JPH02116606A

JPH02116606A - オゾン発生器用放電体

Info

Publication number: JPH02116606A
Application number: JP26816088A
Authority: JP
Inventors: Minoru Matsuzawa; 実松澤; Kenji Araki; 健治荒木
Original assignee: YAMANASHI HAITETSUKU KK
Current assignee: YAMANASHI HAITETSUKU KK
Priority date: 1988-10-26
Filing date: 1988-10-26
Publication date: 1990-05-01

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（産業上の利用分野）この発明は、放電法によるオゾン発生器に用いられる放
電体の改良に関する。

〔従来の技術〕

一般に、無声放電によるオゾン発生器の基本構造は、高
圧電極と接地電極を空気通路で対面配置し、これらの内
電極の間に固体絶縁性の誘電体を介設して構成されてお
り、この誘電体には、比誘電率の優れたセラミックスや
ガラスか一般に用いられている。

そして、上記誘電体によって両電極間における放電電流
の増大を制限して放電音を低減すると共に、この放電音
の拡大に伴いオゾン生成効率を増大させるように構成さ
れている。

このことから、電極を含む放電体には誘電体の存在か必
要不可欠であり、この誘電体の特性、組成、生成等がオ
ゾン発生器の性能、形状等に大きく影響を及ぼす。

ところで、上記オゾン発生器用放電体に関しては、従来
、時分、１１４５５−３７４８３号、公報所載の先行技
術が知られている。

この先行技術の要旨は、誘電体の比誘電率かオゾン発生
量に比例することから、誘電体のセラミックス組成を比
誘電率の高いものにし、この誘電体を単一の板または筒
体に形成して電極間に単独配置するように構成されてい
る点にある。

（発明が解決しようとする課題）しかしながら、上記従来の先行技術のものにあつては、
所定のセラミックス！ｉ４１＆の原料を、薄板作成、焼
成、洗浄、乾燥等の工程を経て形成することで、単一の
板状或は筒状の誘電体に形成されているため、種々の形
状に加工することが非常に難しく、また、多数の組成材
料を使用するため、電気的特性を均一化することも難し
い、という問題を有していた。

さらに、上記従来の先行技術のものにあっては、誘電体
の厚さが強度的に制限されるので、放電効率が悪く、ま
た、誘電体は、電極と分離した単一物であるため、これ
らの３部品の組合せ配置を小型化しにくく、かつ、冷却
も効果的に行いにくいため、オゾン発生器の構造を簡素
化することが難かしく、コスト高となる、という問題を
も有していた。

この発明は、放電体によるオゾン発生量は印加される放
電電圧か同等の場合、厚さに逆比例し、薄くすることか
種々の点で有利であり、また、誘電体は電極に一体化す
ることか構造的に好ましく、さらには、電極をコーティ
ングすることで薄くし得る点に着目して創案されたもの
であワて、その目的とするところは、電極と誘電体の部
分の加工性、特性、放熱性１組付性等を向ヒすることが
可能なオゾン発生器用放電体を提供しようとするもので
ある。

（課題を解決するための手段）上記目的を達成するため、この発明に係るオゾン発生器
用放電体にあっては　高圧及び接地電極の少なくとも一
方の放電面に、所定の薄膜誘電体を所定の薄さで一体的
にコーティングすることを特徴とするものである。

また、この発１１において、上記薄膜誘電体のコーティ
ングを実施する手段としては、化学気相成長法（ＣＶＤ
）、プラズマ化学気相成長法（ＰＣＶＤ）、スパッタリ
ング法、プラズマ溶射法、陽極酸化法あるいは電着法等
の電気化学的成長法等の薄膜成長技法が適用可能である
。上記薄膜成長技法のうちより生成薄膜の種類、化学的
・物理的性質、製造コストを考慮することにより最適の
コーティングを実施することかできる。

（作用）この発明において、上記薄膜誘電体は、アルミニウムあ
るいはシリコンを基本成分とする誘電体材料を５００Ｊ
Ｌｍ以下の膜厚にコーティングしたものであることを特
徴とするものである。

それ故、この発明に係るオゾン発生、器用放電体にあっ
ては、電極側に薄く一体的に設けられる薄！！誘電体か
、放熱時に効率良くオゾンを発生させ、しかも、このＳ
Ｓ、Ｊ電体によって電極の耐久性が向上すると共に、放
熱効率も向上させることができる。

〔実施例〕

以下、添付図面に丞す一実施例に基ずき、この発明の詳
細な説明する。

第１図において、符号ｌは、例えば、棒状に形成された
金属又は炭素の高圧電極、符号２は、例えば、板状に形
成された接地電極を示しており、これらの電極１．２の
一方又は両方の表面には、ｓ］Ｓ！誘電体３を一体的に
設けられて放電体４が形成されている。

誘電体３は、例えば、Ａｌ１０ｘ　、ＡＩＮ等からなる
アルミニウムを基本成分とする誘電体材料、あるいは、
例えばＳ　ｉ　Ｏｘ　、　Ｓ　ｉ　Ｃ。

５ｉｚＮ４等からなるシリコンを基本成分とする誘電体
材料で形成されており、電極１．２の全面に１例えば５
００μｍ以下の厚さでコーティングされている。

このように構成された放電体４を用いて沿面放電する場
合は、■脱調電体３を備えた電極１．２が空気通路中で
密着して配置され、＠、ｇ！１．２の間に交流電源５が
接続される。

この状態で、交流型ａ５から画電極１．２に高電圧を印
加すると、電極２の面に沿って沿面放電が行われ、オゾ
ンが発生する。

このとき、上記電極１，２は、ｆ４膜？Ａ電体３により
保護されているので、その消耗が有効に防止され、また
、放電時に電極１．２に貯えられた熱は、薄ｌ！Ｊｕ電
体３を介して放出される。

第２図は、従来型とアルミニウム電極に陽極酸化法によ
るコーティング６０７ｈｍを施した放電体の発生量比較
である。

また、放電開始電圧も１５％下げても放電は安定し、オ
ゾン発生量の変化もなかった。

尚、上記実施例では、ｉＪｊ膜誘膜体電体３電極１．２
の両方にコーティングした場合を例にとり説明したが、
この発明にあっては、これに限定されるものではなく、
電極１．２の一方にのみ形成してもよく、また、全面の
みならず放電面だけに形成してもよい。

（発明の効果）この発明に係るオゾン発生器用放電体は１以上説明した
ように、誘電体を電極の表面に薄膜コーティングして形
成するように構成したため、種々の形状に放電体を形成
しても誘電体を容易にコーティングすることができ、し
かも。

この誘電体の表面を薄膜コーティングすることて、電極
の消耗を有効に防止することができる。

また、この発明にあっては、誘電体の電気的特性を膜厚
により均一・化することができるので、有電圧放電が可
能となる他、薄Ｗ２誘電体であるため、放電時の放熱効
率も大幅に向上させることができ、さらには、誘電体が
電極側に一体化されているため、オゾン発生器の構造を
小型化し簡素化できる等、幾多の優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この声明の一実施例に係るオゾン発生器用放
電体の構成を概略的に示す塙明図、第２図は従来のアル
ミナセラミック放電体と本発明の一実施例に係るアルミ
ニウム電極に陽極酸化法による両極コーティングした放
電体のオゾン発生器を比較したグラフ図である。（符号の説明）１・・・高圧電極　　　　　２・・・接地電極３・・・
薄Ｍ誘電体　　　　４・・・放電体第１図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）高圧及び接地電極の少なくとも一方の放電面に、
薄膜誘電体を所定の薄さで一体的にコーティングしたこ
とを特徴とするオゾン発生器用放電体。
（２）上記薄膜誘電体は、アルミニウムを基本成分とし
た薄膜誘電体を５００μｍ以下の膜厚にコーティングし
たものであることを特徴とするオゾン発生器用放電体。
（３）上記薄膜誘電体は、シリコンを基本成分とした薄
膜誘電体を５００μｍ以下の膜厚にコーティングしたも
のであることを特徴とするオゾン発生器用放電体。