JPS5943724A - 超音波浮上型搬送装置 - Google Patents

超音波浮上型搬送装置

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JPS5943724A
JPS5943724A JP15308582A JP15308582A JPS5943724A JP S5943724 A JPS5943724 A JP S5943724A JP 15308582 A JP15308582 A JP 15308582A JP 15308582 A JP15308582 A JP 15308582A JP S5943724 A JPS5943724 A JP S5943724A
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JP
Japan
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ultrasonic
supersonic wave
supersonic
stationary
wave
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Application number
JP15308582A
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English (en)
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JPH0250012B2 (ja
Inventor
Teruo Asakawa
輝雄 浅川
Kazunari Imahashi
今橋　一成
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Tokyo Electron Ltd
Original Assignee
Tokyo Electron Ltd
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Publication date
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Publication of JPH0250012B2 publication Critical patent/JPH0250012B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G27/00—Jigging conveyors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Jigging Conveyors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は平板状の物体を水平方向に浮ｔ、　！＃２送す
る装置の構成方法に関する。　本発明は特に半導体の製
造に用いられるウェファ−の搬送装置に関する。
従来、ウェファ−は、ベルトやウオーキングビーム等の
機械的な方法や空気による方法等により搬送されている
が、機械的な方法においては摩擦による塵の発生が、ま
た、空気による方法においては空気の流れによる塵の吹
き上げが、そねぞれ問題となる。　本発明の目的は、超
音波により浮上搬送を行なうことにより、非接触なウェ
ーツアー搬送装置を実現する事にある。
超音波は疎密波であり、通常は空気の疎部と密部とのく
り返しとして進行して行くが、超音波発生面と超音波反
射面とを適当な間隔を保って対向させる事により、前記
二面間に定在波を発生させる事ができ、また、この定在
波の節の部分に物体を浮上させる事ができる事が知られ
ている。　本発明に係る超音波浮」二型搬送装置は、こ
の性質を利用するものである。
第−図に本発明に係る超音波浮上型搬送装置の一例の正
面図の略図を示ず。　　１，２，３，４゜５．６は超音
波発生器であり、７は超音波反射器であり、その超音波
発生面と超音波反射面が対向するように、定在波の発生
に必要な間隔を保ち固定されている。、　一方８は被搬
送物体であり、この例ではウェブｒ　である。　矢印９
は被搬送物体の被搬送方向を示す。、　ここで、全ての
超音波発生器より、周波数、位相及び振幅の等しい超音
波を発生させると超音波発生面と超音波反射面の間に定
在波が発生し、被搬送物体は定在波の節の位置に浮上す
る。　乙の状態で、超音波発生器４の振幅を小さくする
と、被搬送物体に対する超音波発生器４直−１，でのｌ
ツカが減り、被搬送物体ば超音波発生器４に向かって滑
り始める。　そこで、′ｆｌＩ搬送物体が藩士する前に
超音波発生器４の出力を元に戻し、次に超音波発生器５
の振幅を小さくずろ。　乙の４Ｌうにして、連続的に搬
送力を得る事ができる。
しかし、これｔ！けでは被搬送物体が搬送径路よ（３） り脱落する危険があるので、これを防止Ｖる機構を付加
する必要がある。　リ下、この機構について説明する。
第一二図に、本発明に係る超音波浮上型搬送装置の一例
の搬送方向に垂直な面から見た側面図の略図を示す。　
図においＣ１２１は超音波発生器であす、２２は超音波
反射器であり、超音波発生面と超音波反射面とが対向（
、Ｃおり、この間に定在波を生じる。　２３は被搬送物
体である。　超音波発生器と超音波反射器どは共にそれ
らの両側端が１力に曲がっており、従って定在波面も同
様の曲面となりその節も同様の曲面となる。　この節の
６Ｔｉ側端の障壁によって被搬送物体は、その搬送径路
から脱落する事なく移動する。
このように超音波の定在波を用いて搬送を行なう事によ
り接触部分や空気の流わがなくなす、塵の発生や吹き上
げが減少し被搬送物体に付着しにくくなる。
以」−で、本発明に係る超音波浮−ト型搬送装置１ζ関
する詳細な説明を終るが、本発明の主旨を変え（４） ることなく定在波発生の為の部材の構成方法や形状等が
変更＋ｉＪ能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
第一図は本発明に係る超音波浮上型搬送装置の一例の正
面図の略図であり、第二図は本発明に係る超音波浮上型
搬送装置の一例の側面図の略図である。 特許出願人　　東京エレクトロン株式会社（５） ２２３ １ 第２１Σ 手続補ｉＥ書（方式） １．事件の表示　　　　　昭和５７年特許願第１５３０
８５号２、考案の名称　　　　　超音波浮上型搬送装置
３、補正をする者 事件との関係　　　特許出願人 住所（居所）　　　東京都新宿区西新宿１丁目２６番２
号５、補４．Ｆの対象　　　　　願書及び明細書６、補
正の内容　　　　　別紙の通り １４１−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １）　上下に対向した超音波発生面と超音波反射面との
    間に生じる超音波の定在波を用いて平板状の物体を浮上
    搬送することを目的とした超音波浮上型搬送装置。 ２、特許請求の範囲１）に示す装置において、超音波発
    生面を複数の区間に分割し、各々の区間の超音波の強度
    を変えることにより、水平方向の搬送力を得る事を特徴
    とする超音波浮上型搬送装置。 ３）　特許請求の範囲１）に示す装置において、超音波
    発生面と超音波反射面との搬送方向に添つｔ：その両側
    端を少し−Ｌ方に曲げる事により、物体が搬送方向以外
    の方向に脱落する事を防止する事を特徴とする超音波浮
    上型搬装置Ｗ。
JP15308582A 1982-09-02 1982-09-02 超音波浮上型搬送装置 Granted JPS5943724A (ja)

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JPH0250012B2 JPH0250012B2 (ja) 1990-11-01

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