JPH03195376A - ダイオード及びigbtとの並列回路とそのモジュール及びそれを用いた電力変換装置 - Google Patents

ダイオード及びigbtとの並列回路とそのモジュール及びそれを用いた電力変換装置

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JPH03195376A
JPH03195376A JP1331334A JP33133489A JPH03195376A JP H03195376 A JPH03195376 A JP H03195376A JP 1331334 A JP1331334 A JP 1331334A JP 33133489 A JP33133489 A JP 33133489A JP H03195376 A JPH03195376 A JP H03195376A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、高速スイッチング素子IGBTに組合せて用
いられるダイオードとその並列回路及び共通のベース上
で逆並列に接続して構成したモジ3 ニール、及びそれを用いたインバータ装置に関する。
〔従来の技術〕
電力変換装置の応用範囲の拡大に伴い装置の高性能、低
騒音、小形化がますます重要になっている。その制御素
子として、パワーMO8−FETの高速スイッチング特
性とバイポーラ1〜ランジスタの高電力特性を兼ね備え
たI G B T (InsulatedGate B
ipolar Transistor)が開発され、実
用化され始めている。
IGBTは、ターンオン及びターンオフタイムが0.1
〜0.5μsと速く、高周波で駆動するのに好適な素子
である。そしてこの1:GETは共通のベース上でダイ
オードと逆並列に接続して、それを1組〜6組をまとめ
たモジュールにして、高周波インバータなどに実用化さ
れ始めている。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、IGBTを用いてインバータ装置を構成すると
、スイッチング時に発生する電圧振動が大きく、それが
ノイズとなって制御装置の誤動作やIGBTの破壊の原
因となる問題があることが分かった。
第8図はIGBTとダイオードを逆並列に接続したモジ
ュールを用いて、インバータを構成して動作させた場合
の誤動作の事例である。この誤動作の詳細は後述する。
この図ではフリーホイルダイオードがリカバリした後、
それと並列に接続されたIGBTに振動電圧が印加され
ており、それによりIGBTの駆動回路が誤動作してア
ーム短絡の大きな電流が流れている。この例では、アー
ム短絡が生じると振動電圧が無くなって誤動作が止まり
、IGBTの破壊には至っていないが、これは誤動作の
限界での現象のためであり、更に大きな振動電圧が生じ
ると大きなアーム短絡電流が流れて、IGBTの破壊に
まで至る現象があることが分かった。
このような誤動作を避ける方法として、例えばIGBT
に加えるゲート信号の立上りをゆるやかにして、IGB
Tのターンオン時のd i / d tを遅くする方法
や、インバータの主回路配線のインダクタンスを増して
ターンオン時のd i / d f;をゆるやかにする
方法がある。しかし、いずれも回路動作を遅くすること
であり、IGBTのスイッチング損失を増加したり、回
路動作を高速化できないという問題が生じ、IGBTの
高速スイッチング特性を充分に活かした使い方ができな
いという欠点がある。
そこで、本発明の目的は、高速スイッチング特性を充分
に活かしたIGBTとダイオードの並列回路を提供する
ことである。
また、本発明の他の目的は、電圧振動を抑制して誤動作
のない信頼性の高いインバータを提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的を達成するために、電圧振動の発生要因を調べ
た結果、モジュールの中の配線インダクタンスしに蓄積
されるエネルギーと、IGBT及びダイオードの寄生容
量Cによる共振であることが分かった。
従って、本発明では振動電圧を抑制する第一の手段とし
てモジュールの中の配線インダクタンスLのエネルギー
を吸収できるように、IGBTとダイオードの寄生容量
Cを大きくするが、それに変わるコンデンサを接続した
ものである。
第二の手段は、リカバリ電流の尖頭値IRPを低減した
ダイオードを組合せることである。我々の検討結果によ
れば、ダイオードのリカバリ特性はIGBTのターンオ
ン特性と協調をとる必要があり、その協調条件はIGB
Tのターンオンのライスタイムによって決る最大のd 
i / d tで、ダイオードを定格電流IFからリカ
バリさせた時のリカバリ特性で決定すべきであることが
分かった。
そして、その時のリカバリ電流の尖頭値IRPが定格電
流Ipの0.55以下で、かつリカバリ電流の尖頭値I
RPから]/10の値に減衰するまでのリカバリ時間を
trrとすると、trrがπJ「ての1.5倍以上のリ
カバリ特性を有するダイオードを、IGBTと組合わせ
てモジュールを構成することである。
〔作用〕
7− 振動電圧の発生要因は、モジュールの中の配線インダク
タンスLと、IGBT及びダイオードの寄生容量Cによ
る共振現象であるから、ダイオードのリカバリ電流の尖
頭値IRPによって蓄積されるエネルギーと共振の半周
期Tの関係は、(1/2)LIRP2=(1/2)CV
2  −(1)T=π匹で−・・・(2) である。
従って、IGBTとダイオードの寄生容量Cを大きくす
るか、それに変わるコンデンサを接続することにより、
(1)式、(2)式から電圧振動の尖頭値Vが低下し、
振動周期Tが長くなることが分かる。
また第二の手段のように、ダイオードのリカバリ電流の
尖頭値IRPを低減すれば、モジュールの中の配線イン
ダクタンスLに蓄積されるエネルギーの絶対値が小さく
なるので、振動電圧の尖頭値Vが低下することが分かる
。そして、リカバリ電流が尖頭値IRPから1/1oの
値に減衰するまでのリカバリ時間trrを、(2)式の
Tより大きなダ8 イオードにすることにより、非共振状態にすることも可
能であるし、少なくとも共振動作を急速に減衰できるこ
とが分かる。
以上のように、本発明はIGBTのターンオン特性とダ
イオードのリカバリ特性との協調をとることにより、I
GBTのスイッチング時の電圧振動を低減したモジュー
ルを提供するものである。
又、上記モジュールを用いてインバータ装置を構成する
ことにより、IGBTの高速スイッチング特性を充分に
活かし、高性能でしかも信頼性の高いインバータを実現
した。
〔実施例〕
以下図面を用いて本発明を説明する。
第1図は本発明のモジュール構成を示したものである。
21はベース電極、22は絶縁板、23はコレクタ電極
板、24はエミッタ電極板、25はゲート電極板、26
はコレクタ端子、27はエミッタ端子、28はゲート端
子である。コレクタの電極板23の上には、IGBT2
9とダイオード30が電気特性的に逆並列となるように
半田などで接着されている。また、IGBT29のエミ
ッタはエミッタ電極板24に、ゲートはゲート電極板2
5に、ダイオード30のアノードはワイヤによってエミ
ッタ電極板24にそれぞれ接続されている。コレクタ電
極板23とエミッタ電極板24の間にはコンデンサ31
が接続されている。
そしてこの図では省略しであるが、これらは各端子の先
端を残してケースで覆われる。
次に、本発明の詳細な説明する前に、我々が検討して明
らかになった、激しい振動電圧が発生する理由をインバ
ータ回路を用いて説明する。
第5図に代表的なインバータ回路を示す。図において、
1は直流電源、28〜5aはスイッチング素子のI G
 B T、6は負荷のモータである。
2b−5bはフリーホイルダイオードで、IGBT2a
〜5aと対に設けてそれぞれ、あるいは−括してモジュ
ール化したものである。20〜5cはモジュール内の配
線のインダクタンスである。2d〜5dはI G B 
T 2 a〜5aの駆動回路で、インバータ装置の制御
装置11とホトカポラ2e〜5eを介して接続されてい
る。
そして7は、直流電源とIGBT(2a−5a)とを接
続する主回路配線のインダクタンスである。
また、ダイオード8.コンデンサ9.放電抵抗10で構
成されたクランプ回路は、主回路配線のインダクタンス
7のエネルギーにより、IGBT2a〜5aに過電圧が
印加されるのを防止するためのものである。
さて、このように構成したインバータ装置の動作におい
て、例えば、IGBTの38と48がオン状態で負¥*
 (M)6に電流を流している状態からIGBT3aを
オフすると、負荷(M)6のエネルギーによりそれまで
流れていた負荷電流はIGBT4aとフリーホイルダイ
オード2bを介して流れ続ける。そして、その状態から
IGBT3aを再びオンすると、フリーホイルダイオー
ド2bに流れていた負荷電流がI G B T 3 a
に移る転流動作がある。
高速のスイッチング素子のIGBTでインバータを構成
したときの激しい振動電圧は、この転流1 動作時のフリーホイルダイオードのリカバリ時に生じる
ことが分かった。
この転流動作において、IGBT3aがターンオンして
、負荷電流がフリーホイルダイオード2bからIGBT
3aに転流するまでの期間(正確にはダイオードのリカ
バリ電流が尖頭値に達するまでの期間)は、フリーホイ
ルダイオード2bの端子間にはダイオードの順方向の電
圧降下しか印加されない。従って、直流電源1は配線イ
ンダクタンス7及び2c、3cとIGBT3aで短絡さ
れることになる。
第6図に、ターンオン特性の異なるスイッチング素子の
直流電源電圧Eとターンオンのdi/dtの関係を示す
。直流電源電圧Eに反比例している直線はインバータ主
回路の負荷曲線で、素子特性との交点がそのスイッチン
グ素子を用いた時のターンオンのd i / d tで
ある。
従来のバイポーラ素子(600V−100A級前後)の
場合は、ターンオンのライスタイムが0.5〜3μS 
と比較的スイッチング速度が遅か2一 つたので、ターンオンの電流の立上りd j、 / d
 tが素子自身で抑制されていた。しかしIGBTのよ
うにライスタイムが0.5〜0.1μsと短かくなると
、d i / d tは素子特性と配線のインダクタン
ス(例えば第5図の2C+3C+7)の両者で決定され
るようになる。そして、更にライスタイムが短くなれば
、配線のインダクタンスLと直流電源電圧Eのみで決定
するような大きなdi/dtとなる。
そして、IGBTのターンオンのd i / d tが
大きくなることは、前述のインバータのフリーホイルダ
イオード2bからIGBT3aへの転流動作が高速で行
われることであり、フリーホイルダイオード2bのリカ
バリが大きなd j / d tで行われることである
。その結果、フリーホイルダイオード2bに印加される
電圧に激しい振動が発生するが、それは次の理由による
第7図は、ダイオードのオフ時のd j/ d tとリ
カバリ電流の尖頭値IRP及びIRPから1710の値
に減衰するまでのリカバリ時間trrとの関係を示した
ものである。ダイオードがリカバリするときのd j 
/ d tが大きくなると、それにほぼ比例してリカバ
リ電流の尖頭値IRPが大きくなり、リカバリ時間tr
、が短くなる関係がある。ダイオードがリカバリする時
は、蓄積されていたキャリアを放出する電流と、接合容
量などの寄生容量を充電する電流が流れるが、d 〕/
 d tが大きいとキャリアを放出するために大きなリ
カバリ電流が流れ、その尖頭値IRPで寄生容量を充電
するためリカバリ時間trrが短くなる。
インバータ回路でフリーホイルダイオードのIRPが大
きくなることは、配線のインダクタンス(例えば第5図
の7及び2c〜5c)に余分に蓄積されるエネルギー(
(1/ 2 )L I RP2)が大きくなることであ
る。すなわち、ターンオンのdi/dtが大きくなった
結果、従来のバイポーラ素子と同じリカバリ特性のダイ
オードを使うならば、配線インダクタンスに蓄積される
エネルギーは尖頭値IRPの2乗に比例するので、非常
に大きくなることが分かる。
主回路の配線インダクタンス7に蓄積されるエネルギー
は、第5図の8〜10で構成するようなりランプ回路で
吸収することができる。しかし、モジュールの中の配線
インダクタンス、例えば2cに蓄積されたエネルギーは
、TGBT2aとフリーホイルダイオード2bに過電圧
として印加されることになる。
この時、前述のようにダイオードには寄生容量があり、
IGBTにも寄生容量があるので、モジュールの中の配
線インダクタンスに蓄積されたエネルギーがIGBTと
ダイオードの寄生容量に移動する。そしてこの間の協調
が取れていないと、LCの共振現象による振動電圧が発
生することになるが、従来のモジュールはこの点の協調
がとれていないため、振動電圧が発生していた。そして
この電圧振動による変位電流が第5図の駆動回路2d〜
5dを介して制御装置11に流れて誤動作を引き起こし
ていた。
本発明は、この点に着1]したもので、モジュールの中
での特性の協調を図ったものである。すな5 わち、上述したダイオードがリカバリする時のモジュー
ルは、第3図に示すような等価回路で表わすことができ
る。第2図はダイオードのリカバリ電流が尖頭値IRP
に達した時点からのものである。
図において、Lはモジュールの中の配線のインダクタン
ス、CはIGBTとダイオードの合計の寄生容量、Rは
残留キャリアの放出を可変抵抗で表わしたものである。
上述したように、ダイオードがリカバリする時、蓄積さ
れていたキャリアを放出する電流と接合容量などの寄生
容量を充電する電流が流れるが、キャリアの放出はリカ
バリ電流が尖頭値IRPに達した時も完全には終了して
おらず、残留キャリアによる電流が流れ続ける。そこに
流れる電流を可変抵抗Rに置き換えたものである。
そして、モジュールの端子間に接続しであるコンデンサ
は、主回路の配線インダクタンス7に蓄積されるエネル
ギーを吸収するクランプ回路で、第5図のクランプ回路
のコンデンサ8に相当する。
このような等価回路において、簡単のためRを16 無視して、モジュールの両端子間に大きなコンデンサが
接続されていると仮定した場合、ダイオードのリカバリ
電流の尖頭値IRPによって蓄積されるエネルギーと共
振の半周期′]゛の関係は、」―述した(1)式、(2
)式となる。すなわち、重複して表わすと、 (1/ 2)L IRP2=(1,/ 2)CVz−(
1)T=g、、/’Uで              
(2)である。
従って、IGBTとダイオードの寄生容量Cを大きくす
るか、それに変わるコンデンサを接続することにより、
電圧振動の尖頭値Vを低下でき、振動周期Tを長くでき
ることが分かる。
第1図の実施例は、電圧振動の尖頭値Vの低減をコンデ
ンサで実現したもので、我々の実験結果によれば、10
0AのIGBTとダイオードの合計の寄生容量はおよそ
600PFで、それに1000PFのコンデンサ31を
接続すると、大幅に電圧振動の尖頭値Vを低減できた。
なお、コンデンサ31を設けると、スイッチング損失が
増えることになるが、コンデンサの容量は今回の実験結
果からIGBTとダイオードの合計の寄生容量の2倍の
値以下の小さい容量でよく、利用上はとんど問題になら
なかった。
次に本発明の第二の手段について説明する。
第2図の等価回路から明らかなように、モジュール内の
配線インダクタンス1.に蓄積されたエネルギーは、I
GBTとダイオードの寄生容量Cと残留キャリアを表す
抵抗Rで吸収されることになる。従って、リカバリ電流
の尖頭値IRPをこれらで吸収できるような範囲に抑え
られれば、跳ね」二かり電圧の尖頭値も電圧振動も抑え
ることができる。
すなわち理論的に、許容できる跳ね」―かり電圧の尖頭
値をVとすると、(1)式を書き直した、IRP<J乙
■万7T          ・・(3)を実現できる
ようなダイオードを選べば良いことになる。そして、共
振現象の抑制は、リカバリ電流が尖頭値IRPから1−
 / 10の値に減衰するまでのリカバリ時間trrを
、(2)式のTより大きいT〉πg         
    −(4)のリカバリ特性を有するダイオードを
選べば良いことになり、これを計算と実験で検討した。
第3図は、リカバリ時間jrrと振動の跳」−り電圧尖
頭値Vの関係を計算で求めたものである。パラメータは
、リカバリ電流の尖頭値IRPであるが、図では規格化
して示しである。図から明らかなように、リカバリ時間
trrが(2)式の共振周期のπJ丁で−のところでは
跳−Iニリ電圧の尖頭値■が大きいが、リカバリ時間j
rrをπJ7Uの1.5倍以−Lにすると跳ね上がり電
圧の尖頭値が大幅に低減している。
従ってこの第3図と、許容される跳ね」−がり電圧の尖
頭値から、ダイオードのリカバリ特性を選定することが
できる。
カタログなどに示される半必体素子の特性が、定格電圧
の約1/2の試験電圧であることからも分かるように、
普通半導体素子を使う場合、定格電圧の約]/2以下で
使われることが多い。上述してきたようにスイッチング
時の跳ね上がり電圧9 により、素子に定格電圧を超える電圧が印加することを
避けるためである。このため、定格電圧の1/2の電源
電圧で使用する時は、跳ね上がり電圧尖頭値は定格電圧
の1/2まで許容できるわけである。しかし我々の実験
結果によると、それでは駆動回路の誤動作の面で充分で
はなく、定格電圧の173〜1−/4以下に跳ね」−が
り電圧の尖頭値を抑制すると良好な結果が得られている
このことを考慮に入れて、第3図からダイオードのリカ
バリ特性を選ぶと、リカバリ電流の尖頭値が定格電流の
0.55 (IRP/IF=0.55)以下で、リカバ
リ時間t1.がπJ下の1.5倍以上のダイオードを選
べば良いことが分かる。
なお、上述のようにダイオードのリカバリ特性を選定す
ると、IGBTモジュールの電流容量が大きくなった場
合に、跳ね−Lがり電圧が大きくなるように思われる。
寄生容量Cが電流容量に比例して増加するのに対して、
モジュールの配線インダクタンスに蓄積されるエネルギ
ーがIRPの2乗で増加するためである。しかし実験に
よって確認=20 してみると、跳ね上がり電圧が飽和することが分かった
第4図に、IGBTモジュールの電流容量と跳ね上がり
電圧の尖頭値の関係を示す。モジュールの電流容量は、
50AのTGBTとダイオードのチップの並列数によっ
て変えた。モジュール内部の配線インダクタンスは50
nH,IGBTのターンオンのライスタイムは0.3μ
s である。図に示されているように、電流容量がある
程度大きくなると、跳ね上がり電圧の尖頭値が飽和して
いる。これは第6図で示したと同様に、ターンオンのd
 i / d tは素子特性の他に主回路のインダクタ
ンスでも抑制されるため、モジュールの電流容量に比例
してd j、 / d tが大きくならなくなるためで
ある。すなわち、電流容量が大きくなるにしたがって、
IGBTが保有する最大のターンオン特性を実現できな
くなる。そのため、同一のリカバリ特性を有するダイオ
ードを用いてモジュールの電流容量を大きくしても、電
流容量に比例してリカバリ電流の尖頭値Xnpが大きく
ならずに、眺ね−1−かり電圧の尖頭値が飽和するよう
になるものである。
次に、具体的にダイオードを選定する時の試験条件につ
いて述べる。
第7図に記述したように、ダイオードのリカバリ特性は
、リカバリ時のd i / d tによって変わるので
、ベアとなるIGBTのターンオン特性から得られる最
大のd j、 / d tで選定する必要がある。そし
てIGBTのターンオンのd i / d tを決定す
る試験電圧は、定格電圧の1/2であり、測定温度は室
温である。なお、測定温度が高温になると、リカバリ電
流の尖頭値は大きくなるが、リカバリ時間trrも長く
なり電圧振動がむしろ低減する。
また、IGBTモジュールにおいては、普通、50A〜
100 Aのチップをモジュールの中で並列にして電流
容量を大きくするが、上述のようにモジュールの電流容
量が大きくなるにしたがってIGBTが保有する最大の
ターンオン特性を実現する試験回路が難しくなる。その
場合はIGBTのチップ当りの定格電流でダイオードの
リカバリ特性を上述と同様に選定する。
以上、本発明はスイッチング素子のターンオンのライス
タイムが0.5μS 以下の素子を対象にして検討した
ものである。ライスタイムが0.5μS以上の素子であ
っても考え方は同じであるが、ライスタイムが長いとフ
リーホイルダイオードがリカバリする時のd j、 /
 d tが小さいので、第8図で示したように同じダイ
オードでもリカバリ電流の尖頭値IRPが小さくなって
くる。このため、ダイオードの選定が比較的容量であっ
たため、従来それほど大きな問題とはならなかった。
そして、MOS−FETのようにターンオンのライスタ
イムが0.1μS 前後の速い素子も実在しティた。し
かし、M OS −F E ’rは、I G B Tよ
りオン抵抗が大きいために、同じ電流容量でもチップ面
積が大きく、寄生容量が大きくなっていた。そして又、
これらのモジュールは〜50A程度までと比較的電流容
量が小さかった。このため、(1)式や第4図から分か
るように、跳ね」二がり3 電圧がそれほど大きくならない要因を持っていた。
このため、ダイオードの選定が比較的容易であった。
しかし、ターンオンのライスタイムが0.5 μs以下
で、しかも大きな電流容量のモジュールまで実現できる
IGBTを対象にした時、ダイオードの製作にも工夫が
必要となった。
我々の検討した結果によれば、今回実施例で述べたよう
な比較的定格電圧の高いスイッチング素子と組み合わせ
るダイオードは、従来からpn接合のダイオードが用い
られていた。しかし、例えば特公昭59−35183号
公報に示されているショットキーバリアとpn接合を有
するようなダイオードは、従来から100V〜200V
耐圧以下のものが多かったが、今回600V以上の耐圧
のダイオードを作ってIGBTと組合せてみると非常に
有効であることが確認できた。
また、ダイオードのリカバリ電流の尖頭値IRPを小さ
くする方法として、金などの不純物のドープや、電子線
などの照射によってキャリアのライ24− フタイムを短くする方法があるが、この方法でも本発明
のモジュールを実現するダイオードができる。しかし、
この方法にはオン電圧が大きくなりすぎて、モジュール
の損失が大きくなる欠点がある。これを避けるためには
、第10図に示すチップ面積の違いによるダイオードの
オン電圧と順電流の関係からも分かるように、従来IG
BTに対して1/3〜1/4にしていたダイオードのチ
ップ面積を1/2.5 程度まで大きくするのが有効で
あった。また、このようにIGBTに対してダイオード
のチップ面積を大きくすれば熱抵抗が反比例して小さく
なることが知られており、この点からも損失による温度
上昇の低減が図れる。
さらに、IGBTより耐圧の高いダイオードを組み合わ
せると、リカバリ時間jrrが長くなり、電圧振動を抑
制するのに効果的であった。素子の耐圧はベース層にほ
ぼ依存するが、IGBTのベース層よりダイオードのベ
ース層をおよそ1.2倍にした時でも、それにほぼ反比
例して電圧振動が抑制できた。
〔発明の効果〕
第9図に、本発明のIGBTモジュールをインバータに
実装して、ダイオードがリカバリした時の電圧、電流波
形例を示す。比較のため従来例も示しているが、本発明
のモジュールの場合は、跳ね上がり電圧の尖頭値と電圧
振動が大幅に低減されていることが分かる。
そして、本発明のモジュールでインバータ装置を構成す
ると、IGBTを高速で動作させても、跳ね上がり電圧
と電圧振動が抑制されるので、IGBTの鄭動回路がノ
イズによって誤動作するようなことがなくなった。そし
て、インバータ装置の高性能化、高効率化(スイッチン
グ速度の高速化)、高信頼性(低ノイズ化)を実現でき
た。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例、第2図は本発明の詳細な説
明するための図、第3図は計算データ、第4図は測定デ
ータ、第5図はインバータ、第6図と第7図はスイッチ
ング素子及びダイオードの特性、第8図は誤動作の波形
例、第9図は発明の効果を表わす図であり、第10図は
スイッチング素子に対するダイオードのチップ面積を変
えた時のダイオードのオン電圧と順電流の関係を示した
図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、同一のベース上に、一対以上のIGBTとダイオー
    ドを逆並列接続して構成したモジュールにおいて、 モジュールの中に、IGBT及びダイオードと並列にコ
    ンデンサを接続したことを特徴とするモジュール。 2、請求項第1項において、 前記IGBTのベース層に対して、ダイオードのベース
    層が1.2倍以上であることを特徴とするモジュール。 3、請求項第1項において、 前記IGBTのチップ面積に対して、ダイオードのチッ
    プ面積が1/2.5倍以上であることを特徴とするモジ
    ュール。 4、一対以上のIGBTとダイオードを逆並列接続して
    構成したIGBTとダイオードの並列回路において、リ
    カバリ電流の尖頭値がIGBTの定格電流の0.55以
    下であり、前記リカバリ電流の尖頭値から1/10の値
    に減衰するまでのリカバリ時間が、前記並列回路の共振
    周期の0.75倍以上である特性のダイオードを用い、
    前記ダイオードに並列にコンデンサを設けたことを特徴
    とするIGBTとダイオードの並列回路。 5、請求項第4項において、前記コンデンサの容量は前
    記IGBTとダイオードの寄生容量の2倍の値より小さ
    いことを特徴とするIGBTとダイオードの並列回路。 6、同一のベースに、一対以上のIGBTとダイオード
    を逆並列接続して構成したモジュールにおいて、定格の
    1/2の電圧で前記IGBTをターンオフさせたとき得
    られる最大のdi/dtで前記ダイオードを定格電流か
    らリカバリさせた時のリカバリ電流の尖頭値が定格電流
    の0.55以下であり、前記リカバリ電流の尖頭値から
    1/10の値に減衰するまでのリカバリ時間がモジュー
    ルの配線インダクタンス及び前記IGBTと前記ダイオ
    ードの寄生容量から得られる共振周期の0.75倍以上
    である特性のダイオードを用いたことを特徴とするモジ
    ユール。 7、請求項第6項において、前記IGBTのターンオン
    のライスタイムが0.5μs以下であることを特徴とす
    るモジュール。 8、請求項第6項において、前記ダイオードがショトキ
    ーとpn接合を有することを特徴とするモジュール。 9、直流電源と、直列接続された一対のIGBTが少な
    くとも2組以上並列に接続され、前記一対のIGBTの
    接続点間に負荷を接続するインバータ装置において、リ
    カバリ電流の尖頭値が定格電流の0.55以下であり、
    前記リカバリ電流の尖頭値から1/10の値に減衰する
    までのリカバリ時間が配線インダクタンスとIGBTと
    ダイオードの寄生容量から得られる共振周期の0.75
    倍以上である特性のダイオードを前記IGBTと逆並列
    に接続した並列回路を用いたことを特徴とするインバー
    タ装置。 10、IGBTと組み合わせて使用されるダイオードに
    おいて、前記ダイオードのリカバリ電流の尖頭値が定格
    電流の0.55以下の値であり、前記リカバリ電流の尖
    頭値から1/10の値に減衰するまでのリカバリ時間が
    、前記IGBTとダイオードでの寄生容量から得られる
    共振周期の0.75倍以上であることを特徴とするダイ
    オード。 11、IGBTと組合わせて使用されるダイオードにお
    いて、前記IGBTのターンオンによつて発生する跳上
    り電圧が定格電圧の1/3以下となる特性であることを
    特徴とするダイオード。
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