JPH03190255A - 半導体試験装置 - Google Patents

半導体試験装置

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JPH03190255A
JPH03190255A JP33182189A JP33182189A JPH03190255A JP H03190255 A JPH03190255 A JP H03190255A JP 33182189 A JP33182189 A JP 33182189A JP 33182189 A JP33182189 A JP 33182189A JP H03190255 A JPH03190255 A JP H03190255A
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Kenji Suzuki
健司 鈴木
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体試験装置に関する。
〔発明の概要〕
本発明は、半導体光電素子の電気的特性試験を行うため
の半導体試験装置において、光源と半導体光電素子との
間にレンズ群を挿入することにより、光源からの分散し
た光を半導体光電素子に対して実使用状態に近い、狭い
角度に修正して照射することを可能にしたものである。
〔従来の技術〕
従来は第４図のように、半導体光電素子２に対して光源
４が発する光を直接照射して電気的特性試験を行ってい
た。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、第４図に示すとおり、従来のように光源４の光
を半導体光電素子２に直接照射する方式の半導体試験装
置では、光源４の光が分散して広範囲にわたって照射さ
れるので、特に第５図のような半導体光電素子２の中央
から離れた位置に存在する受光素子３では、光の入射角
度が広くなってしまい、実使用と異なった状態で電気的
特性試験を行ってしまうという欠点を有していた。
本発明は、従来のこのような問題点を解決するために、
光源の光を半導体光電素子の実使用状態に近い、狭い角
度で照射することを目的としている。
〔課題を解決するための手段〕
上記問題点を解決するために、本発明は光源と半導体光
電素子との間にレンズ群を挿入し、光源の光を半導体光
電素子の実使用状態に近い、狭い角度で照射できるよう
にした。
〔作用〕
第１図のように、光源３と半導体光電素子２との間にレ
ンズ群１を挿入したことにより、第２図のような半導体
光電素子２の中央から離れた位置に存在する受光素子３
に対しても光の入射角度が狭く限定され、分散して広が
った光は照射されない。
〔実施例〕
以下に、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本発明の半導体試験装置の基本構成図であり、
光ＩＩ！４と半導体光電素子２との間に挿入したレンズ
群１によって光源４からの光を半導体光電素子２の実使
用状態に近い、狭い角度で照射できるようにしたもので
ある。なお、第２図は第１図の部分への拡大図であり、
半導体光電素子２の中央から離れた位置に存在する受光
素子３に対する光の入射角度が狭（限定され、分散して
広がった光は照射されないと＼いうことを示している。
第３図は本発明に係る半導体試験装置の実施例の１つを
示すもので、レンズ群１と光源４をプローブカード５の
上面に立てた支柱６によって固定したものである。
〔発明の効果〕
以上説明したように、本発明は光源の光を半導体光電素
子に対して挟角で照射し、分散して広がった光は照射さ
れないので、半導体光電素子の実使用に近い状態で電気
的特性試験を行うことができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の半導体試験装置の基本構成図、第２図
は第１図の点線で囲まれた部分Ａの拡大図、第３図は本
発明に係る半導体試験装置の実施例の構成図、第４図は
従来の半導体試験装置の基本構成図、第５図は第５図の
点線で囲まれた部分Ｂの拡大図である。 １・・・レンズ群 ２・・・半導体光電素子 ３・・・受光素子 ４・・・光源 ５・・・プローブカード ６・・・支柱 以上

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 光源と被試験物である半導体光電素子との間に、前記光
    源が発する光を、前記半導体光電素子に対して少なくと
    も光源から直接照射した場合の角度よりも狭い角度で照
    射するためのレンズ群を有して、前記半導体光電素子の
    電気的特性試験を行う半導体試験装置。
JP1331821A 1989-12-20 1989-12-20 半導体試験装置 Expired - Lifetime JPH06101508B2 (ja)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5810631A (ja) * 1981-07-13 1983-01-21 Ushio Inc 光照射装置

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPS5810631A (ja) * 1981-07-13 1983-01-21 Ushio Inc 光照射装置

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