JPS63143775A - コロナ電極の製造方法 - Google Patents
コロナ電極の製造方法Info
- Publication number
- JPS63143775A JPS63143775A JP29790987A JP29790987A JPS63143775A JP S63143775 A JPS63143775 A JP S63143775A JP 29790987 A JP29790987 A JP 29790987A JP 29790987 A JP29790987 A JP 29790987A JP S63143775 A JPS63143775 A JP S63143775A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- coating
- corona
- dielectric
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 239000011162 core material Substances 0.000 claims description 27
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 19
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 13
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 6
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 4
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 claims description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 4
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 description 1
- 238000005253 cladding Methods 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 230000002045 lasting effect Effects 0.000 description 1
- 229910052575 non-oxide ceramic Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011225 non-oxide ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 description 1
- 230000036962 time dependent Effects 0.000 description 1
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01T—SPARK GAPS; OVERVOLTAGE ARRESTERS USING SPARK GAPS; SPARKING PLUGS; CORONA DEVICES; GENERATING IONS TO BE INTRODUCED INTO NON-ENCLOSED GASES
- H01T19/00—Devices providing for corona discharge
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Electrostatic Charge, Transfer And Separation In Electrography (AREA)
- Lasers (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、少なくとも部分的に導電性の心上に誘電被覆
を設ける、コロナ電極の製造方法に関する。
を設ける、コロナ電極の製造方法に関する。
従来の技術
金属界面に対する付着をコロナ放電の照射によって改良
することができること、ないしはこの打消を無極性材料
の場合にはそもそもはじめて可能にすることができるこ
とは公知である。
することができること、ないしはこの打消を無極性材料
の場合にはそもそもはじめて可能にすることができるこ
とは公知である。
このような表面処理をコロナ放電を用いて実す
施ｚｚることかできるようにするためにハ、一方で交流
電圧で作業する高周波数の高電圧発牢器およびそれから
給電される、誘電体を備えておりかつ発生器の使用の際
に所望のコロナ放電を生じるコロナ電極を必要とする。
電圧で作業する高周波数の高電圧発牢器およびそれから
給電される、誘電体を備えておりかつ発生器の使用の際
に所望のコロナ放電を生じるコロナ電極を必要とする。
このような表面処理を実施する場合、久しく公知の技術
水準によれば、均一なコロナ形成に重要である誘電体が
弱点である。
水準によれば、均一なコロナ形成に重要である誘電体が
弱点である。
底面処理の際に適用されるコロナ放電は、連続使用中に
、製造工程により、誘電体に負荷を与える。誘電体の洩
類により時間的に異なる磨耗が起き、この磨耗はそれぞ
れの場合に望ましくないことに迅速に生じる。
、製造工程により、誘電体に負荷を与える。誘電体の洩
類により時間的に異なる磨耗が起き、この磨耗はそれぞ
れの場合に望ましくないことに迅速に生じる。
その原因としては次のファクタが認められるニ一方で誘
電体の可能な多孔性および多方では誘電体を短絡安全に
構成する要求に基づき、これまで誘電体は比較的大きい
厚さで形成されてｉり、これによりコロナ電極の効率が
著しく悪化する。それと結合した結果は、処理された材
料の得られる僅かな何層値と関連して、単位面積あたり
の電気のコロナ・有効電力転換が不利なことである。
電体の可能な多孔性および多方では誘電体を短絡安全に
構成する要求に基づき、これまで誘電体は比較的大きい
厚さで形成されてｉり、これによりコロナ電極の効率が
著しく悪化する。それと結合した結果は、処理された材
料の得られる僅かな何層値と関連して、単位面積あたり
の電気のコロナ・有効電力転換が不利なことである。
ところでこの欠点は、大きい発生器出力および大きい装
置寸法により補償され、これが再びコロナ電極における
大きい熱発生および相応する磨耗を生じる。
置寸法により補償され、これが再びコロナ電極における
大きい熱発生および相応する磨耗を生じる。
一括して、コロナ放電による表面処理の際の悪い効率な
らびに磨耗は、処理された材料にかなりの費用および品
質の低下を惹起する。
らびに磨耗は、処理された材料にかなりの費用および品
質の低下を惹起する。
発明が解決しようとする問題点
本発明の課題は、磨耗傾向が僅かでかつ高い効率を有す
るコロナ電極を製造することのできる、コロナ電極の製
造方法を開発することである。
るコロナ電極を製造することのできる、コロナ電極の製
造方法を開発することである。
問題点を触法する几めの手段
この課題は本発明によれば、心上に主として非オキサイ
ド材料からなる被覆を設けることによって解決される。
ド材料からなる被覆を設けることによって解決される。
このような被覆を設けることによって、誘電体を一括し
て薄くすることが可能となり、同時にＩＬ？の非多孔性
でち密な被覆が生じ、従って非常に薄い層の場合および
数時間にわ友る高周波の高電圧を点・連続負荷する場合
でさえも、実験により判明したように、破壊安全の絶縁
が可能である。被覆の誘電特性は、温度および周波数が
変化するときでも著しくは変らない。
て薄くすることが可能となり、同時にＩＬ？の非多孔性
でち密な被覆が生じ、従って非常に薄い層の場合および
数時間にわ友る高周波の高電圧を点・連続負荷する場合
でさえも、実験により判明したように、破壊安全の絶縁
が可能である。被覆の誘電特性は、温度および周波数が
変化するときでも著しくは変らない。
さらに、本方法によって製造したコロナ電極においては
、いわゆるコロナ点弧電圧が著しく低いことが観察され
ており、これにより達成される良好な効率も説明できる
。
、いわゆるコロナ点弧電圧が著しく低いことが観察され
ており、これにより達成される良好な効率も説明できる
。
本発明方法の有利な実施態様は、被覆に使用した材料と
ほぼ等しい熱膨張係数を有する、成形可能で良熱伝導性
の心材料を使用することを要旨とする。
ほぼ等しい熱膨張係数を有する、成形可能で良熱伝導性
の心材料を使用することを要旨とする。
本発明方法により製造されたコロナ電極は、誘電体が主
として理論密度の９５チの最低密度を封する非オキサイ
ドセラミックからなることを特徴とする。
として理論密度の９５チの最低密度を封する非オキサイ
ドセラミックからなることを特徴とする。
誘電体は、一括して薄くすることができ、同時に心の非
多孔性でち密な被覆が可能であり、従って非常に薄い層
の場合および数時間にわたり高周波の高電圧を点・連続
負荷する場合でも破壊安全な絶縁が可能である。被覆の
誘電特性は、温度および周波数が変化する場合に著しく
は変らない。
多孔性でち密な被覆が可能であり、従って非常に薄い層
の場合および数時間にわたり高周波の高電圧を点・連続
負荷する場合でも破壊安全な絶縁が可能である。被覆の
誘電特性は、温度および周波数が変化する場合に著しく
は変らない。
実験において、いわゆるコロナ点弧電圧は著しく小さい
ことも観察された。これにより、達成される良好な効率
も説明できる。
ことも観察された。これにより、達成される良好な効率
も説明できる。
本発明の他の特徴は、他の従Ｍ請求項の対象である。
次に添付図面につき、本発明思想をもう一度詳述する。
第１図において、参照符号１で高電圧発生器が表わされ
ており、該発生器は作動の際その接＠線２および３によ
り高周波の高電圧を第２図〜第５図に示されたコロナ電
極に与えることができる。
ており、該発生器は作動の際その接＠線２および３によ
り高周波の高電圧を第２図〜第５図に示されたコロナ電
極に与えることができる。
第２図に示されたコロナ電極は、全体が参照符号４を備
えている。
えている。
このコロナ電極４はｌシ５ならびに心５の被覆の形の誘
電体６からなる。
電体６からなる。
心５はとくに、良熱伝導性でありかつ被覆の材料とほぼ
等しい熱膨張係数を有する成形可能な心材料からなる。
等しい熱膨張係数を有する成形可能な心材料からなる。
心５は有利に黒鉛からなる。
誘電体６は、主として非オキサイド材料、有利に窒化ホ
ウ素、窒化ケイ素または窒化アルミニウムのようなセラ
ミック材料からなり、上記材料の混合物も考えられる。
ウ素、窒化ケイ素または窒化アルミニウムのようなセラ
ミック材料からなり、上記材料の混合物も考えられる。
ま几、非オキサイド成分およびオキサイド成分からなる
セラミック材料の混合物も考えられる。
セラミック材料の混合物も考えられる。
心５の被覆は有利に理論的密度の９５チの最低密度で行
なわれる。
なわれる。
心５は、ＰＶＤ法（物理的蒸着）ならびにＣＶＤ法（化
学的蒸着）で被覆することができる。
学的蒸着）で被覆することができる。
同様に、心５の被覆を焼結法でまたは化学的反応焼結に
よって実施することも考えられる。
よって実施することも考えられる。
プラズマ浴射法による心５の被覆も挙げられる。
被覆のために専ら窒化ホウ素を使用する限り、六方晶系
異方性形の窒化ホウ素を使用するのが有利である。
異方性形の窒化ホウ素を使用するのが有利である。
一方で良熱伝導性であり、他方で被覆に使用した材料と
ほぼ等しい熱膨張係数を■するセラミック材料を使用す
ると、材料の境界鳩中に剥離が起きないという利点が得
られる。従って、絶縁破壊安全なコロナ電極がつくられ
る。
ほぼ等しい熱膨張係数を■するセラミック材料を使用す
ると、材料の境界鳩中に剥離が起きないという利点が得
られる。従って、絶縁破壊安全なコロナ電極がつくられ
る。
被覆に混合セラミックを使用すれば、高品質の低廉なコ
ロナ電極の製造が可能である。
ロナ電極の製造が可能である。
コロナ電極４の誘電体６は全体が上述した材料からなる
比較的簿い層からなる。
比較的簿い層からなる。
コロナ電極４の接続線７ならびにローラとして構成てれ
た逆電極９の接続線８に高電圧を印加すると、コロナ電
極４と逆電極９との間にＶｚ昶コロナ放電１０が生じる
。
た逆電極９の接続線８に高電圧を印加すると、コロナ電
極４と逆電極９との間にＶｚ昶コロナ放電１０が生じる
。
第２図は、コロナ電極４が電気の接触ケーブル用個所に
、誘電体６を備えていないで、このように形成されｔ幾
つかのコロナ電極４を短絡安全に接続しつる可能性が生
じることを明瞭に示す。
、誘電体６を備えていないで、このように形成されｔ幾
つかのコロナ電極４を短絡安全に接続しつる可能性が生
じることを明瞭に示す。
を
第３図は、上述した誘電体６で電極上５し博く被覆する
ことによって、放電ウェブをかどを著しくとがらせて、
従って効率向上するように構成することのできる可能性
があることを明らかにする。この場合、コロナ放電はア
ースに接する金属板１２に回って行なわれる。
ことによって、放電ウェブをかどを著しくとがらせて、
従って効率向上するように構成することのできる可能性
があることを明らかにする。この場合、コロナ放電はア
ースに接する金属板１２に回って行なわれる。
第３図による実施例の場合、コロナ電極４の心５はその
縦軸方向に延びる冷却孔１３を備えており、その胴部は
再び誘電体６で被覆されている。
縦軸方向に延びる冷却孔１３を備えており、その胴部は
再び誘電体６で被覆されている。
第４図に示されたコロナ電極４は、中空の心５を有し、
核心はその内部が完全かつ外側で部分的に誘電体６で被
覆されている。
核心はその内部が完全かつ外側で部分的に誘電体６で被
覆されている。
このコロナ電極４の排気は、コロナ放電１０が生じる同
じ方向に可能である。排気方向は第４図に矢印Ａで衣わ
されている。
じ方向に可能である。排気方向は第４図に矢印Ａで衣わ
されている。
コロナ電極の外側部分に誘電体６を部分的にのみ設けれ
は、被覆されてない部分にたとえばねじ山１４をコロナ
電極４に設けることが可能となる。
は、被覆されてない部分にたとえばねじ山１４をコロナ
電極４に設けることが可能となる。
第５図には、内部にある電極ギャップが、９０’だけ直
角に曲げられて、同様に薄い誘電体６で被覆されている
コロナ電極４が示されてい−る。この電極イヤツゾ内で
、たとえば金属線１５にコロナ放電１０を受けさセるこ
とかできる。
角に曲げられて、同様に薄い誘電体６で被覆されている
コロナ電極４が示されてい−る。この電極イヤツゾ内で
、たとえば金属線１５にコロナ放電１０を受けさセるこ
とかできる。
添付図面は本発明の実施例を示すもので、第１図はコロ
ナ電極を使用するための高電圧発生器の略図であり、第
２図はコロナ電極の断面図であり、第３図は他の実施例
によるコロナ電極の斜視図であり、第４図は別の実施例
によるコロナ電極の断面図であり、第５図はもう１つの
コロナ電極の実施例を示す斜視図である。 １・・・高電圧発生器、２．３・・・接＠線、４・・・
コロナ電極、５・・・＋［ｚ、６・・・誘電体、７，８
・・・接続線、９・・・逆電極、１０・・・コロナ放電
、１１・・・放電ウェブ、１２・・・金属板、１３・・
・冷却孔、１４・・・ねじ山、１５・・・金属線 第５図 区 へ 派 区
ナ電極を使用するための高電圧発生器の略図であり、第
２図はコロナ電極の断面図であり、第３図は他の実施例
によるコロナ電極の斜視図であり、第４図は別の実施例
によるコロナ電極の断面図であり、第５図はもう１つの
コロナ電極の実施例を示す斜視図である。 １・・・高電圧発生器、２．３・・・接＠線、４・・・
コロナ電極、５・・・＋［ｚ、６・・・誘電体、７，８
・・・接続線、９・・・逆電極、１０・・・コロナ放電
、１１・・・放電ウェブ、１２・・・金属板、１３・・
・冷却孔、１４・・・ねじ山、１５・・・金属線 第５図 区 へ 派 区
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、少なくとも部分的に導電性の心上に誘電被覆を設け
る、コロナ電極の製造方法において、心（５）上に主に
非オキサイド材料からなる被覆を設けることを特徴とす
るコロナ電極の製造方法。 ２、被覆に使用される材料とほぼ等しい熱膨脹係数を有
する、成形可能で良熱伝導性の心材料を使用する特許請
求の範囲第１項記載の方法。 ３、心（５）上に、理論密度の少なくとも９５％の最低
密度を有する被覆を設ける特許請求の範囲第１項または
第２項記載の方法。 ４、心（５）をＣＶＤ法（化学的蒸着）で被覆する特許
請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の
方法。 ５、心（５）をＰＶＤ法（物理的蒸着）で被覆する特許
請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の
方法。 ６、心（５）を焼結または化学的反応焼結によつて被覆
する特許請求の範囲第１項から第３項までのいずれか１
項記載の方法。 ７、心（５）をプラズマ溶射法によつて被覆する特許請
求の範囲第１項から第３項までのいずれか１項記載の方
法。 ８、心（５）を被覆するために窒化ホウ素、窒化ケイ素
または窒化アルミニウムのようなセラミック材料を使用
する特許請求の範囲第１項から第７項までのいずれか１
項記載の方法。 ９ 心（５）を被覆するために窒化ホウ素、窒化ケイ素
または窒化アルミニウムからのセラミック材料混合物を
使用する特許請求の範囲第１項から第７項までのいずれ
か１項記載の方法。 １０、心（５）を被覆するために非オキサイド成分とオ
キサイド成分からなるセラミック材料混合物を使用する
特許請求の範囲第１項から第７項までのいずれか１項記
載の方法。 １１、心（５）を被覆するために、六方晶系異方性形の
窒化ホウ素を使用する特許請求の範囲第８項から第１０
項までのいずれか１項記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19863640966 DE3640966A1 (de) | 1986-11-29 | 1986-11-29 | Verfahren zur herstellung einer koronaelektrode |
| DE8632118.8 | 1986-11-29 | ||
| DE3640966.9 | 1986-11-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63143775A true JPS63143775A (ja) | 1988-06-16 |
Family
ID=6315182
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29790987A Pending JPS63143775A (ja) | 1986-11-29 | 1987-11-27 | コロナ電極の製造方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63143775A (ja) |
| DE (1) | DE3640966A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE9402370U1 (de) * | 1994-02-12 | 1994-04-07 | AFS Entwicklungs + Vertriebs GmbH, 86356 Neusäß | Elektrode für die Coronabehandlung |
| DE19717698A1 (de) * | 1997-04-26 | 1998-10-29 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und Vorrichtung zur Reinigung von Aktivierung von elektrischen Leiterbahnen und Platinenoberflächen |
| GB0410729D0 (en) * | 2004-05-14 | 2004-06-16 | Teer Coatings Ltd | Coating with hard wear and non-stick characteristics |
| DE102005001158B4 (de) * | 2005-01-10 | 2016-11-10 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Barrierenentladungselektroden mit Kühlung und Vorrichtung mit einer solchen Barrierenentladungselektrode |
| DE202010009121U1 (de) | 2010-06-16 | 2010-12-09 | Afs Entwicklungs + Vertriebs Gmbh | Elektrode für die Coronabehandlung von Folien |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60235845A (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-22 | Honshu Paper Co Ltd | プラスチツクフイルムのコロナ放電処理方法 |
| JPS61145441A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-03 | Nippon Ester Co Ltd | 電気伝導度測定装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB908860A (en) * | 1959-12-05 | 1962-10-24 | Nat Res Dev | Improvements in and relating to the production of boron nitride coatings |
| GB1182242A (en) * | 1966-02-11 | 1970-02-25 | United States Borax Chem | Improvements in or relating to Nitrides. |
| GB1175920A (en) * | 1967-12-15 | 1970-01-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Improvements in or relating to Ceramic Coatings |
| US4110614A (en) * | 1976-12-17 | 1978-08-29 | Xerox Corporation | Corona device |
| US4264803A (en) * | 1978-01-10 | 1981-04-28 | Union Carbide Corporation | Resistance-heated pyrolytic boron nitride coated graphite boat for metal vaporization |
| DE3321464A1 (de) * | 1983-06-14 | 1984-12-20 | Klaus 4803 Steinhagen Kalwar | Vorrichtung zur oberflaechenbehandlung von folienbahnen mittels elektrischer koronaentladungen |
| DE3463641D1 (en) * | 1983-11-11 | 1987-06-19 | Japan Res Dev Corp | Boron nitride containing titanium nitride, method of producing the same and composite ceramics produced therefrom |
| DE8407197U1 (de) * | 1984-03-09 | 1984-08-16 | Kalwar, Klaus, 4803 Steinhagen | Vorrichtung zur oberflaechenbehandlung von folienartigen werkstoffen mit koronaentladungen |
| NL8500645A (nl) * | 1985-03-07 | 1986-10-01 | Philips Nv | Werkwijze voor het afzetten van een laag, die in hoofdzaak uit siliciumcarbide bestaat op een substraat. |
-
1986
- 1986-11-29 DE DE19863640966 patent/DE3640966A1/de not_active Withdrawn
-
1987
- 1987-11-27 JP JP29790987A patent/JPS63143775A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60235845A (ja) * | 1984-05-08 | 1985-11-22 | Honshu Paper Co Ltd | プラスチツクフイルムのコロナ放電処理方法 |
| JPS61145441A (ja) * | 1984-12-19 | 1986-07-03 | Nippon Ester Co Ltd | 電気伝導度測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3640966A1 (de) | 1988-06-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US1418856A (en) | Dynamo-electric machine | |
| RU139879U1 (ru) | Изолированный электрический проводник (варианты) | |
| JP4119547B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
| JP2012186457A5 (ja) | 電極及びプラズマ処理装置 | |
| DE19518779C1 (de) | Verbundkörper aus vakuumbeschichtetem Sinterwerkstoff und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| US4841409A (en) | Method of manufacturing a corona discharge electrode and a corona discharge electrode produced by the method | |
| JPS63143775A (ja) | コロナ電極の製造方法 | |
| US5296260A (en) | Method of manufacturing inorganic insulation | |
| CN113178332A (zh) | 一种基于气相沉积制备的高静电容量电极箔及制备方法 | |
| US4800567A (en) | High-frequency-discharge excited gas laser | |
| JP2021099993A (ja) | 金属酸化物コーティングによりリチウムイオン電気化学セル構成要素を絶縁する方法 | |
| JP2822062B2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH1013112A (ja) | 高周波共振器及びその作製方法 | |
| JPH0445977B2 (ja) | ||
| JP2628313B2 (ja) | ガスレーザ装置 | |
| JP2002231570A (ja) | 積層型電子部品およびその製法 | |
| JP2573945B2 (ja) | 超電導ケ−ブル | |
| WO2023120112A1 (ja) | 積層構造体、ステージ、半導体製造装置および積層構造体の製造方法 | |
| JP7310550B2 (ja) | 誘電体膜、誘電体素子および電子回路基板 | |
| JP2608477B2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH0249672Y2 (ja) | ||
| JPH09100104A (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH0764523B2 (ja) | オゾン発生用放電体 | |
| JPH0810936Y2 (ja) | 電気機器の絶縁構造 | |
| JPH0682584B2 (ja) | 金属化プラスチツクフイルムコンデンサ |