CN213122046U - 一种具有防脱结构的垂直探针卡 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有防脱结构的垂直探针卡，包括垂直探针卡、第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板和第四支撑板，所述第二支撑板的数量设置有两个，两个所述第二支撑板与第一支撑板底部固定连接，两个所述第二支撑板外壁之间固定连接有第三支撑板，所述第三支撑板底部设置有第四支撑板，所述第四支撑板与两个所述第二支撑板外壁固定连接，所述第一支撑板表面开设有若干矩形阵列分布的第一插孔，所述第四支撑板表面开设有若干矩形阵列分布的第二插孔。本实用新型通过将探针针身插接在第二插孔内部，并将其顶端上针体插入第一插孔内，上针体外壁的下凸块和上凸块依次与第三支撑板外壁相扣合，从而固定探针针身的位置。

Description

一种具有防脱结构的垂直探针卡

技术领域

本实用新型涉及垂直探针卡领域，具体涉及一种具有防脱结构的垂直探针卡。

背景技术

通常，探针卡是与被测器件的多个接触垫上进行测试的测试设备相应通道进行电性连接的有效工具，对被测器件的测试是指探测筛选出生产阶段出现不良或有缺陷的元件。因此，探针卡通常用于半导体、晶圆片的切割及芯片封装前，通过接触集成于晶圆片上的电子元件来进行电性测试。

普通垂直探针卡由于反复接触被测器件，其探针受到冲击并不断累积，为了衰减对探针的冲击，可以使探针本身具有弹性或探针上加弹性体，如弹簧等。若探针本身具有一定弹性，当被测器件上升，垂直穿设于上下板之间的探针受到自下而上的压力时，因其本身的弹性作用，探针将弯曲一定形状，从而抵消部分冲击，然而对于这种情况，在探针变形过程中，探针侧面与穿设探针的上下板通孔碰撞而使探针或通孔受损，若通孔内壁因探针变形而受损，在受损通孔内上下移动的探针的移动轨迹将发生变化，可能导致探针接触被测器件的位置不够准确，甚至在被测器件表面留下刮痕，即使探针受到冲击，也要使探针尽可能固定在上下板的通孔，同时有必要固定探针，这样即使移动或翻转探针卡，插入通孔内的探针也不易脱落。

因此，发明一种具有防脱结构的垂直探针卡来解决上述问题很有必要。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种具有防脱结构的垂直探针卡，通过将探针针身插接在第二插孔内部，并将其顶端上针体插入第一插孔内，上针体外壁的下凸块和上凸块依次与第三支撑板外壁相扣合，从而固定探针针身的位置，多个探针针身均匀分布在第三支撑板和第四支撑板之间，使探针针身具有弹性支撑结构，当在被测器件上施加所需压力时，力传递到插入支撑部，在探针针身配合下，针身倾斜部和底端接触部的收缩支撑作用提供均匀的弹性，该均匀弹性通过下针体与被测器件均匀接触，防止探针偏离，使摩擦发生方向保持稳定，被测器件的压力在针身倾斜部弹性收缩过程中，随着垂直上升，自身形状角度变形后，起到局部控制多个探针针身垂直上升范围的作用，以解决技术中的上述不足之处。

为了实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有防脱结构的垂直探针卡，包括垂直探针卡、第一支撑板、第二支撑板、第三支撑板和第四支撑板，所述第二支撑板的数量设置有两个，两个所述第二支撑板与第一支撑板底部固定连接，两个所述第二支撑板外壁之间固定连接有第三支撑板，所述第三支撑板底部设置有第四支撑板，所述第四支撑板与两个所述第二支撑板外壁固定连接，所述第一支撑板表面开设有若干矩形阵列分布的第一插孔，所述第四支撑板表面开设有若干矩形阵列分布的第二插孔，所述第一插孔与第二插孔之间设置有探针针身，所述垂直探针卡内部开设有活动槽，所述活动槽与探针针身相匹配，所述探针针身顶部固定连接有上针体，所述上针体由下凸块、卡槽和上凸块组成，所述探针针身底部固定连接有下针体，所述下针体底部设置有被测器件。

优选的，所述探针针身由针身倾斜部、底端接触部和插入支撑部组成，所述针身倾斜部、底端接触部和插入支撑部依次固定连接。

优选的，所述底端接触部位于探针针身的底端，所述底端接触部呈针状，所述底端接触部穿过第四支撑板内部的第二插孔向下延伸与被测器件电性连接，所述探针针身顶端设置有插入支撑部，所述插入支撑部与底端接触部之间设置有针身倾斜部。

优选的，所述下针体与第二插孔活动套接，所述下针体外壁与上针体外壁相同。

优选的，所述第一插孔与上针体活动套接，所述上针体和下针体外壁一侧底端均固定连接有下凸块，两个所述下凸块与均第三支撑板扣合连接，所述上针体和下针体外壁中轴线处均开设有卡槽，所述上针体和下针体外壁一侧顶端均固定连接有上凸块，两个所述上凸块均与第三支撑板扣合连接。

优选的，所述上针体顶部设置有接触垫，所述接触垫与第一支撑板下表面相匹配。

优选的，所述被测器件底部固定连接有工作台，所述工作台与被测器件下表面相匹配。

在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

通过将探针针身插接在第二插孔内部，并将其顶端上针体插入第一插孔内，上针体外壁的下凸块和上凸块依次与第三支撑板外壁相扣合，从而固定探针针身的位置，多个探针针身均匀分布在第三支撑板和第四支撑板之间，使探针针身具有弹性支撑结构，当在被测器件上施加所需压力时，力传递到插入支撑部，在探针针身配合下，针身倾斜部和底端接触部的收缩支撑作用提供均匀的弹性，该均匀弹性通过下针体与被测器件均匀接触，防止探针偏离，使摩擦发生方向保持稳定，被测器件的压力在针身倾斜部弹性收缩过程中，随着垂直上升，自身形状角度变形后，起到局部控制多个探针针身垂直上升范围的作用，与现有技术相比，本装置使探针尽可能固定在上下板的通孔，同时有必要固定探针，移动或翻转探针卡，插入通孔内的探针也不易脱落。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的垂直探针卡整体结构示意图。

图2是本实用新型中具有防脱结构的垂直探针卡装在测试设备上的结构图。

图3是本实用新型图2中垂直探针卡的探针被固定前的状态示意图。

图4是本实用新型图2中垂直探针卡的探针被固定且与被测器件接触的状态示意图。

图5是本实用新型对本发明提供的垂直探针卡的探针局部结构进行剖切放大的斜视图。

附图标记说明

1、第一支撑板；2、第二支撑板；3、第三支撑板；4、第一插孔；5、上针体；51、下凸块；52、卡槽；53、上凸块；6、接触垫；7、探针针身；71、针身倾斜部；72、底端接触部；73、插入支撑部；8、活动槽；9、第四支撑板；10、第二插孔；11、下针体；12、被测器件；13、工作台。

具体实施方式

为了使本领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面将结合附图对本实用新型作进一步的详细介绍。

本实用新型提供了如图1-5所示的一种具有防脱结构的垂直探针卡，包括垂直探针卡、第一支撑板1、第二支撑板2、第三支撑板3和第四支撑板9，所述第二支撑板2的数量设置有两个，两个所述第二支撑板2与第一支撑板1底部固定连接，两个所述第二支撑板2外壁之间固定连接有第三支撑板3，所述第三支撑板3底部设置有第四支撑板9，所述第四支撑板9与两个所述第二支撑板2外壁固定连接，所述第一支撑板1表面开设有若干矩形阵列分布的第一插孔4，所述第四支撑板9表面开设有若干矩形阵列分布的第二插孔10，所述第一插孔4与第二插孔10之间设置有探针针身7，所述垂直探针卡内部开设有活动槽8，所述活动槽8与探针针身7相匹配，所述探针针身7顶部固定连接有上针体5，所述上针体5由下凸块51、卡槽52和上凸块53组成，所述探针针身7底部固定连接有下针体11，所述下针体11底部设置有被测器件12。

进一步的，在上述技术方案中，所述探针针身7由针身倾斜部71、底端接触部72和插入支撑部73组成，所述针身倾斜部71、底端接触部72和插入支撑部73依次固定连接。

进一步的，在上述技术方案中，所述底端接触部72位于探针针身7的底端，所述底端接触部72呈针状，所述底端接触部72穿过第四支撑板9内部的第二插孔10向下延伸与被测器件12电性连接，所述探针针身7顶端设置有插入支撑部73，所述插入支撑部73与底端接触部72之间设置有针身倾斜部71。

进一步的，在上述技术方案中，所述下针体11与第二插孔10活动套接，所述下针体11外壁与上针体5外壁相同。

进一步的，在上述技术方案中，所述第一插孔4与上针体5活动套接，所述上针体5和下针体11外壁一侧底端均固定连接有下凸块51，两个所述下凸块51与均第三支撑板3扣合连接，所述上针体5和下针体11外壁中轴线处均开设有卡槽52，所述上针体5和下针体11外壁一侧顶端均固定连接有上凸块53，两个所述上凸块53均与第三支撑板3扣合连接。

进一步的，在上述技术方案中，所述上针体5顶部设置有接触垫6，所述接触垫6与第一支撑板1下表面相匹配。

进一步的，在上述技术方案中，所述被测器件12底部固定连接有工作台13，所述工作台13与被测器件12下表面相匹配。

实施方式具体为：本装置在实际使用时，通过将探针针身7插接在第二插孔10内部，并将其顶端上针体5插入第一插孔4内，上针体5外壁的下凸块51和上凸块53依次与第三支撑板3外壁相扣合，从而固定探针针身7的位置，多个探针针身7均匀分布在第三支撑板3和第四支撑板9之间，使探针针身7具有弹性支撑结构，当在被测器件12上施加所需压力时，力传递到插入支撑部73，在探针针身7配合下，针身倾斜部71和底端接触部72的收缩支撑作用提供均匀的弹性，该均匀弹性通过下针体11与被测器件12均匀接触，防止探针偏离，使摩擦发生方向保持稳定，被测器件12的压力在针身倾斜部71弹性收缩过程中，随着垂直上升，自身形状角度变形后，起到局部控制多个探针针身7垂直上升范围的作用，与现有技术相比，本装置使探针尽可能固定在上下板的通孔，同时有必要固定探针，移动或翻转探针卡，插入通孔内的探针也不易脱落。

本实用工作原理：

参照说明书附图1-5，本装置在使用时，首先将探针针身7插接在第二插孔10内部，并将其顶端上针体5插入第一插孔4内，上针体5外壁的下凸块51和上凸块53依次与第三支撑板3外壁相扣合，从而固定探针针身7的位置，多个探针针身7均匀分布在第三支撑板3和第四支撑板9之间，使探针针身7具有弹性支撑结构，当在被测器件12上施加所需压力时，力传递到插入支撑部73，在探针针身7配合下，针身倾斜部71和底端接触部72的收缩支撑作用提供均匀的弹性，该均匀弹性通过下针体11与被测器件12均匀接触，防止探针偏离，使摩擦发生方向保持稳定，被测器件12的压力在针身倾斜部71弹性收缩过程中，随着垂直上升，自身形状角度变形后，起到局部控制多个探针针身7垂直上升范围的作用。

以上只通过说明的方式描述了本实用新型的某些示范性实施例，毋庸置疑，对于本领域的普通技术人员，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下，可以用各种不同的方式对所描述的实施例进行修正。因此，上述附图和描述在本质上是说明性的，不应理解为对本实用新型权利要求保护范围的限制。

Claims (7)

1.一种具有防脱结构的垂直探针卡，包括垂直探针卡、第一支撑板（1）、第二支撑板（2）、第三支撑板（3）和第四支撑板（9），其特征在于：所述第二支撑板（2）的数量设置有两个，两个所述第二支撑板（2）与第一支撑板（1）底部固定连接，两个所述第二支撑板（2）外壁之间固定连接有第三支撑板（3），所述第三支撑板（3）底部设置有第四支撑板（9），所述第四支撑板（9）与两个所述第二支撑板（2）外壁固定连接，所述第一支撑板（1）表面开设有若干矩形阵列分布的第一插孔（4），所述第四支撑板（9）表面开设有若干矩形阵列分布的第二插孔（10），所述第一插孔（4）与第二插孔（10）之间设置有探针针身（7），所述垂直探针卡内部开设有活动槽（8），所述活动槽（8）与探针针身（7）相匹配，所述探针针身（7）顶部固定连接有上针体（5），所述上针体（5）由下凸块（51）、卡槽（52）和上凸块（53）组成，所述探针针身（7）底部固定连接有下针体（11），所述下针体（11）底部设置有被测器件（12）。

2.根据权利要求1所述的一种具有防脱结构的垂直探针卡，其特征在于：所述探针针身（7）由针身倾斜部（71）、底端接触部（72）和插入支撑部（73）组成，所述针身倾斜部（71）、底端接触部（72）和插入支撑部（73）依次固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种具有防脱结构的垂直探针卡，其特征在于：所述底端接触部（72）位于探针针身（7）的底端，所述底端接触部（72）呈针状，所述底端接触部（72）穿过第四支撑板（9）内部的第二插孔（10）向下延伸与被测器件（12）电性连接，所述探针针身（7）顶端设置有插入支撑部（73），所述插入支撑部（73）与底端接触部（72）之间设置有针身倾斜部（71）。

4.根据权利要求1所述的一种具有防脱结构的垂直探针卡，其特征在于：所述下针体（11）与第二插孔（10）活动套接，所述下针体（11）外壁与上针体（5）外壁相同。

5.根据权利要求1所述的一种具有防脱结构的垂直探针卡，其特征在于：所述第一插孔（4）与上针体（5）活动套接，所述上针体（5）和下针体（11）外壁一侧底端均固定连接有下凸块（51），两个所述下凸块（51）与均第三支撑板（3）扣合连接，所述上针体（5）和下针体（11）外壁中轴线处均开设有卡槽（52），所述上针体（5）和下针体（11）外壁一侧顶端均固定连接有上凸块（53），两个所述上凸块（53）均与第三支撑板（3）扣合连接。

6.根据权利要求1所述的一种具有防脱结构的垂直探针卡，其特征在于：所述上针体（5）顶部设置有接触垫（6），所述接触垫（6）与第一支撑板（1）下表面相匹配。

7.根据权利要求1所述的一种具有防脱结构的垂直探针卡，其特征在于：所述被测器件（12）底部固定连接有工作台（13），所述工作台（13）与被测器件（12）下表面相匹配。

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