JPH0373495A - 半導体メモリ装置 - Google Patents

半導体メモリ装置

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JPH0373495A
JPH0373495A JP1311521A JP31152189A JPH0373495A JP H0373495 A JPH0373495 A JP H0373495A JP 1311521 A JP1311521 A JP 1311521A JP 31152189 A JP31152189 A JP 31152189A JP H0373495 A JPH0373495 A JP H0373495A
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JP
Japan
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precharge
signal
circuit
generation circuit
dummy
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JP1311521A
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Hide Okubo
大久保 秀
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Ricoh Co Ltd
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Ricoh Co Ltd
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Publication date
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/12Bit line control circuits, e.g. drivers, boosters, pull-up circuits, pull-down circuits, precharging circuits, equalising circuits, for bit lines
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/14Dummy cell management; Sense reference voltage generators
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C8/00Arrangements for selecting an address in a digital store
    • G11C8/18Address timing or clocking circuits; Address control signal generation or management, e.g. for row address strobe [RAS] or column address strobe [CAS] signals

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Dram (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、高速読み出しを可能としに半導体メモリ装
置に関する。
【従来の技術] 近午、特定用途向けLSI(ASIC)への需要が大き
い。LSIメーカーは、ASIC用に顧客の種々の要求
に迅速に対応できるように、メモリを構成する機能ブロ
ックを予め準備し、ソフトウェアにより脅威する、コン
パイル方式を開発している。
ここで、第12図に示1.を一従来の内部同期式メモリ
の動作を第13図のタイムチャートを参照して説明する
アドレス入力があると、アドレスバッファ1を介してX
−Yデコーダ2にアドレス信号が送出されるとともに、
各クロック発生回路3は、アドレス入力の変化に同期し
てATD(ATDO,ATDi)をASD発生回路4に
送出する。全ATD信号が入力されると、ASD発生回
路4よりASD信号がPRC発生回路5及びXDE発生
回路6に送出される。このASD信号は、最初のATD
Oの立上りで立上り、最後のATD +の立下りで立下
る。つまり、ASD信号が“H″の期間は、アドレスが
定まっていない状態にある。PRC発生回路は、、AS
D信号が″H″レベルとなったときに、プリチャージを
制御するPRC信号を立上げる。
このPRC信号がプリチャージ回路7に送出されること
により、メモリセル8はプリチャージが開始される。プ
リチャージの終了は、プリチャージ開始からtdZ後、
あるいは、ASD!1′号の立下りからtdl後の連い
方で決まる。このtdl、td2の値はプリチャージに
必要な時間より長い目に設定される。
一方、XDE発生発生回位6ASD信号の立上りからt
dJ後あるいは、ASD信号の立下りからなるtdB後
のいずれかの遅い方の時点でワードラインを制御するX
DE信号を立上げる。このXDE信号が立上ると、x−
yデコーダ2からメモリセル8に送出されるワードライ
ンWLnが立上り、これにより、メモリセル8からデー
タが読み出され、感知増帳器9及び出力バッファ10を
介して出力される。
ワードラインW L r+の立上りは、プリチャージ終
了後に始まるように設定する必要があり、そのため前記
td3.td4は、十分なプリチャージが保証できるよ
う、所定の遅延時間を含めている。
[発明が解決しようとする課題〕 ところが、丘述したようなコンパイル方式のメモリでは
、ビット・ワード構成を顧客が指定するため上記遅延時
間を最小限の値に固定できない。
可変の遅延を抵抗・容量の組合せで作る場合、プロセス
のバラツキあるいは温度の変動などを考慮し、動作を保
証するため、前記遅延時間を10−100%大きく設定
する。このマージンのため、アクセス時間が犠牲になる
という問題点がある。
又、内部同期式の半導体メモリにおいては、上述のよう
lこメモリ装置に供給される入力信号の変化を検出し5
、内部クロック信号を発生させ、この内部クロック信号
鼻こ同期して半導体メモリを動作させている。このよう
な内部クロック信号を発生する回路として、第14図及
び第15図に示す回路が知られている。第14図に示す
内部クロック信号発生回路106は、複数のNMOSト
ランジスタ【0【のソースが出力線102に接続され、
この出力線102には、ゲートが接地されているPMO
Sトランジスタ103を介して電源」04より所定の電
位が印加される、という構成を威すものである。尚、N
MOSトランジスタlO1のゲートには前記入力信号の
変化を検出しATDM号を送出する複数のATD回路(
不図示)が接続され、それぞれのNMO3)ランジスタ
101のドレインは接地されている。
よって、通常、出力線102は、PMOSトランジスタ
103を介して電源104と接続されていることより例
えばハイ(H)レベルであるので、インバータ105を
介することでこの内部クロック信号発生回路106は、
ロー(L)レベルの信号を送出する。しかしATD回路
よりATD信号が供給された場合、NMOSトランジス
タ101がオン状態となり出力線102は接地されるの
で、内部クロック信号発生回路106はHしベルの内部
信号(以下SAT信号と記す)を送出する。
肖、このような構成にてなる内部クロック信号発生回路
【06は、ATD回路がICチップ上に分散しているこ
とより、これらの長い配線による配線容量ctが出力線
102には付加されでいる。
第15図に示す内部クロック信号発生回路107は、こ
の配線容量を分散するように、供給されるATD信号を
少数づつグループに分け、それぞれのNAND回路10
8にATD侶号を供給するようにしたものである。そし
てそれぞれDNAND回路108の出力側にNOR回路
109を接続し、NOR回路109の出力側にNAND
回路llOを接続したものである。
第14図に示す内部りOツク信号発生回路106におい
ては、該回路より送出されるSAT信号のパルスは、ロ
ードトランジスタであるPMOSトランジスタ103の
能力及び出力線102の容量CIと、ドライブトラ:/
ジスタであるNMOSトランジスタlotの能力との関
係により、第16図に示す、供給されるATD信号のパ
ルスの立ち上がりとSAT信号のパルスの立ち上がりと
の立上り時間差Taが決まり、一方PMOSトランジス
タ103の能力と出力線102の容態c1との関係によ
りA、 T D信号とSAT信号との立下り時間差Tb
が決まる。次のサイクルに備えるにはSAT信号の立ち
下がり、即ち立下り時間差Tbを短くすることが必要で
ある。
しかしPMOSトランジスタ103の能力は一定であり
、PMOSトランジスタ103に接続されるtll10
4の電位も一定であることより、PMOSトランジスタ
103の能力は、立上り時間差Taと立下り時間差Tb
とに対して立ち上り時間差Taを短くすれば立ち下り時
間差Tbが長くなり、逆に立下り時間差Tbを短くすれ
ば立上り時間差Taが長くなるという相反する効果をも
たらす。よって、妥協策として立上り時間差Taを長く
して、立下り時間差Tbが短くなるようにしており、立
上り時間差Ta及び立下り時間差Tbの両方とも短くす
ることはできず、メモリの動作を高速化することの妨げ
となっているという問題点があった。
又、内部クロック信号発生回路106におい−Cは、A
TD信号がNMOSトランジスタ1011こ供給されて
いる間、PMOSトランジスタ103、NMOS1−ラ
ンジメタ1. OIを介して電源104よりグランドへ
電流が流れている。この電流値は、PMO5!−ランジ
メタ103の電流供給能力で決まり、この電流供給能力
は消費電流量に関係する。
又、@15図に示す内部クロック信号発生回路107に
おいては、ATD信号の通過段数が多く遅延が増えてし
まい、やはりメモリの動作速度の高速化が図れないとい
う問題点がある。
本発明は、上述したような問題点を解決するためになさ
れたもので、内部同期式のコンパイル方式のメモリを実
現する回路11II成に関し、特にビットラインのプリ
チャージ終了の検出を可能とすることで高速動作可能な
半導体メモリ装置を提供することを第1の目的とし、A
TD信号に対するSATM号の立上り時間差Ta及び立
下り時間差Tbの両方が短い、即ち高速な動作をする反
転SAT信号発生回路を有することで高速動作可能な半
導体メモリ装置を提供することを第2の目的とし、さら
に、本発明は消費電流の小さい反転SAT信号発生回路
を有する半導体メモリ装置を提供することを第3の目的
とする。
[R題を解決するための手段及びその作用1この発明の
半導体メモリ装置は、アドレスあるいは制御信号の変化
を検出して発生したクロックを内部同期信号として用い
る内部同期式のメモリにおいて、 予めデータが固定されたダミーのメモリセルと、内部メ
モリセル及びダミーセルをプリチャージするためのプリ
チャージ回路と、 プリチャージに伴いダミーセルよりのダミービットライ
ンが所定のレベルになったとき、プリチャージの完了を
感知して、前記プリチャージ回路に対してプリチャージ
を終了させる信号を送出するプリチャージ終了検知手段
と、を備え、プリチャージ終了検知手段によるプリチャ
ージ終了により、メモ:ノセルへのワードラインを介し
てデータを読み出すことを特徴とする。
こいように構成することで、プリチャージ回路により、
メモリセルとともにダミーセルをプリチャージし、この
プリチャージに伴い、ダミーセルよりのダミービットラ
インが所定のノリチャージレベルまで上昇すれば、プリ
チャージ終了検知手段Iこより、プリチャージの完了が
感知され、プリチャージを終了させる信号を出力される
。この信号により、プリチャージが終了すれば、直ちに
メモリセルのデータを読み出すためにワードラインが立
ち上げられる。
さらに本発明は、供給される信号の変化を検出すること
で内部信号を発生する内部信号発生回路と、この内部信
号が供給されることで半導体メモリセルのビットライン
をプリチャージするプリチャージ回路とを備えた半導体
メモリ装置において、内部信号発生回路の出力線に接続
され、この出力線の信号レベルを所定のレベルに維持す
る程度に電流供給能力が小さい第1のトランジスタと、
内部信号発生回路の出力線Iこ接続され、オン状態にな
ることで内部信号発生回路の出力線を急速に充電可能な
ように電流供給能力が大きい第2のトランジスタと、 内部信号が発生した後、ビットラインのプリチャージ完
了後に上記第2のトランジスタをオン状態とする第1の
回路とを備えたことを特徴とする。
このように構成することで、内部信号発生回路の出力線
Iこは、*iのトランジスタを介して電流が供給され、
この出力線は例えばハイレベルに維持されている。尚、
第1のトランジスタは、電流供給能力が小さいものが選
択されているので、上記出力線への電流供給量は少なく
、内部信号を発生する際の消費電流量も少ない。
信号が変化すると上記出力線の信号レベルが、例えばロ
ー・レベルに変化し、この信号レベルの変化は内部信号
としてプリチャージ回路へ送出される。内部信号が送出
されて所定時間経過後に、第1の回路は第2のトランジ
スタをオン状態とする。
第2のトランジスタは電流供給能力が大きいものが選択
されているので、内部信号発生回路の出力線は第2のト
ランジスタによって急速に充電される。よって、上記出
力線は次のサイクルに急速に対応することができる。
さらに本発明は、アドレスあるいは制御信号の変化を検
出して内部同期信号を発生する内部信号発生回路を有す
る内部同期式の半導体メモリ装置において、 予めデータが固定されたダミーのメモリセルと、内部メ
モリセル及びダミーセルをプリチャージするためのプリ
チャージ回路と、 プリチャージに伴いダミーセルよりのダミービットライ
ンが所定のレベルになったとき、プリチャージの完了を
感知して、前記プリチャージ回路に対してプリチャージ
を終了させる信号を送出するプリチャージ終了検知手段
と、 内部信号発生回路の出力線に接続され、この出力線の信
号レベルを所定のレベルに維持する程度に電流供給能力
が小さい第1のトランジスタと、内部信号発生回路の出
力線に接続され、オン状態になることで内部信号発生回
路の出力線を急速に充電可能なように電流供給能力が大
きい第2のトランジスタと、 内部信号が発生した後、ビットラインのプリチャージ完
了後に上記第2のトランジスタをオン状態とする第1の
回路と、を備えたことを特徴とする。
このように構成することは、上記二つのの発明の組み合
わせにより半導体メモリ装置がさらに高速に動作するよ
う作用する。
〔実施例1 第1の実施例 本実施例は、半導体メモリのビットラインのプリチャー
ジ終了の検出を行うことで、メモリの高速動作を可能と
するものである。
第1図にこの発明の半導体メモリ装置の一実施例を示し
ており、第12図と同一の部分には同一の符号を付して
いる。
メモリセル8に対応してダミーのセル21を設け、この
ダミーセル21をプリチャージするための回路7′を設
け、更に、ダミーセル21よりのダミービットラインD
 B/D Bの信号を増幅する感知増幅器22を設けて
いる。
上記構成の半導体メモリ装置の動作を第2図をタイムチ
ャートに基づいて説明する。尚、ASDイ8号の発生ま
での動作は、従来例と同じなので省略する。又、かっこ
内の数字は、第2図内に示す番号に一致している。
ASD信号の立上りでXDE信号が立下り(■)、前ア
ドレスに対応するワードラインWLn−1が立下る(■
)。又、ASD償号の立上りでPRC信号が立上り(■
)、プリチャージ回路7,7′により、メモリセル8及
びダミーセル21に対してプリチャージ動作が始まる。
このプリチャージにより、ダミービットラインD B/
D Bがプリチャージレベルとなる(■)とともに、メ
モリセル8のビットラインBL口/ B L nもプリ
チャージレベルとなる(■)。このときのダミーセル2
1のプリチャージをより確実とするするため、ダミービ
ットラインのプリチャージはメモリセル8のビットライ
ンの動きより遅くなるように、Xデコーダ2から最も遠
い位置に配産するのが良い。
ダミービットラインD B/D Bがチャージレベルに
なると、ダミー感知増幅器22でプリチャージの完了が
検出され、PE5M号が立上る(■)。
PES信号の立上りにより、PRC発生回路5よりのP
RC信号が立下って(■)、プリチャージが終了すると
ともに、XDE発生回路6よりのIDE信号が立上り(
■)、更に出力バッファIOをハイインピーダンス状態
にして不活性化する(■)。
から現アドレスに対応するワードラインWLnが選択さ
れて立上る(0)。
これにより、メモリセル8の記憶データが読み出されて
ビットラインBLn/BLnに伝わり(0)、感知増幅
器9で増幅され、出力バッファlOに取り込まれる。又
、ワードラインWLnの立上りで、ダミーセル21もア
クセスされ、ダミーセルに記憶されていた、固定のデー
タがダミービットラインD B/D Bに伝わり(0)
、ダミー感知増幅器22により、PES信号が立下る(
0)。このPES信号の立下りにより、出力バッファl
Oは活性化され、取り込んでいた、メモリセル8よりの
データがデータ出力[)outとして出力される。
上記実施例では、各ワードライ>WLnにメモリセル8
及びダミーセル21がつながっている例を示したが、ダ
ミーセル専用のワードラインを設けてもよい。又、PE
S信号でXDE信号が選ばれる(■)例を示したが、P
ES信号の立上り→■−PRC信号立下げ−[相]−X
DE信号の立上げ、第3図は、上記メモリセル8の回路
構成例を示しており、各ワードラインWLnは、アクセ
ス用のNチャンネルMOSFET31.32のゲートに
接続され、各FET31,32の各ソースはビットライ
ンBLnとBLriとに接続され、又、各ドレイン間に
逆並列接続したインバータ33.34にてなるフリップ
フロップ回路が接続される。
第4図は、上記ダミーセル21の回路構成例を示してお
り、フリップフロップ間の一方のインバータ34′を接
地することにより、記憶データを固定している。尚、他
方のインバータ33の入力部を接地してもよいが、第4
図に示した方が鑓ましい。
又、第5図に示すように、フリップフロップ回路の一方
のノードにコンデンサ35を付加して左右のノードの均
衡を崩して記憶データを固定することも8r能であり、
FETのサイズを変えることによっても記憶データを固
定することができる。
第6図はプリチャージ回路7,7°の回路構成例を示し
ており、NチャンネルのMOSFET61〜63と、P
チャンネルのMOSFET64.65とで構成される。
第7図は、感知増幅器の回路構成例を示しており、3債
のNチャンネルのMOS、FET71〜73で構成され
る。
第6図及び第7図の回路は、ダミーセルとして用いるこ
ともできる。又、ダミー感知増幅器22としては、イン
バータ、NAND回路、NOR回路等によっても構成可
能である。
第2の実施例 第2の実施例は、半導体メモリ装置に備わる反転SAT
信号発生回路を高速動作させることで半導体メモリ装置
の高速化を図るものである。
第2の実施例を示す第8図において、複数のATDパル
ス発生回路のいづれか一つよりATD信号が供給される
ことで反転SAT信号(図内ではSATと記す)を発生
する反転SA、T信号発生回路120は、メモリセルア
レイ130に備わるビットラインをプリチャージさせる
プリヂャージ回路140ヘブリチャージ開始の信号を送
出するプリチャージ(図内ではPRCと記す)パルス発
生回路150に接続される。一方メモリセルアレイ13
0にはビットラインのプリチャージが終了したことを検
出するプリチャージ完了検出回路160が接Rされ、プ
リチャージ完了検出回路160の出力側は上記プリチャ
ージパルス発生回路150に接続される。又、プリチャ
ージパルス発生回路150の出力側にはプリチャージ完
了検出回路160よりプリチャージ完了の信号が供給さ
れることでプリチャージパルス発生回路150よりプリ
チャージパルスが送出されなくなったことを検出し、反
転SAT信号発生回路120へ反転リセット(図内では
−rstと記す)信号を送出する反転リセット信号発生
回路170が接続される。
反転SAT信号発生回路120は、第14図に示す従来
のSAT信号発生回路106にPMOSトランジスタ1
22を追加し、インバータ105を除いた構成を有して
いる。即ち、出力線102には、それぞれのATDパル
ス発生回路より送出するA、 T D M号がゲートに
供給され、ドレインが接地されている複数のNMO5)
ランジスタ101のソースと、ソースが電[1,04に
接続されゲートは接地されるPMOSトランジスタ12
1のドレインと、ソースが電[123に接続されゲート
jこ反転リセット信号発生回路170の出力側が接続さ
れるPMO3)ランジスタ122のドレインとが接続さ
れる。
尚、PMOSトランジスタ121は、出力線i02より
送出される反転SAT信号のHレベルを維持する程度の
電位を電[104より送出すればよく、へTD信号が供
給されNMOSトランジスタ101のいずれかがオン状
態となったとき、反転SAT信号の立ち下がりを高速に
するために電流供給能力が小さいものが使用される。一
方PMOSトランジスタ122は出力線102に付加し
ている配線容量を急速に充電できるように電流供給能力
は大きいものが使用される。
このように構成される本実施済の半導体メモリ装置の動
作を第9図を参照し、以下に説明する。
第9図aに示すように、メモリセルアレイ13Oに供給
されるアドレス信号が時刻tlに変化した場合、不図示
のATDパルス発生回路は信号変化を検出し、第9図す
に示すようにHレベルのATDI号のパルスを反転S 
A T信号発生回路120へ送出する。よって、NMO
5I−ランジスタlOlのうちATD信号を受けたいず
れかのトランジスタがオン状態となるので、第9図Cに
示すように出力線102はグランドレベルに引き下げら
れる。したがって、反転SAT信号発生回路120より
送出される信号レベルの変化を検出Vることでプリチャ
ージパルス発生回路150は、第9図eに示すようにH
レベルのプリチャージ信号をプリチャージ回路140に
送出する。よって、プリチャージ回路140は、メモリ
セルアレイ130に備わるビットラインのプリチャージ
を開始する。
プリチャージ完了検出回路160は、メモリセルアレイ
130のビットラインのプリチャージが終了したことを
検出し、第9図fに示すように時刻t3に反転EOP信
号をプリチャージパルス発生回路150に透出する。プ
リチャージパルス発生回路150は第9図eに示すよう
にこの反転EOP信号を受けてLレベルに立ち下がる。
反転プリセット信号発生回路1.70は、プリチャージ
パルス発生回路150の送出する信号レベルが変化した
ことを検出し、第9図dに示すようにHレベルの信号を
変化させ、Lレベルのブリャット借号を反転SAT発生
回路120に備わるPMOSトランジスタ122のゲー
トに送出する。それを受けてPMOSトランジスタ12
2は、時刻(4よリオン状態となる。
反転SAT信号発生回路120の出力線102は、第9
図Cに示すように、A、 T D信号が供給されている
時刻【2迄NMOSトランジスタ101のいずれかがオ
ン状態であるためグランドレベルにあるが、その@PM
OSNMOSトランジスタ121電源104より徐々に
充電されている。しかし、大きい電流供給能力を有する
PMO3+−ランジスタ122がオン状態となる時刻t
4より、出力線102は電源123によって急速に充電
されI」1/ベルの信号状態に戻る。 このように、新
たにPMO5トランジスタ122を加えたことで、反転
SAT信号の立ち下がり時間は、前記配線容量とNMO
Sトランジスタ101とで決まり、反転5AT(Fi号
の立ち上がり時間は前記配線容量とPMOSトランジス
タ122とで決まるので、NMOSトランジスタ101
及びPMOSトランジスタ122をそれぞれ電流容量が
可能な限り大となるように適宜に設定すれば反転SAT
信号の立ち上がり、立ち下がりともに高速化することが
できる。よって、メモリセルの高速動作が可能となる。
又、出力線102の電位を急速に回復可能なようにt流
供給能力の大きいPMOSトランジスタを設けたので、
PMOSトランジスタ121の電流供給能力を小さくす
ることができ、消費電流を少なくすることができる。又
、PMO5)ランジスタ121の電流供給能力が小さく
てよいことよりATD(8号が供給されることでNMO
3)ランデスタ101がオン状態となったとき、出力線
102の電位は急速にLレベルへ立下げるこ2・ができ
る。
第3の実施例 第3の実施例は、上述した第2の実施例4こ第1の実施
例に示すダミーセルを応用したものである。
第3の実施例を示す第10図において、第8図と同じ構
成部分におい“〔は同じ符号を付し、その説明を省略す
る。又、第8図にてブロック図にて示している部分を第
1O図では論理回路図にて示し“〔おり、本実施例にお
ける回路構成も基本的に第8図に示す半導体メモリ装置
と同じである。
それぞれのATDパルス発生回路180は、アドレス信
号の各ビットデータが供給されるインバータ181の出
力側がEXOR回路182の一入力端子に接続されると
ともに、インバータ181の出力側がデイレイ回路18
3を介してEXOR回路182の他の入力端子に接続さ
れる構成にてなり、EXOR回路182の出力側は、そ
れぞれのNMOSトランジスタ101のゲートに接続さ
れス シリチャージパルス発生回路150は、NAND型RS
ラッチ回路151. 、インバータ152及びインバー
タ153にて構成され、ラッチ回路151を構成するN
AND回路151aの入力端子に反転SAT信号発生回
路120に備わる出力線102が接続される。ラッチ回
路151の出力側はインバータ152.153を介して
プリチャージ回路140に設けられるMOSトランジス
タ141ないし143のそれぞれのゲートに接続される
。又、インバータ152の出力側は、メモリセルアレイ
130に設けられるメモリセルを選択するワードライン
トライバ147に接続される。
MOSトランジスタ+41及び142は、それぞれのソ
ースが電gA1こ接続され、ドレイン側がビ・ソトライ
ン144及び反転ビットライン145に接続される。又
、MOSトランジスタ143は、ビットライン144と
反転ビットライン145とにソース、ドレインが接続さ
れる。又、ビットライン144及び反転ビットライン1
45はビットラインの信号を増幅するセンスアンプ14
8に接続される。
又、メモリセルアレイ130には、データを記憶するこ
とはできないが通常のメモリセルに設けられるビットラ
インと同じ容量を有するダミーセル146が設けられる
。このダミーセル146のビットラインがインバータ1
61よりなるプリチャージ完了検出回路160に接続さ
れ、プリチャージ完了検出回路160の出力側は、プリ
チャージパルス発生回路150に設けられるNAND回
路15ibの入力端子に接続される。又、この点が第2
の実施例と異なる所であるが、プリチャージ完了検出回
路160の出力側は反転リセット信号発生回路170に
接続される。
反転リセット信号発生回路170は、デイレイ回路17
1及びNOR回路172より構成され、プリチャージ完
了検出回路160の出力側がデイレイ回路171を介し
てNOR回路172の一入力端子に接続されるとともに
、直接プリチャージ完了検出回路160の出力側がNO
R回路172の他の入力端子に接続される。そして、N
OR回路1720出力側が反転SAT信号発生回路12
0に設けられるPMOSトランジスタ122のゲ−l−
に接続される。
このように構成される第3の実施例における半導体メモ
リ装置の動作を第11図を参照し説明する。
第11図aに示すように、時刻【lにアドレス信号が変
化した後、反転S A T信号発生回路120の動作開
始よりプリチャージパルス発生回路150の動作終了迄
の動作は上述した第2の実施例と同じである。プリチャ
ージ信号がHレベルに変化することで、第11図りに示
すように、ダミーセル146のビットラインがプリチャ
ージされる。
第11図iに示すように、プリチャージ完了検出回路1
60は、このビットラインのプリチャージの電位が所定
億卓こ達したことを検出し、反転EOP信号レベルがL
レベルに変化する。このことで、第11図dに示すよう
に、反転リセット信号発生回路170はLレベルの信号
を反転SAT信号発生回路120に設けられるPMOS
トランジスタ122のゲートに送出する。よって、第2
の実施例と同様1こ反転SAT信号発生回路120に設
けられる出力線102は急速に充電される。 又、プリ
チャージ完了検出回路160の出力信号がLレベルに変
化することで、ブリチャージノ;ルス発生回路150よ
り第11図eに示すようにEN信号が発生し、メモリセ
ルアレイ130に設けられるワードラインが選択されピ
ッ1−ライン145または146の信号がセンスアンプ
148にて増幅され、第11図jに示すようにセンスア
ンプ148より送出される。
肖、第3の実施例においてはプリチャージ完了検出回路
160の出力信号が立ち下がることより反転リセット信
号を発生するようにしたが、前記出力信号の立ち上がり
により反転リセット信号を発生させてもよい。
又、第2及び第3の実施例では、CMO5)ランジスタ
及びスタティック読出書込メモリにて説明したが、これ
に限るものではない。
又、メモリセルからのデータの読み出しにつl/′1て
説明したが、データの書き込み時jこついても同様の効
果を得ることできる。
[発明の効果] 以上詳述したように本発明によれば、ダミーセルjこ対
するプリチャージの終了検知により、メモリセルのプリ
チャージの終了を検知するようにしたので、メモリ制作
プロセスにおけるバラツキや温度による特性変化に追従
でき、そのため、動作を保証するために設定していた遅
延時間は不要となり、高速動作が可能となる。更には、
出力バッファをプリチャージ時に不活性状態とすれば、
消費電流及びノイズを低減することもできる。
又、本発明によれば、内部信号発生回路の出力線は、内
部信号を発生した後、第1の回路にてオン状態とされる
第2のトランジスタにて急速に充電されることより、高
速に動作可能な内部信号発生回路を有し、高速動作可能
な半導体メモリ装置を提供することができる。又、電流
供給能力が大きい第2のトランジスタを備えたので、上
記出力線への電流供給能力が小さい′!J1のトランジ
スタを備えることができることより、内部信号発生回路
の電力消費嚢が少なく、かつ内部信号の発生が高速にな
される半導体メモリ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はこの発明の半導体メモリ装置の一実施例を示す
ブロック図、第2図は、第i図における装置の動作を示
すタイムチャート、第3図は、第1図におけるメモリセ
ルの一例を示す回路図、第4図及び第5図は、第1図に
おけるダミーセルの一例を示す回路図、第6図は、第1
図におけるプリチャージ回路の一例を示す回路図、第7
図は、第1図における感知増幅器の一例を示す回路図、
第8図は本発明の第2の実施例における半導体メモリ装
置の構成を示すブロック図、第9図は第8図に示す装置
の動作を示すタイムチャート、第1O図は本発明の第3
の実施例における半導体メモリ装置の構成を示す回路図
、第11図は第1O図に示す装置の動作を示すタイムチ
ャート、第12図は、従来の内部同期式メモリのブロッ
ク図、第13図は、第12図のメモリの動作を示すタイ
ムチャート、第14図は従来のSAT信号発生回路の一
構成例を示す回路図、第15図は従来のSAT信号発生
回路の他の構成例を示す論理回路図、第16図はATD
信号に対するSAT信号の立上り、立下りの時間差を示
す図である。 121及び122・・・PMOSトランジスタ、130
・・・メモリセルアレイ、 140・・・プリチャージ回路、 150・・・プリチャージパルス発生回路、160・・
・プリチャージ完了検出回路、170・・・反転リセッ
ト信号発生回路。 l・・・アドレスバッファ、 2・・・X−Yデコーダ、 3・・・クロック発生回路、 4・・・ASD発生回路、 5・・・PRC発生回路、 6・・・XDE発生回路、 7.7′・・・プリチャージ回路、 8・・・メモリセル、 9・・・感知増幅器、 10・・・出力バッファ、 21・・・ダミーセル、 22・・・ダミー感知増幅器、

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)アドレスあるいは制御信号の変化を検出して発生
    したクロックを内部同期信号として用いる内部同期式の
    半導体メモリ装置において、予めデータが固定されたダ
    ミーのメモリセルと、内部メモリセル及びダミーセルを
    プリチャージするためのプリチャージ回路と、 プリチャージに伴いダミーセルよりのダミービットライ
    ンが所定のレベルになったとき、プリチャージの完了を
    感知して、前記プリチャージ回路に対してプリチャージ
    を終了させる信号を送出するプリチャージ終了検知手段
    と、を備え、 プリチャージ終了検知手段によるプリチャージ終了によ
    り、メモリセルへのワードラインを介してデータを読み
    出すことを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. (2)上記プリチャージを終了させる信号を用いて、メ
    モリセルの出力バッファをハイインピーダンス状態にし
    て不活性化する請求項1記載の半導体メモリ装置。
  3. (3)上記ダミーセルにおけるフリップフロップは、第
    1のインバータの出力部が第2のインバータの入力部に
    接続され、第1のインバータの入力部が接地レベルに接
    続され、前記第1及び第2のインバータの出力部は、ア
    クセス用のトランジスタを介してダミービットラインに
    接続された請求項1記載の半導体メモリ装置。
  4. (4)供給される信号の変化を検出することで内部信号
    を発生する内部信号発生回路と、この内部信号が供給さ
    れることで半導体メモリセルのビットラインをプリチャ
    ージするプリチャージ回路とを備えた半導体メモリ装置
    において、 内部信号発生回路の出力線に接続され、この出力線の信
    号レベルを所定のレベルに維持する程度に電流供給能力
    が小さい第1のトランジスタと、内部信号発生回路の出
    力線に接続され、オン状態になることで内部信号発生回
    路の出力線を急速に充電可能なように電流供給能力が大
    きい第2のトランジスタと、 内部信号が発生した後、ビットラインのプリチャージ完
    了後に上記第2のトランジスタをオン状態とする第1の
    回路と、を備えたことを特徴とする半導体メモリ装置。
  5. (5)アドレスあるいは制御信号の変化を検出して内部
    同期信号を発生する内部信号発生回路を有する内部同期
    式の半導体メモリ装置において、予めデータが固定され
    たダミーのメモリセルと、内部メモリセル及びダミーセ
    ルをプリチャージするためのプリチャージ回路と、 プリチャージに伴いダミーセルよりのダミービットライ
    ンが所定のレベルになったとき、プリチャージの完了を
    感知して、前記プリチャージ回路に対してプリチャージ
    を終了させる信号を送出するプリチャージ終了検知手段
    と、 内部信号発生回路の出力線に接続され、この出力線の信
    号レベルを所定のレベルに維持する程度に電流供給能力
    が小さい第1のトランジスタと、内部信号発生回路の出
    力線に接続され、オン状態になることで内部信号発生回
    路の出力線を急速に充電可能なように電流供給能力が大
    きい第2のトランジスタと、 内部信号が発生した後、ビットラインのプリチャージ完
    了後に上記第2のトランジスタをオン状態とする第1の
    回路と、を備えたことを特徴とする半導体メモリ装置。
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