KR930007463A

KR930007463A - 코로나 방전 장치 제조 방법

Info

Publication number: KR930007463A
Application number: KR1019920018865A
Authority: KR
Inventors: 도시야 와따나베; 유지 아소; 에이이찌 고지마; 요시히데 하야시다
Original assignee: 사까이 요시히로; 토토 기기 가부시끼가이샤샤
Priority date: 1991-10-14
Filing date: 1992-10-14
Publication date: 1993-05-20
Also published as: KR100239101B1; JPH0535830U; JP2526706Y2

Abstract

연장된 서비스 기간에 걸쳐 제어된 적은양의 오존을 발생시킬 수 있는 오존 발생기로서 사용하기에 적당한 코로나 방전 장치 제조 방법. 내화학적이고 전기적 절연인 물질의 보호층(68)에 의해 코팅된 제3부유전극(64)에 의해 서로 정전기 용량적으로 결합된 제1 및 제2평면 전극(54, 56)이 제공된 코로나 방전장치(50)의 예비 생산품이 먼저 준비된다. 그 다음에 예비 생산품의 초기의 최소 섬락 전압 레벨보다 더 높은 전압 레벨을 갖는 고주파 교류전압이 보호층이 경년 변화될때까지 인가된다. 보호층의 경년 변화는 그렇지 않으면 생산품마다 발생하는 초기의 최소 섬락 전압의 어떤 파동(fluctuation)을 감소 시키는데 뿐만 아니라 이와같이 얻어진 최종 생산품의 초기의 최소 섬락 전압을 낮추는데에도 효과적이다. 여러 가지 다른 특징 또한 공표되어있다. (제5도)

Description

코로나 방전 장치 제조 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제4도는 본 발명에 따라 제조된 코로나 방전 장치의 약간 확대된 스케일의 평면도,

제5도는 단면이 두께 방향으로 과장된 것을 도시한 것으로 제4도의 V-V선을 따라 취해진 단면도,

제6도는 두께 방향보다 축방향으로 크게 과장된 단면으로 제4도의 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 취해진 단면도,

제7도는 제4도와 유사하지만 더 확대된 스케일의 장치의 도시도.

Claims

유전체 물질의 기판(52)내에 매립된 공간적으로 떨어져 있는 제1 및 제2평면 전극(planar electrode), 그들 사이에 고주파 교류 전압을 인가하기 위해 상기 제1 및 제2전극에 접속되어 있는 단자 수단, 상기 제1 및 제2전극에 대해서 공간적으로 떨어져서 평행하며 적어도 부분적으로 중첩 관계가 있게 상기 기판상에 배치되어 있는 제3전극, 및 상기 제3전극, 상기 제1 및 제2전극과 상기 제3전극사이의 최소 거리보다 더 큰 거리로 서로 측면으로 떨어져있는 상기 제1 및 제2전극을 덮고 있는 내화학적(chemically-resistive)이고 전기적 절연(electrically-insulating)인 물질의 보호층(protective layer(68)을 가지는 코로나 방전 장치의 예비 생산품(foreproduct)을 준비하는 단계와, 상기 예비 생산품의 초기의 초소 섬락(flashover) 전압 레벨보다 더 높은 전압 레벨을 갖는 고주파 교류 전압을 그것의 상기 제1 및 제2전극사이에 인가함으로써 코로나 방전 장치의 최종 생산물을 얻기 위하여 소정의 시간 기간동안 상기 예비 생산품(96)의 상기 보호층(68)을 경년변화(aging)시키는 단계를 포함하는 오존 발생기로서 사용을 위한 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 경면 변화 단계가 상기 제1 및 제2전극과 상기 제3전극사이에 위치한 상기 유전체물질의 층 브레이크다운 전압보다 약간 낮은 전압에서 수행되는 코로나 방전 장치 제조방법.
제1항에 있어서, 상기 경년변화 단계가 적어도 약 5초동안 수행되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 기판이 Al₂O₃의 중량비 약 90 내지 94%, SiO₂의 중량비 4 내지 8%, CaO의 중량비 0.9 내지 1.1% 및 MgO의 중량비 0.5 내지 0.9%로 구성된 알루미나 세라믹으로 이루어져 있는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2전극이 코플래너(coplanar)이고 상기 경년 변화 단계가 상기 최종 생산품의 초기의 최소 섬락 전압이 다음식 Ui=0.03(D+2d)+2.2 여기서 Ui는 상기 최종 생산품의 Vpp단위로 초기의 최소 섬락 전압이고, D는 상기 제1 미 제2전극과 상기 제3전극 사이에 위치한 상기 유전체 물질의 층의 마이크로미터단위로 유효 두께이며, d는 상기 보호층의 마이크로미터 단위로의 유효 두께인 것을 만족하게 되도록 하는 시간 동안 및 전압에서 수행되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제1 미 제2전극이 코플래너(coplanar)이고 상기 제1 및 제2전극과 상기 제3전극 사이에 위치하는 상기 유전체 불질의 층의 유효두께 및 상기 보호층의 유효두께는 다음 관계식, Vo〉0.03(D+2d)+2.2 여기서, Vo는 상기 코로나 방전 디바이스의 kVpp 단위로 정상의 동작 전압이고, D는 상기 제1 및 제2전극과 상기 제3전극 사이에 위치하는 상기 유전체 물질의 층의 마이크로미터 단위로 유효 두께이며, d는 상기 보호층의 마이크로미터단위로 유효두께인 것을 만족하도록 선택되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2전극과 상기 제3전극 사이에 위치한 상기 유전체 물질의 층의 유효 두께가 약 25 내지 70마이크로미터가 되도록 선택되어지고 상기 보호층의 유효 두께가 약 7 내지 20마이크로미터가 되도록 선택되어져서 상기 최종 생산품이 약 6kVpp보다 작거나 같은 동작 전압에서 동작되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제3전극이 코로나 방전 칼럼(colmn)의 집중(concentration)을 피하기 위해 둥근 모서리를 제공하도록 구성되어 있는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 제3전극이 상기 제1 및 제2전극의 적어도 하나의 외형(contour)위로 뻗을 정도의 길이를 갖게되어 코로나 방전이 상기 제3전극의 외형의 선형 부분을 따라서 남 전극중 상기의 하나와 상기 제3전극사이에 발생되도록 하는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제1항에 있어서, 상기 장치는 상기 제1 및 제3전극(54, 64)사이에 확립된 정전기 용량(electrostaitc capacitance)이 상기 제2 및 제3전극(56, 64)사이에서 확립된 것과 다르게 되도록 고안되고 구성되어 있는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 제3전극이 상기 제1 및 제2전극중 하나위에 중첩되는 면적(SL)이 상기 제3전극이 상기 제1 및 제2전극의 다른것위에 중첩되는 면적(S2)보다 크게되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 제1 및 제3전극 사이의 거리(D1)가 상기 제2 및 제3전극 사이의 거리(D2)와 다르게 되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
제10항에 있어서, 상기 제1 및 제3전극 사이에 위치한 상기 유전체 물질의 층의 유전상수가 상기 제2 및 제3전극 사이에 위치한 상기 유전체 물질의 층의 유전상수와 다르게되는 코로나 방전 장치 제조 방법.
서로 축방향으로 떨어져 있는 코플래너 관계에 있는 유전체 물질의 기판에 매립된 제1 및 제2평면 전극그들사이에 고주파 교류 전압을 인가하기 위해 상기 제1 및 제2전극에 접속된 단자 수단, 상기 기판상에 배치되어 있으며 상기 제1 및 제2전극에 정전기 용량적으로 결합되어 있지만 떨어져 있는 제3부유 전극(floating electrlde), 및 상기 제3전극을 덮고 있는 내화학적이고 전기적 절연인 물질의 보호층을 가지며, 초기에는 코로나 방전이 고주파 교류 전압을 인가할 때 거의 순간적으로 발생되는 초기 최소 섬락 전압 레벨을 갖는 코로나 방전장치의 예비 생상품을 준비하는 단계와, 소정 시간 동안 상기 예비 생산품이 상기 제1 및 제2 전극 사이에 상기 예비 생산품의 상기 초기 최소 성락 전압 레벨보다 더 높은 전압 레벨을 갖는 고주파 교류 전압을 인가하여 그에 의하여 코로나방전이 상기 보호층을 경년변화 하도록 상기 보호층 위에서 전개되도록 하며 상기 초기 최소 성락전압보다 더 낮은 유효 동작 전압 레벨을 갖는 코로나 방전 장치의 최종 생산품이 얻어지는 단계를 포함하는 코로나 방전 장치 제조 방법.
세라믹-형성 유전체 물질의 녹색 시이트를 준비하는 단계, 상기 녹색 시이트를 거쳐 한쌍의 떨어져있는 관통홀(through hole)을 형성하는 단계, 한쌍의 떨어져 있는 전기적 단자 패턴을 형성하기 위해 금속성 입자를 포함하는 페이스트(paste)로 상기 홀을 채우는 단계, 각각 상기 단자 패턴에 접촉한 상기 녹색 시이트의 표면상에 한쌍의 상기 페이스트의 떨어져 있는 전극 패턴(88)을 형성하는 단계, 상기 전극 패턴위에 세라믹-형성 유전체물질의 층을 형성하는 단계, 상기 떨어져 있는 전극 패턴에 대해서 적어도 부분적으로 중첩하는 관계에 있는 세라믹-형성 유전체 물질의 상기 층 위에 상기 페이스트의 다른 전극 패턴을 형성하는 단계, 내화학적이고 전기적 절연인 물질의 보호층으로 상기 다른 전극 패턴을 코팅하는 단계, 코로나 방전 장치의 예비 생산품을 얻기 위하여 이와 같이 형성된 생산품을소결(sinter)하는 단계, 상기 보호층이 경년 변화될때까지 상기 예비생산품이 코로나 방전을 발생하도록 하는 단계를 포함하는 코로나 방전 장치 제조 방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.