JPH03285049A - 高純度ガス用フェライトステンレス鋼管 - Google Patents
高純度ガス用フェライトステンレス鋼管Info
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- JPH03285049A JPH03285049A JP8519290A JP8519290A JPH03285049A JP H03285049 A JPH03285049 A JP H03285049A JP 8519290 A JP8519290 A JP 8519290A JP 8519290 A JP8519290 A JP 8519290A JP H03285049 A JPH03285049 A JP H03285049A
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Landscapes
- Rigid Pipes And Flexible Pipes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、超ＬＳＩ製造プロセスに使用される゛高純度
ガス配管等に用いられる高純度ガス用フェライトステン
レス鋼管に関する。
ガス配管等に用いられる高純度ガス用フェライトステン
レス鋼管に関する。
半導体製造分野においては、近年、高集積化が進み、例
えば［ＬＳＩと称されるデイバイスでは、１μｍ以下の
微細パターンが必要とされている。
えば［ＬＳＩと称されるデイバイスでは、１μｍ以下の
微細パターンが必要とされている。
このような超ＬＳＩ製造プロセスでは、微妙な塵や微量
不純物ガスが配線パターンに付着、吸着し回路不良の原
因となるため、使用する反応ガス及びキャリヤーガスは
、高純度であること、すなわちガス中の微粒子および不
純物ガスの少ないことが必要とされる。従って、その高
純度ガス配管においては、管内面からの微粒子およびガ
スの放出が極力少ないことが要求される。
不純物ガスが配線パターンに付着、吸着し回路不良の原
因となるため、使用する反応ガス及びキャリヤーガスは
、高純度であること、すなわちガス中の微粒子および不
純物ガスの少ないことが必要とされる。従って、その高
純度ガス配管においては、管内面からの微粒子およびガ
スの放出が極力少ないことが要求される。
従来、このような半導体製造用ガス配管には、オーステ
ナイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６鋼）からなる鋼管
が使用されており、特開昭６３１６１１４５号公報には
、Ｍ ｎ 、Ｓ ｉＸＡ ｌ ｓＯを低減し、酸化物系
非金属介在物の生成を抑制した高清浄オーステナイト鋼
管も開示されている。
ナイト系ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６鋼）からなる鋼管
が使用されており、特開昭６３１６１１４５号公報には
、Ｍ ｎ 、Ｓ ｉＸＡ ｌ ｓＯを低減し、酸化物系
非金属介在物の生成を抑制した高清浄オーステナイト鋼
管も開示されている。
一方、半導体製造プロセス等での超純水用として、純水
中での耐食性に優れるフェライトステンレス鋼管が特開
平１−１８０９４６号公報に示されている。これらの鋼
管の内面は、塵や水分などの付着および吸着を低減する
ため、通常機械研磨や電解研磨あるいはそれらの複合処
理によってＲ１，８１μ園程度まで平滑化されている。
中での耐食性に優れるフェライトステンレス鋼管が特開
平１−１８０９４６号公報に示されている。これらの鋼
管の内面は、塵や水分などの付着および吸着を低減する
ため、通常機械研磨や電解研磨あるいはそれらの複合処
理によってＲ１，８１μ園程度まで平滑化されている。
〔発明が解決しようとする！１１！ｌ！り高純度ガス配
管における管内面からの微粒子放出は、表面の非金属介
在物や付着した塵に起因し、またガス放出は、表面吸着
した水分、炭酸ガス及び鋼中の水素に起因すると考えら
れているが、オーステナイト系ステンレス鋼からなる高
純度ガス用鋼管は、鋼中水素の拡散係数が極めて小さい
ため、鋼管製造時に鋼中に固溶した水素が製品に残留し
、使用時に放出される問題のあることが明らかになった
。また、超純水用のフェライトステンレス鋼管は、純水
中での耐食性すなわち管内表面からの金属イオンの溶出
は低減されているものの、高純度ガス用として必要な微
粒子放出や吸着不純物ガスに対しては考慮されていない
。従って、高純度ガス用鋼管としての性能は十分とは言
えない。
管における管内面からの微粒子放出は、表面の非金属介
在物や付着した塵に起因し、またガス放出は、表面吸着
した水分、炭酸ガス及び鋼中の水素に起因すると考えら
れているが、オーステナイト系ステンレス鋼からなる高
純度ガス用鋼管は、鋼中水素の拡散係数が極めて小さい
ため、鋼管製造時に鋼中に固溶した水素が製品に残留し
、使用時に放出される問題のあることが明らかになった
。また、超純水用のフェライトステンレス鋼管は、純水
中での耐食性すなわち管内表面からの金属イオンの溶出
は低減されているものの、高純度ガス用として必要な微
粒子放出や吸着不純物ガスに対しては考慮されていない
。従って、高純度ガス用鋼管としての性能は十分とは言
えない。
本発明の目的は、内面からの微粒子放出および不純物ガ
ス放出が少ない高純度ガス用鋼管を提供することにある
。
ス放出が少ない高純度ガス用鋼管を提供することにある
。
（ｍ１題を解決するための手段〕
最近の清浄化された高純度ガス用鋼管（オーステナイト
ステンレス鋼管）におけるガス汚染は、水素ガス放出の
占める比率が大きくなってきている。また、超純水用の
フェライトステンレス鋼管は、ガス中への微粒子放出が
問題になる。本発明者らは、種々のステンレス鋼管の水
素ガス放出挙動及び表面介在物を調査した結果、次の知
見を得た。
ステンレス鋼管）におけるガス汚染は、水素ガス放出の
占める比率が大きくなってきている。また、超純水用の
フェライトステンレス鋼管は、ガス中への微粒子放出が
問題になる。本発明者らは、種々のステンレス鋼管の水
素ガス放出挙動及び表面介在物を調査した結果、次の知
見を得た。
■ 鋼管からの水素放出量は鋼中に固溶している水素量
と相関があり、鋼中水素量が多いほど水素ガスの放出量
も多い。
と相関があり、鋼中水素量が多いほど水素ガスの放出量
も多い。
■ フェライト系ステンレス鋼とオーステナイト系ステ
ンレス鋼を比較すると、鋼管製品ではオーステナイト系
ステンレス鋼の方が固溶水素が多い。
ンレス鋼を比較すると、鋼管製品ではオーステナイト系
ステンレス鋼の方が固溶水素が多い。
その理由として、オーステナイト系ステンレス鋼はフェ
ライト系ステンレス鋼に比して水素拡散係数が約１００
０分の１であることが考えられる。
ライト系ステンレス鋼に比して水素拡散係数が約１００
０分の１であることが考えられる。
■ 非金属介在物は製品鋼管の内表面から脱落し微粒子
となると共に、脱落した後の小孔や亀裂は平滑化の障害
となり、微粒子及び水分、不純物ガスの付着および吸着
サイトを提供することになる。
となると共に、脱落した後の小孔や亀裂は平滑化の障害
となり、微粒子及び水分、不純物ガスの付着および吸着
サイトを提供することになる。
■ ■のようなことから、微粒子放出抑制には、０ＮＩ
ＩＩ限による酸化物低減だけでは不十分であり、ｓｌ制
限による硫化物系介在物の低減が必要となる。
ＩＩ限による酸化物低減だけでは不十分であり、ｓｌ制
限による硫化物系介在物の低減が必要となる。
■ 特開平１−１８０９４６号公報に開示された超純水
用フェライトステンレス鋼管は、０．Ｓが過剰なために
、高純度ガス用鋼管として適さない。
用フェライトステンレス鋼管は、０．Ｓが過剰なために
、高純度ガス用鋼管として適さない。
本発明は上記知見に基づきなされたもので、重量％で、
Ｃ：０．０３％以下、 ５ｉｌｏ、５％以下、Ｍｎ
：０．５％以下、 ｐ：０．０３％以下、Ｓ：０．
００１％未満、 Ｎｉ：２．０％以下、Ｃｒ：１６〜
３０％、 Ｏ：０．００５％以下、Ｎ：０．０３％以
下、 Ａ１：０．０１％以下、Ｍ ｏ ：０．１
〜３．５％ を含有し、さらに必要に応じて Ｔｉ：Ｏ１１〜０．８％、 Ｎｂ：０．１〜１．５％
の１種または２種を含有し、残部実質的にＦｅよりなる
フェライト系ステンレス鋼からなり、内面粗さＲｍｉｘ
が０．５μｍ以下であることを特徴とする高純度ガス用
フェライトステンレス鋼管を要旨とする。
：０．５％以下、 ｐ：０．０３％以下、Ｓ：０．
００１％未満、 Ｎｉ：２．０％以下、Ｃｒ：１６〜
３０％、 Ｏ：０．００５％以下、Ｎ：０．０３％以
下、 Ａ１：０．０１％以下、Ｍ ｏ ：０．１
〜３．５％ を含有し、さらに必要に応じて Ｔｉ：Ｏ１１〜０．８％、 Ｎｂ：０．１〜１．５％
の１種または２種を含有し、残部実質的にＦｅよりなる
フェライト系ステンレス鋼からなり、内面粗さＲｍｉｘ
が０．５μｍ以下であることを特徴とする高純度ガス用
フェライトステンレス鋼管を要旨とする。
［作 用］
本発明のフェライトステンレス鋼管における限定理由を
詳述し、その作用を明らかにする。
詳述し、その作用を明らかにする。
（１）ｗ４成分
Ｃはフェライト系ステンレス鋼の靭性を低下させる有害
元素であり、極力少ない方が好ましく、０．０３％以下
とする。
元素であり、極力少ない方が好ましく、０．０３％以下
とする。
Ｓｔは脱酸元素であるが、０．５％を超えて添加すると
酸化物系介在物を生成し微粒子放出の原因となるので、
０．５％以下とする。
酸化物系介在物を生成し微粒子放出の原因となるので、
０．５％以下とする。
Ｍｎは脱酸剤としである程度は必要である。しかし、そ
の一方ではＭｎ硫化物あるいは酸化物を形成し微粒子発
生の原因となるので、脱酸を阻害しない範囲で可能な限
り少ないことが好ましい。
の一方ではＭｎ硫化物あるいは酸化物を形成し微粒子発
生の原因となるので、脱酸を阻害しない範囲で可能な限
り少ないことが好ましい。
よって、０．５％以下とする。
Ｐは溶接性確保の観点から有害な元素であり、極力少な
い方がよく、また０、０３％を超えると耐溶接高温割れ
性が劣化する。そのため０．０３％以下とする。
い方がよく、また０、０３％を超えると耐溶接高温割れ
性が劣化する。そのため０．０３％以下とする。
Ｓは非金属介在物のＭｎＳを形成し、微粒子放出の観点
から有害である。０．００１％未満にすることで微粒子
放出が著しく低減されるため０．００１％未満に限定す
る。
から有害である。０．００１％未満にすることで微粒子
放出が著しく低減されるため０．００１％未満に限定す
る。
Ｎｉはオーステナイト生成元素であり、フェライト単相
とするためには少ない方がよい６本発明では工業規模で
の不純物Ｎｉ量を考慮して２％以下とする。
とするためには少ない方がよい６本発明では工業規模で
の不純物Ｎｉ量を考慮して２％以下とする。
Ｃｒは耐食性を維持する基本元素であり、表面にＣｒ！
Ｏ，等からなる不働態膜を形成する。耐食性の維持には
１６％以上の添加を必要とするが、３０％を超えて添加
すると、熱間加工性が劣化するため、１６〜３０％の範
囲とする。
Ｏ，等からなる不働態膜を形成する。耐食性の維持には
１６％以上の添加を必要とするが、３０％を超えて添加
すると、熱間加工性が劣化するため、１６〜３０％の範
囲とする。
０は鋼中で酸化物系介在物を生成するため、微粒子放出
低減の観点から低い方がよ＜、０．００５％を超えると
介在物が多くなることがらｏ、ｏｏｓ％以下とする。
低減の観点から低い方がよ＜、０．００５％を超えると
介在物が多くなることがらｏ、ｏｏｓ％以下とする。
Ｎはフェライトステンレス鋼にとってはＣと同様に靭性
に有害な元素であり、極力少なくする必要がある。０．
０３％を超えると極度に靭性が低下するため、０．０３
％以下とする。
に有害な元素であり、極力少なくする必要がある。０．
０３％を超えると極度に靭性が低下するため、０．０３
％以下とする。
／ｌは脱酸元素で゛あるが、０．０１％を超えて添加す
ると酸化物系介在物を生成した微粒子放出の原因となる
ので０．０１％以下とする。
ると酸化物系介在物を生成した微粒子放出の原因となる
ので０．０１％以下とする。
ＭｏはＣｒと同様に耐食性に寄与する有効元素であるが
、０．１未満の１添加では効果は明確でなく、一方３．
５％を超えると熱間加工性が劣化する。そのためＭｅは
０．１〜３．５％とする。
、０．１未満の１添加では効果は明確でなく、一方３．
５％を超えると熱間加工性が劣化する。そのためＭｅは
０．１〜３．５％とする。
Ｔｉ及びＮｂはＣ及びＮを安定化させる元素であり、そ
れぞれの安定化作用を発揮させるためには、００１％以
上必要である。しかし、Ｔｉは０．８％以上添加しても
安定化作用が飽和する。このためＴｉについては０．１
〜０．８％に限定する。一方ＮｂはＴｉと異なり、安定
化作用以外にＮｂ、Ｏ。
れぞれの安定化作用を発揮させるためには、００１％以
上必要である。しかし、Ｔｉは０．８％以上添加しても
安定化作用が飽和する。このためＴｉについては０．１
〜０．８％に限定する。一方ＮｂはＴｉと異なり、安定
化作用以外にＮｂ、Ｏ。
被膜を形成し、耐食性を向上させる作用があるため１．
５％までの添加が有効である。従って、Ｎｂは０．１〜
−１．５％に限定する。
５％までの添加が有効である。従って、Ｎｂは０．１〜
−１．５％に限定する。
（２）管内面の状態
上記組成のフェライトステンレス鋼管における管内面の
状態と、微粒子及びガス放出量の関係についても本発明
者らは種々検討した。その結果、管内面が粗さＲ１□０
．５μｍ以下であると微粒子、ガス（水素ガス以外のガ
ス）の付着・吸着が少ないことが明らかとなった０表面
粗さをＲ，□０．５μｍ以下とすることについては、必
要な表面粗さが確保できれば、その手段は問わない、す
なわちアルミナ粉等の研磨剤を用いた機械研磨や電解研
磨あるいはそれらの複合研磨など如何なる方法でも構わ
ない、また平滑化後に湿式あるいは乾式の酸化処理によ
って内面に酸化物被膜を生成させてもよい。
状態と、微粒子及びガス放出量の関係についても本発明
者らは種々検討した。その結果、管内面が粗さＲ１□０
．５μｍ以下であると微粒子、ガス（水素ガス以外のガ
ス）の付着・吸着が少ないことが明らかとなった０表面
粗さをＲ，□０．５μｍ以下とすることについては、必
要な表面粗さが確保できれば、その手段は問わない、す
なわちアルミナ粉等の研磨剤を用いた機械研磨や電解研
磨あるいはそれらの複合研磨など如何なる方法でも構わ
ない、また平滑化後に湿式あるいは乾式の酸化処理によ
って内面に酸化物被膜を生成させてもよい。
以下に本発明の実施例を比較例、従来例と対比さゼて説
明する。
明する。
第１表に１−１５で示す化学組成の鋼を真空溶解した後
、鍛造、熱間押出製管、冷間圧延、冷間抽伸ニヨリ９８
！ １０ ｗａ、肉’Ｎ−１，０ｍ（Ｄ継目＠＠管とし
た。管内面は、光輝焼鈍、機械研磨、電解研磨の組合せ
によって種々の表面粗さに調整した。
、鍛造、熱間押出製管、冷間圧延、冷間抽伸ニヨリ９８
！ １０ ｗａ、肉’Ｎ−１，０ｍ（Ｄ継目＠＠管とし
た。管内面は、光輝焼鈍、機械研磨、電解研磨の組合せ
によって種々の表面粗さに調整した。
微粒子発生の原因となる管内面の非金属介在物は走査型
電子Ｕ微鏡によって観察し、長さあるいは直径が２μｍ
以上の介在物数を測定した。また鋼管からの水素放出は
、４ｍ綱管内面を純水（１８ＭΩ・ｃｍ以上）で清浄し
、精製Ａ「ガスで乾燥後１０−’ｔｏｒｒに減圧し、４
時間後の残留ガス量を質量分析器によって測定した。内
面粗さ、介在物数及び残留ガス量を第２表に示す。
電子Ｕ微鏡によって観察し、長さあるいは直径が２μｍ
以上の介在物数を測定した。また鋼管からの水素放出は
、４ｍ綱管内面を純水（１８ＭΩ・ｃｍ以上）で清浄し
、精製Ａ「ガスで乾燥後１０−’ｔｏｒｒに減圧し、４
時間後の残留ガス量を質量分析器によって測定した。内
面粗さ、介在物数及び残留ガス量を第２表に示す。
＊：本発明の範囲外
鋼成分が本発明範囲内で管内面粗さＲ１，８が０゜５μ
ｍ以下である本発明例（Ｎｏ１〜６）は、介在物個数、
及び残留水素やその他のガスはいずれも低レベルであり
、高純度ガス配管用として適した特性を有していること
がわかる。
ｍ以下である本発明例（Ｎｏ１〜６）は、介在物個数、
及び残留水素やその他のガスはいずれも低レベルであり
、高純度ガス配管用として適した特性を有していること
がわかる。
これに対し比較例（Ｎ［Ｒ７，８，９，１０，１１）は
、それぞれＳｉ、Ｍｎ、Ｓ、Ｏ，Ａｌ量が本発明外であ
るため、内面に非金属介在物が残存している。従って、
高純度ガス用鋼管として実際に使用した場合には、ガス
中への微粒子放出が懸念される。比較例（Ｎ［１１２）
は鋼成分が適正なため、介在物および水素ガス放出は少
ないが、内面粗さＲａｍ、が大きいために、水素以外の
ガス放出が多い。
、それぞれＳｉ、Ｍｎ、Ｓ、Ｏ，Ａｌ量が本発明外であ
るため、内面に非金属介在物が残存している。従って、
高純度ガス用鋼管として実際に使用した場合には、ガス
中への微粒子放出が懸念される。比較例（Ｎ［１１２）
は鋼成分が適正なため、介在物および水素ガス放出は少
ないが、内面粗さＲａｍ、が大きいために、水素以外の
ガス放出が多い。
従来例（Ｎｏ、１３および１４）はオーステナイトステ
ンレス鋼管であり、介在物を低減したＮｎ１３でも、本
発明鋼管に比べると水素放出量が多い。
ンレス鋼管であり、介在物を低減したＮｎ１３でも、本
発明鋼管に比べると水素放出量が多い。
従来例（Ｎ（Ｒ１５）は、特開平１−１８０９４６号公
報に開示された超純水用フェライトステンレス鋼管であ
る。０．Ｓが本発明外のために、介在物量が多く、管内
表面からの微粒子放出が多いことが考えられるため高純
度ガス用としては不適である。
報に開示された超純水用フェライトステンレス鋼管であ
る。０．Ｓが本発明外のために、介在物量が多く、管内
表面からの微粒子放出が多いことが考えられるため高純
度ガス用としては不適である。
以上の説明から明らかなように、本発明の高純度ガス用
鋼管は、オーステナイトステンレス鋼に比べ安価なフェ
ライトステンレス鋼を使用し、しかも管内面からの微粒
子、不純物ガス放出特性において現用オーステナイトス
テンレス鋼管を凌ぐものである。従って、本発明の鋼管
は半導体分野はもとより、高純度ガスあるいは超高真空
が必要な種々分野で大きなガス汚染防止効果を発揮し、
その産業上の利用価値は大きい。
鋼管は、オーステナイトステンレス鋼に比べ安価なフェ
ライトステンレス鋼を使用し、しかも管内面からの微粒
子、不純物ガス放出特性において現用オーステナイトス
テンレス鋼管を凌ぐものである。従って、本発明の鋼管
は半導体分野はもとより、高純度ガスあるいは超高真空
が必要な種々分野で大きなガス汚染防止効果を発揮し、
その産業上の利用価値は大きい。
Claims (2)
- （１）重量％で Ｃ：０．０３％以下、Ｓｉ：０．５％以下 Ｍｎ：０．５％以下、Ｐ：０．０３％以下 Ｓ：０．００１％未満、Ｎｉ：２．０％以下Ｃｒ：１６
〜３０％、Ｏ：０．００５％以下Ｎ：０．０３％以下、
Ａｌ：０．０１％以下Ｍｏ：０．１〜３．５％ を含有し、残部実質的にＦｅよりなるフェライト系ステ
ンレス鋼からなり、内面粗さＲ＿ｍ＿ａ＿ｘが０．５μ
ｍ以下であることを特徴とする高純度ガス用フェライト
ステンレス鋼管。 - （２）上記フェライト系ステンレス鋼が、さらに重量％
で Ｔｉ：０．１〜０．８％、Ｎｂ：０．１〜１．５％の１
種または２種を含有する請求項１に記載の高純度ガス用
フェライトステンレス鋼管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8519290A JP2952949B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 高純度ガス用フェライトステンレス鋼管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8519290A JP2952949B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 高純度ガス用フェライトステンレス鋼管 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03285049A true JPH03285049A (ja) | 1991-12-16 |
| JP2952949B2 JP2952949B2 (ja) | 1999-09-27 |
Family
ID=13851790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8519290A Expired - Lifetime JP2952949B2 (ja) | 1990-03-30 | 1990-03-30 | 高純度ガス用フェライトステンレス鋼管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2952949B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995011321A1 (fr) * | 1993-10-20 | 1995-04-27 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Acier inoxydable pour gaz haute purete |
| WO1995018247A1 (fr) * | 1993-12-30 | 1995-07-06 | Tadahiro Ohmi | Procede de constitution d'une pellicule oxydee passive, acier inoxydable a systeme de ferrite, systeme d'alimentation en fluide et composant pour contact avec le fluide |
| JPH07243000A (ja) * | 1994-03-08 | 1995-09-19 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 高純度ガス用高Ｃｒステンレス鋼 |
| US5916388A (en) * | 1997-03-26 | 1999-06-29 | Anelva Corporation | Method and apparatus for the treatment of stainless steel surfaces |
| JP2013011437A (ja) * | 2005-12-21 | 2013-01-17 | Exxonmobil Research & Engineering Co | ファウリングを抑制させるための耐食材料、改良された耐食性およびファウリング抵抗性を有する伝熱装置、およびファウリングを抑制させるための方法 |
| US8671727B2 (en) * | 2009-12-21 | 2014-03-18 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Methods for producing blank tube for cold drawing and for producing cold drawn tube |
| JP2021123790A (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-30 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 薄肉管用フェライト系ステンレス鋼板およびこれを用いてなる薄肉管 |
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|---|---|---|---|---|
| JP2002103002A (ja) * | 2000-09-25 | 2002-04-09 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 鋳片および継目無鋼管の製造方法 |
-
1990
- 1990-03-30 JP JP8519290A patent/JP2952949B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO1995018247A1 (fr) * | 1993-12-30 | 1995-07-06 | Tadahiro Ohmi | Procede de constitution d'une pellicule oxydee passive, acier inoxydable a systeme de ferrite, systeme d'alimentation en fluide et composant pour contact avec le fluide |
| US5951787A (en) * | 1993-12-30 | 1999-09-14 | Tadahiro Ohmi | Method of forming oxide-passivated film, ferrite system stainless steel, fluid feed system and fluid contact component |
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| US8671727B2 (en) * | 2009-12-21 | 2014-03-18 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Methods for producing blank tube for cold drawing and for producing cold drawn tube |
| EP2517801A4 (en) * | 2009-12-21 | 2016-05-18 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corp | COLD STRETCH BASE TUBE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND METHOD OF MANUFACTURING COLD STRETCH TUBE |
| JP2021123790A (ja) * | 2020-02-05 | 2021-08-30 | Ｊｆｅスチール株式会社 | 薄肉管用フェライト系ステンレス鋼板およびこれを用いてなる薄肉管 |
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| Publication number | Publication date |
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| JP2952949B2 (ja) | 1999-09-27 |
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