JPH03191842A - 光測定治具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、シリコンフォトダイオードのような、受光
素子内蔵素子の測定装置に関するものである。

〔従来の技術〕

近年、ＣＤ　（Ｃｏｍｐａｃｔ　Ｄｉｓｃｌ用受講素子
の様な、複数の受光部を持つ受光素子が、多数開発され
、複数の受光部に均一なパワーの光照射が必要であり、
また一つの受光部毎に光を照射する必要もでてきている
。

第３図は従来の光測定治具の斜視図である。

図において（１）は、平行光を発する光源、　（ＩＩは
光を絞９込む集光レンズ、（８）は受光素子、（９）は
受光部、（５）は、電気的特性試験用導電性の針、　ａ
ｎは、光源（１）移動用のＸ軸＠はＹ軸、Ｑ３）はＸ−
Ｙ移動用モータ、（２）は固定ようの支柱である。

次に動作について説明する。光源（１）によって発光し
た光は、集光レンズ０ωによって絞られ受光素子（８）
内の受光部（９）の１つに照射される。受光部（９）の
他の郡部に照射する場合、Ｙ軸（１１）、Ｙ軸■の交点
をＸ−Ｙ移動用モータ（２）で変える事により、受光部
（９）を変えて照射する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来の光測定治具は、以上のように構成されているので
、光源及び集光レンズの移動に時間がかかり、装置が大
きく、ｖｉ雑であるなどの問題があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、光照射位置移動時間の短縮と装置の簡略化
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

乙の発明に係る光測定治具は、光源と各受光部との間に
液晶スイッチを挿入することにより、各受光部毎にスイ
ッチを開閉する事で、照射位置移動時間を短縮したもの
である。

〔作用〕

この発明におけろ光測定治具は、光源と、各受光部との
間に液晶スイッチを挿入することにより光照射位置移動
時間の短縮と、装置の簡略化ができる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図は光測定治具の断面図、第２図は第１図の治具によっ
て受光素子の受光部に光を照射する状況を示す模式斜視
図である。図において（１）。

（５１，（８１は第３図の従来例に示したものと同等で
あるので説明を省略する。（２）ば半導体ウェーハ、【
３）はウェーハ固定台、（４）は液晶シャッタ、（６）
は偏光光学素子、（７）は測定用ボード、（８）は半導
体ウェーハ（２）の中の１つの受光素子（９ａ）　、　
（９ｂ）　、　（９ｅ）は受光素子（８）内の受光部を
示す。

液晶シャッタ（４）は、受光部（９ａ）　、　（９ｂ）
　、　（９ｃ）毎に別々の開閉機能を有する。

次に動作について説明する。

第１図において、光源（１）より発生された平行光は、
液晶シャック（４）に照射される。次に第２図において
液晶シャッタ（４）に照射された光は、液晶シャッタ（
４）の開いた部分に照射された光のみ偏光光学素子（６
）に照射され、偏光光学素子（６）で、再び平行光に戻
った光が受光素子（８）内の液晶シャッタ（４）の開い
た部分に相当する受光部（９ｂ）に照射される。

受光部（８）の他の受光部（９ａ）あるいは（９ｃ）に
照射する場合、液晶シャッタ（４）の受光部（９ａ）あ
るいは（９ｃ）に対応する部分のみ開くように切替える
。

なお、上記実施例では、３個の受光部を持つ受光素子を
示したが、複数個の受光部を持つ受光素子であれば、同
様の効果を得られる。

〔発明の効果〕

以上のように、この発明によれば液晶スイッチを光軸上
に組み込んだので、光照射位置の移動時間が短縮できる
とともに、装置が簡略化できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による光測定治具の断面図
、第２図は第１図の治具によって受光素子の受光部に光
を照射する状況を示す模式斜視図。 第３図は従来の光測定治具の斜視図である。 図中、（１）は光源、（２）は半導体ウェーハ、（３）
はウェーハ固定台、（４）は液晶シャッタ、（５）は針
、（６）は偏光光学素子、（７）は測定用ボード、（８
）は受光素子。 （９ｍ）　、　（９ｂ）　、　（９ｅ）は受光部である
。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 光入力半導体のウェーハ測定において、数個の受光部を
   有する光入力半導体において、光を照射する装置に、光
   を受光素子毎に、分割照射する為液晶スイッチを設けた
   ことを特徴とする光測定治具。