JPS62183036A - 磁気デイスク基板のめつき装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は磁気ディスク基板の全外表面に欠陥のない無電
解めっきを施すために用いられる磁気ディスク基板のめ
っき装置に関するものである。

（従来の技術） 情報処理システムの記４ｆｔ装置に使用される磁気ディ
スクは、アルミニウム合金製の磁気ディスク基板の上面
に下地層として厚さ約１０μｍのニッケルめっき層を形
成した上に磁気記録層を形成し更にその上面を保護層で
カバーしたものであり、このニッケルめっき層の形成に
は無電解ニッケルめっきが広く行われている。ところが
この無電解ニッケルめっき工程中においては化学反応に
よって磁気ディスク基板の表面に水素ガスの気泡が発生
しこれを放置するとめっきむらを生ずるので、従来は磁
気ディスク基板を支持している治具に上下方向の振動を
与えて気泡の除去を図るようにしためっき装置が用いら
れていた。

しかし上記のような従来の磁気ディスク基板のめっき装
置においては磁気ディスク基板を確実に動かすことがで
きず微細な気泡を完全に除去することができないために
磁気ディスク基板の表面にビットと呼ばれる微細な凹欠
陥が発生する問題があり、また磁気ディスク基板とその
支持治具との接触部にめっきを行うことができない問題
があった。更にまた、従来の磁気ディスク基板のめつき
装置は小型のものが多く、多鼠のめっき処理を能率良く
行うことができない問題があった。

（発明が解決しようとする問題点） 本発明はこのような従来の問題点を解決して、多数の磁
気ディスク基板の全外表面にピント等の欠陥のない無電
解めっきを能率良く施すことができる磁気ディスク基板
のめっき装置を目的として完成されたものである。

（問題点を解決するための手段） 本発明は処理槽の内部に浸漬される左右一対の垂直な支
持板の内側に、半径方向に延びる長孔を外周部に備えた
一対の回転円板とこれと同軸の太陽歯車とを設け、これ
らの長孔間には磁気ディスク基板を支持するための多数
の溝が形成された軸部と歯車とを備えた基板保持軸の両
端を嵌入保持させるとともに、前記支持板には上部のみ
に切欠きを有するリングを設けて長孔に嵌入保持された
基板保持軸の脱落を防止させたことを特徴とするちので
ある。

（実施例） 次に本発明を図示の実施例について詳細に説明すると、
（１）は内面にポリフッ化エチレンのライニング層（２
）を有するステンレス鋼のような耐食性材料からなる処
理槽、（３）は該処理槽（１）の上部にセットされ得る
キャリア本体、（４）、（４）は該キャリア本体（３）
の両端部下面に垂設された左右一対の垂直な支持板であ
る。これらの支持板（４）、（４）間には水平な中心軸
（５）が架設されており、該中心軸（５）上の支持板（
４）、（４）の内側部分には一対の回転円板（６）、（
７）が取付けられている。この中心軸（５）の一端には
ギア（８）が固定されており、キャリア本体（３）に内
蔵されたモータ（９）によってベベルギアＯＩ及びこれ
に噛み合っている駆動ギア（１））が回転されると、ギ
ア（８）は中心軸（５）とともに回転円板（６）、（７
）を回転させることとなる。また一方の支持板（４）に
は中心軸（５）と同軸上に太陽歯車（１２）が設けられ
ており、回転円板（６）にはこの太陽歯車（１２）と噛
み合う遊星歯車（１２Ａ）が設けられている。従って回
転円板（６）、（７）が回転するとき各遊星歯車（１２
Ａ）　は公転しつつ自転することとなる。

第２図に示されるように、これらの回転円板（６）、（
７）の外周部には半径方向に延びる長孔（１３）が等間
隔に形成されている。そしてこれらの長孔（１３）、（
１３）間には第１図に示されるように基板保持軸（１４
）の両端が嵌入保持されている。基板保持軸（１４）は
中央部に把手部（１５）と円板状の整流板（１６）とを
備えるとともに、その両側に延びる軸部（１７）に磁気
ディスク基板（５０）を支持するための溝（１８）を一
定ピツチで多数凹設したものである。軸部（１７）の外
径は磁気ディスク基板（５０）の中心孔の内径よりも細
くしておくものとする。このような基板保持軸（１４）
は両端を回転円板（６）、（７）の長孔（１３）、（１
３）に嵌入することにより回転円板（６）、（７）間に
保持されているが、長孔（１３）が下向きになったとき
に長孔（１３）から脱落することを防止するため、支持
板（４）、（４）の内側には第２図に示すような上部の
みに切欠き（１９）を有するリング（２ｏ）を設け、基
板保持軸（１４）の両端部をその内面に沿って案内して
脱落を防止している。基板保持軸（１４）はこの切欠き
（１９）を通して長孔（１３）に出し入れされることと
なる。また基板保持軸（１４）はその一端に前記の遊星
歯車（１２Ａ）　　と噛み合う歯車（２１）を備えてお
り、長孔（１３）に嵌入保持された状態で回転円板（６
）、（７）を回転させたとき、基板保持軸（１４）が比
較的早い速度で自転するようになっている。

（作用） このように構成されたものは、基板保持軸（１４）の軸
部（１７）に凹設された多数の溝（１８）に６ｎ気デイ
スク基板（５０）をそれぞれ支持させ、その中央部の把
手部（１５）を握って基板保持軸（１４）をリング（２
０）の切欠き（１９）を介して回転円板（６）、（７）
の長孔（１３）、（１３）間に嵌入させたうえでキャリ
ア本体（３）を処理槽（１）の上部にセントして回転円
板（６）、（７）を含む部分全体を処理液中に浸漬させ
、モータ（９）を回転させて前述のとおり回転円板（６
）、（７）を垂直面内で回転させる。この結果、基板保
持軸（１４）はリング（２０）の内面に案内されつつ中
心軸（５）のまわりを公転するとともに各基板保持軸（
１４）はその端部の歯車（２１）が回転円板（６）の遊
星歯車（１２Ａ）　と噛合して比較的高速度で自転し、
また各磁気ディスク基板（５０）もその中心孔の内径が
／ＩＩＩ（１８）の外径よりも大きいために基板保持軸
（１４）に対して回転してその接触点を常に移動させる
こととなる。このようにして各磁気ディスク基板（５０
）は処理液中を移動しつつ無電解ニッケルめっき等を施
されることとなり、この際に磁気ディスク基板（５０）
の表面に生ずる水素ガスは各磁気ディスク基板（５０）
間に生ずる液流によって除去されるとともに、整流板（
１６）が処理液の乱れを防止するので磁気ディスク基板
（５０）が左右に振動することなく磁気ディスク基板（
５０）の全表面にピット等の欠陥のない無電解めっき層
が形成されることとなる。なお、処理槽＋１）の外側面
に超音波振動子を設けて処理液に超音波振動を与えれば
、ピットの発生を更に確実に防止することができる。

このようにしてめっきが完了した後、多数の磁気ディス
ク基板（５０）が取付けられた基板保持軸（１４）はリ
ング（２０）の上部の切欠き（１９）の部分から取外さ
れる。かかる基板保持軸（１４）の着脱は一定位置で行
われ、しかも単に長孔（１３）内へ挿入すれば回転円板
（６）、（７）の回転につれてリング（２０）により自
動的に脱落が防止され、また取出しのｒｊ９．ｔこも単
に長孔（１３）内から引出すだけで良いので、例えば筒
易ロボット等の自動機によって能率良く着脱できること
となる。

（発明の効果） 本発明は以上の説明からも明らかなように、磁気ディス
ク基板の全外表面にピット等の欠陥のない均一な無電解
めっきを施すことができるものであり、また基板保持軸
に多数の溝を設けて磁気ディスク基板を保持させるよう
にしたので、数百枚の磁気ディスク基板を同時に処理す
ることができるものである。更に、基板保持軸はリング
の切欠き部分を介して長溝内へ挿入し、あるいは長溝か
ら引出すのみで容易に回転円板に着脱できるので、取扱
いが容易で作業性にも優れたものであり、従来の磁気デ
ィスク基板のめっき装置の問題点を解決したものとして
産業の発展に寄与するところは極めて大である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示す一部切欠正面図、第２図
はその一部切欠側面図である。 （１）：処理槽、（４）：支持板、（５）：中心軸、（
６）、（７）二回転円板、（１２）：太陽歯車、（１３
）：長孔、（１４）：基板保持軸、（１７）　ｊ軸部、
（１８）　：　溝、（１９）：　切欠き、（２０）　：
　　リング、（２１）：　歯車、（５０）　：磁気ディ
スク基板。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 処理槽（１）の内部に浸漬される左右一対の垂直な支持
   板（４）、（４）の内側に、半径方向に延びる長孔（１
   ３）を外周部に備えた一対の回転円板（６）、（７）と
   これと同軸の太陽歯車（１２）とを設け、これらの長孔
   （１３）、（１３）間には磁気ディスク基板（５０）を
   支持するための多数の溝（１８）が形成された軸部（１
   ７）と歯車（２１）とを備えた基板保持軸（１４）の両
   端を嵌入保持させるとともに、前記支持板（４）、（４
   ）には上部のみに切欠き（１９）を有するリング（２０
   ）を設けて長孔（１３）に嵌入保持された基板保持軸（
   １４）の脱落を防止させたことを特徴とする磁気ディス
   ク基板のめっき装置。