JPH0361625B2 - - Google Patents
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- JPH0361625B2 JPH0361625B2 JP62013815A JP1381587A JPH0361625B2 JP H0361625 B2 JPH0361625 B2 JP H0361625B2 JP 62013815 A JP62013815 A JP 62013815A JP 1381587 A JP1381587 A JP 1381587A JP H0361625 B2 JPH0361625 B2 JP H0361625B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
-
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- C04B35/64—Burning or sintering processes
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- Ceramic Engineering (AREA)
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- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Description
[産業上の利用分野]
本発明は、変質、変色等が生ぜず、曲げ強度等
が高い均質窒化珪素焼結体の製造方法に関する。 [従来の技術] 窒化珪素(Si3N4)焼結体は、耐熱性、耐熱衝
撃性、耐食性、高温強度に優れているため、ガス
タービンエンジン、デイーゼルエンジン等の高温
構造材料、耐摩耗材料等に利用されている。この
窒化珪素焼結体は、焼成時に生じる窒化珪素の分
解や焼結助剤の揮散により、焼結体の内部と表面
で焼結体特性に大きな差が生じ易く、この焼結体
特性の不均質化を抑制するため、匣(さや)中で
の焼成が行われている。 従来、このような窒化珪素焼成用の匣として
は、炭素製の匣、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭
素製匣(特開昭60−210575号公報)、炭素製匣の
炭素との反応により形成された炭化珪素で内面を
被覆された匣(特公昭61−3304号公報)、窒化珪
素の内匣と耐火物の外匣からなる匣(特公昭49−
40123号公報)、あるいは黒鉛及び炭化珪素を主原
料とする匣(特公昭33−4075号公報)が知られて
いる。 [発明が解決しようとする問題点] しかしながら、炭素製の匣にあつては、窒化珪
素焼成面における蒸発が大で、さらに表面にSiC
が生成し易いため、焼成面の強度が小さいという
欠点がある。 また、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭素製匣に
おいては、炭素と炭化珪素両層間でで剥離し易
く、匣の耐久性が小さい。 次に、炭素製匣の炭素との反応により形成され
た炭化珪素で内面を被覆された匣にあつては、表
面炭化珪素層がポーラスであるため、炭化珪素層
の被覆の効果がほとんどなく、前記炭素製匣と同
様に窒化珪素の焼成面での蒸発が大であり焼成面
での強度が小さい。また、焼結体の表面層に縞、
斑点等の変色、変質が生成し易い。 一方、窒化珪素の内匣と耐火物の外匣からなる
匣にあつては、焼成時に軟化し易いため、大重量
あるいは多量の成形体の焼成が出来ず、しかも表
面が分解し易く耐久性が小さい。また、焼結体の
表面層に縞、斑点等の変色、変質が生成し易い。 更に、黒点及び炭化珪素を主原料とする匣にあ
つては、全体が低密度でポーラスであり、窒化珪
素の焼成面での蒸発が大であり焼成面での強度が
小さい。また、焼結体の表面層に縞、斑点等の変
色、変質が生成し易い。 以上のとおり、従来の匣にあつては、その気密
性、耐久性等に問題があり、これらの匣を用いて
得られた窒化珪素焼結体は、表面層の変質、変色
が生じ、十分な特性のものが得られない。 [問題点を解決するための手段] 従つて、本発明は上記従来の方法における問題
点を解決した、窒化珪素焼結体の変質、変色が生
ぜず、十分な強度等の特性を有する均質な窒化珪
素焼結体の製造方法を提供することを目的とする
もので、この目的は、本発明によれば、窒化珪素
粉末と焼結助剤からなる成形体を、嵩比重3.0以
上、見掛気孔率1%以下の高密度炭化珪素製匣の
中に設置し、ほぼ常圧下において、1500〜1800℃
で焼成することを特徴とする均質窒化珪素焼結体
の製造方法、によつて達成される。 本発明における均質窒化珪素焼結体の製造方法
は、所定の物性を有する高密度炭化珪素製匣の中
に成形体を置き、所定の条件にて該成形体を焼成
するものである。 本発明に用いる高密度炭化珪素製匣は、その嵩
比重が3.0以上であることが必要である。嵩比重
が3.0より小さい場合には、耐久性が乏しく多量
の成形体の焼成ができない。 また、高密度炭化珪素製匣の見掛気孔率は、1
%以下であることが要求される。見掛気孔率が1
%を超えると、窒化珪素の焼成面での蒸発が大き
くなつて焼結体の焼成面の強度が小さくなるとと
もに、得られる焼結体の表面層に縞、斑点等の変
色、変質が生成し易くなる。 次に、焼成に際しては、ほぼ常圧下、通常、ゲ
ージ圧で0〜0.5Kg/cm2の範囲にて行う。 焼成の温度条件としては、1500〜1800℃の範囲
であることが要求される。焼成温度が1500℃より
低い場合には、窒化珪素は緻密化せず、一方、
1800℃を超えると、分解、蒸発を生じ、十分な特
性のものが得られない。 なお、本発明においては、ゲージ圧で10Kg/cm2
までの加圧下で行つてもよく、その場合、焼成温
度は1500〜2000℃が好ましい。 また、本発明に用いる高密度炭化珪素製匣は、
その肉厚が5〜30mmであることが好ましい。肉厚
が5mmより小さい場合には、荷重による匣の変形
が生じ易く、又、30mmを超えると熱伝導率が悪
く、又、容積を大きく取れず、さらに重量が重く
作業性が悪くなる可能性がある。 なお、本発明において用いる成形体は、窒化珪
素粉末と焼結助剤からなるものであるが、勿論潤
滑剤、結合剤等の成形助剤を含んだり、成形後脱
脂した成形体を用いてもよいものである。 [実施例] 以下、本発明を実施例に基づき、さらに詳細に
説明するが、本発明がこれら実施例に限定されな
いことは明らかであろう。 実施例1及び比較例1 平均粒子径0.7μmのα型窒化珪素粉末に、3重
量%(以下、%は全て重量%を示す。)の酸化セ
リウム、5%の酸化マグネシウム、22%の酸化ス
トロンチウムの混合粉末100重量部に対し、水60
重量部を添加し、粉砕機により7時間混合粉砕を
行つた。 この粉砕物に、ポリビニルアルコール1重量部
を添加し、噴霧乾燥を行つた。得られた乾燥物を
金型を用い、35mm(φ)×20mmの円板、及び60mm
×60mm×10mmの角板に成形後、2500Kg/cm2の圧力
で冷間静水圧プレスを行つた。 焼成用の匣として、外径100mm、内径80mm、高
さ80mmの円筒及び外径100mm、厚さ10mmの底板と
蓋からなり、全体が、嵩比重3.05、見掛気孔率
0.3%の高密度炭化珪素製匣(実施例1)と、従
来公知の方法に従い炭素製の蓋及び円筒からなる
匣の中へ窒化珪素を入れ、これを高温にして発生
するシリコン蒸気と炭素を匣内面で反応させ炭化
珪素を表面に生成させた匣(比較例1)を使用し
た。なお、比較例1の匣表面の炭化珪素の嵩比重
は2.8、見掛気孔率は10%であつた。 これらの2種類の匣内に、上述の窒化珪素の円
板および角板を設置し、常圧の窒素雰囲気中にお
いて1750℃、1.5時間焼成を行つた。 60mm×60mm×10mmの焼結体を、片面に焼成面を
含む場合と、両面とも加工した場合とに分け、3
mm×4mm×40mmの試料を切り出し、焼成面、加工
面をそれぞれ引張面となるように両者の4点曲げ
強度と嵩比重を測定、および36mm(φ)×20mmの
円板試料の切断面と焼成表面の外観を観察した。
その結果を第1表に示す。
が高い均質窒化珪素焼結体の製造方法に関する。 [従来の技術] 窒化珪素(Si3N4)焼結体は、耐熱性、耐熱衝
撃性、耐食性、高温強度に優れているため、ガス
タービンエンジン、デイーゼルエンジン等の高温
構造材料、耐摩耗材料等に利用されている。この
窒化珪素焼結体は、焼成時に生じる窒化珪素の分
解や焼結助剤の揮散により、焼結体の内部と表面
で焼結体特性に大きな差が生じ易く、この焼結体
特性の不均質化を抑制するため、匣(さや)中で
の焼成が行われている。 従来、このような窒化珪素焼成用の匣として
は、炭素製の匣、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭
素製匣(特開昭60−210575号公報)、炭素製匣の
炭素との反応により形成された炭化珪素で内面を
被覆された匣(特公昭61−3304号公報)、窒化珪
素の内匣と耐火物の外匣からなる匣(特公昭49−
40123号公報)、あるいは黒鉛及び炭化珪素を主原
料とする匣(特公昭33−4075号公報)が知られて
いる。 [発明が解決しようとする問題点] しかしながら、炭素製の匣にあつては、窒化珪
素焼成面における蒸発が大で、さらに表面にSiC
が生成し易いため、焼成面の強度が小さいという
欠点がある。 また、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭素製匣に
おいては、炭素と炭化珪素両層間でで剥離し易
く、匣の耐久性が小さい。 次に、炭素製匣の炭素との反応により形成され
た炭化珪素で内面を被覆された匣にあつては、表
面炭化珪素層がポーラスであるため、炭化珪素層
の被覆の効果がほとんどなく、前記炭素製匣と同
様に窒化珪素の焼成面での蒸発が大であり焼成面
での強度が小さい。また、焼結体の表面層に縞、
斑点等の変色、変質が生成し易い。 一方、窒化珪素の内匣と耐火物の外匣からなる
匣にあつては、焼成時に軟化し易いため、大重量
あるいは多量の成形体の焼成が出来ず、しかも表
面が分解し易く耐久性が小さい。また、焼結体の
表面層に縞、斑点等の変色、変質が生成し易い。 更に、黒点及び炭化珪素を主原料とする匣にあ
つては、全体が低密度でポーラスであり、窒化珪
素の焼成面での蒸発が大であり焼成面での強度が
小さい。また、焼結体の表面層に縞、斑点等の変
色、変質が生成し易い。 以上のとおり、従来の匣にあつては、その気密
性、耐久性等に問題があり、これらの匣を用いて
得られた窒化珪素焼結体は、表面層の変質、変色
が生じ、十分な特性のものが得られない。 [問題点を解決するための手段] 従つて、本発明は上記従来の方法における問題
点を解決した、窒化珪素焼結体の変質、変色が生
ぜず、十分な強度等の特性を有する均質な窒化珪
素焼結体の製造方法を提供することを目的とする
もので、この目的は、本発明によれば、窒化珪素
粉末と焼結助剤からなる成形体を、嵩比重3.0以
上、見掛気孔率1%以下の高密度炭化珪素製匣の
中に設置し、ほぼ常圧下において、1500〜1800℃
で焼成することを特徴とする均質窒化珪素焼結体
の製造方法、によつて達成される。 本発明における均質窒化珪素焼結体の製造方法
は、所定の物性を有する高密度炭化珪素製匣の中
に成形体を置き、所定の条件にて該成形体を焼成
するものである。 本発明に用いる高密度炭化珪素製匣は、その嵩
比重が3.0以上であることが必要である。嵩比重
が3.0より小さい場合には、耐久性が乏しく多量
の成形体の焼成ができない。 また、高密度炭化珪素製匣の見掛気孔率は、1
%以下であることが要求される。見掛気孔率が1
%を超えると、窒化珪素の焼成面での蒸発が大き
くなつて焼結体の焼成面の強度が小さくなるとと
もに、得られる焼結体の表面層に縞、斑点等の変
色、変質が生成し易くなる。 次に、焼成に際しては、ほぼ常圧下、通常、ゲ
ージ圧で0〜0.5Kg/cm2の範囲にて行う。 焼成の温度条件としては、1500〜1800℃の範囲
であることが要求される。焼成温度が1500℃より
低い場合には、窒化珪素は緻密化せず、一方、
1800℃を超えると、分解、蒸発を生じ、十分な特
性のものが得られない。 なお、本発明においては、ゲージ圧で10Kg/cm2
までの加圧下で行つてもよく、その場合、焼成温
度は1500〜2000℃が好ましい。 また、本発明に用いる高密度炭化珪素製匣は、
その肉厚が5〜30mmであることが好ましい。肉厚
が5mmより小さい場合には、荷重による匣の変形
が生じ易く、又、30mmを超えると熱伝導率が悪
く、又、容積を大きく取れず、さらに重量が重く
作業性が悪くなる可能性がある。 なお、本発明において用いる成形体は、窒化珪
素粉末と焼結助剤からなるものであるが、勿論潤
滑剤、結合剤等の成形助剤を含んだり、成形後脱
脂した成形体を用いてもよいものである。 [実施例] 以下、本発明を実施例に基づき、さらに詳細に
説明するが、本発明がこれら実施例に限定されな
いことは明らかであろう。 実施例1及び比較例1 平均粒子径0.7μmのα型窒化珪素粉末に、3重
量%(以下、%は全て重量%を示す。)の酸化セ
リウム、5%の酸化マグネシウム、22%の酸化ス
トロンチウムの混合粉末100重量部に対し、水60
重量部を添加し、粉砕機により7時間混合粉砕を
行つた。 この粉砕物に、ポリビニルアルコール1重量部
を添加し、噴霧乾燥を行つた。得られた乾燥物を
金型を用い、35mm(φ)×20mmの円板、及び60mm
×60mm×10mmの角板に成形後、2500Kg/cm2の圧力
で冷間静水圧プレスを行つた。 焼成用の匣として、外径100mm、内径80mm、高
さ80mmの円筒及び外径100mm、厚さ10mmの底板と
蓋からなり、全体が、嵩比重3.05、見掛気孔率
0.3%の高密度炭化珪素製匣(実施例1)と、従
来公知の方法に従い炭素製の蓋及び円筒からなる
匣の中へ窒化珪素を入れ、これを高温にして発生
するシリコン蒸気と炭素を匣内面で反応させ炭化
珪素を表面に生成させた匣(比較例1)を使用し
た。なお、比較例1の匣表面の炭化珪素の嵩比重
は2.8、見掛気孔率は10%であつた。 これらの2種類の匣内に、上述の窒化珪素の円
板および角板を設置し、常圧の窒素雰囲気中にお
いて1750℃、1.5時間焼成を行つた。 60mm×60mm×10mmの焼結体を、片面に焼成面を
含む場合と、両面とも加工した場合とに分け、3
mm×4mm×40mmの試料を切り出し、焼成面、加工
面をそれぞれ引張面となるように両者の4点曲げ
強度と嵩比重を測定、および36mm(φ)×20mmの
円板試料の切断面と焼成表面の外観を観察した。
その結果を第1表に示す。
【表】
第1表から分かるように、本発明の方法に従つ
て焼成した場合には、焼成面と加工面の曲げ強
度、嵩比重はほぼ同等であるが、従来法による焼
成の場合には、焼成面強度、嵩比重が著しく小さ
くなつている。すなわち、本発明の方法に従つて
焼成した場合には、窒化珪素表面層の蒸発が少な
く、高強度、嵩比重の高い焼結体が得られる。 また、円板試料焼結体の切断面の観察によれ
ば、従来方法で焼成した焼結体には、斑点および
縞模様の発生が認められるのに対し、本発明で得
られた窒化珪素焼結体はこれらの発生がなく、均
質であつた。 さらに、従来法の匣は昇降温時に発生する熱ひ
ずみのため、使用回数20回でクラツクが生じた
が、本発明の匣は、使用回数120回においても表
面の変化はなく、本発明と従来法における匣の耐
久性に大きな差が認められた。 実施例2及び比較例2 平均粒子径0.5μmの窒化珪素粉末と7重量%
(以下、%は全て重量%を示す)の酸化イツトリ
ウム、2%の酸化ジルコニウム、3%の酸化マグ
ネシウムの混合粉末100重量部に対し水65重量部
を添加し、5時間混合粉砕し、その後熱風乾燥器
で120℃にて乾燥後解砕し粉末を得た。その原料
を用いて金型にて35mm(φ)×20mmの円板及び60
mm×60mm×10mmの角板に成形後、5000Kg/cm2の圧
力で冷間静水圧プレスを行つた。 焼成用の匣として、外径115mm、内径80mm、高
さ80mmの円筒及び外径115mm、厚さ18mmの底板と
蓋からなり、嵩比重3.0、見掛気孔率1.0%の高密
度炭化珪素製匣(実施例2)と、同一材質、同一
形状からなり、嵩比重2.9、見掛気孔率6.0%の炭
化珪素からなる匣(比較例2)を使用した。 これらの2種類の匣内に、上述の窒化珪素の円
板及び角板を設置し、ゲージ圧で0.5Kg/cm2の圧
力下、窒素雰囲気中で1720℃、1時間焼成を行つ
た。 60mm×60mm×10mmの焼結体を、実施例1と同様
に、片面に焼成面を含む場合と、両面とも加工し
た場合とに分け、3mm×4mm×40mmの試料を切り
出し、両者の4点曲げ強度と嵩比重を測定、及
び、円板の切断面の観察をした。その結果を第2
表に示す。
て焼成した場合には、焼成面と加工面の曲げ強
度、嵩比重はほぼ同等であるが、従来法による焼
成の場合には、焼成面強度、嵩比重が著しく小さ
くなつている。すなわち、本発明の方法に従つて
焼成した場合には、窒化珪素表面層の蒸発が少な
く、高強度、嵩比重の高い焼結体が得られる。 また、円板試料焼結体の切断面の観察によれ
ば、従来方法で焼成した焼結体には、斑点および
縞模様の発生が認められるのに対し、本発明で得
られた窒化珪素焼結体はこれらの発生がなく、均
質であつた。 さらに、従来法の匣は昇降温時に発生する熱ひ
ずみのため、使用回数20回でクラツクが生じた
が、本発明の匣は、使用回数120回においても表
面の変化はなく、本発明と従来法における匣の耐
久性に大きな差が認められた。 実施例2及び比較例2 平均粒子径0.5μmの窒化珪素粉末と7重量%
(以下、%は全て重量%を示す)の酸化イツトリ
ウム、2%の酸化ジルコニウム、3%の酸化マグ
ネシウムの混合粉末100重量部に対し水65重量部
を添加し、5時間混合粉砕し、その後熱風乾燥器
で120℃にて乾燥後解砕し粉末を得た。その原料
を用いて金型にて35mm(φ)×20mmの円板及び60
mm×60mm×10mmの角板に成形後、5000Kg/cm2の圧
力で冷間静水圧プレスを行つた。 焼成用の匣として、外径115mm、内径80mm、高
さ80mmの円筒及び外径115mm、厚さ18mmの底板と
蓋からなり、嵩比重3.0、見掛気孔率1.0%の高密
度炭化珪素製匣(実施例2)と、同一材質、同一
形状からなり、嵩比重2.9、見掛気孔率6.0%の炭
化珪素からなる匣(比較例2)を使用した。 これらの2種類の匣内に、上述の窒化珪素の円
板及び角板を設置し、ゲージ圧で0.5Kg/cm2の圧
力下、窒素雰囲気中で1720℃、1時間焼成を行つ
た。 60mm×60mm×10mmの焼結体を、実施例1と同様
に、片面に焼成面を含む場合と、両面とも加工し
た場合とに分け、3mm×4mm×40mmの試料を切り
出し、両者の4点曲げ強度と嵩比重を測定、及
び、円板の切断面の観察をした。その結果を第2
表に示す。
【表】
第2表から分るように、本発明の方法に従つて
焼成した場合は、焼成面と加工面の曲げ強度、嵩
比重はほぼ同等であるが、比較例2においては焼
成面強度、嵩比重が著しく低下する。 又、円板試料焼結体の切断面の観察によると、
比較例2で焼成した焼結体には、斑点および縞模
様の発生が認められるのに対し、本発明で得られ
た窒化珪素焼結体にはこれらの発生がなく、均質
であつた。 [発明の効果] 以上説明したように、本発明の均質窒化珪素焼
結体の製造方法によれば、窒化珪素成形体を高密
度炭化珪素製匣内に設置し、特定条件にて焼成す
ることにより、均質で、特性に優れた窒化珪素焼
結体を容易に得ることができるという利点を有す
る。さらに、本発明方法によれば、ベーン、ター
ボチヤージヤーロータ等の複雑形状品、特に、加
工されず焼成面のまま使用される形状品の焼結法
としてきわめて有用である。
焼成した場合は、焼成面と加工面の曲げ強度、嵩
比重はほぼ同等であるが、比較例2においては焼
成面強度、嵩比重が著しく低下する。 又、円板試料焼結体の切断面の観察によると、
比較例2で焼成した焼結体には、斑点および縞模
様の発生が認められるのに対し、本発明で得られ
た窒化珪素焼結体にはこれらの発生がなく、均質
であつた。 [発明の効果] 以上説明したように、本発明の均質窒化珪素焼
結体の製造方法によれば、窒化珪素成形体を高密
度炭化珪素製匣内に設置し、特定条件にて焼成す
ることにより、均質で、特性に優れた窒化珪素焼
結体を容易に得ることができるという利点を有す
る。さらに、本発明方法によれば、ベーン、ター
ボチヤージヤーロータ等の複雑形状品、特に、加
工されず焼成面のまま使用される形状品の焼結法
としてきわめて有用である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 窒化珪素粉末と焼結助剤からなる成形体を、
嵩比重3.0以上、見掛気孔率1%以下の高密度炭
化珪素製匣の中に設置し、ほぼ常圧下において、
1500〜1800℃で焼成することを特徴とする均質窒
化珪素焼結体の製造方法。 2 窒化珪素粉末と焼結助剤からなる成形体を、
嵩比重3.0以上、見掛気孔率1%以下の高密度炭
化珪素製匣の中に設置し、10Kg/cm2(ゲージ圧)
までの加圧下において、1500〜2000℃で焼成する
ことを特徴とする均質窒化珪素焼結体の製造方
法。 3 前記炭化珪素製匣の肉厚が5〜30mmである特
許請求の範囲第1項または第2項記載の均質窒化
珪素焼結体の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62013815A JPS63182259A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 均質窒化珪素焼結体の製造方法 |
US07/141,496 US4871697A (en) | 1987-01-23 | 1988-01-07 | Method of producing homogeneous silicon nitride sintered bodies |
DE3801710A DE3801710A1 (de) | 1987-01-23 | 1988-01-21 | Verfahren zur herstellung homogener siliciumnitrid-sinterkoerper |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62013815A JPS63182259A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 均質窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63182259A JPS63182259A (ja) | 1988-07-27 |
JPH0361625B2 true JPH0361625B2 (ja) | 1991-09-20 |
Family
ID=11843771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62013815A Granted JPS63182259A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 均質窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4871697A (ja) |
JP (1) | JPS63182259A (ja) |
DE (1) | DE3801710A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0694390B2 (ja) * | 1988-09-09 | 1994-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素焼結体 |
JP5111736B2 (ja) * | 2005-04-14 | 2013-01-09 | 黒崎播磨株式会社 | 窒化ケイ素材料およびその製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4940123A (ja) * | 1972-08-17 | 1974-04-15 | ||
US4119690A (en) * | 1977-01-03 | 1978-10-10 | General Electric Company | Sintering of silicon nitride using Mg and Be additives |
JPS60210575A (ja) * | 1984-04-04 | 1985-10-23 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
JPS613304A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Akai Electric Co Ltd | 磁気円盤記録再生装置 |
US4717693A (en) * | 1986-10-24 | 1988-01-05 | Gte Products Corporation | Process for producing beta silicon nitride fibers |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP62013815A patent/JPS63182259A/ja active Granted
-
1988
- 1988-01-07 US US07/141,496 patent/US4871697A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-01-21 DE DE3801710A patent/DE3801710A1/de active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE3801710A1 (de) | 1988-08-04 |
DE3801710C2 (ja) | 1990-01-18 |
US4871697A (en) | 1989-10-03 |
JPS63182259A (ja) | 1988-07-27 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |