JPH0361997B2 - - Google Patents

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Publication number
JPH0361997B2
JPH0361997B2 JP60218303A JP21830385A JPH0361997B2 JP H0361997 B2 JPH0361997 B2 JP H0361997B2 JP 60218303 A JP60218303 A JP 60218303A JP 21830385 A JP21830385 A JP 21830385A JP H0361997 B2 JPH0361997 B2 JP H0361997B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
floating plate
socket
bump
main body
mounting section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP60218303A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6276273A (ja
Inventor
Minoru Seimon
Kazuyoshi Odaka
Ryoji Maruyama
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
Nippon Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Electric Co Ltd filed Critical Nippon Electric Co Ltd
Priority to JP60218303A priority Critical patent/JPS6276273A/ja
Publication of JPS6276273A publication Critical patent/JPS6276273A/ja
Publication of JPH0361997B2 publication Critical patent/JPH0361997B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はICの製造過程で実施するバーン・イ
ン・テストの試験装置のICソケツトに関する。
〔従来の技術とその問題点〕
従来ICは各種のタイプのものが製造されてお
り、それぞれのタイプに適合したバーン・イン・
テスト用のICソケツトが実用されている。
しかし本願が対象としている一つの面に高密度
に多数のバンプを設けたICのバーン・イン・テ
スト用のICソケツトは未だ実用されていない。
〔問題点を解決するための手段〕
本発明は上述の問題点を解決し前記多数のバン
プを設けたICのバーン・イン・テスト用のICソ
ケツトを提供するもので、複数のスプリングプロ
ーブを設けた本体と、この本体上に上下動可能に
取付けられかつ上方へ弾圧されているフローテイ
ングプレートと、このフローテイングプレート上
に検査されるべきICを挟んで載置されるカバー
板とを備えたICソケツトにおいて、フローテイ
ングプレート上面に形成されたIC載置区画の複
数の隅部にそれぞれ少なくとも1つの前期ICの
バンプが嵌入すべき位置決め用凹部を穿設したも
のである。
もしくは上記IC載置区画内の周辺及び各隅部
のうち少なくともその一方はIC載置区画内の他
の部分より高くした凸部を形成し、この凸部の複
数個所にそれぞれ少なくとも1つの前記ICのバ
ンプが嵌入すべき位置決め用凹部を穿設したもの
である。
〔作用〕
上述のようにICをフローテイングプレートの
IC載置区画内に載置すれば大まかな位置決めは
出来るが、前記のように高密度に多数とバンプが
設けられているICでは更に精密な位置決めが必
要である。本願ではICを載置区画内に挿入すれ
ば、各バンプは一定規格で配列されているので、
複数の隅部にのみ設けたバンプの嵌入用凹部によ
り、全部のバンプの位置を正確に決めることが出
来る。
〔実施例〕
第1図は本発明のICソケツトの縦断面図で、
第2図はフローテイングプレートが上昇した状態
の一部分の拡大断面図である。
本体1には複数のスプリングプローブ2を所定
の位置に本体を貫通して垂直に植設してある。こ
のスプリングプローブ2の植設部分の上側には4
本のガイドピン3で水平方向が保持され、上下方
向には摺動可能なフローテイングプレート4が設
けられており、スプリング5で常時はガイドピン
3の上端のストツパ3aに弾圧されている。な
お、フローテイングプレート4には前記スプリン
グプローブ2に対応する位置に透孔4dがあけら
れており、プローブ先端が透孔内に遊嵌されてい
る。またフローテイングプレート4の上面にはこ
こに載置されるIC6の外形に合つた形状の凹部
4aが設けられている。この凹部4aの底部は第
3図示のように4隅もしくは周辺部全部にわたつ
て他の底部より高くした凸部4cを設け、この凸
部4cの上面の複数個所にそれぞれここに載置さ
れるIC6のバンプ6aが嵌入される位置決め用
凹部4bを少なくとも1つずつ穿設してある。
なお、前記凸部4cは設けずに直接底部の複数
個所に前記と同様に位置決め用凹部4bを設けて
も良い。
ここに載置されたIC6の上側にはこのIC6の
上面に密着する下面を有するカバー板7を置き、
押え部材8でIC6をカバー板7とフローテイン
グプレート4との間に挟持してフローテイングプ
レート4を本体1の方向に押圧する。
なお第2図示のようにIC6には接続端子とし
てバンプ6aが設けられており、フローテイング
プレート4の透孔4dの位置とバンプ6aの位置
が前記位置決め用凹部4bとここに嵌入されたバ
ンプ6aとで規制されて一致するので、各バンプ
6aは対応したスプリングプローブ2の先端と接
触する。このときスプリングプローブ2の先端は
内蔵のバネにより押し込まれた先端とバンプ6a
とが一定の押圧力で接触するようになつている。
〔発明の効果〕
上述のように本発明によればICをフローテイ
ングプレート上面の凹部に挿入するだけで位置の
粗調が出来、さらにIC底部にまで挿入すればIC
のバンプ自身が位置の精密調整を行うので、前記
のような高密度に多数のバンプを設けたICも容
易に位置決めが出来る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のICソケツトの縦断面図、第
2図はフローテイングプレートが上昇した状態の
一部分の拡大断面図、第3図はフローテイングプ
レートとICの一部断面の斜視図である。 1……本体、2……スプリングプローブ、3…
…ガイドピン、4……フローテイングプレート、
4b……位置決め用凹部、4c……凸部、6……
IC、6a……バンプ、7……カバー板、8……
押え部材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 複数のスプリングプローブを設けた本体と、
    この本体上に上下動可能に取付けられかつ上方へ
    弾圧されているフローテイングプレートと、この
    フローテイングプレート上に検査されるべきIC
    を挟んで載置されるカバー板とを備えたICソケ
    ツトにおいて、 フローテイングプレート上面に形成されたIC
    載置区画の複数の隅部にそれぞれ少なくとも1つ
    の前記ICのバンプが嵌入すべき位置決め用凹部
    を穿設したことを特徴とするICソケツト。 2 複数のスプリングプローブを設けた本体と、
    この本体上に上下動可能に取付けられかつ上方へ
    弾圧されているフローテイングプレートと、この
    フローテイングプレート上に検査されるべきIC
    を挟んで載置されるカバー板とを備えたICソケ
    ツトにおいて、 フローテイングプレート上面に形成されたIC
    載置区画内の周辺部及び各隅部のうち少なくとも
    その一方はIC載置区画内の他の部分より高くし
    た凸部を形成し、この凸部の複数個所にそれぞれ
    少なくとも1つの前記ICのバンプが嵌入すべき
    位置決め用凹部を穿設したことを特徴とするIC
    ソケツト。
JP60218303A 1985-09-30 1985-09-30 Icソケツト Granted JPS6276273A (ja)

Priority Applications (1)

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JP60218303A JPS6276273A (ja) 1985-09-30 1985-09-30 Icソケツト

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JP60218303A JPS6276273A (ja) 1985-09-30 1985-09-30 Icソケツト

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6276273A JPS6276273A (ja) 1987-04-08
JPH0361997B2 true JPH0361997B2 (ja) 1991-09-24

Family

ID=16717723

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP60218303A Granted JPS6276273A (ja) 1985-09-30 1985-09-30 Icソケツト

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JPS6276273A (ja) 1987-04-08

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