JP2628313B2 - ガスレーザ装置 - Google Patents
ガスレーザ装置Info
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- JP2628313B2 JP2628313B2 JP62223772A JP22377287A JP2628313B2 JP 2628313 B2 JP2628313 B2 JP 2628313B2 JP 62223772 A JP62223772 A JP 62223772A JP 22377287 A JP22377287 A JP 22377287A JP 2628313 B2 JP2628313 B2 JP 2628313B2
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- Japan
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- discharge
- electrodes
- laser device
- gas laser
- discharge tube
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0975—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser using inductive or capacitive excitation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
- H01S3/0385—Shape
- H01S3/0387—Helical shape
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、交流励起形ガスレーザ装置の改良に関す
る。
る。
誘電性を有した放電管の外周に一対の放電電極を対向
配置し、これらの放電電極間における交流放電によって
放電管間のレーザガスを励起するようにした交流励起形
ガスレーザ装置が実用されている。
配置し、これらの放電電極間における交流放電によって
放電管間のレーザガスを励起するようにした交流励起形
ガスレーザ装置が実用されている。
このガスレーザ装置の出力を増加するには、上記電極
管に印加する交流電圧を増大させればよいが、そのため
には放電管の外周に沿った方向についての電極相互間の
絶縁耐力を向上する必要がある。なぜなら、電極間電圧
を一定以上増加すると、該電極間でいわゆる気中放電を
発生するからである。
管に印加する交流電圧を増大させればよいが、そのため
には放電管の外周に沿った方向についての電極相互間の
絶縁耐力を向上する必要がある。なぜなら、電極間電圧
を一定以上増加すると、該電極間でいわゆる気中放電を
発生するからである。
そこで、本出願人は上記放電電極の少なくとも一方を
ガラス、樹脂等からなる電気絶縁性の誘電体で被覆する
ことによって上記電極間の絶縁耐力を向上するようにし
たレーザ装置を提案した（特願昭61−166768）。
ガラス、樹脂等からなる電気絶縁性の誘電体で被覆する
ことによって上記電極間の絶縁耐力を向上するようにし
たレーザ装置を提案した（特願昭61−166768）。
上記先願に係る技術によれば、電極相互間の絶縁耐力
を大幅に向上できる。そこで、放電管に投入する電力を
増大すべく電極間電圧を上昇させることになるが、かく
すると放電管の温度が高くなることから電極の材料と放
電管の材料との間の熱膨張等に起因した材料間のズレが
発生する。レーザ装置の運転、休止がくりかえされる度
に上記ズレが生じると、クラックが発生し、これは耐久
性低下の要因となる。
を大幅に向上できる。そこで、放電管に投入する電力を
増大すべく電極間電圧を上昇させることになるが、かく
すると放電管の温度が高くなることから電極の材料と放
電管の材料との間の熱膨張等に起因した材料間のズレが
発生する。レーザ装置の運転、休止がくりかえされる度
に上記ズレが生じると、クラックが発生し、これは耐久
性低下の要因となる。
本発明では、放電管の対向配置される一対の放電電極
の少なくとも一方を弾性を有した誘電性絶縁層で被覆
し、もって上記従来の問題点を解決している。
の少なくとも一方を弾性を有した誘電性絶縁層で被覆
し、もって上記従来の問題点を解決している。
本発明によれば、上記誘電性絶縁層の弾性により上記
熱膨張に基づくズレが吸収される。
熱膨張に基づくズレが吸収される。
以下、図面を参照しながら本発明の実施例を説明す
る。
る。
第１図は、本発明に係る交流励起軸流形ガスレーザ装
置の一実施例を示し、また第２図は第１図のＡ−Ａ線に
よる断面図を示す。
置の一実施例を示し、また第２図は第１図のＡ−Ａ線に
よる断面図を示す。
このガスレーザ装置では、誘電性をもつ放電管１の外
周面に２本の放電電極2,3が配設されている。これらの
電極2,3は互いの内面が対向するように上記外周面にス
パイラル状に巻かれ、それらには高周波電源４の一端と
他端がそれぞれ接続されている。
周面に２本の放電電極2,3が配設されている。これらの
電極2,3は互いの内面が対向するように上記外周面にス
パイラル状に巻かれ、それらには高周波電源４の一端と
他端がそれぞれ接続されている。
上記放電電極2,3は、たとえば上記放電管１が透光性
アルミナで形成されている場合、次のように形成され
る。
アルミナで形成されている場合、次のように形成され
る。
すなわち、高融点金属法等によってMn−Mo−SiO2から
なるメタライズ層を放電管周面にスパイラル状に形成
し、これにメッキを施すことによってこれらの電極2,3
が形成される。
なるメタライズ層を放電管周面にスパイラル状に形成
し、これにメッキを施すことによってこれらの電極2,3
が形成される。
上記電極2,3の外面および放電管１の外周面には、膨
張に対して弾性を呈し、かつ電気絶縁性と誘電性を有し
た材料からなる誘電性被覆層５が覆着されている。
張に対して弾性を呈し、かつ電気絶縁性と誘電性を有し
た材料からなる誘電性被覆層５が覆着されている。
上記被覆層５は、SiO2,Al2O3を主成分とする無機物か
らなり、たとえば以下のようにして形成される。
らなり、たとえば以下のようにして形成される。
すなわち、まず上記電極2,3の一部に給電用リード線
をろう付等の手段で接続したのち、絶縁被覆の下地処理
としてSiO2,Al2O3,CaO等を成分とする釉薬を塗布し、そ
ののちこれを加熱する。なお、かかる処理はグレーズ処
理と呼ばれる。
をろう付等の手段で接続したのち、絶縁被覆の下地処理
としてSiO2,Al2O3,CaO等を成分とする釉薬を塗布し、そ
ののちこれを加熱する。なお、かかる処理はグレーズ処
理と呼ばれる。
ついで、加熱処理された釉薬塗布層の上にアルミナを
溶射し、そののちSiO2を主成分とする無機物を含浸させ
る。
溶射し、そののちSiO2を主成分とする無機物を含浸させ
る。
上記のようにして形成された絶縁層５は、ち密でかつ
外力に対して一定の弾性を有する誘電膜として機能す
る。
外力に対して一定の弾性を有する誘電膜として機能す
る。
つぎにこの実施例の作用を説明する。
第１図において、ブロア６により圧縮されたレーザガ
スは、熱交換器７で冷却されたのち、放電管１内に送り
こまれる。放電管１では、電極2,3間で交流放電が行な
われ、これによって上記レーザガスが励起される。この
結果、リアミラー８とフロントミラー９間に反転分布域
が形成され、両ミラーからなる共振器内でレーザ発振が
生起される。なお、発振光の一部がフロントミラー９よ
りレーザ光として出力される。
スは、熱交換器７で冷却されたのち、放電管１内に送り
こまれる。放電管１では、電極2,3間で交流放電が行な
われ、これによって上記レーザガスが励起される。この
結果、リアミラー８とフロントミラー９間に反転分布域
が形成され、両ミラーからなる共振器内でレーザ発振が
生起される。なお、発振光の一部がフロントミラー９よ
りレーザ光として出力される。
ところで、電極間電圧を増加して放電管１内に大電力
を供給した場合、放電管１および電極2,3が高温状態に
なる。このため放電管１の材料と絶縁被覆層５の材料の
熱膨張率の相違に起因したズレが生じるが、上記被覆層
５は弾性を有することから、この弾性のよって上記ズレ
が吸収される。
を供給した場合、放電管１および電極2,3が高温状態に
なる。このため放電管１の材料と絶縁被覆層５の材料の
熱膨張率の相違に起因したズレが生じるが、上記被覆層
５は弾性を有することから、この弾性のよって上記ズレ
が吸収される。
したがって、この実施例によれば、上記供給電力を増
大した場合でも上記ズレのために絶縁層５にクラックが
発生するという虞れがなく、これは、絶縁層５の耐久性
が高いことを意味する。
大した場合でも上記ズレのために絶縁層５にクラックが
発生するという虞れがなく、これは、絶縁層５の耐久性
が高いことを意味する。
なお、上記絶縁層５は、耐熱性にもすぐれ、2400℃程
度の高温に十分耐えられる。また50〜300μｍ程度の厚
さに形成できるので、電極2,3等より発せられる熱の拡
散性にもすぐれている。更に薄く形成できることから、
電極2,3間におけるその容量成分が小さく、したがって
この容量成分に基づく変移電流が電源４と放電部間の電
気的整合に悪影響を与えることはない。
度の高温に十分耐えられる。また50〜300μｍ程度の厚
さに形成できるので、電極2,3等より発せられる熱の拡
散性にもすぐれている。更に薄く形成できることから、
電極2,3間におけるその容量成分が小さく、したがって
この容量成分に基づく変移電流が電源４と放電部間の電
気的整合に悪影響を与えることはない。
上記実施例では、放電管１の外周面にも絶縁層５を設
けているが、第３図に示す如く、電極2,3の外面部分の
みを絶縁層５で被覆するようにしてもよい。
けているが、第３図に示す如く、電極2,3の外面部分の
みを絶縁層５で被覆するようにしてもよい。
また、上記絶縁層５は電極2,3のいずれか一方のみに
被覆するようにしても実用上十分である。
被覆するようにしても実用上十分である。
さらに、実施例に示したガスレーザ装置ではスパイラ
ル状の放電電極2,3を用いているが、本発明は直線平板
状の放電電極を用いたレーザ装置にも適用することがで
きる。
ル状の放電電極2,3を用いているが、本発明は直線平板
状の放電電極を用いたレーザ装置にも適用することがで
きる。
以上説明したようにこの発明によれば、一対の放電電
極のうちの少なくとも一方を弾性を有する誘電性絶縁層
によって被覆するようにしているので、電極と放電管の
熱膨張差によるズレが上記絶縁層によって吸収される。
したがって絶縁層自体の耐熱性や耐久性が確保され、こ
れにより放電管に大電力を安定に投入することができ
る。
極のうちの少なくとも一方を弾性を有する誘電性絶縁層
によって被覆するようにしているので、電極と放電管の
熱膨張差によるズレが上記絶縁層によって吸収される。
したがって絶縁層自体の耐熱性や耐久性が確保され、こ
れにより放電管に大電力を安定に投入することができ
る。
第１図は、本発明に係るガスレーザ装置の一実施例を示
した概念図、第２図は第１図のＡ−Ａ線による断面図、
第３図は本発明の他の実施例を示した断面図である。 １……放電管、2,3……放電電極、４……電源、５……
誘電性絶縁層。
した概念図、第２図は第１図のＡ−Ａ線による断面図、
第３図は本発明の他の実施例を示した断面図である。 １……放電管、2,3……放電電極、４……電源、５……
誘電性絶縁層。
Claims (2)
- 【請求項１】誘電性を有する放電管と、該放電管の外周
に互いに対向する態様で配設された少なくとも一対の放
電電極とを有し、上記電極間の交流放電によって上記放
電管内のレーザガスを励起するようにしたガスレーザ装
置において、 上記放電電極のうち少なくとも一方の電極に対して、Si
O2、Al2O3、CaOを主成分とする釉薬を使用したグレージ
ング処理工程と、Al2O3を溶射する工程と、SiO2を主成
分とする無機物を含浸させる工程とを順次施すことによ
って、弾性を有しかつ無機物の誘電性電気絶縁層を被覆
形成したことを特徴とするガスレーザ装置。 - 【請求項２】上記無機物の誘電性電気絶縁層の厚さを30
0μｍ以下に設定したことを特徴とする特許請求の範囲
第（１）項記載のガスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62223772A JP2628313B2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | ガスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62223772A JP2628313B2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | ガスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6466983A JPS6466983A (en) | 1989-03-13 |
| JP2628313B2 true JP2628313B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=16803468
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62223772A Expired - Lifetime JP2628313B2 (ja) | 1987-09-07 | 1987-09-07 | ガスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2628313B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02207578A (ja) * | 1989-02-07 | 1990-08-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 気体レーザ発振器 |
| KR960016183B1 (ko) * | 1991-07-29 | 1996-12-04 | Fanuc Ltd | 레이저용 방전관 |
| US7006546B2 (en) * | 2000-03-15 | 2006-02-28 | Komatsu Ltd. | Gas laser electrode, laser chamber employing the electrode, and gas laser device |
| DE102007020427B4 (de) * | 2007-04-27 | 2012-10-04 | Trumpf Laser- Und Systemtechnik Gmbh | Laserentladungsrohr für einen Gaslaser und Herstellungsverfahren dafür |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5932187A (ja) * | 1982-08-17 | 1984-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 無声放電式ガスレ−ザ装置 |
| JPS61219191A (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-29 | ユルゲン・ヘルト | レーザーガス中の放電を励起する装置 |
| JPS61269387A (ja) * | 1985-05-24 | 1986-11-28 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器の電極構造 |
| JPS6225478A (ja) * | 1985-07-26 | 1987-02-03 | Mitsubishi Electric Corp | レ−ザ発振器 |
-
1987
- 1987-09-07 JP JP62223772A patent/JP2628313B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6466983A (en) | 1989-03-13 |
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