JPH03257937A - ベアチップ封止方法 - Google Patents

ベアチップ封止方法

Info

Publication number
JPH03257937A
JPH03257937A JP5505490A JP5505490A JPH03257937A JP H03257937 A JPH03257937 A JP H03257937A JP 5505490 A JP5505490 A JP 5505490A JP 5505490 A JP5505490 A JP 5505490A JP H03257937 A JPH03257937 A JP H03257937A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bear chip
sealant
sealing agent
bare chip
viscous sealing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5505490A
Other languages
English (en)
Inventor
Kenji Iketaki
憲治 池滝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP5505490A priority Critical patent/JPH03257937A/ja
Publication of JPH03257937A publication Critical patent/JPH03257937A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 基板にグイポンディングにて実装されたベアチップの封
止構造に関し、 ヘアチップ実装における封止の際の信頼性を向上するこ
とを目的とし、 基板上に形成されたパッドにワイヤを介して電気的に実
装されるベアチップに封止剤によって封止するベアチッ
プの封止方法において、前記パッドの外側で、且つ前記
ベアチップの周囲に高粘度封止剤を塗布し、当該高粘度
封止剤によって囲まれる領域に低粘度封止剤を塗布して
封止するよう構成する。
〔産業上の利用分野〕
本発明は、基板にグイボンディングにて実装されたベア
チップの封止構造に関するものである。
現在、プリント基板の高密度化、装置の薄型化に伴い、
実装の分野では薄く且つ、高密度の実装方法が要求され
ている。
かかる要求を満足するために、ベアチップを基板にグイ
ポンデイグした後、そのベアチップおよびベアチップの
グイと基板に形成されたパッドとを接続するワイヤに対
して封止剤によって封止することで行われていた。
封止剤を用いて封止する際、この封止剤は、硬化時に収
縮するためその内部応力によりワイヤの断線・ショート
等を引き起こすことがあった。また、この高粘度の封止
剤を用いて気泡を発生しないようにするには、ベアチッ
プの外側から徐々に内側に向かって塗布する際、塗布速
度を遅くすることで気泡の発生は回避されるものの、塗
布する時間が長くなり量産性に欠ける欠点があった。
一方、低粘度の封止剤を用いれば上記問題は発生しない
ものの、今度は基板上の他の領域に封止剤が流れ込んで
しまうといった問題が発生していた。
よって、かかる問題が発生しない封止方法が要求されて
いる。
〔従来の技術〕
従来は、第2図に示すように、基板21に搭載され、ダ
イとパッド23とがワイヤ24によって接続されたベア
チップ22に対して、エポキシ系の封止剤25を除法か
ら塗布し、別途キュア炉にて硬化することで封止が行わ
れていた。
そして、封止剤の流れ込み防止のため、パッド23の外
周で且つベアチップ22を覆うように別部材によってダ
ム26を形成していた。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかしながら、従来は別部材によってダムを形成してい
たために、別部材を基板に搭載する工程が必要となり、
製造性lこ欠けるという欠点があった。
従って、本発明はベアチップ実装における封止の際の信
頼性を向上することを目的とするものである。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、基板1上に形成されたパッド3にワイヤ4
を介して電気的に実装されるベアチップ2に封止剤によ
って封止するベアチップの封止方法において、 前記パッド3の外側で、且つ前記ヘアチップ2の周囲に
高粘度封止剤6を塗布し、当該高粘度封止剤6によって
囲まれる領域に低粘度封止剤5を塗布して封止すること
を特徴とするベアチップ封止方法、により達成される。
〔作用〕
即ち、本発明においては、高粘度の封止剤をベアチップ
の周囲に塗布し、その高粘度封止剤によって囲まれる領
域については低粘度封止剤を塗布している。
従って、ベアチップと直接接する封止剤は低粘度の封止
剤としているため、気泡が起こりにくく、また低粘度封
止剤による流れ込み防止としては、その低粘度封止剤の
外側に高粘度封止剤を塗布しているので、流れ込みは発
生しない。
更に、封止剤の粘度を切替えるという方法であるので、
従来と比較して工程上も簡略化され、且つ製造に有する
時間も短縮される。
〔実施例〕
以下、本発明の実施例を第1図を用いて詳細に説明する
第1図は、本発明の実施例を示す図である。
図において、1は基板、2はベアチップ、3はパッド、
4はワイヤ、5は低粘度封止剤、6は高粘度封止剤をそ
れぞれ示す。
第1図に示すように、基板1とダイ・ボンディングによ
って実装されたベアチップ2のダイから突出してなる金
・アルミ等の金属性のワイヤ4を、基板1の所定箇所に
形成されたパッド3と接続することにより、電気的な接
続が行われる。
これらベアチップ2およびワイヤ4に対して、まず、ワ
イヤ4の外側で、且つベアチップ2の周囲を覆うように
エポキシ系の樹脂である高粘度の封止剤6を塗布する。
その後、この高粘度の封止剤6によって囲まれた領域、
つまりベアチップ2およびワイヤ4が存在する領域につ
いて同じくエポキシ系の樹脂である低粘度の封止剤5を
塗布する。この低粘度の封止剤5の塗布する際に気泡の
発生を極力なくすために、本実施例においては、超音波
振動を用いるようにしている。このように超音波振動を
加えると、粘度の低い封止剤で覆われた部分の気泡は外
部に除去される。また、超音波振動は粘度の低い封止剤
の広がりを均等にさせ、品質の良い樹脂針しか可能とな
る。
尚、本実施例においては、2種類の粘度の異なる封止剤
を用いて説明を行ったが、樹脂の温度を変えることによ
り、粘度を調節する方法を用いてもよい。
更に、2種類の粘度の異なる封止剤を基板上に供給する
ために、例えば2個の供給部材(デイスペンサ)を用い
、一方を固定式として低粘度の封止剤供給用とし、他方
の移動式として高粘度の封止剤供給用としてもよい。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明においては、製造プロセスの
簡略化および信頼性に大きく影響を与える気泡の効率的
な除去が可能となる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例を示す図であり、第2図は、
従来の封止方法を示す図である。 図において、 1は基板。 2はベアチップ。 3はバッド 4はワイヤ。 5は低粘度封止剤。 6は高粘度封止剤。 それぞれ示す。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 基板(1)上に形成されたパッド(3)にワイヤ(4)
    を介して電気的に実装されるベアチップ(2)に封止剤
    によって封止するベアチップの封止方法において、 前記パッド(3)の外側で、且つ前記ベアチップ(2)
    の周囲に高粘度封止剤(6)を塗布し、当該高粘度封止
    剤(6)によって囲まれる領域に低粘度封止剤(5)を
    塗布して封止することを特徴とするベアチップ封止方法
JP5505490A 1990-03-08 1990-03-08 ベアチップ封止方法 Pending JPH03257937A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5505490A JPH03257937A (ja) 1990-03-08 1990-03-08 ベアチップ封止方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5505490A JPH03257937A (ja) 1990-03-08 1990-03-08 ベアチップ封止方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH03257937A true JPH03257937A (ja) 1991-11-18

Family

ID=12987968

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5505490A Pending JPH03257937A (ja) 1990-03-08 1990-03-08 ベアチップ封止方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH03257937A (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20030042615A1 (en) Stacked microelectronic devices and methods of fabricating same
US5314842A (en) Resin-sealed type semiconductor device and method for manufacturing the same
JPH06204272A (ja) 半導体装置の製造方法
KR20000050486A (ko) 볼 그리드 어레이 반도체 패키지의 인캡슐레이션 방법
JPH10261741A (ja) 半導体装置及び半導体装置の製造方法
JPH03257937A (ja) ベアチップ封止方法
JPH08236578A (ja) 半導体素子のフリップチップ実装方法およびこの実装方 法に用いられる接着剤
KR100306116B1 (ko) 반도체베어칩의다이렉트어테치본딩방법
JP2000306932A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH0269945A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPS6175549A (ja) 半導体素子を含む電子回路及びその製造方法
JPH06342817A (ja) 半導体装置
KR100199851B1 (ko) 칩 스케일 패키지 및 그의 제조 방법
JPH1126641A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2594244B2 (ja) 半導体封止方法
JPS60134447A (ja) 半導体装置の製造方法
JPH03257938A (ja) ベアチップ封止方法
JPS63177430A (ja) 半導体装置の樹脂封止方法
JPH05166879A (ja) Ic実装方法
JP2000277564A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JPS6327029A (ja) 樹脂封止型半導体装置の製造方法
JPH0590957U (ja) フリップチップのコーティング構造
JPS5848932A (ja) 半導体装置の製法
JPS63143849A (ja) 半導体装置の封止方法
JPH0379044A (ja) 半導体素子の樹脂封止方法