JPH01246104A - オゾン発生用放電体 - Google Patents
オゾン発生用放電体Info
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- JPH01246104A JPH01246104A JP7270288A JP7270288A JPH01246104A JP H01246104 A JPH01246104 A JP H01246104A JP 7270288 A JP7270288 A JP 7270288A JP 7270288 A JP7270288 A JP 7270288A JP H01246104 A JPH01246104 A JP H01246104A
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- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 32
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 39
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 16
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000005524 ceramic coating Methods 0.000 abstract description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 abstract description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 229910052839 forsterite Inorganic materials 0.000 description 2
- HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N magnesium orthosilicate Chemical compound [Mg+2].[Mg+2].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] HCWCAKKEBCNQJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000004061 bleaching Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000004332 deodorization Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001954 sterilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000004659 sterilization and disinfection Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/10—Preparation of ozone
- C01B13/11—Preparation of ozone by electric discharge
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、オゾンを発生させるための放電体に関するも
のである。
のである。
オゾンは乾燥空気中で放電を行うことにより得られるも
ので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用さ
れている。
ので、強い酸化力を持ち、脱臭、殺菌、漂白等に使用さ
れている。
このようなオゾンの発生装置としては例えば、特開昭６
ｔ−ｔｚＺｔｏｓ号公報などに示されているように、セ
ラミックスからなる誘電体の中もしくは表面に誘電体を
挟んで電極を設けて放電体を形成し、該電極間に高電圧
を印加し、沿面放電を発生させるようにしたものが利用
されていた。
ｔ−ｔｚＺｔｏｓ号公報などに示されているように、セ
ラミックスからなる誘電体の中もしくは表面に誘電体を
挟んで電極を設けて放電体を形成し、該電極間に高電圧
を印加し、沿面放電を発生させるようにしたものが利用
されていた。
ところが、上記の如き従来のオゾン発生用放電体は、放
電中に表面電極が消耗しやすく、使用中にオゾン発生効
率が次第に低下してい（という問題点があった。従って
、オゾン発生量を一定に保つためには、頻繁に印加電圧
を調整しなければならず、手間のかかるものであった。
電中に表面電極が消耗しやすく、使用中にオゾン発生効
率が次第に低下してい（という問題点があった。従って
、オゾン発生量を一定に保つためには、頻繁に印加電圧
を調整しなければならず、手間のかかるものであった。
この点に関し、特開昭５７−１９６７０３号公報に示さ
れているようにオゾン発生装置の放電領域にガラスを被
覆することも考えられていたが、やはりガラス層が放電
により浸食されてオゾン発生効率が低下することは避け
られなかった。
れているようにオゾン発生装置の放電領域にガラスを被
覆することも考えられていたが、やはりガラス層が放電
により浸食されてオゾン発生効率が低下することは避け
られなかった。
上記に鑑みて本発明は、セラミック体の表面に少なくと
も一方の電極を形成するとともに、該電極をセラミック
スからなる被覆層で覆ってオゾン発生用放電体を形成し
たものである。
も一方の電極を形成するとともに、該電極をセラミック
スからなる被覆層で覆ってオゾン発生用放電体を形成し
たものである。
以下本発明実施例に係るオゾン発生用放電体を図によっ
て説明する。
て説明する。
第１図に分解斜視図、第２図に断面図を示すように、本
発明のオゾン発生用放電体は、セラミック板１に表面電
極２、内部電極３をそれぞれ設け、表面電極２を覆う被
覆層４を形成してなるものである。
発明のオゾン発生用放電体は、セラミック板１に表面電
極２、内部電極３をそれぞれ設け、表面電極２を覆う被
覆層４を形成してなるものである。
このようなオゾン発生用放電体の製法は、まず２枚の未
焼成セラミツク板１ａ、ｌｂを用意し、セラミック板１
ａには線状の表面電極２を、セラミック板１ｂには面状
の内部電極３を、それぞれタングステン、モリブデンな
どのペーストを塗布して形成する。次にこれらの未焼成
セラミツク板１ａ、ｌｂを積層し表面電極を覆うように
セラミックスから成る被覆層４を形成した後、焼成を行
って全体を一体化すれば良い。
焼成セラミツク板１ａ、ｌｂを用意し、セラミック板１
ａには線状の表面電極２を、セラミック板１ｂには面状
の内部電極３を、それぞれタングステン、モリブデンな
どのペーストを塗布して形成する。次にこれらの未焼成
セラミツク板１ａ、ｌｂを積層し表面電極を覆うように
セラミックスから成る被覆層４を形成した後、焼成を行
って全体を一体化すれば良い。
上記セラミック板１はアルミナ、ジルコニア、フォルス
テライトなど、誘電率が５〜１０程度のセラミックスか
ら成り、被覆層４はセラミック板１と同種類のセラミッ
クスまたは同程度の熱膨張係数を有する絶縁性セラミッ
クスを印刷、吹き付け、ＰＶＤ（物理的蒸着）法、ＣＶ
Ｄ （化学的蒸着）法などの手段によって形成したもの
である。この被覆層４ば表面電極２を完全に覆っている
だけでなく、内部電極３の幅よりも広い範囲に形成され
ている。
テライトなど、誘電率が５〜１０程度のセラミックスか
ら成り、被覆層４はセラミック板１と同種類のセラミッ
クスまたは同程度の熱膨張係数を有する絶縁性セラミッ
クスを印刷、吹き付け、ＰＶＤ（物理的蒸着）法、ＣＶ
Ｄ （化学的蒸着）法などの手段によって形成したもの
である。この被覆層４ば表面電極２を完全に覆っている
だけでなく、内部電極３の幅よりも広い範囲に形成され
ている。
また、被覆層４の膜厚ｔが１５μｍより小さいとピンホ
ールが生じ易く、ピンホール部分の電極が酸化してしま
い、逆に被覆層４の膜厚りが両電極間の距離Ｔの１７２
より大きいとオゾン発生効率が極端に悪くなってしまう
。したがって、被覆層４の膜厚ｔは１５μｍ以上で１７
２Ｔ以下のものが優れていた。
ールが生じ易く、ピンホール部分の電極が酸化してしま
い、逆に被覆層４の膜厚りが両電極間の距離Ｔの１７２
より大きいとオゾン発生効率が極端に悪くなってしまう
。したがって、被覆層４の膜厚ｔは１５μｍ以上で１７
２Ｔ以下のものが優れていた。
さらに、表面電極２はセラミック板１の端部を通じて裏
面に電極取出部２ａを有し、内部電極３ばスルーホール
を通じてセラミック板１の裏面に電極取出部３ａを有し
ている。これらの電極取出部２ａ、３ａを通じて表面電
極２、内部電極３間に交流電圧を印加すれば両電極間に
放電が生じるようになっている。このとき、表面電極２
にはセラミックスからなる被覆層４が形成されているた
め放電によって消耗することがなく、長期にわたって安
定した状態を保ち、一定のオゾン発生効率を保つことが
できる。
面に電極取出部２ａを有し、内部電極３ばスルーホール
を通じてセラミック板１の裏面に電極取出部３ａを有し
ている。これらの電極取出部２ａ、３ａを通じて表面電
極２、内部電極３間に交流電圧を印加すれば両電極間に
放電が生じるようになっている。このとき、表面電極２
にはセラミックスからなる被覆層４が形成されているた
め放電によって消耗することがなく、長期にわたって安
定した状態を保ち、一定のオゾン発生効率を保つことが
できる。
次に本発明の他の実施例を説明する。第３図に示すオゾ
ン発生用放電体は表面電極２を櫛状とし、この表面電極
２をセラミックスからなる被覆層４で完全に覆ったもの
である。
ン発生用放電体は表面電極２を櫛状とし、この表面電極
２をセラミックスからなる被覆層４で完全に覆ったもの
である。
また、第４図に示すオゾン発生用放電体は円板状のセラ
ミック板１にリング状の表面電極２を形成してその表面
を被覆層４で覆っている。
ミック板１にリング状の表面電極２を形成してその表面
を被覆層４で覆っている。
さらに、第５図に示すオゾン発生用放電体は、１対の電
極を両方とも表面電極２．２としてセラミック板１の同
一面上に形成し、これらの表面電極２．２を全てセラミ
ックスの被覆層４で覆ったものである。この他にも、セ
ラミック板１や表面電極２の形状は自由に変化させるこ
とができるが、いずれのものでも表面電極２をセラミッ
クスの被覆層４で覆っているため、電極の消耗を防止す
ることができる。
極を両方とも表面電極２．２としてセラミック板１の同
一面上に形成し、これらの表面電極２．２を全てセラミ
ックスの被覆層４で覆ったものである。この他にも、セ
ラミック板１や表面電極２の形状は自由に変化させるこ
とができるが、いずれのものでも表面電極２をセラミッ
クスの被覆層４で覆っているため、電極の消耗を防止す
ることができる。
実際に第１図、第２図に示したオゾン発生用放電体を試
作して、試験を行った。セラミック板１は純度９２χの
アルミナセラミックスからなり、厚さが０．５ｍｍで被
覆層４はアルミナセラミックスがらなり膜厚約２０μｍ
とし、表面電極２、内部電極３はいずれもタングステン
により形成した。これに対し、比較例として、上記と全
く同一の形状で被覆層４のみをガラスで形成したものを
用意し、これらのオゾン発生用放電体を用いて、電圧６
ＫＶ、周波数２５ＫＨｚの高周波数電圧を加えて、加
速試験を行った。１次側消費電流３６．４ｍＡとしたと
きのオゾン発生量を比較した結果は第１表に示す通りで
ある。
作して、試験を行った。セラミック板１は純度９２χの
アルミナセラミックスからなり、厚さが０．５ｍｍで被
覆層４はアルミナセラミックスがらなり膜厚約２０μｍ
とし、表面電極２、内部電極３はいずれもタングステン
により形成した。これに対し、比較例として、上記と全
く同一の形状で被覆層４のみをガラスで形成したものを
用意し、これらのオゾン発生用放電体を用いて、電圧６
ＫＶ、周波数２５ＫＨｚの高周波数電圧を加えて、加
速試験を行った。１次側消費電流３６．４ｍＡとしたと
きのオゾン発生量を比較した結果は第１表に示す通りで
ある。
第 １ 表
第１表中２５０時間後というのは、通常の使用の約１０
年後に相当する。比較例のものはオゾン発生量自体は多
いが、２５０時間後にはオゾン発生量が約２０χ低下し
、また電極表面を顕微鏡で観察したところ、スパッタリ
ング現象が見られ、１７３程度の消耗が見られた。
年後に相当する。比較例のものはオゾン発生量自体は多
いが、２５０時間後にはオゾン発生量が約２０χ低下し
、また電極表面を顕微鏡で観察したところ、スパッタリ
ング現象が見られ、１７３程度の消耗が見られた。
これに対し、本発明のものは２５０時間後も初期値と同
じオゾン発生量を保っており、電極にも何ら異常は認め
られなかった。従って、本発明のオゾン発生用放電体を
用いれば長期間一定量のオゾン発生量を保ち続けること
ができ、またより長期使用が可能であることがわかった
。
じオゾン発生量を保っており、電極にも何ら異常は認め
られなかった。従って、本発明のオゾン発生用放電体を
用いれば長期間一定量のオゾン発生量を保ち続けること
ができ、またより長期使用が可能であることがわかった
。
なお、第１表より本発明のものはオゾン発生量自体はや
や低かったが、オゾン発生量は印加電圧を変化させれば
自由に調整できるため、実際の使用上特に問題はない。
や低かったが、オゾン発生量は印加電圧を変化させれば
自由に調整できるため、実際の使用上特に問題はない。
また、上記実験例ではセラミック板１、被覆層４共にア
ルミナセラミックスからなるもののみを示したが、ジル
コニア、フォルステライトなど他のセラミックスを用い
たものでもほぼ同様に優れた結果を示した。上記被覆層
４は必ずしもセラミツクキ反１と同種類のセラミックス
である必要はなく、セラミック板１と同程度の熱膨張係
数を有する絶縁性セラミックスであれば、剥離の恐れが
なく非常に効果があった。
ルミナセラミックスからなるもののみを示したが、ジル
コニア、フォルステライトなど他のセラミックスを用い
たものでもほぼ同様に優れた結果を示した。上記被覆層
４は必ずしもセラミツクキ反１と同種類のセラミックス
である必要はなく、セラミック板１と同程度の熱膨張係
数を有する絶縁性セラミックスであれば、剥離の恐れが
なく非常に効果があった。
叙上のように、本発明によれば、オゾン発生用放電体の
表面電極にセラミックスを被覆したことによって、放電
による表面電極の消耗がないため、使用中にオゾン発生
効率が低下せず、一定の電圧を保ち続けるだけで容易に
一定量のオゾンを発生させることができ、またより長期
使用が可能となるなどの特長を有したオゾン発生用放電
体を提供することができる。
表面電極にセラミックスを被覆したことによって、放電
による表面電極の消耗がないため、使用中にオゾン発生
効率が低下せず、一定の電圧を保ち続けるだけで容易に
一定量のオゾンを発生させることができ、またより長期
使用が可能となるなどの特長を有したオゾン発生用放電
体を提供することができる。
第１図、第２図はそれぞれ本発明実施例に係るオゾン発
生用放電体を示しており、第１図は分解斜視図、第２図
は第１図中のＸ−Ｘ線断面図である。 第３図、第４図、第５図はそれぞれ本発明の他の実施例
を示す斜視図である。 １：セラミック板 ２：表面電極 ３：内部電極 ４：被覆層 第３図 第４図 ３″′ 第５図
生用放電体を示しており、第１図は分解斜視図、第２図
は第１図中のＸ−Ｘ線断面図である。 第３図、第４図、第５図はそれぞれ本発明の他の実施例
を示す斜視図である。 １：セラミック板 ２：表面電極 ３：内部電極 ４：被覆層 第３図 第４図 ３″′ 第５図
Claims (1)
- セラミック体の表面に少なくとも一方の電極を形成する
とともに、該電極をセラミックスからなる被覆層で覆っ
たことを特徴とするオゾン発生用放電体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63072702A JPH0764523B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | オゾン発生用放電体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63072702A JPH0764523B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | オゾン発生用放電体 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01246104A true JPH01246104A (ja) | 1989-10-02 |
| JPH0764523B2 JPH0764523B2 (ja) | 1995-07-12 |
Family
ID=13496954
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63072702A Expired - Fee Related JPH0764523B2 (ja) | 1988-03-25 | 1988-03-25 | オゾン発生用放電体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0764523B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US5407639A (en) * | 1991-10-14 | 1995-04-18 | Toto, Ltd. | Method of manufacturing a corona discharge device |
| JPH08255667A (ja) * | 1995-03-16 | 1996-10-01 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | オゾナイザ用沿面放電素子およびその製法 |
| JP2013060327A (ja) * | 2011-09-14 | 2013-04-04 | Murata Mfg Co Ltd | オゾン発生素子 |
| WO2017154338A1 (ja) * | 2016-03-09 | 2017-09-14 | 株式会社村田製作所 | オゾン生成用素子およびオゾン生成装置 |
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-
1988
- 1988-03-25 JP JP63072702A patent/JPH0764523B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0764523B2 (ja) | 1995-07-12 |
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