JPS6110069A - 高強度緻密窒化珪素焼結体及びその製法 - Google Patents
高強度緻密窒化珪素焼結体及びその製法Info
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- JPS6110069A JPS6110069A JP59128531A JP12853184A JPS6110069A JP S6110069 A JPS6110069 A JP S6110069A JP 59128531 A JP59128531 A JP 59128531A JP 12853184 A JP12853184 A JP 12853184A JP S6110069 A JPS6110069 A JP S6110069A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は硬度及び強度を向上せしめると共に強度特性の
バラツキが小さくなった高強度緻密窒化珪素焼結体及び
その製法に関するものである。
バラツキが小さくなった高強度緻密窒化珪素焼結体及び
その製法に関するものである。
従来周知の通り、窒化珪素焼結体は焼結助剤の添加によ
り液相焼結して緻密化するが、その焼結助剤にはＭｇＯ
などのアルカリ土類金属の酸化物、Ｙｌ１０８などの希
土類金属の酸化物、並びにＡＪ ２０ａなどがあり、そ
して、これら焼結助剤と窒化珪素粉末を粉砕混合し、成
形し、焼成して窒化珪素焼結体が得られる。
り液相焼結して緻密化するが、その焼結助剤にはＭｇＯ
などのアルカリ土類金属の酸化物、Ｙｌ１０８などの希
土類金属の酸化物、並びにＡＪ ２０ａなどがあり、そ
して、これら焼結助剤と窒化珪素粉末を粉砕混合し、成
形し、焼成して窒化珪素焼結体が得られる。
しかしながら、前記添加物は窒化珪素や窒化珪素粉の結
晶表面に存在する５ｉｎｓ膜と反応して粒界相を形成す
るが、これらの成形用原料は十分に粉砕混合しても、前
記添加物がミクロ的に均一な分布をしていなかった。そ
こで、焼結助剤としてＭｇＯを例にとればこのＭｇＯ粉
末は１〜３μｍ程度の粒径のものしか得られず、この添
加量が少ない場合、十分に混合してもＭｇＯ粉末の偏在
が顕著になり、微視的にＭｇＯ粒子の近傍とそれ以外の
部分では特性値に差が大きくなると共に粒界相の大きざ
が不均一となる。その結果、窒化珪素結晶粒の異常成長
が促進し、且つ焼結体中の気孔量が増大し、これらが破
壊源となっていた。従って、焼結体の特性、特に強度及
び硬度並びに強度のバラツキを向上させるためにはこれ
らの添加量を減少させると共に均一分散させる必要があ
る。
晶表面に存在する５ｉｎｓ膜と反応して粒界相を形成す
るが、これらの成形用原料は十分に粉砕混合しても、前
記添加物がミクロ的に均一な分布をしていなかった。そ
こで、焼結助剤としてＭｇＯを例にとればこのＭｇＯ粉
末は１〜３μｍ程度の粒径のものしか得られず、この添
加量が少ない場合、十分に混合してもＭｇＯ粉末の偏在
が顕著になり、微視的にＭｇＯ粒子の近傍とそれ以外の
部分では特性値に差が大きくなると共に粒界相の大きざ
が不均一となる。その結果、窒化珪素結晶粒の異常成長
が促進し、且つ焼結体中の気孔量が増大し、これらが破
壊源となっていた。従って、焼結体の特性、特に強度及
び硬度並びに強度のバラツキを向上させるためにはこれ
らの添加量を減少させると共に均一分散させる必要があ
る。
本発明は上記事情に鑑みて完成されたもので、その目的
は粒界相の形成に使われるＭｇＯを必要最少量ｔＣする
と共に焼結体中に均一分散させ、これにより、硬度及び
強度を向上せしめてその強度特性のバラツキを小さくし
た高強度緻密窒化珪素焼結体を提供することにある。
は粒界相の形成に使われるＭｇＯを必要最少量ｔＣする
と共に焼結体中に均一分散させ、これにより、硬度及び
強度を向上せしめてその強度特性のバラツキを小さくし
た高強度緻密窒化珪素焼結体を提供することにある。
本発明の他の目的はＭｇＯを必要最少量にすると共に焼
結体中に均一分散させて安定した強度特性が得られた高
品質な高強度緻密窒化珪素焼結体の製法を提供すること
ｌこある。
結体中に均一分散させて安定した強度特性が得られた高
品質な高強度緻密窒化珪素焼結体の製法を提供すること
ｌこある。
本発明によれば、ＭｇＯを焼結助剤として含有する窒化
珪素焼結体において、ワイブル係数が１３以上であるこ
とを特徴とする高強度緻密窒化珪素焼結体が提供される
。
珪素焼結体において、ワイブル係数が１３以上であるこ
とを特徴とする高強度緻密窒化珪素焼結体が提供される
。
更に本発明によれば、窒化珪素粉末に、熱分解して酸化
マグネシウム（ＭｇＯ） ｆこなるようなマグネシウム
化合物をＢＥＴ比表面積１０ Ｊｇ以上の粉末ξこして
含有した出発原料を混合して成形後、加圧焼結又は無加
圧焼結してワイブル係数を１３以上にしたことを特徴と
する高強度緻密窒化珪素焼結体の製法が提供される。
マグネシウム（ＭｇＯ） ｆこなるようなマグネシウム
化合物をＢＥＴ比表面積１０ Ｊｇ以上の粉末ξこして
含有した出発原料を混合して成形後、加圧焼結又は無加
圧焼結してワイブル係数を１３以上にしたことを特徴と
する高強度緻密窒化珪素焼結体の製法が提供される。
原料粉末として用いる窒化珪素はα相、β相のいずれで
もよいが、高強度の焼結体を得るためにはα相の含有量
を太き（するのが望ましい。又、その平均粒径は２μＭ
以下がよい。
もよいが、高強度の焼結体を得るためにはα相の含有量
を太き（するのが望ましい。又、その平均粒径は２μＭ
以下がよい。
本発明においては、この窒化珪素原料にＭｇＯと必要【
こ応じて他の焼結助剤を含有させるのに際して、 Ｍｇ
Ｏの代わりに熱分解してＭｇＯになると共にそれ自体微
粉化が容易であるマグネシウム化合物を用いることが重
要である。
こ応じて他の焼結助剤を含有させるのに際して、 Ｍｇ
Ｏの代わりに熱分解してＭｇＯになると共にそれ自体微
粉化が容易であるマグネシウム化合物を用いることが重
要である。
即ち、焼結に伴ってＭｇＯが窒化珪素粉の結晶表面に存
在する８５−Ｏ１ｌ膜と反応して粒界相を形成するに際
し、微粒なＭｇＯをできるだけ少量用いてミクロ的Ｆζ
均一な分布に近づくようにするため、熱分解してＭｇＯ
になり、且つ粉砕が容易であると共にそれ自体が微粉状
になるマグネシウム化合物を用いる必要がある。かかる
マグネシウム化合物をＢＥＴ比表面積１０ Ｍｌ ／ｇ
以上の微粉末にして用いると、粒廖が小さくなると共に
比較的揃ったものとなり、これを用いて得られた窒化珪
素焼結体は粒界相の形成に使われるＭｇＯが必要最少量
になると共に焼結体中に均一分散し、加えて、後述する
通り、分解生成したＭｇＯ粒子が活性化し、これにより
、硬度及び強度が向上し、その強度特性のバラツキが顕
著に小さくなることが判った。尚、出発原料にＭｇＯ粉
末を用いて粉砕処理しても、そのＢＥＴ比表面積をｌＱ
ｍ／ｇ以上にできないことは当業者であれば周知の事実
である。
在する８５−Ｏ１ｌ膜と反応して粒界相を形成するに際
し、微粒なＭｇＯをできるだけ少量用いてミクロ的Ｆζ
均一な分布に近づくようにするため、熱分解してＭｇＯ
になり、且つ粉砕が容易であると共にそれ自体が微粉状
になるマグネシウム化合物を用いる必要がある。かかる
マグネシウム化合物をＢＥＴ比表面積１０ Ｍｌ ／ｇ
以上の微粉末にして用いると、粒廖が小さくなると共に
比較的揃ったものとなり、これを用いて得られた窒化珪
素焼結体は粒界相の形成に使われるＭｇＯが必要最少量
になると共に焼結体中に均一分散し、加えて、後述する
通り、分解生成したＭｇＯ粒子が活性化し、これにより
、硬度及び強度が向上し、その強度特性のバラツキが顕
著に小さくなることが判った。尚、出発原料にＭｇＯ粉
末を用いて粉砕処理しても、そのＢＥＴ比表面積をｌＱ
ｍ／ｇ以上にできないことは当業者であれば周知の事実
である。
本発明はＢＥＴ比表面積をｌＱｒ／ｇ以上にした微粉化
マグネシウム化合物を用いると、この化合物が焼成の昇
温過程で熱分解して生じた微粒なＭｇＯを活性化せしめ
ているという知見に基いて完成されている。この活性化
ＭｇＯはマグネシウム化合物の微粒子化と共に熱分解に
伴う分解エネルギーによって出来るものであり、これ薔
こより、窒化珪素粉末の結晶表面に存在する５１０２膜
や後述する他の焼結助剤と反応し易くしている。その結
果、硬度及び強度＋Ｃ優れると共にワイブル係数が１３
以上という強度特性のバラツキが顕著に向上した高信頼
性の高強度緻密窒化珪素焼結体が得られる。かくして、
この係数値は焼結体中でＭｇＯが微粒子化すると共に均
一分散し、且つそのＭｇＯが活性化することにより到達
した値である。
マグネシウム化合物を用いると、この化合物が焼成の昇
温過程で熱分解して生じた微粒なＭｇＯを活性化せしめ
ているという知見に基いて完成されている。この活性化
ＭｇＯはマグネシウム化合物の微粒子化と共に熱分解に
伴う分解エネルギーによって出来るものであり、これ薔
こより、窒化珪素粉末の結晶表面に存在する５１０２膜
や後述する他の焼結助剤と反応し易くしている。その結
果、硬度及び強度＋Ｃ優れると共にワイブル係数が１３
以上という強度特性のバラツキが顕著に向上した高信頼
性の高強度緻密窒化珪素焼結体が得られる。かくして、
この係数値は焼結体中でＭｇＯが微粒子化すると共に均
一分散し、且つそのＭｇＯが活性化することにより到達
した値である。
本発明のマグネシウム化合物は焼成などの加熱に伴い熱
分解してＭｇ０Ｉζなるものであればよく、望ましくは
、Ｍｇ（ＯＨ）ａ 、 ＭｇＣ０ａなど出発原料の粉砕
工程で容易に所望の粒度に微粉化ができるものがよい。
分解してＭｇ０Ｉζなるものであればよく、望ましくは
、Ｍｇ（ＯＨ）ａ 、 ＭｇＣ０ａなど出発原料の粉砕
工程で容易に所望の粒度に微粉化ができるものがよい。
そして、この粉末の粒度は平均粒径ではなく、比表面積
によって表示しており、かかる表示によって粒度の比較
的揃ったマグネシウム化合物になることが期待できる。
によって表示しており、かかる表示によって粒度の比較
的揃ったマグネシウム化合物になることが期待できる。
本発明によれば、マグネシウム化合物の添加量は他の焼
結助剤の種類及びその添加量などの出発原料の条件にも
よるが、焼結体中ＪＯに換算して２０重量％以下にする
のが望ましく、又、主成分たる窒化珪素の含有量は７０
重量％以上とするのがよい。これによって微粉化の処理
がむずかしいＭｇＯを単に同量添加したものに比べて硬
度及び強度並びにその強度特性のバラツキが改善した窒
化珪素焼結体が得られる。
結助剤の種類及びその添加量などの出発原料の条件にも
よるが、焼結体中ＪＯに換算して２０重量％以下にする
のが望ましく、又、主成分たる窒化珪素の含有量は７０
重量％以上とするのがよい。これによって微粉化の処理
がむずかしいＭｇＯを単に同量添加したものに比べて硬
度及び強度並びにその強度特性のバラツキが改善した窒
化珪素焼結体が得られる。
更に本発明１こついては、マグネシウム化合物以外の他
の焼結助剤として周知のアルカリ土類金属の酸化物、Ｙ
ｌｌｋ３などの希土類金属の酸化物並びにＭ２Ｏ３など
を添加しても後述の実施例が示す通り、本発明の目的が
達成できることを確認した。
の焼結助剤として周知のアルカリ土類金属の酸化物、Ｙ
ｌｌｋ３などの希土類金属の酸化物並びにＭ２Ｏ３など
を添加しても後述の実施例が示す通り、本発明の目的が
達成できることを確認した。
更にまた、本発明の窒化珪素焼結体は上述した添加物以
外に本発明の効果を損わない範囲で出発原料の前記マグ
ネシウム化合物の一部をＭｇＯで置換することは何等差
支えない。
外に本発明の効果を損わない範囲で出発原料の前記マグ
ネシウム化合物の一部をＭｇＯで置換することは何等差
支えない。
次に本発明の製法においては、上述に従って得られた原
料をボールミルや振動ミルによって湿式混合し、成形用
バインダー等が添加され、乾燥造粒の後、プレス法等に
より所望の形状に成型される。次いで、この成形体を加
圧焼結又は無加圧焼結する。
料をボールミルや振動ミルによって湿式混合し、成形用
バインダー等が添加され、乾燥造粒の後、プレス法等に
より所望の形状に成型される。次いで、この成形体を加
圧焼結又は無加圧焼結する。
加圧焼結はカーボンモールド中に原料を充填し、２００
〜５００ｋｇ／ｅＪの圧力及び１５５０〜１８００℃の
温度に設定して１〜３時間焼成を行なう。
〜５００ｋｇ／ｅＪの圧力及び１５５０〜１８００℃の
温度に設定して１〜３時間焼成を行なう。
無加圧焼結は１６００〜１８００℃に温度が設定された
、１〜２５気圧の窒素ガスもしくはアルゴンガス中、１
〜５時間焼成を行なう。
、１〜２５気圧の窒素ガスもしくはアルゴンガス中、１
〜５時間焼成を行なう。
かくして本発明によれば、所定の粒度゛に設定したマグ
ネシウム化合物を焼成に伴って活性化ＭｇＯにしたこと
により、焼結体中のＭｇＯ量を必要最少量にすると共に
焼結体中に均一分散することができ、その結果、硬度及
び強度を向上せしめてその強度特性のバラツキが小さく
なった高強度緻密窒化珪素焼結体が提供できる。
ネシウム化合物を焼成に伴って活性化ＭｇＯにしたこと
により、焼結体中のＭｇＯ量を必要最少量にすると共に
焼結体中に均一分散することができ、その結果、硬度及
び強度を向上せしめてその強度特性のバラツキが小さく
なった高強度緻密窒化珪素焼結体が提供できる。
以下、本発、明の実施例について述べる。
〔実施例１〕
α相８５％含有の窒化珪素粉末（平均粒径１．θμ）Ｇ
こ第１表に示す通り、暖、 Ｍｇ（ＯＨ）２ 、 Ｍｇ
Ｃ０ａのそれぞれを用いた場合Ｉこついて、更にその他
の焼結助剤も用いた場合について、配合組成比を決めた
。そして、この出発原料にアルコールを加えて窒化珪素
ポールにより均一に粉砕混合し、ＭｇＯ系焼結助剤粉末
のＢＥＴ比表面積を第１表に示す通りとした。尚、−に
ついてはＭｇ（ＯＨ）＋ 、 ＭｇｃＯ３を用いた場合
と同一の条件で粉砕処理してもＢＥＥＴ比表面積がｌＱ
ｍ／ｇを越えることはなかった。
こ第１表に示す通り、暖、 Ｍｇ（ＯＨ）２ 、 Ｍｇ
Ｃ０ａのそれぞれを用いた場合Ｉこついて、更にその他
の焼結助剤も用いた場合について、配合組成比を決めた
。そして、この出発原料にアルコールを加えて窒化珪素
ポールにより均一に粉砕混合し、ＭｇＯ系焼結助剤粉末
のＢＥＴ比表面積を第１表に示す通りとした。尚、−に
ついてはＭｇ（ＯＨ）＋ 、 ＭｇｃＯ３を用いた場合
と同一の条件で粉砕処理してもＢＥＥＴ比表面積がｌＱ
ｍ／ｇを越えることはなかった。
次いで、この混合物を４００ ｋｇ／ｅＪの圧力下１７
５０℃の温度で２時間ホットプレスを行なった。
５０℃の温度で２時間ホットプレスを行なった。
かくして得られた焼結体の密度、ロックウェル硬度Ｅ（
ＲＡ及び抗折強度、並びにワイブル係数による強度特性
のバラツキを測定したところ、第１表に示す結果が得ら
れた。抗折強度及びワイブル係数については１．Ｔ工５
Ｒ１６０１に従って４点曲げ試験法により４ Ｘ ３
Ｘ ４２ ｔｍの試験片の抗折強度を測定することによ
って求めた。尚、このワイブル係数はワイブル確率紙に
破壊確率と最大応力をプロットし、この傾きからその係
数が判るというものであ第１表カラ明らかな通り、Ｍｇ
（ＯＨ）ｇ 、 ＭｇＣ０ａ （Ｆ）焼結助剤を用いる
とＢｒ比表面積が１０ｍ／ｇ以上の粉末に容易に粉砕す
ることができるため、試料番号２．３，５，６．８，９
．１１，１２，１８゜２０、２２．２４．２６．２８．
３０．３２．３４．３６゜３Ｂ、４０．４２が示す通り
、ワイブル係数が顕著に向上した高品質な窒化珪素焼結
体が得られた。
ＲＡ及び抗折強度、並びにワイブル係数による強度特性
のバラツキを測定したところ、第１表に示す結果が得ら
れた。抗折強度及びワイブル係数については１．Ｔ工５
Ｒ１６０１に従って４点曲げ試験法により４ Ｘ ３
Ｘ ４２ ｔｍの試験片の抗折強度を測定することによ
って求めた。尚、このワイブル係数はワイブル確率紙に
破壊確率と最大応力をプロットし、この傾きからその係
数が判るというものであ第１表カラ明らかな通り、Ｍｇ
（ＯＨ）ｇ 、 ＭｇＣ０ａ （Ｆ）焼結助剤を用いる
とＢｒ比表面積が１０ｍ／ｇ以上の粉末に容易に粉砕す
ることができるため、試料番号２．３，５，６．８，９
．１１，１２，１８゜２０、２２．２４．２６．２８．
３０．３２．３４．３６゜３Ｂ、４０．４２が示す通り
、ワイブル係数が顕著に向上した高品質な窒化珪素焼結
体が得られた。
然る番こ、ＭｇＯの焼結助剤を用いると当業者にとって
周知の通り、粉砕１こ伴ってその平均粒径が向上しても
ＢＥＥＴ比表面積が１０１１ｔ／ｇ未満の粉末しか得ら
れず、試料番号１．４．７．１０ 、１７．１９ 。
周知の通り、粉砕１こ伴ってその平均粒径が向上しても
ＢＥＥＴ比表面積が１０１１ｔ／ｇ未満の粉末しか得ら
れず、試料番号１．４．７．１０ 、１７．１９ 。
２１、２３．２５．２７．２９ 、３１．３３．３５．
３７゜３９．４１が示す如（、本発明の対応する各々の
試料に比べて硬度及び強度並びにワイブル係数は概ね劣
っていることが判る。
３７゜３９．４１が示す如（、本発明の対応する各々の
試料に比べて硬度及び強度並びにワイブル係数は概ね劣
っていることが判る。
更に本発明の比較例として試料番号１３，１４゜１５．
１６によればＭｇ（ＯＨ）ｌｌ、 ＭｇＣ０ａの焼結助
剤を用いてもその粉末のＢ］１７Ｉ′比表面積が１０ｆ
ｆ／ｇ未満であれば硬度及び強度並びにワイブル係数が
相対的に低下していることが判る。
１６によればＭｇ（ＯＨ）ｌｌ、 ＭｇＣ０ａの焼結助
剤を用いてもその粉末のＢ］１７Ｉ′比表面積が１０ｆ
ｆ／ｇ未満であれば硬度及び強度並びにワイブル係数が
相対的に低下していることが判る。
〔実施例２〕
α相８５％含有の量化珪素粉末（平均粒径ＬＯμ）＋Ｃ
＠２表に示す通り、ＭｇＯ、Ｍｇ（ＯＨ）ｓのそれぞれ
を用いた場合について、史にその他の焼結助剤も用いた
場合について、配合組成比を決めた。そして、この出発
原料にアルコールを加えて窒化珪素ボールにて均一に粉
砕混合し、Ｍｇ（ＯＨ） Ｉ粉末のＢＥＴ比表面積を第
２表に示す通りとした。尚、Ｍｇ。
＠２表に示す通り、ＭｇＯ、Ｍｇ（ＯＨ）ｓのそれぞれ
を用いた場合について、史にその他の焼結助剤も用いた
場合について、配合組成比を決めた。そして、この出発
原料にアルコールを加えて窒化珪素ボールにて均一に粉
砕混合し、Ｍｇ（ＯＨ） Ｉ粉末のＢＥＴ比表面積を第
２表に示す通りとした。尚、Ｍｇ。
については同じ条件で粉砕処理してもＢ訂比表面積が１
０ ｍ ／ｇを越えることがなかった。
０ ｍ ／ｇを越えることがなかった。
次いで、この混合物を乾燥させた後、８重量％のパラフ
ィンを添加し、成形圧１，５ ｔｏｎ／ｃ１１で所望の
形状にプレス成形した。この成形体を真空中で脱脂した
後、窒素ガス２０ ａｔ瓜の加圧ガス雰囲気中、１９０
０℃の焼成温度で３時間焼成を行なった。
ィンを添加し、成形圧１，５ ｔｏｎ／ｃ１１で所望の
形状にプレス成形した。この成形体を真空中で脱脂した
後、窒素ガス２０ ａｔ瓜の加圧ガス雰囲気中、１９０
０℃の焼成温度で３時間焼成を行なった。
かくして得られた焼結体について、実施例１と同様番こ
密度、ロックウェル硬度及び４点曲げ試験法による抗折
強度、並びにワイブル係数による強度特性のバラツキを
測定したところ、第２表に示す結果が得られた。
密度、ロックウェル硬度及び４点曲げ試験法による抗折
強度、並びにワイブル係数による強度特性のバラツキを
測定したところ、第２表に示す結果が得られた。
第２表から明らかな通り、Ｍｇ（ＯＨ）１１の焼結助剤
を用いるとＢＥＥＴ比表面積がｌＱｍ／ｇ以上の粉末に
容易に粉砕することができ、試料番号４４．４６゜４８
、５０．５２．５４．５６．５８．６０．６２．６４゜
６６、６８．７０．７２．７４はそれぞれの対応する比
較例４３．４５．４７．４９．５１．５３．５５．５７
゜５９、６１．６３．６５．６７、６９．７１．７３と
比べて硬度、強度及びワイブル係数が顕著１こ向上して
いる。
を用いるとＢＥＥＴ比表面積がｌＱｍ／ｇ以上の粉末に
容易に粉砕することができ、試料番号４４．４６゜４８
、５０．５２．５４．５６．５８．６０．６２．６４゜
６６、６８．７０．７２．７４はそれぞれの対応する比
較例４３．４５．４７．４９．５１．５３．５５．５７
゜５９、６１．６３．６５．６７、６９．７１．７３と
比べて硬度、強度及びワイブル係数が顕著１こ向上して
いる。
更に本発明の比較例として試料番号７５．７６゜７７に
よれば、 Ｍｇ（ＯＨ）ｌｌの焼結助剤を用いてもその
粉末のＢＥＴ比表面積がｌ０ＩＰＩ／ｇ未満であれば硬
度及び強度並びにワイブル係数が試料番号４４，４８゜
５０と比べて低下していることが判る。
よれば、 Ｍｇ（ＯＨ）ｌｌの焼結助剤を用いてもその
粉末のＢＥＴ比表面積がｌ０ＩＰＩ／ｇ未満であれば硬
度及び強度並びにワイブル係数が試料番号４４，４８゜
５０と比べて低下していることが判る。
また本発明者等は前記Ｍｇ（ＯＨ）Ｑの代わりにＭｇＣ
０ａを相当するＭｇＯ量用いた場合についても実験を行
なったところ、いずれも実施例２と同じような優れた効
果を認めた。
０ａを相当するＭｇＯ量用いた場合についても実験を行
なったところ、いずれも実施例２と同じような優れた効
果を認めた。
上述の実施例を示す通り、本発明によれば、■（ＯＨ）
９ 、 ＭｇＣ０ａなど焼成に伴ってＭｇＯになり、且
つ粉砕が容易であると共にそれ自体が微粉状になるマグ
ネシウム化合物を用い、その化合物を所定の比表面積に
すると焼成に伴って活性化ＪＯが生成し、硬度及び強度
が向上し、強度特性のバラツキが顕著に小さくなった高
強度緻密窒化珪素焼結体が提供できる１゜
９ 、 ＭｇＣ０ａなど焼成に伴ってＭｇＯになり、且
つ粉砕が容易であると共にそれ自体が微粉状になるマグ
ネシウム化合物を用い、その化合物を所定の比表面積に
すると焼成に伴って活性化ＪＯが生成し、硬度及び強度
が向上し、強度特性のバラツキが顕著に小さくなった高
強度緻密窒化珪素焼結体が提供できる１゜
Claims (2)
- （１）酸化マグネシウム（ＭｇＯ）を焼結助剤として含
有する窒化珪素焼結体において、ワイブル係数が１３以
上であることを特徴とする高強度緻密窒化珪素焼結体。 - （２）窒化珪素粉末に、熱分解して酸化マグネシウム（
ＭｇＯ）になるようなマグネシウム化合物をＢＥＴ比表
面積１０ｍ＾２／ｇ以上の粉末にして含有した出発原料
を混合して成形後、加圧焼結又は無加圧焼結してワイブ
ル係数を１３以上にしたことを特徴とする高強度緻密窒
化珪素焼結体の製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128531A JPS6110069A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 高強度緻密窒化珪素焼結体及びその製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59128531A JPS6110069A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 高強度緻密窒化珪素焼結体及びその製法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6110069A true JPS6110069A (ja) | 1986-01-17 |
Family
ID=14987054
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59128531A Pending JPS6110069A (ja) | 1984-06-21 | 1984-06-21 | 高強度緻密窒化珪素焼結体及びその製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6110069A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| JP2006232622A (ja) * | 2005-02-24 | 2006-09-07 | Kyocera Corp | 複合焼結体および切削工具 |
| EP2100865A1 (en) | 2008-03-10 | 2009-09-16 | Hitachi Metals, Ltd. | Silicon nitride substrate, method of manufacturing the same, and silicon nitride circuit board and semiconductor module using the same |
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| JPS5560072A (en) * | 1978-10-27 | 1980-05-06 | Asahi Glass Co Ltd | Manufacture of ceramics material |
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| JPS60145965A (ja) * | 1984-01-06 | 1985-08-01 | 宇部興産株式会社 | 窒化珪素質焼結体の製法 |
-
1984
- 1984-06-21 JP JP59128531A patent/JPS6110069A/ja active Pending
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