JPH0367817A - 超音波浮上型搬送方法 - Google Patents
超音波浮上型搬送方法Info
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- JPH0367817A JPH0367817A JP2054362A JP5436290A JPH0367817A JP H0367817 A JPH0367817 A JP H0367817A JP 2054362 A JP2054362 A JP 2054362A JP 5436290 A JP5436290 A JP 5436290A JP H0367817 A JPH0367817 A JP H0367817A
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- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 abstract description 10
- 238000010276 construction Methods 0.000 abstract 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の目的〕
（産業上の利用分野）
本発明は平板状の物体を浮上搬送する装置の構成に関し
、特に半導体の製造に用いられるウェファ−を超音波に
より搬送する装置に関する。
、特に半導体の製造に用いられるウェファ−を超音波に
より搬送する装置に関する。
（従来の技術及び発明が解決しようとする課題）従来、
ウェファ−は、ベルトやウオーキングビーム等の機械的
な方法や空気による方法等により搬送されているが、機
械的な方法においては摩擦による塵の発生が、また、空
気による方法においては空気の流れによる塵の吹き上げ
が、それぞれ問題となる。
ウェファ−は、ベルトやウオーキングビーム等の機械的
な方法や空気による方法等により搬送されているが、機
械的な方法においては摩擦による塵の発生が、また、空
気による方法においては空気の流れによる塵の吹き上げ
が、それぞれ問題となる。
超音波は粗密波であり、通常は空気の粗部と密部とのく
り返しとして進行して行くが、超音波発生面と超音波反
射面とを適当な間隔を保って対向させる事により、前記
二面間に定在波を発生させる事ができ、また、この定在
波の節の部分に物体を浮上させる事ができる事が知られ
ている。
り返しとして進行して行くが、超音波発生面と超音波反
射面とを適当な間隔を保って対向させる事により、前記
二面間に定在波を発生させる事ができ、また、この定在
波の節の部分に物体を浮上させる事ができる事が知られ
ている。
本発明の目的は、超音波の性質を利用して浮」二搬送を
行うことにより、非接触な超音波浮上型搬送装置を実現
する事にある。
行うことにより、非接触な超音波浮上型搬送装置を実現
する事にある。
（課題を解決するための手段）
この発明は搬送方向に配列された複数の超音波発生面と
、この超音波発生面に対向して超音波反射面を設け、上
記超音波発生面からの超音波で超音波発生面と超音波反
射面との間に発生する定在波により被搬送物体を浮上さ
せ、この被搬送物体の搬送方向先端部に対向する超音波
発生面から発生する超音波の振幅を小さくして被搬送物
体を移動させ、落下する前の予め定められた期間に当該
超音波発生面から発生する超音波の振幅を大きくし、次
の搬送方向に配列された超音波発生面から発生する超音
波の振幅を小さくして上記被搬送物体を移動制御させる
ことを特徴とする。
、この超音波発生面に対向して超音波反射面を設け、上
記超音波発生面からの超音波で超音波発生面と超音波反
射面との間に発生する定在波により被搬送物体を浮上さ
せ、この被搬送物体の搬送方向先端部に対向する超音波
発生面から発生する超音波の振幅を小さくして被搬送物
体を移動させ、落下する前の予め定められた期間に当該
超音波発生面から発生する超音波の振幅を大きくし、次
の搬送方向に配列された超音波発生面から発生する超音
波の振幅を小さくして上記被搬送物体を移動制御させる
ことを特徴とする。
（作用効果）
即ち本発明は、複数の区間に分割された超音波発生面と
、この超音波発生面に対向して超音波反射面を設け、上
記超音波発生面の超音波から超音波発生面と超音波反射
面との間に発生する定在波により被搬送物体を浮上させ
、上記超音波発生面の各々の区間の超音波の強度を変え
ることにより被搬送物体を搬送するので、搬送機構と被
搬送物体とが非接触の為、摩擦による塵の発生が無くな
り、空気の流れによる塵の吹き上げが減少し、被搬送物
体に塵が付着しにくくなる。
、この超音波発生面に対向して超音波反射面を設け、上
記超音波発生面の超音波から超音波発生面と超音波反射
面との間に発生する定在波により被搬送物体を浮上させ
、上記超音波発生面の各々の区間の超音波の強度を変え
ることにより被搬送物体を搬送するので、搬送機構と被
搬送物体とが非接触の為、摩擦による塵の発生が無くな
り、空気の流れによる塵の吹き上げが減少し、被搬送物
体に塵が付着しにくくなる。
（実施例）
第１図に本発明に係る超音波浮上型搬送装置の一例の正
面図の略図を示す。１，２，３，４．。
面図の略図を示す。１，２，３，４．。
５．６は超音波発生器であり、７は超音波反射器であり
、その超音波発生面と超音波反射面が対向するように、
定在波の発生に必要な間隔を保ち固定されている。一方
８は被搬送物体であり、この例ではウェファ−である。
、その超音波発生面と超音波反射面が対向するように、
定在波の発生に必要な間隔を保ち固定されている。一方
８は被搬送物体であり、この例ではウェファ−である。
矢印９は被搬送物体の被搬送方向を示す。ここで、全て
の超音波発生器より、周波数、位相及び振幅の等しい超
音波を発生させると超音波発生面と超音波反射面の間に
定在波が発生し、被搬送物体は定在波の節の位置に浮上
する。この状態で、超音波発生器４の振幅を小さくする
と、被搬送物体に対する超音波発生器４直上での浮力が
減り、被搬送物体は超音波発生器４に向かって滑り始め
る。そこで、被搬送物体が落下する前に超音波発生器４
の出力を大きくし３− て被搬送物体を浮上させて元に戻し、搬送方向に配列さ
れている超音波発生器５の振幅を小さくし、被搬送物体
を滑らせる。このようにして、連続的に搬送力を得る事
ができる。
の超音波発生器より、周波数、位相及び振幅の等しい超
音波を発生させると超音波発生面と超音波反射面の間に
定在波が発生し、被搬送物体は定在波の節の位置に浮上
する。この状態で、超音波発生器４の振幅を小さくする
と、被搬送物体に対する超音波発生器４直上での浮力が
減り、被搬送物体は超音波発生器４に向かって滑り始め
る。そこで、被搬送物体が落下する前に超音波発生器４
の出力を大きくし３− て被搬送物体を浮上させて元に戻し、搬送方向に配列さ
れている超音波発生器５の振幅を小さくし、被搬送物体
を滑らせる。このようにして、連続的に搬送力を得る事
ができる。
しかし、これだけでは被搬送物体が搬送経路より脱落す
る危険があるので、これを防止する機構を付加する必要
がある。以下、この機構について説明する。
る危険があるので、これを防止する機構を付加する必要
がある。以下、この機構について説明する。
第２図に、本発明に係る超音波浮上型搬送装置の一例の
搬送方向に垂直な面から見た側面図の略図を示す。図に
おいて、２１は超音波発生器であり、２２は超音波反射
器であり、超音波発生面と超音波反射面とが対向してお
り、この間に定在波を生じる。２３は被搬送物体である
。超音波発生器と超音波反射器とは共にそれらの両側端
が上方に曲がっており、従って定在波面も同様な曲面と
なりその節も同様の曲面となる。この節の両側端の障壁
によって被搬送物体は、その搬送経路から脱落する事な
く移動する。
搬送方向に垂直な面から見た側面図の略図を示す。図に
おいて、２１は超音波発生器であり、２２は超音波反射
器であり、超音波発生面と超音波反射面とが対向してお
り、この間に定在波を生じる。２３は被搬送物体である
。超音波発生器と超音波反射器とは共にそれらの両側端
が上方に曲がっており、従って定在波面も同様な曲面と
なりその節も同様の曲面となる。この節の両側端の障壁
によって被搬送物体は、その搬送経路から脱落する事な
く移動する。
このように超音波の定在波を用いて搬送を行な一
う事により接触部分や空気の流れがなくなり、塵の発生
や吹き上げが減少し被搬送物体に付着しにくくなる。
や吹き上げが減少し被搬送物体に付着しにくくなる。
以上で、本発明に係る超音波浮上型搬送装置に関する詳
細な説明を終るが、本発明の主旨を変えることなく定在
波発生の為の部材の構成方法や形状等が変更可能、であ
ることは言うまでもない。
細な説明を終るが、本発明の主旨を変えることなく定在
波発生の為の部材の構成方法や形状等が変更可能、であ
ることは言うまでもない。
第１図は本発明に係る超音波浮上型搬送装置の一例の正
面図の略図であり、第２図は本発明に係る超音波浮上型
搬送装置の一例の側面図の略図である。 工、２，３，４，５．６・・・超音波発生器、７・・・
超音波反射器、 ８・・・被搬送物体。
面図の略図であり、第２図は本発明に係る超音波浮上型
搬送装置の一例の側面図の略図である。 工、２，３，４，５．６・・・超音波発生器、７・・・
超音波反射器、 ８・・・被搬送物体。
Claims (1)
- 搬送方向に配列された複数の超音波発生面と、この超音
波発生面に対向して超音波反射面を設け、上記超音波発
生面からの超音波で超音波発生面と超音波反射面との間
に発生する定在波により被搬送物体を浮上させ、この被
搬送物体の搬送方向先端部に対向する超音波発生面から
発生する超音波の振幅を小さくして被搬送物体を移動さ
せ、落下する前の予め定められた期間に当該超音波発生
面から発生する超音波の振幅を大きくし、次の搬送方向
に配列された超音波発生面から発生する超音波の振幅を
小さくして上記被搬送物体を移動制御させることを特徴
とする超音波浮上型搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2054362A JPH0367817A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 超音波浮上型搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2054362A JPH0367817A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 超音波浮上型搬送方法 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15308582A Division JPS5943724A (ja) | 1982-09-02 | 1982-09-02 | 超音波浮上型搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367817A true JPH0367817A (ja) | 1991-03-22 |
| JPH0369812B2 JPH0369812B2 (ja) | 1991-11-05 |
Family
ID=12968537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2054362A Granted JPH0367817A (ja) | 1990-03-06 | 1990-03-06 | 超音波浮上型搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367817A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH098097A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Kaijo Corp | 物体浮揚装置及びこれを具備した物体搬送装置 |
| JP2014052332A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Tokyo Institute Of Technology | 非接触液滴分注装置及び非接触液滴分注方法 |
| KR20150043667A (ko) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리 장치 |
| CN107818938A (zh) * | 2016-09-13 | 2018-03-20 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 运送系统及运送加工元件的方法 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101515806B1 (ko) * | 2013-11-04 | 2015-05-04 | 코닝정밀소재 주식회사 | 시트 제조방법 및 제조장치 |
| KR101515807B1 (ko) * | 2013-11-04 | 2015-05-07 | 코닝정밀소재 주식회사 | 롤 제조방법 및 제조장치 |
-
1990
- 1990-03-06 JP JP2054362A patent/JPH0367817A/ja active Granted
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH098097A (ja) * | 1995-06-15 | 1997-01-10 | Kaijo Corp | 物体浮揚装置及びこれを具備した物体搬送装置 |
| JP2014052332A (ja) * | 2012-09-10 | 2014-03-20 | Tokyo Institute Of Technology | 非接触液滴分注装置及び非接触液滴分注方法 |
| KR20150043667A (ko) * | 2013-10-15 | 2015-04-23 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리 장치 |
| CN107818938A (zh) * | 2016-09-13 | 2018-03-20 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 运送系统及运送加工元件的方法 |
| CN107818938B (zh) * | 2016-09-13 | 2021-07-30 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 运送系统及运送加工元件的方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0369812B2 (ja) | 1991-11-05 |
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