JPH0369812B2 - - Google Patents
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- JPH0369812B2 JPH0369812B2 JP5436290A JP5436290A JPH0369812B2 JP H0369812 B2 JPH0369812 B2 JP H0369812B2 JP 5436290 A JP5436290 A JP 5436290A JP 5436290 A JP5436290 A JP 5436290A JP H0369812 B2 JPH0369812 B2 JP H0369812B2
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- JP
- Japan
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- ultrasonic
- conveyed object
- amplitude
- generation
- ultrasonic generation
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- Expired - Lifetime
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は平板状の物体を浮上搬送する方法に関
し、特に半導体の製造に用いられるウエフアーを
超音波により搬送する方法に関する。
し、特に半導体の製造に用いられるウエフアーを
超音波により搬送する方法に関する。
（従来の技術及び発明が解決しようとする課題）
従来、ウエフアーは、ベルトやウオーキングビ
ーム等の機械的な方法や空気による方法等により
搬送されているが、機械的な方法においては摩擦
による塵の発生が、また、空気による方法におい
ては空気の流れによる塵の吹き上げが、それぞれ
問題となる。
ーム等の機械的な方法や空気による方法等により
搬送されているが、機械的な方法においては摩擦
による塵の発生が、また、空気による方法におい
ては空気の流れによる塵の吹き上げが、それぞれ
問題となる。
超音波は粗密板であり、通常は空気の粗部と密
部とのくり返しとして進行して行くが、超音波発
生面と超音波反射面とを適当な間隔を保つて対向
させる事により、前記二面間に定在波を発生させ
る事ができ、また、この定在波の節の部分に物体
を浮上させる事ができる事が知られている。
部とのくり返しとして進行して行くが、超音波発
生面と超音波反射面とを適当な間隔を保つて対向
させる事により、前記二面間に定在波を発生させ
る事ができ、また、この定在波の節の部分に物体
を浮上させる事ができる事が知られている。
また、超音波浮揚装置の例としては、正四面の
頂点に相当する位置に４つの超音波放射器を配置
し、その中央部に被浮揚体を位置させ、上記超音
波放射器に超音波信号を印加することにより被浮
揚体を浮揚させる技術について、精密機械５０巻
５号1984年５月に記載されている。しかし、超音
波によつて物体を搬送させる技術については何ら
開示されていない。
頂点に相当する位置に４つの超音波放射器を配置
し、その中央部に被浮揚体を位置させ、上記超音
波放射器に超音波信号を印加することにより被浮
揚体を浮揚させる技術について、精密機械５０巻
５号1984年５月に記載されている。しかし、超音
波によつて物体を搬送させる技術については何ら
開示されていない。
本発明の目的は、超音波の性質を利用して浮上
搬送を行うことにより、非接触な超音波浮上型搬
送方法を実現する事にある。
搬送を行うことにより、非接触な超音波浮上型搬
送方法を実現する事にある。
（課題を解決するための手段）
この発明は搬送方向に配列された複数の超音波
発生面と、この超音波発生面に対向して超音波反
射面を設け、上記超音波発生面からの超音波で超
音波発生面と超音波反射面との間に発生する定在
波により被搬送物体を浮上させ、この被搬送物体
の搬送方向先端部に対向する超音波発生面から発
生する超音波の振幅を小さくして被搬送物体を移
動させ、落下する前の予め定められた期間に当該
超音波発生面から発生する超音波の振幅を大きく
し、次の搬送方向に配列された超音波発生面から
発生する超音波の振幅を小さくして上記被搬送物
体を移動制御させることを特徴とする。
発生面と、この超音波発生面に対向して超音波反
射面を設け、上記超音波発生面からの超音波で超
音波発生面と超音波反射面との間に発生する定在
波により被搬送物体を浮上させ、この被搬送物体
の搬送方向先端部に対向する超音波発生面から発
生する超音波の振幅を小さくして被搬送物体を移
動させ、落下する前の予め定められた期間に当該
超音波発生面から発生する超音波の振幅を大きく
し、次の搬送方向に配列された超音波発生面から
発生する超音波の振幅を小さくして上記被搬送物
体を移動制御させることを特徴とする。
（作用効果）
即ち本発明は、複数の区間に分割された超音波
発生面と、この超音波発生面に対向して超音波反
射面を設け、上記超音波発生面の超音波から超音
波発生面と超音波反射面との間に発生する定在波
により被搬送物体を浮上させ、上記超音波発生面
の各々の区間の超音波の強度を変えることにより
被搬送物体を搬送するので、搬送機構と被搬送物
体とが非接触の為、摩擦による塵の発生が無くな
り、空気の流れによる塵の吹き上げが減少し、被
搬送物体に塵が付着しにくくなる。
発生面と、この超音波発生面に対向して超音波反
射面を設け、上記超音波発生面の超音波から超音
波発生面と超音波反射面との間に発生する定在波
により被搬送物体を浮上させ、上記超音波発生面
の各々の区間の超音波の強度を変えることにより
被搬送物体を搬送するので、搬送機構と被搬送物
体とが非接触の為、摩擦による塵の発生が無くな
り、空気の流れによる塵の吹き上げが減少し、被
搬送物体に塵が付着しにくくなる。
（実施例）
第１図に本発明方法の一実施例を説明するため
の超音波浮上型搬送装置の正面図の略図を示す。
１，２，３，４，５，６は超音波発生器であり、
７は超音波反射器であり、その超音波発生面と超
音波反射面が対向するように、定在波の発生に必
要な間隔を保ち固定されている。一方８は被搬送
物体であり、この例ではウエフアーである。矢印
９は被搬送物体の被搬送方向を示す。ここで、全
ての超音波発生器より、周波数、位相及び振幅の
等しい超音波を発生させると超音波発生面と超音
波反射面の間に定在波が発生し、被搬送物体は定
在波の節の位置に浮上する。この状態で、超音波
発生器４の振幅を小さくすると、被搬送物体に対
する超音波発生器４直上での浮力が減り、被搬送
物体は超音波発生器４に向かつて滑り始める。そ
こで、被搬送物体が落下する前に超音波発生器４
の出力を大きくして被搬送物体を浮上させて元に
戻し、搬送方向に配列されている超音波発生器５
の振幅を小さくし、被搬送物体を滑らせる。この
ようにして、連続的に搬送力を得る事ができる。
の超音波浮上型搬送装置の正面図の略図を示す。
１，２，３，４，５，６は超音波発生器であり、
７は超音波反射器であり、その超音波発生面と超
音波反射面が対向するように、定在波の発生に必
要な間隔を保ち固定されている。一方８は被搬送
物体であり、この例ではウエフアーである。矢印
９は被搬送物体の被搬送方向を示す。ここで、全
ての超音波発生器より、周波数、位相及び振幅の
等しい超音波を発生させると超音波発生面と超音
波反射面の間に定在波が発生し、被搬送物体は定
在波の節の位置に浮上する。この状態で、超音波
発生器４の振幅を小さくすると、被搬送物体に対
する超音波発生器４直上での浮力が減り、被搬送
物体は超音波発生器４に向かつて滑り始める。そ
こで、被搬送物体が落下する前に超音波発生器４
の出力を大きくして被搬送物体を浮上させて元に
戻し、搬送方向に配列されている超音波発生器５
の振幅を小さくし、被搬送物体を滑らせる。この
ようにして、連続的に搬送力を得る事ができる。
しかし、これだけでは被搬送物体が搬送経路よ
り脱落する危険があるので、これを防止する機構
を付加する必要がある。以下、この機構について
説明する。
り脱落する危険があるので、これを防止する機構
を付加する必要がある。以下、この機構について
説明する。
第２図に、第１図の搬送方向に垂直な面から見
た側面図の略図を示す。図において、２１は超音
波発生器であり、２２は超音波反射器であり、超
音波発生面と超音波反射面とが対向しており、こ
の間に定在波を生じる。２３は被搬送物体であ
る。超音波発生器と超音波反射器とは共にそれら
の両側端が上方に曲がつており、従つて定在波面
も同様な曲面となりその節も同様の曲面となる。
この節の両側端の障壁によつて被搬送物体は、そ
の搬送経路から脱落する事なく移動する。
た側面図の略図を示す。図において、２１は超音
波発生器であり、２２は超音波反射器であり、超
音波発生面と超音波反射面とが対向しており、こ
の間に定在波を生じる。２３は被搬送物体であ
る。超音波発生器と超音波反射器とは共にそれら
の両側端が上方に曲がつており、従つて定在波面
も同様な曲面となりその節も同様の曲面となる。
この節の両側端の障壁によつて被搬送物体は、そ
の搬送経路から脱落する事なく移動する。
このように超音波の定在波を用いて搬送を行な
う事により接触部分や空気の流れがなくなり、塵
の発生や吹き上げが減少し被搬送物体に付着しに
くくなる。
う事により接触部分や空気の流れがなくなり、塵
の発生や吹き上げが減少し被搬送物体に付着しに
くくなる。
以上で、本発明に係る超音波浮上型搬送方法に
関する詳細な説明を終るが、本発明の主旨を変え
ることなく定在波発生の為の部材の構成方法や形
状等が変更可能であることは言うまでもない。
関する詳細な説明を終るが、本発明の主旨を変え
ることなく定在波発生の為の部材の構成方法や形
状等が変更可能であることは言うまでもない。
第１図は本発明方法の一実施例を説明するため
の超音波浮上型搬送装置の正面図の略図であり、
第２図は第１図の側面図の略図である。 １，２，３，４，５，６……超音波発生器、７
……超音波反射器、８……被搬送物体。
の超音波浮上型搬送装置の正面図の略図であり、
第２図は第１図の側面図の略図である。 １，２，３，４，５，６……超音波発生器、７
……超音波反射器、８……被搬送物体。
Claims (1)
- １ 搬送方向に配列された複数の超音波発生面
と、この超音波発生面に対向して超音波反射面を
設け、上記超音波発生面からの超音波で超音波発
生面と超音波反射面との間に発生する定在波によ
り被搬送物体を浮上させ、この被搬送物体の搬送
方向先端部に対向する超音波発生面から発生する
超音波の振幅を小さくして被搬送物体を移動さ
せ、落下する前の予め定められた期間に当該超音
波発生面から発生する超音波の振幅を大きくし、
次の搬送方向に配列された超音波発生面から発生
する超音波の振幅を小さくして上記被搬送物体を
移動制御させることを特徴とする超音波浮上型搬
送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2054362A JPH0367817A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 超音波浮上型搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2054362A JPH0367817A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 超音波浮上型搬送方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15308582A Division JPS5943724A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 超音波浮上型搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367817A JPH0367817A (ja) | 1991-03-22 |
| JPH0369812B2 true JPH0369812B2 (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=12968537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2054362A Granted JPH0367817A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 超音波浮上型搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367817A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI562952B (en) * | 2013-11-04 | 2016-12-21 | Corning Prec Materials Co Ltd | Method and apparatus for manufacturing sheet |
| TWI562948B (en) * | 2013-11-04 | 2016-12-21 | Corning Prec Materials Co Ltd | Method and appratus for manufacturing roll |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3552793B2 (ja) * | 1995-06-15 | 2004-08-11 | 株式会社カイジョー | 物体搬送装置 |
| JP6150372B2 (ja) * | 2012-09-10 | 2017-06-21 | 国立大学法人東京工業大学 | 非接触液滴分注装置及び非接触液滴分注方法 |
| KR101975278B1 (ko) * | 2013-10-15 | 2019-05-07 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리 장치 |
| CN107818938B (zh) * | 2016-09-13 | 2021-07-30 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 运送系统及运送加工元件的方法 |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP2054362A patent/JPH0367817A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI562952B (en) * | 2013-11-04 | 2016-12-21 | Corning Prec Materials Co Ltd | Method and apparatus for manufacturing sheet |
| TWI562948B (en) * | 2013-11-04 | 2016-12-21 | Corning Prec Materials Co Ltd | Method and appratus for manufacturing roll |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0367817A (ja) | 1991-03-22 |
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