック板 ２，１２：誘電体層３
．１３ ：誘導電極 ４，１４８放電電極５．１
５７保護層
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 誘電体をはさむように誘導電極と放電電極を備えてなる
オゾン発生用放電体において、前記放電電極を覆うよう
に保護層を形成するとともに、前記誘電体層の静電容量
Ｃ＿１と前記保護層の静電容量Ｃ＿２との比を Ｃ＿１／Ｃ＿２≦０．５ としたことを特徴とするオゾン発生用放電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222348A JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1222348A JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18089996A Division JP2873205B2 (ja) | 1996-07-10 | 1996-07-10 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383803A true JPH0383803A (ja) | 1991-04-09 |
| JP2608477B2 JP2608477B2 (ja) | 1997-05-07 |
Family
ID=16780935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1222348A Expired - Fee Related JP2608477B2 (ja) | 1989-08-29 | 1989-08-29 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2608477B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102530880A (zh) * | 2012-02-17 | 2012-07-04 | 陈建中 | 密闭式耐用防潮腐臭氧片 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5537483A (en) * | 1978-07-13 | 1980-03-15 | Saint Gobain | Layered window glass and producing same |
| JPS6442306A (en) * | 1987-08-05 | 1989-02-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ozonizer |
| JPH01117240A (ja) * | 1987-10-30 | 1989-05-10 | Masao Iwanaga | 放電素子およびその応用装置 |
| JPH01154482A (ja) * | 1987-12-09 | 1989-06-16 | Senichi Masuda | 電界装置 |
-
1989
- 1989-08-29 JP JP1222348A patent/JP2608477B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2608477B2 (ja) | 1997-05-07 |
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