JP2013190624A - 焦点位置変更装置およびこれを用いた共焦点光学装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一実施形態に係る焦点位置変更装置は、光源、対物レンズを有する共焦点光学装置の光路上に設けられ、対物レンズの焦点位置を光軸方向に変更する焦点位置変更装置であって、それぞれ平行平板形の透明体により構成されるとともに屈折率および厚さの少なくとも一方が互いに異なる複数の光路変更片31と、複数の光路変更片31が対物レンズの光軸と交差するよう回転方向に沿って配設されるとともに、光源側の面36の所定の領域に反射防止層51が形成された回転板32と、回転板32を回転駆動する駆動部と、を備える。
【選択図】 図4
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る焦点位置変更装置を備えた共焦点光学装置の一例を示す概略的な全体構成図である。なお、以下の説明では、光軸方向をZ軸、光軸方向に垂直な方向をX軸およびY軸とする場合の例について示す。また、以下の説明では、焦点位置変更装置を備えた共焦点光学装置が被計測体表面の立体形状を計測するための計測装置として利用される場合の例について示す。
図3は、光路変更片31が被計測体側面37に設けられる場合における回転板32の一部の構成例を示す平面図である。
次に、本発明に係る焦点位置変更装置およびこれを用いた共焦点光学装置の第2実施形態について説明する。
次に、本発明に係る焦点位置変更装置およびこれを用いた共焦点光学装置の第3実施形態について説明する。
11 照明光学系
11a 光源
12 開口板
13 対物レンズ
14 焦点位置変更部
15 被計測体
17 光検出器群
17a 光検出器
25 開口部
31 光路変更片
32 回転板
33 駆動部
35 光線通過部
36 光源側面
37 被計測体側面
50 光照射領域
51 反射防止層
Claims (5)
- 光源、対物レンズを有する共焦点光学装置の光路上に設けられ、前記対物レンズの焦点位置を光軸方向に変更する焦点位置変更装置であって、
それぞれ平行平板形の透明体により構成されるとともに屈折率および厚さの少なくとも一方が互いに異なる複数の光路変更片と、
前記複数の光路変更片が前記対物レンズの光軸と交差するよう回転方向に沿って配設されるとともに、前記光源側の面の所定の領域に反射防止層が形成された回転板と、
前記回転板を回転駆動する駆動部と、
を備えた焦点位置変更装置。 - 前記回転板は、
前記複数の光路変更片が前記対物レンズの前記光源側の光軸と交差するよう、前記光源と前記対物レンズとの間の光路上に設けられた、
請求項1記載の焦点位置変更装置。 - 前記回転板は、
前記複数の光路変更片のそれぞれに対応する複数の光線通過部、
を有し、
前記複数の光路変更片のそれぞれは、
前記回転板の前記光源と反対側の面内の前記複数の光線通過部に対応する位置に設けられ、
前記回転板の前記反射防止層は、
前記回転板の前記光源側の面内の領域であって、前記複数の光路変更片のそれぞれに対応する複数の光線通過部を除く領域のうち少なくとも前記光源の光が照射される領域に形成された、
請求項1または2に記載の焦点位置変更装置。 - 前記反射防止層は、
前記回転板に貼り付けられた反射防止材、前記回転板に塗布された黒色系塗料、または前記回転板の表面を粗面化して形成された層のいずれかにより形成された、
請求項1ないし3のいずれか1項に記載の焦点位置変更装置。 - 光源と、
複数の共焦点開口部が形成された開口板と、
前記複数の共焦点開口部を通過したそれぞれの光を物体側集光点に集光するとともに、この集光した光の被計測体による反射光をそれぞれ対応する共焦点開口部に再度集光する対物レンズと、
それぞれ平行平板形の透明体により構成されるとともに屈折率および厚さの少なくとも一方が互いに異なる複数の光路変更片と、前記複数の光路変更片が前記対物レンズの光軸と交差するよう回転方向に沿って配設されるとともに前記光源側の面の所定の領域に反射防止層が形成された回転板と、前記回転板を回転駆動する駆動部と、を有し、前記回転板の回転にともない光軸と交わる前記光路変更片が変わるごとに前記対物レンズの焦点を光軸方向に離散的に変更する焦点位置変更部と、
前記共焦点開口部に再度集光された前記被計測体による反射光を入力される撮像系と、
を備えた共焦点光学装置。
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---|---|---|---|---|
EP2511852B1 (de) * | 2011-04-15 | 2013-03-13 | Sick Ag | Beleuchtungsvorrichtung für einen kamerabasierten Codeleser |
CN105258686B (zh) * | 2015-10-22 | 2019-02-01 | 青岛镭创光电技术有限公司 | 激光投线仪 |
US10254105B2 (en) * | 2016-12-05 | 2019-04-09 | Quality Vision International, Inc. | Exchangeable lens module system for probes of optical measuring machines |
JP6819362B2 (ja) * | 2017-03-02 | 2021-01-27 | オムロン株式会社 | 共焦点計測装置 |
AU2020368606A1 (en) * | 2019-10-19 | 2022-04-07 | Apollo Medical Optics, Ltd. | Optical system and interference objective module therof |
CN115091107B (zh) * | 2022-08-24 | 2023-04-25 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种用于激光加工的高精度装夹装置及装夹方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH095046A (ja) * | 1995-06-21 | 1997-01-10 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 立体形状測定装置 |
JP2001133695A (ja) * | 1999-11-01 | 2001-05-18 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP2005010516A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
WO2006046502A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Nikon Corporation | 光学素子の製造方法、光学素子、ニッポウディスク、コンフォーカル光学系、及び3次元測定装置 |
WO2008069220A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | Nikon Corporation | 結像装置及び顕微鏡 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6426835B1 (en) * | 1999-03-23 | 2002-07-30 | Olympus Optical Co., Ltd. | Confocal microscope |
JP2001083426A (ja) | 1999-07-09 | 2001-03-30 | Olympus Optical Co Ltd | 共焦点顕微鏡 |
JP2001093426A (ja) * | 1999-09-28 | 2001-04-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ac型プラズマディスプレイパネルおよびその駆動方法 |
CN1325773C (zh) * | 2000-03-27 | 2007-07-11 | 丰田自动车株式会社 | 排气净化装置 |
TW555954B (en) * | 2001-02-28 | 2003-10-01 | Olympus Optical Co | Confocal microscope, optical height-measurement method, automatic focusing method |
JP4148350B2 (ja) | 2002-05-24 | 2008-09-10 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 共焦点顕微鏡及び微小開口回転盤 |
US8238019B2 (en) * | 2003-11-01 | 2012-08-07 | Silicon Quest Kabushiki-Kaisha | Projection apparatus with coherent light source |
JP2006235250A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Nikon Corp | 測定顕微鏡 |
TWI279580B (en) * | 2005-12-22 | 2007-04-21 | Metal Ind Res & Dev Ct | Co-focal microscopic imaging system with adjustable light source pattern |
JP4867354B2 (ja) | 2006-01-16 | 2012-02-01 | 横河電機株式会社 | 共焦点顕微鏡 |
JP4678601B2 (ja) * | 2006-08-15 | 2011-04-27 | 横河電機株式会社 | 創薬スクリーニング装置 |
JP2008096895A (ja) * | 2006-10-16 | 2008-04-24 | Olympus Corp | 顕微鏡用照明装置 |
JP4970211B2 (ja) * | 2007-10-18 | 2012-07-04 | ヘキサゴン・メトロジー株式会社 | 3次元形状測定器 |
WO2009055607A1 (en) * | 2007-10-23 | 2009-04-30 | Sherman Kenneth L | Improved removable, rotatable gobo holder assembly |
JP2009168964A (ja) | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Nikon Corp | 共焦点顕微鏡 |
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH095046A (ja) * | 1995-06-21 | 1997-01-10 | Takaoka Electric Mfg Co Ltd | 立体形状測定装置 |
JP2001133695A (ja) * | 1999-11-01 | 2001-05-18 | Nikon Corp | 顕微鏡装置 |
JP2005010516A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Olympus Corp | 顕微鏡 |
WO2006046502A1 (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-04 | Nikon Corporation | 光学素子の製造方法、光学素子、ニッポウディスク、コンフォーカル光学系、及び3次元測定装置 |
US20080057273A1 (en) * | 2004-10-27 | 2008-03-06 | Nikon Corporation | Optical Element Manufacturing Method, Optical Element, Nipkow Disk, Confocal Optical System and 3-D Measurement Device |
WO2008069220A1 (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-12 | Nikon Corporation | 結像装置及び顕微鏡 |
US20090201366A1 (en) * | 2006-11-30 | 2009-08-13 | Nikon Corporation | Imaging apparatus and microscope |
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