JPH0764523B2 - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
- Publication number
- JPH0764523B2 JPH0764523B2 JP63072702A JP7270288A JPH0764523B2 JP H0764523 B2 JPH0764523 B2 JP H0764523B2 JP 63072702 A JP63072702 A JP 63072702A JP 7270288 A JP7270288 A JP 7270288A JP H0764523 B2 JPH0764523 B2 JP H0764523B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating layer
- ozone
- electrode
- surface electrode
- ceramics
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、オゾンを発生させるための放電体に関するも
のである。
のである。
オゾンも乾燥空気中で放電を行うことにより得られるも
ので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用さ
れている。
ので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用さ
れている。
このようなオゾンの発生装置としては例えば、特開昭61
−122105号公報などに示されているように、セラミック
スからなる誘電体の中もしくは表面に誘電体を挟んで電
極を設けて放電体を形成し、該電極間に高電圧を印加
し、沿面放電を発生させるようにしたものが利用されて
いた。
−122105号公報などに示されているように、セラミック
スからなる誘電体の中もしくは表面に誘電体を挟んで電
極を設けて放電体を形成し、該電極間に高電圧を印加
し、沿面放電を発生させるようにしたものが利用されて
いた。
ところが、上記の如き従来のオゾン発生用放電体は、放
電中に表面電極が消耗しやすく、使用中にオゾン発生効
率が次第に低下していくという問題点があった。従っ
て、オゾン発生量を一定に保つためには、頻繁に印加電
圧を調整しなければならず、手間のかかるものであっ
た。
電中に表面電極が消耗しやすく、使用中にオゾン発生効
率が次第に低下していくという問題点があった。従っ
て、オゾン発生量を一定に保つためには、頻繁に印加電
圧を調整しなければならず、手間のかかるものであっ
た。
この点に関し、特開昭57−196703号公報に示されるよう
にようにオゾン発生装置の放電領域にガラスを被覆する
ことも考えられていたが、やはりガラス層が放電により
侵食されてオゾン発生効率が低下することは避けられな
かった。
にようにオゾン発生装置の放電領域にガラスを被覆する
ことも考えられていたが、やはりガラス層が放電により
侵食されてオゾン発生効率が低下することは避けられな
かった。
上記に鑑みて本発明は、セラミック体をはさむように面
状の内部電極と線状の表面電極を備えてなるオゾン発生
用放電体において、上記表面電極をセラミックスからな
る被覆層で覆うとともに、該被覆層は少なくとも上記内
部電極上を覆う範囲に形成し、かつ上記被覆層の厚みｔ
は内部電極と表面電極間の距離Ｔの1/2以下としてオゾ
ン発生用放電体を形成したものである。
状の内部電極と線状の表面電極を備えてなるオゾン発生
用放電体において、上記表面電極をセラミックスからな
る被覆層で覆うとともに、該被覆層は少なくとも上記内
部電極上を覆う範囲に形成し、かつ上記被覆層の厚みｔ
は内部電極と表面電極間の距離Ｔの1/2以下としてオゾ
ン発生用放電体を形成したものである。
以下本発明実施例に係るオゾン発生用放電体を図によっ
て説明する。
て説明する。
第１図に分解斜視図、第２図に断面図を示すように、本
発明のオゾン発生用放電体は、セラミック板１に表面電
極２、内部電極３をそれぞれ設け、表面電極２を覆う被
覆層４を形成してなるものである。
発明のオゾン発生用放電体は、セラミック板１に表面電
極２、内部電極３をそれぞれ設け、表面電極２を覆う被
覆層４を形成してなるものである。
このようなオゾン発生用放電体の製法は、まず２枚の未
焼成セラミック板1a,1bを用意し、セラミック板1aには
線状の表面電極２を、セラミック板1bには面状の内部電
極３を、それぞれタングステン、モリブデンなどのペー
ストを塗布して形成する。次にこれらの未焼成セラミッ
ク板1a,1bを積層し表面電極を覆うようにセラミックス
から成る被覆層４を形成した後、焼成を行って全体を一
体化すれば良い。
焼成セラミック板1a,1bを用意し、セラミック板1aには
線状の表面電極２を、セラミック板1bには面状の内部電
極３を、それぞれタングステン、モリブデンなどのペー
ストを塗布して形成する。次にこれらの未焼成セラミッ
ク板1a,1bを積層し表面電極を覆うようにセラミックス
から成る被覆層４を形成した後、焼成を行って全体を一
体化すれば良い。
上記セラミック板１はアルミナ、ジルコニア、フォルス
テライトなど、誘電率が５〜10程度のセラミックスから
成り、被覆層４はセラミック板１と同種類のセラミック
スまたは同程度の熱膨張係数を有する絶縁性セラミック
スを印刷、吹き付け、PVD（物理的蒸着）法、CVD（化学
的蒸着）法などの手段によって形成したものである。こ
の被覆層４は表面電極２を完全に覆っているだけでな
く、内部電極３の幅よりも広い範囲に形成されている。
テライトなど、誘電率が５〜10程度のセラミックスから
成り、被覆層４はセラミック板１と同種類のセラミック
スまたは同程度の熱膨張係数を有する絶縁性セラミック
スを印刷、吹き付け、PVD（物理的蒸着）法、CVD（化学
的蒸着）法などの手段によって形成したものである。こ
の被覆層４は表面電極２を完全に覆っているだけでな
く、内部電極３の幅よりも広い範囲に形成されている。
また、被覆層４の膜圧ｔが15μｍより小さいとピンホー
ルが生じ易く、ピンホール部分の電極が酸化してしま
い、逆に被覆層４の膜厚ｔが両電極間の距離Ｔの1/2よ
り大きいとオゾン発生効率が極端に悪くなってしまう。
したがって、被覆層４の膜厚ｔは15μｍ以上で1/2T以下
のものが優れていた。
ルが生じ易く、ピンホール部分の電極が酸化してしま
い、逆に被覆層４の膜厚ｔが両電極間の距離Ｔの1/2よ
り大きいとオゾン発生効率が極端に悪くなってしまう。
したがって、被覆層４の膜厚ｔは15μｍ以上で1/2T以下
のものが優れていた。
さらに、表面電極２はセラミック板１の端部を通じて裏
面に電極取出部2aを有し、内部電極３はスルーホールを
通じてセラミック板１の裏面に電極取出部3aを有してい
る。これらの電極取出部2a,3aを通じて表面電極２、内
部電極３間に交流電圧を印加すれば両電極間に放電が生
じるようになっている。このとき、表面電極２にはセラ
ミックスからなる被覆層４が形成されているため放電に
よって消耗することがなく、長期にわたって安定した状
態を保ち、一定のオゾン発生効率を保つことができる。
面に電極取出部2aを有し、内部電極３はスルーホールを
通じてセラミック板１の裏面に電極取出部3aを有してい
る。これらの電極取出部2a,3aを通じて表面電極２、内
部電極３間に交流電圧を印加すれば両電極間に放電が生
じるようになっている。このとき、表面電極２にはセラ
ミックスからなる被覆層４が形成されているため放電に
よって消耗することがなく、長期にわたって安定した状
態を保ち、一定のオゾン発生効率を保つことができる。
次に本発明の他の実施例を説明する。第３図に示すオゾ
ン発生用放電体は表面電極２を櫛状とし、この表面電極
２をセラミックスからなる被覆層４で完全に覆ったもの
である。
ン発生用放電体は表面電極２を櫛状とし、この表面電極
２をセラミックスからなる被覆層４で完全に覆ったもの
である。
また、第４図に示すオゾン発生用放電体は円板状のセラ
ミック板１にリング状の表面電極２を形成してその表面
を被覆層４で覆っている。
ミック板１にリング状の表面電極２を形成してその表面
を被覆層４で覆っている。
さらに、第５図に示すオゾン発生用放電体は、１対の電
極を両方とも表面電極2,2としてセラミック板１の同一
面上に形成し、これらの表面電極2,2を全てセラミック
スの被覆層４で覆ったものである。この他にも、セラミ
ック板１や表面電極２の形状は自由に変化させることが
できるが、いずれのものでも表面電極２をセラミックス
被覆層４で覆っているため、電極の消耗を防止すること
ができる。
極を両方とも表面電極2,2としてセラミック板１の同一
面上に形成し、これらの表面電極2,2を全てセラミック
スの被覆層４で覆ったものである。この他にも、セラミ
ック板１や表面電極２の形状は自由に変化させることが
できるが、いずれのものでも表面電極２をセラミックス
被覆層４で覆っているため、電極の消耗を防止すること
ができる。
実際に第１図、第２図に示したオゾン発生用放電体を試
作して、試験を行った。セラミック板１は純度92％のア
ルミナセラミックスからなり、厚さが0.5mmで被覆層４
はアルミナセラミックスからなり膜厚約20μｍとし、表
面電極２、内部電極３はいずれもタングステンにより形
成した。これに対し、比較例として、上記と全く同一の
形状で被覆層４のみをガラスで形成したものを用意し、
これらのオゾン発生用放電体を用いて、電圧6KV、周波
数25KHzの高周波数電圧を加えて、加速試験を行った。
１次側消費電流36.4mAとしたときのオゾン発生量を比較
した結果は第１表に示す通りである。
作して、試験を行った。セラミック板１は純度92％のア
ルミナセラミックスからなり、厚さが0.5mmで被覆層４
はアルミナセラミックスからなり膜厚約20μｍとし、表
面電極２、内部電極３はいずれもタングステンにより形
成した。これに対し、比較例として、上記と全く同一の
形状で被覆層４のみをガラスで形成したものを用意し、
これらのオゾン発生用放電体を用いて、電圧6KV、周波
数25KHzの高周波数電圧を加えて、加速試験を行った。
１次側消費電流36.4mAとしたときのオゾン発生量を比較
した結果は第１表に示す通りである。
第１表中250時間後というのは、通常の使用の約10年後
に相当する。比較例のものはオゾン発生量自体は多い
が、250時間にはオゾン発生量が約20％低下し、また電
極表面を顕微鏡で観察したところ、スパッタリング現象
が見られ、1/3程度の消耗が見られた。
に相当する。比較例のものはオゾン発生量自体は多い
が、250時間にはオゾン発生量が約20％低下し、また電
極表面を顕微鏡で観察したところ、スパッタリング現象
が見られ、1/3程度の消耗が見られた。
これに対し、本発明のものは250時間後も初期値と同じ
オゾン発生量を保っており、電極にも何ら異常は認めら
れなかった。従って、本発明のオゾン発生用放電体を用
いれば長期間一定量のオゾン発生量を保ち続けることが
でき、またより長期使用が可能であることがわかった。
オゾン発生量を保っており、電極にも何ら異常は認めら
れなかった。従って、本発明のオゾン発生用放電体を用
いれば長期間一定量のオゾン発生量を保ち続けることが
でき、またより長期使用が可能であることがわかった。
なお、第１表より本発明のものはオゾン発生量はやや低
かったが、オゾン発生量は印加電圧を変化させれば自由
に調整できるため、実際の使用上特に問題はない。
かったが、オゾン発生量は印加電圧を変化させれば自由
に調整できるため、実際の使用上特に問題はない。
また、上記実施例ではセラミック板１、被覆層４共にア
ルミナセラミックスからなるもののみを示したが、ジル
コニア、フォルステライトなど他のセラミックスを用い
たものでもほぼ同様に優れた結果を示した。上記被覆層
４は必ずしもセラミック板１と同種類のセラミックスで
ある必要はなく、セラミック板１と同程度の熱膨張係数
を有する絶縁性セラミックスであれば、剥離の恐れがな
く非常に効果があった。
ルミナセラミックスからなるもののみを示したが、ジル
コニア、フォルステライトなど他のセラミックスを用い
たものでもほぼ同様に優れた結果を示した。上記被覆層
４は必ずしもセラミック板１と同種類のセラミックスで
ある必要はなく、セラミック板１と同程度の熱膨張係数
を有する絶縁性セラミックスであれば、剥離の恐れがな
く非常に効果があった。
叙上のように、本発明によれば、オゾン発生用放電体の
表面電極にセラミックスを被覆したことによって、放電
による表面電極の消耗がないため、使用中にオゾン発生
効率が低下せず、一定の電圧を保ち続けるだけで容易に
一定量のオゾンを発生させることができ、またより長期
使用が可能となるなどの特長を有したオゾン発生用放電
体を提供することができる。
表面電極にセラミックスを被覆したことによって、放電
による表面電極の消耗がないため、使用中にオゾン発生
効率が低下せず、一定の電圧を保ち続けるだけで容易に
一定量のオゾンを発生させることができ、またより長期
使用が可能となるなどの特長を有したオゾン発生用放電
体を提供することができる。
第１図、第２図はそれぞれ本発明実施例に係るオゾン発
生用放電体を示しており、第１図は分解斜視図、第２図
は第１図中のＸ−Ｘ線断面図である。 第３図、第４、第５図はそれぞれ本発明の他の実施例を
示す斜視図である。 1:セラミック板、2:表面電極 3:内部電極、4:被覆層
生用放電体を示しており、第１図は分解斜視図、第２図
は第１図中のＸ−Ｘ線断面図である。 第３図、第４、第５図はそれぞれ本発明の他の実施例を
示す斜視図である。 1:セラミック板、2:表面電極 3:内部電極、4:被覆層
Claims (1)
- 【請求項１】セラミック体をはさむように面状の内部電
極と線状の表面電極を備えてなるオゾン発生用放電体に
おいて、上記表面電極をセラミックスからなる被覆層で
覆うとともに、該被覆層は少なくとも上記内部電極上を
覆う範囲に形成し、かつ上記被覆層の厚みｔは内部電極
と表面電極間の距離Ｔの1/2以下としたことを特徴とす
るオゾン発生用放電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63072702A JPH0764523B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63072702A JPH0764523B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246104A JPH01246104A (ja) | 1989-10-02 |
| JPH0764523B2 true JPH0764523B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=13496954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63072702A Expired - Fee Related JPH0764523B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0764523B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5407639A (en) * | 1991-10-14 | 1995-04-18 | Toto, Ltd. | Method of manufacturing a corona discharge device |
| JP3042759B2 (ja) * | 1995-03-16 | 2000-05-22 | 川崎重工業株式会社 | オゾナイザ用沿面放電素子の製法 |
| JP2013060327A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生素子 |
| CN108778989B (zh) * | 2016-03-09 | 2021-10-26 | 株式会社村田制作所 | 臭氧生成用元件以及臭氧生成装置 |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5278789A (en) * | 1975-12-26 | 1977-07-02 | Horiba Ltd | Ozone generator |
| JPS5458695A (en) * | 1977-10-19 | 1979-05-11 | Hitachi Ltd | Moisture absorption preventing device for ozonizer |
| JPS54146292A (en) * | 1978-05-09 | 1979-11-15 | Mitsubishi Electric Corp | Ozonizer |
| JPS54157790A (en) * | 1978-06-01 | 1979-12-12 | Mitsubishi Electric Corp | Silent discharge ozone generator |
| JPS55154307A (en) * | 1979-05-19 | 1980-12-01 | Kuniaki Horikoshi | Plate discharge electrode plate capable of forming ozone by silent discharge and ozonizer of its composite assembly |
| JPS576385A (en) * | 1980-06-12 | 1982-01-13 | Citizen Watch Co Ltd | Movement structure of digital watch |
| JPS5944782A (ja) * | 1982-09-07 | 1984-03-13 | 増田 閃一 | 沿面コロナ放電素子およびその製造方法 |
| JPS6132981A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-15 | 日本特殊陶業株式会社 | コロナ放電器 |
| JPS6167059A (ja) * | 1984-09-10 | 1986-04-07 | Sharp Corp | コロナ放電装置 |
| JPH0256793A (ja) * | 1988-08-22 | 1990-02-26 | Seiko Epson Corp | 記録再生装置のカートリッジ挿入口開閉機構 |
-
1988
- 1988-03-25 JP JP63072702A patent/JPH0764523B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01246104A (ja) | 1989-10-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |