JPH0343232Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は、基板に自転・公転を与えながら処理
するスパツタリング装置における基板保持機構に
関するものである。

（従来技術とその問題点） 磁気デイスク、光デイスク等の基板表面に薄膜
をスパツタリング法によつて形成する方法とし
て、スパツタリング処理中、基板を自転・公転さ
せる方法がある。

すなわち、パレツトに設けた複数の円形開口部
の各内周面部に環状凹溝を形成し、この環状凹溝
内にドーナツ状基板を位置させ、パレツトを垂直
状態に保持して回転することにより、基板を自
転・公転させながらスパツタリング処理を行うも
のである。

ところで、前記のように、基板をパレツトの円
形開口部の環状凹溝を介して保持すると、スパツ
タリング処理中に、基板の外周縁部に形成された
薄膜あるいは凹溝内壁部に形成された薄膜が、基
板と環状凹溝との摩擦により剥離してダストとな
つて基板に付着し、薄膜の欠陥になるという問題
点を有していた。さらに、環状凹溝を介して直接
基板を保持する関係上、基板自体の自転速度に限
界があり、必要な自転数が確保できないという問
題点を有していた。

したがつて、本考案は、基板を簡単な構成から
なる保持機構を介してパレツトの円形開口部に装
着することにより、前記従来の問題点を解決する
ことのできる自転・公転式スパツタリング装置に
おける基板保持機構を提供することを目的とす
る。

（問題点を解決すべき手段） 本考案は、前記目的を達成するために、自転・
公転式スパツタリング装置におけるドーナツ状基
板保持機構を、パレツトに設けた円形開口部に掛
け渡した支持部材と、この支持部材に設けた係合
部材と、外周に前記基板の開口縁部を保持する保
持部材を備えたホルダーとからなり、前記係合部
材とホルダーとを遊嵌状態で、かつ、回転自在に
取り付けた構成としたものである。

（実施例） つぎに、本考案の一実施例を添付図面にしたが
つて説明する。

第１図は、自転・公転式マグネトロン・スパツ
タリング装置の概略を示し、１は処理室で、この
処理室１の両側壁２には、パレツト回転装置３が
設けられており、同一円周上に多数の基板Ｗを下
記する保持機構７で保持したパレツト４が、その
軸部５を前記パレツト回転装置３により接離可能
に支持され、かつ、回転可能となつている。

また、前記両側壁２に基板Ｗと対面するよう
に、複数のスパツタリング電極２０が放射状に配
置されている。

前記保持機構７は、第２図にしめすように、パ
レツト４に設けた複数の円形開口部６に掛け渡し
て取り付けた支持部材８と、係合部材９と、保持
部材１５を備えたホルダー１２とからなる。

そして、前記係合部材９は、円形頭部１０と軸
部１１とからなり、前記支持部材８に適宜取り付
けられ、円形開口部６の中心に位置する。

前記ホルダー１２は、前記係合部材９の円形頭
部１０と軸部１１とが遊嵌状態で位置するよう
に、大径部１４ａと小径部１４ｂとからなる孔部
１４を中心に有するとともに、外周部にスプリン
グ式クリツプからなる保持部材１５を備えた円板
状のホルダー本体１３と蓋体１６とからなり、ホ
ルダー本体１３の孔部１４を係合部材９の円形頭
部１０と軸部１１とに遊嵌合するとともに、蓋体
１６をホルダー本体１３に取り付けることによ
り、ホルダー１２を係合部材９に回転自在に遊嵌
する。

前記構成において、ドーナツ状基板Ｗをスパツ
タリング処理するには、ドーナツ状基板Ｗの開口
Ｈを前記保持部材１５の凹所１５ａに嵌合するこ
とにより基板Ｗをパレツト４の開口部６に固定装
置する。

そして、パレツト回転装置３によりパレツト４
の軸部５を挾持して回転させるものである。

この場合、基板Ｗはホルダー１２と係合部材９
とを介してパレツト４の円形開口部６に設けた支
持部材８に回転自在に保持されているので、パレ
ツト４の回転につれてホルダー１２が逆方向に自
転することになり、その結果、基板Ｗは自転・公
転しながらスパツタリングされることになる。

第３図は、本考案の第２実施例で、前記係合部
材９の孔部１７を、前方に開口する小径部１７ａ
とこれに続く大径部１７ｂとで構成し、ホルダー
１２を、一方に前記保持部材１５を有する本体１
２ａと、他方に前記係合部材９の大径部１７ｂに
回転自在に遊嵌合する円板部１２ｂと、これを連
結する軸部１２ｃからなり、ホルダー１２の一方
が係合部材９に遊嵌合することにより、パレツト
４の回転により前記同様基板Ｗを自転・公転する
ようになつている。

なお、保持部材１５は、スプリング式クリツプ
に限らず、マグネツトチヤツクあるいはツイスト
ロツク方式であつてもよい。

（考案の効果） 以上の説明で明らかなように、本考案によれ
ば、基板は、ホルダーに直接固定支持され、か
つ、このホルダーを円形開口部のほぼ中心部に設
けた係合部材に遊嵌状態で回転自在に装着してい
るため、スパツタリング中に基板表面に堆積され
た薄膜が、剥離してダストとして飛散することが
ない。さらに、基板の自転速度は遊嵌合する係合
部の径を選択することにより容易に変更できる。

なお、基板をホルダーに装着する手段として、
実施例のようにスプリング式クリツプを使用すれ
ば、基板の着脱も極めて容易に行える。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の基板保持機構を備えたスパツ
タリング装置の概略図で、第２図は第１図におけ
る基板保持機構の詳細拡大断面図で、第３図は他
の実施例である。 ３〜パレツト回転装置、４〜パレツト、６〜円
形開口部、７〜保持機構、８〜支持部材、９〜係
合部材、１３〜ホルダー、１５〜保持部材、Ｈ〜
開口、Ｗ〜基板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 垂直状態の回転パレツトに設けた円形開口部
   に、ドーナツ状基板を保持し、この基板を自転・
   公転させながら処理するスパツタリング装置にお
   ける基板保持機構において、前記基板保持機構
   を、前記回転パレツトの円形開口部に掛け渡した
   支持部材と、この支持部材に設けた係合部材と、
   外周に前記基板の開口縁部を着脱可能に保持する
   保持部材を備えたホルダーとから構成し、前記係
   合部材とホルダーとを遊嵌状態で、かつ、回転自
   在に取り付けてなるスパツタリング装置における
   ドーナツ状基板保持機構。