JPS63182259A - 均質窒化珪素焼結体の製造方法 - Google Patents
均質窒化珪素焼結体の製造方法Info
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- JPS63182259A JPS63182259A JP62013815A JP1381587A JPS63182259A JP S63182259 A JPS63182259 A JP S63182259A JP 62013815 A JP62013815 A JP 62013815A JP 1381587 A JP1381587 A JP 1381587A JP S63182259 A JPS63182259 A JP S63182259A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、変質、変色等が生ぜず、曲げ強度等が高い均
質窒化珪素焼結体の製造方法に関する。
質窒化珪素焼結体の製造方法に関する。
［従来の技術］
窒化珪素（Ｓ１３Ｎ４）焼結体は、耐熱性、耐熱衝撃性
、耐食性、高温強度に優れているため、ガスタービンエ
ンジン、ディーゼルエンジン等の高温構造材料、耐摩耗
材料等に利用されている。
、耐食性、高温強度に優れているため、ガスタービンエ
ンジン、ディーゼルエンジン等の高温構造材料、耐摩耗
材料等に利用されている。
この窒化珪素焼結体は、焼成時に生じる窒化珪素の分解
や焼結助剤の揮散により、焼結体の内部と表面で焼結体
特性に大きな差が生じ易く、この焼結体特性の不均質化
を抑制するため、匣（さや）中での焼成が行われている
。
や焼結助剤の揮散により、焼結体の内部と表面で焼結体
特性に大きな差が生じ易く、この焼結体特性の不均質化
を抑制するため、匣（さや）中での焼成が行われている
。
従来、このような窒化珪素焼成用の匣としては、炭素製
の匣、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭素製匣（特開昭６
０−２１０５７５号公報）、炭素製匣の炭素との反応に
より形成された炭化珪素で内面を被覆された匣（特公昭
６１−３３０４号公報）、窒化珪素の内凹と耐火物の外
匣からなる匣（特公昭４９−４０１２３号公報）、ある
いは黒鉛及び炭化珪素を主原料とする匣（特公昭３３−
４０７５号公報）が知られている。
の匣、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭素製匣（特開昭６
０−２１０５７５号公報）、炭素製匣の炭素との反応に
より形成された炭化珪素で内面を被覆された匣（特公昭
６１−３３０４号公報）、窒化珪素の内凹と耐火物の外
匣からなる匣（特公昭４９−４０１２３号公報）、ある
いは黒鉛及び炭化珪素を主原料とする匣（特公昭３３−
４０７５号公報）が知られている。
［発明が解決しようとする問題点］
しかしながら、炭素製の匣にあっては、窒素珪素焼成面
における蒸発が大で、さらに表面にＳｉＣが生成し易い
ため、焼成面の強度が小さいという欠点がある。
における蒸発が大で、さらに表面にＳｉＣが生成し易い
ため、焼成面の強度が小さいという欠点がある。
また、化学蒸着炭化珪素で被覆した炭素製匣においては
、炭素と炭化珪素両層間で剥離し易く、匡の耐久性か小
さい。
、炭素と炭化珪素両層間で剥離し易く、匡の耐久性か小
さい。
次に、炭素製匣の炭素との反応により形成された炭化珪
素て内面を被覆された匣にあっては、表面炭化珪素層が
ポーラスであるため、炭化珪素層の被覆の効果かほとん
どなく、前記炭素製匣と同様に窒化珪素の焼成面での蒸
発か大であり焼成面ての強度か小さい。また、焼結体の
表面層に縞、斑点等の変色、変質が生成し易い。
素て内面を被覆された匣にあっては、表面炭化珪素層が
ポーラスであるため、炭化珪素層の被覆の効果かほとん
どなく、前記炭素製匣と同様に窒化珪素の焼成面での蒸
発か大であり焼成面ての強度か小さい。また、焼結体の
表面層に縞、斑点等の変色、変質が生成し易い。
一方、窒化珪素の内凹と耐火物の外匣からなる匣にあっ
ては、焼成時に軟化し易いため、大重量あるいは多量の
成形体の焼成が出来ず、しかも表面か分解し易く耐久性
が小さい。また、焼結体の表面層に縞、斑点等の変色、
変質か生成し易い。
ては、焼成時に軟化し易いため、大重量あるいは多量の
成形体の焼成が出来ず、しかも表面か分解し易く耐久性
が小さい。また、焼結体の表面層に縞、斑点等の変色、
変質か生成し易い。
更に、黒鉛及び炭化珪素を主原料とする匣にあっては、
全体が低密度でポーラスてあり、窒化珪素の焼成面での
蒸発が大てあり焼成面での強度か小さい。また、焼結体
の表面層に縞、斑点等の変色、変質か生成し易い。
全体が低密度でポーラスてあり、窒化珪素の焼成面での
蒸発が大てあり焼成面での強度か小さい。また、焼結体
の表面層に縞、斑点等の変色、変質か生成し易い。
以上のとおり、従来の匣にあっては、その気密性、耐久
性等に問題かあり、これらの匣を用いて得られた窒化珪
素焼結体は、表面層の変質、変色が生じ、十分な特性の
ものか得られない。
性等に問題かあり、これらの匣を用いて得られた窒化珪
素焼結体は、表面層の変質、変色が生じ、十分な特性の
ものか得られない。
［問題点を解決するための手段］
従って、本発明は上記従来の方法における問題点を解決
した、窒化珪素焼結体の表面層の変質、変色が生ぜず、
十分な強度等の特性を有する均質な窒化珪素焼結体の製
造方法を提供することを目的とするもので、この目的は
、本発明によれば、窒化珪素粉末と焼結助剤からなる成
形体を、嵩比重３．０以上、見掛気孔率１％以下の高密
度炭化珪素製匣の中に設置し、ほぼ常圧下において、１
５００〜１８００℃で焼成することを特徴とする均質窒
化珪素焼結体の製造方法、によって達成される。
した、窒化珪素焼結体の表面層の変質、変色が生ぜず、
十分な強度等の特性を有する均質な窒化珪素焼結体の製
造方法を提供することを目的とするもので、この目的は
、本発明によれば、窒化珪素粉末と焼結助剤からなる成
形体を、嵩比重３．０以上、見掛気孔率１％以下の高密
度炭化珪素製匣の中に設置し、ほぼ常圧下において、１
５００〜１８００℃で焼成することを特徴とする均質窒
化珪素焼結体の製造方法、によって達成される。
本発明における均質窒化珪素焼結体の製造方法は、所定
の物性を有する高密度炭化珪素製匣の中に成形体を置き
、所定の条件にて該成形体を焼成するものである。
の物性を有する高密度炭化珪素製匣の中に成形体を置き
、所定の条件にて該成形体を焼成するものである。
本発明に用いる高密度炭化珪素製匣は、その嵩比重か３
．０以上であることか必要である。嵩比重か３．０より
小さい場合には、耐久性が乏しく多量の成形体の焼成が
てきない。
．０以上であることか必要である。嵩比重か３．０より
小さい場合には、耐久性が乏しく多量の成形体の焼成が
てきない。
また、高密度炭化珪素製匣の見掛気孔率は、１％以下で
あることか要求される。見掛気孔率か１％を超えると、
窒化珪素の焼成面での蒸発が大きくなって焼結体の焼成
面の強度が小さくなるとともに、得られる焼結体の表面
層に縞、斑点等の変色、変質か生成し易くなる。
あることか要求される。見掛気孔率か１％を超えると、
窒化珪素の焼成面での蒸発が大きくなって焼結体の焼成
面の強度が小さくなるとともに、得られる焼結体の表面
層に縞、斑点等の変色、変質か生成し易くなる。
次に、焼成に際しては、ほぼ常圧下、通常、ゲージ圧で
Ｏ〜０．５ｋｇ／ｃｍ２の範囲にて行う。
Ｏ〜０．５ｋｇ／ｃｍ２の範囲にて行う。
焼成の温度条件としては、１５００〜１８００℃の範囲
であることが要求される。焼成温度が１５００℃より低
い場合には、窒化珪素は緻密化せず、一方、１８００℃
を超えると、分解、蒸発を生じ、十分な特性のものが得
られない。
であることが要求される。焼成温度が１５００℃より低
い場合には、窒化珪素は緻密化せず、一方、１８００℃
を超えると、分解、蒸発を生じ、十分な特性のものが得
られない。
なお、本発明においては、ゲージ圧で１０ｋｇ／Ｃｍ２
まての加圧下で行ってもよく、その場合、焼成温度は１
５００〜２０００℃か好ましい。
まての加圧下で行ってもよく、その場合、焼成温度は１
５００〜２０００℃か好ましい。
また、本発明に用いる高密度炭化珪素製匣は、その肉厚
が５〜３０ｍｍであることか好ましい。
が５〜３０ｍｍであることか好ましい。
肉厚か５ｍｍより小さい場合には、荷重による匣の変形
が生じ易く、又、３０ｍｍを超えると熱伝導率が悪く、
又、容積を大きく取れず、さらに重量が重く作業性か悪
くなる可能性がある。
が生じ易く、又、３０ｍｍを超えると熱伝導率が悪く、
又、容積を大きく取れず、さらに重量が重く作業性か悪
くなる可能性がある。
なお、本発明において用いる成形体は、窒化珪素粉末と
焼結助剤からなるものであるが、勿論潤滑剤、結合剤等
の成形助剤を含んだり、成形後脱脂した成形体を用いて
もよいものである。
焼結助剤からなるものであるが、勿論潤滑剤、結合剤等
の成形助剤を含んだり、成形後脱脂した成形体を用いて
もよいものである。
［実施例］
以下、本発明を実施例に基ずき、さらに詳細に説明する
が、本発明がこれら実施例に限定されないことは明らか
であろう。
が、本発明がこれら実施例に限定されないことは明らか
であろう。
（実施例１及び比較例１）
平均粒子径０．７ｐｍのα型窒化珪素粉末に、３重量％
（以下、％は全て重量％を示す。）の酸化セリウム、５
％の酸化マグネシウム、２％の酸化ストロンチウムの混
合粉末１００重量部に対し、水６０重量部を添加し、粉
砕機により７時間混合粉砕を行った。
（以下、％は全て重量％を示す。）の酸化セリウム、５
％の酸化マグネシウム、２％の酸化ストロンチウムの混
合粉末１００重量部に対し、水６０重量部を添加し、粉
砕機により７時間混合粉砕を行った。
この粉砕物に、ポリビニルアルコール１重量部を添加し
、噴霧乾燥を行った。得られた乾燥物を金型を用い、３
５ｍｍ（φ）Ｘ２０ｍｍの円板、及び６０ ｍｍｘ ６
０ ｍｍＸ １０ ｍｍの角板に成形後、２５００ ｋ
１ｇ ／ ｃ ｍ ２の圧力て冷間静水圧プレスを行
った。
、噴霧乾燥を行った。得られた乾燥物を金型を用い、３
５ｍｍ（φ）Ｘ２０ｍｍの円板、及び６０ ｍｍｘ ６
０ ｍｍＸ １０ ｍｍの角板に成形後、２５００ ｋ
１ｇ ／ ｃ ｍ ２の圧力て冷間静水圧プレスを行
った。
焼成用の匣として、外径１００ｍｍ、内径８０ｍｍ、高
さ８０ｍｍの円筒及び外径１００ｍｍ、厚さ１０ｍｍの
底板と蓋からなり、全体が、嵩比重３．０５．見掛気孔
率０．３％の高密度炭化珪素製圧（実施例１）と、従来
公知の方法に従い炭素型の蓋及び円筒からなる匣の中へ
窒化珪素を入れ、これを高温にして発生するシリコン蒸
気と炭素を匣内面で反応させ炭化珪素を表面に生成させ
た匣（比較例１）を使用した。なお、比較例１の凹表面
の炭化珪素の嵩比重は２．８、見掛気孔率は１０％であ
った。
さ８０ｍｍの円筒及び外径１００ｍｍ、厚さ１０ｍｍの
底板と蓋からなり、全体が、嵩比重３．０５．見掛気孔
率０．３％の高密度炭化珪素製圧（実施例１）と、従来
公知の方法に従い炭素型の蓋及び円筒からなる匣の中へ
窒化珪素を入れ、これを高温にして発生するシリコン蒸
気と炭素を匣内面で反応させ炭化珪素を表面に生成させ
た匣（比較例１）を使用した。なお、比較例１の凹表面
の炭化珪素の嵩比重は２．８、見掛気孔率は１０％であ
った。
これらの２種類の匣内に、上述の窒化珪素の円板および
角板を設置し、常圧の窒素雰囲気中において１７５０℃
、１．５時間焼成を行った。
角板を設置し、常圧の窒素雰囲気中において１７５０℃
、１．５時間焼成を行った。
６０ｍｍＸ６０ｍｍＸ １０ｍｍの焼結体を、片面に焼
成面を含む場合と、両面とも加工した場合とに分け、３
ｍ ｍ Ｘ ４ ｍ ｍ Ｘ ４０ ｍ ｍの試料を
切り出し、焼成面、加工面をそれぞれ引張面となるよう
に両者の４点曲げ強度と嵩比重を測定、および３５ｍｍ
（φ）ｘ２０ｍｍの円板試料の切断面と焼成表面の外観
を観察した。その結果を第１表に示す。
成面を含む場合と、両面とも加工した場合とに分け、３
ｍ ｍ Ｘ ４ ｍ ｍ Ｘ ４０ ｍ ｍの試料を
切り出し、焼成面、加工面をそれぞれ引張面となるよう
に両者の４点曲げ強度と嵩比重を測定、および３５ｍｍ
（φ）ｘ２０ｍｍの円板試料の切断面と焼成表面の外観
を観察した。その結果を第１表に示す。
（以下、余白）
第 １ 表
第１表から分かるように、本発明の方法に従って焼成し
た場合には、焼成面と加工面の曲げ強度、嵩比重はほぼ
同等であるが、従来法による焼成の場合には、焼成面強
度、嵩比重が著しく小さくなっている。すなわち、本発
明の方法に従って焼成した場合には、窒化珪素表面層の
蒸発か少なく、高強度、嵩比重の高い焼結体が得られる
。
た場合には、焼成面と加工面の曲げ強度、嵩比重はほぼ
同等であるが、従来法による焼成の場合には、焼成面強
度、嵩比重が著しく小さくなっている。すなわち、本発
明の方法に従って焼成した場合には、窒化珪素表面層の
蒸発か少なく、高強度、嵩比重の高い焼結体が得られる
。
また、円板試料焼結体の切断面の観察によれば、従来方
法で焼成した焼結体には、斑点および縞模様の発生が認
められるのに対し、本発明で得られた窒化珪素焼結体は
これらの発生かなく、均質であった。
法で焼成した焼結体には、斑点および縞模様の発生が認
められるのに対し、本発明で得られた窒化珪素焼結体は
これらの発生かなく、均質であった。
さらに、従来法の匣は昇降温時に発生する熱ひずみのた
め、使用回数２０回てクラックが生じたか、本発明の匣
は、使用回数１２０回においても表面の変化はなく、本
発明と従来法における匣の耐久性に大きな差が認められ
た。
め、使用回数２０回てクラックが生じたか、本発明の匣
は、使用回数１２０回においても表面の変化はなく、本
発明と従来法における匣の耐久性に大きな差が認められ
た。
（実施例２及び比較例２）
平均粒子径０．５ｇｍの窒化珪素粉末と７重量％（以下
、％は全て重量％を示す）の酸化イットリウム、２％の
酸化ジルコニウム、３％の酸化マクネシウムの混合粉末
１００重量部に対し水６５重量部を添加し、５時間混合
粉砕し、その後熱風乾燥器て１２０℃にて乾燥後解砕し
粉末を得た。
、％は全て重量％を示す）の酸化イットリウム、２％の
酸化ジルコニウム、３％の酸化マクネシウムの混合粉末
１００重量部に対し水６５重量部を添加し、５時間混合
粉砕し、その後熱風乾燥器て１２０℃にて乾燥後解砕し
粉末を得た。
その原料を用いて金型にて３５ｍｍ（φ）×２０ｍｍの
円板及び６０ｍｍＸ６０ｍｍＸ １０ｍｍの角板に成形
後、５０００ ｋ ｇ ／ ｃ ｍ ２の圧力で冷間静
水圧プレスを行った。
円板及び６０ｍｍＸ６０ｍｍＸ １０ｍｍの角板に成形
後、５０００ ｋ ｇ ／ ｃ ｍ ２の圧力で冷間静
水圧プレスを行った。
焼成用の匣として、外径１１５ｍｍ、内径８０ｍｍ、高
さ８０ ｍ ｍの円筒及び外径１１５ｍｍ、厚さ１８ｍ
ｍの底板と蓋からなり、嵩比重３．０、見掛気孔率ｉ、
ｏ％の高密度炭化珪素製匣（実施例２）と、同一材質、
同一形状からなり、嵩比重２．９、見掛気孔率６．０％
の炭化珪素からなる匣（比較例２）を使用した。
さ８０ ｍ ｍの円筒及び外径１１５ｍｍ、厚さ１８ｍ
ｍの底板と蓋からなり、嵩比重３．０、見掛気孔率ｉ、
ｏ％の高密度炭化珪素製匣（実施例２）と、同一材質、
同一形状からなり、嵩比重２．９、見掛気孔率６．０％
の炭化珪素からなる匣（比較例２）を使用した。
これらの２種類の匣内に、上述の窒化珪素の円板及び角
板を設置し、ゲージ圧で０．５ｋｇ７Ｃｍ２の圧力下、
窒素雰囲気中で１７２０℃１１時間焼成を行った。
板を設置し、ゲージ圧で０．５ｋｇ７Ｃｍ２の圧力下、
窒素雰囲気中で１７２０℃１１時間焼成を行った。
６０ ｍ ｍ Ｘ ６０ ｍ ｍ Ｘ １０ ｍ ｍの
焼結体を、実施例１と同様に、片面に焼成面を含む場合
と、両面とも加工した場合とに分け、３ ｍ ｍ Ｘ
４ ｍ ｍ Ｘ４０ ｍ ｍの試料を切り出し、両者の
４点曲げ強度と嵩比重を測定、及び、円板の切断面の観
察をした。その結果を第２表に示す。
焼結体を、実施例１と同様に、片面に焼成面を含む場合
と、両面とも加工した場合とに分け、３ ｍ ｍ Ｘ
４ ｍ ｍ Ｘ４０ ｍ ｍの試料を切り出し、両者の
４点曲げ強度と嵩比重を測定、及び、円板の切断面の観
察をした。その結果を第２表に示す。
（以下、余白）
第２表から分かるように、本発明の方法に従って焼成し
た場合は、焼成面と加工面の曲げ強度、嵩比重はほぼ同
等であるか、比較例２においては焼成面強度、嵩比重か
著しく低下する。
た場合は、焼成面と加工面の曲げ強度、嵩比重はほぼ同
等であるか、比較例２においては焼成面強度、嵩比重か
著しく低下する。
又、円板試料焼結体の切断面の観察によると、比較例２
で焼成した焼結体には、斑点および縞模様の発生が認め
られるのに対し、本発明で得られた窒化珪素焼結体には
これらの発生がなく、均質であった。
で焼成した焼結体には、斑点および縞模様の発生が認め
られるのに対し、本発明で得られた窒化珪素焼結体には
これらの発生がなく、均質であった。
［発明の効果］
以上説明したように、本発明の均質窒化珪素焼結体の製
造方法によれば、窒化珪素成形体を高密度炭化珪素製匣
内に設置し、特定条件にて焼成することにより、均質で
、特性に優れた窒化珪素焼結体を容易に得ることができ
るという利点を有する。さらに、本発明方法によれば、
ベーン、ターボチャージャーロータ等の複雑形状品、特
に、加工されず焼成面のまま使用される形状品の焼結法
としてきわめて有用である。
造方法によれば、窒化珪素成形体を高密度炭化珪素製匣
内に設置し、特定条件にて焼成することにより、均質で
、特性に優れた窒化珪素焼結体を容易に得ることができ
るという利点を有する。さらに、本発明方法によれば、
ベーン、ターボチャージャーロータ等の複雑形状品、特
に、加工されず焼成面のまま使用される形状品の焼結法
としてきわめて有用である。
Claims (2)
- （１）窒化珪素粉末と焼結助剤からなる成形体を、嵩比
重３．０以上、見掛気孔率１％以下の高密度炭化珪素製
匣の中に設置し、ほぼ常圧下において、１５００〜１８
００℃で焼成することを特徴とする均質窒化珪素焼結体
の製造方法。 - （２）前記炭化珪素製匣の肉厚が５〜３０ｍｍである特
許請求の範囲第１項記載の均質窒化珪素焼結体の製造方
法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62013815A JPS63182259A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 均質窒化珪素焼結体の製造方法 |
| US07/141,496 US4871697A (en) | 1987-01-23 | 1988-01-07 | Method of producing homogeneous silicon nitride sintered bodies |
| DE3801710A DE3801710A1 (de) | 1987-01-23 | 1988-01-21 | Verfahren zur herstellung homogener siliciumnitrid-sinterkoerper |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62013815A JPS63182259A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 均質窒化珪素焼結体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63182259A true JPS63182259A (ja) | 1988-07-27 |
| JPH0361625B2 JPH0361625B2 (ja) | 1991-09-20 |
Family
ID=11843771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62013815A Granted JPS63182259A (ja) | 1987-01-23 | 1987-01-23 | 均質窒化珪素焼結体の製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4871697A (ja) |
| JP (1) | JPS63182259A (ja) |
| DE (1) | DE3801710A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006290709A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Nippon Steel Corp | 窒化ケイ素材料およびその製造方法 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0694390B2 (ja) * | 1988-09-09 | 1994-11-24 | 日本特殊陶業株式会社 | 窒化珪素焼結体 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4940123A (ja) * | 1972-08-17 | 1974-04-15 | ||
| US4119690A (en) * | 1977-01-03 | 1978-10-10 | General Electric Company | Sintering of silicon nitride using Mg and Be additives |
| JPS60210575A (ja) * | 1984-04-04 | 1985-10-23 | 日本碍子株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
| JPS613304A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-09 | Akai Electric Co Ltd | 磁気円盤記録再生装置 |
| US4717693A (en) * | 1986-10-24 | 1988-01-05 | Gte Products Corporation | Process for producing beta silicon nitride fibers |
-
1987
- 1987-01-23 JP JP62013815A patent/JPS63182259A/ja active Granted
-
1988
- 1988-01-07 US US07/141,496 patent/US4871697A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-01-21 DE DE3801710A patent/DE3801710A1/de active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006290709A (ja) * | 2005-04-14 | 2006-10-26 | Nippon Steel Corp | 窒化ケイ素材料およびその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3801710C2 (ja) | 1990-01-18 |
| DE3801710A1 (de) | 1988-08-04 |
| US4871697A (en) | 1989-10-03 |
| JPH0361625B2 (ja) | 1991-09-20 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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