JPS5810631A - 光照射装置 - Google Patents

光照射装置

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Publication number
JPS5810631A
JPS5810631A JP10814581A JP10814581A JPS5810631A JP S5810631 A JPS5810631 A JP S5810631A JP 10814581 A JP10814581 A JP 10814581A JP 10814581 A JP10814581 A JP 10814581A JP S5810631 A JPS5810631 A JP S5810631A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
transmitting plate
irradiated
plate
photodetector
Prior art date
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Pending
Application number
JP10814581A
Other languages
English (en)
Inventor
Tomoshiro Horiguchi
堀口 友四郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ushio Denki KK
Ushio Inc
Original Assignee
Ushio Denki KK
Ushio Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Ushio Denki KK, Ushio Inc filed Critical Ushio Denki KK
Priority to JP10814581A priority Critical patent/JPS5810631A/ja
Publication of JPS5810631A publication Critical patent/JPS5810631A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光照射装置、41に太陽電池の特性を一定す
るために用いる光照射装置ICll1するものである。
一般に太陽電池につい【は、電流−電圧特性、起電力特
性等の特性を一定することが必要であり、このために太
陽光に類似した光を太−電&に照射する光照射装置が用
いられる。
従来、斯かる光照射装置においては、第1図に示すよう
k、例えばキセノンショートアークランプ等の光源lの
光を太陽光に類似した光、即ち平行光線であって均一な
照度が得られる光として太陽電池等の被照射物5に照射
するために、j!#光源1よりの光を、光混合11mを
有するインテグレータ2によって被照射物5に照射せし
めるよ5にし、このインテグレータ2と被照射物5との
闇の光路上に、前記インテグレータ2よりの元を反射せ
しめて光の方向を規制する平面反射板3と、この平面反
射板3により反射される光を受け、この光を平行′yt
、纏束とするコリメーティングレンズ4とをこの11N
k設けている。
他方、太陽電池の前記特性を測定する測定装置において
は、従前は例えば指針で測定値を示すような指示部の慣
性の大きい可動コイル慶等の測定装置が用いられていた
が、測定に要する時間即ち処理時間が長いこと、膨大な
一定量の処理に不向なこと等のために、最近では、膨大
な一定量な短時間で処理するAD変換器とマイクロコン
ピュータとを具えて成る測定装置が用いられるようkな
っている。
ところで、′yt、@射装置の光装置りの元には、例え
ば光源用電源のリップル或いはアークのゆれ、又はその
他のノイズ等が原因となって発生する、周波数が数HX
〜数百Hzで周期が約10XIO−’〜20X10−s
秒の微小な照度変動成分が不可避的に含まれているため
、前述の如きマイクロコンピュータ等を具え【成る測定
装置のように、応答#C要する時間が約lXl0”秒と
極めて短髪・一定装置を用いる場合においては、前記照
度変動成分の影響が一定値に直接現われることとなり、
適正な測定結果を得ることが困難である。
このような事情から、従来においては、同じく第1図を
用い【説明すると、前記被照射物Sk近接した位置で島
って、前記コリメーティングレンズ4よりの光を受ける
位置に光検出器6を配置し、この光検出器6により前述
の微小な照度変動成分を検出し、得られた検出値に基い
て、被照射物5を測定して得られた測定値から当該微小
な照度変動成分による影響を除去し、以って当該測定値
の補正を行なうようにしている。
しかしながらこのような構成では、光検出器6に照射さ
れる元は、元が到達する領域の周辺部の光であり【被照
射物5が受ける轟鋏領域の中心部の光ではないために、
当誼中心部の光とは、インテグレータ2による元の混合
状態が異なったものとなっており、しかも光検出器6は
、それが位置する特定の位置における光の照度変動成分
を検出するのみであり、従ってこの特定の位置における
照度変動成分の状態即ち当該照度変動成分における照度
の時間的変化のパターンは、被照射物5に照射される光
の照度変動成分の状態と必ずしも一致したものとはなら
ず、従って被照射物5について得られた一定値を前記光
検出器6により得られた検出値に基い【補正しても、そ
の補正が適正な補正とはならないばかりか補正をしたこ
とにより却って誤差−を太き(することもあり、結局信
頼性の大きい測定値を得ることができない。
本発明は、以上の如幹事情に基いてなされたものであっ
て被照射物が受ける党の照度変動成分の状態を確実に検
出することができる光照射装置を提供することを目的と
し、その特徴とするところは、光源と、この光源よりの
元を被照射物に投射するインテグレータと、このインテ
グレータと前記被照射物との間の光路上Kllけた、前
記光路外に光の一部を反射する光透過板と、この光透過
板よりの反射光を受ける光検出器と、この光検出器と前
記光透過板との間に介挿した光拡散板とを具えて成る点
にある。
以下図面によって本発明の一実施例につ−・て説明する
第2図に示した実施例は、例えば太陽電池として用いら
れる光起電素子等の光特性を測定するために用いる光照
射装置の例であって、この例においては、キセノンショ
ートアークランプ等の光源1よりの光をインテグレータ
2により例え41元起電素子等の被照射物5kjlll
射するよ5kL、このインテグレータ2と前記被照射物
5との閣の党の光路上k、前記インテグレータ2よりの
光を反射せしめて党の方向を規制する平面反射板3と、
この平面反射板3#/cより反射される元を受けこの元
を平行光−束とするコリメーティングレンズ4とをこの
Ink設け、前記インテグレータ2と前記平面反射板3
との関に位置する光路上に轟咳光路外に光の一部を反射
する例えば石英板より成る光透過板7を配設し、この光
透過板7により反射された反射光を受ける位置に光検出
a6を設け、この光検出@6と帥記光透遥1[7との間
に番1例えifオパールガラス等より成る光拡散板8を
介挿して構成する。
以上のような構成によれば、光源1よりの光はインテグ
レータ2により混合された後、光透過板7により、大部
分が透過され、一部が反射される。
透過された光は次いで平面反射板3により反射されてコ
リメーティングレンズ4に至り、このプリメーティング
レンズ4により平行光線束とされた後、被照射物5に照
射される。一方前記元透過板71’Cより反射された光
は、光拡散1N8により拡散された後光検出器6に照射
される。
、、このように光透過板7を光源1より被照射物5に至
る光路上に配設したため、光検出器6が検出する光は被
照射物5が受ける光と同じ元となり、光検出II6で検
出される光の照度変動成分の状態即ち当誼照度変動成分
における照度の時間的変化のパターンが、被照射物5が
受ける元の照度変動成分の状態と完全に一致したものと
なる。しかも光透過板7と光検出器6との間には光拡散
板8を介挿せしめて置けであるため、光検出器6が検出
する光は光透過板7による反射光が混合されたものとな
るため、被照射物5が受ける光の全体を平均化した光と
同等のものとなり、従来のよ5に特定の位置のみの光照
射状111に依存するものではない。従ってこり光検出
器6で検出された検出値に基いてマイクロコンピュータ
等を具えて成る応答の速い測定装置において得られた測
定値を補正すれば、轟該測定値における照度変動成分に
よる影響が確実に除去されるため、当鋏一定値の確実な
補正をすることができる。その結果補正された測定値は
信頼性の大きなものとなる。そして既述の例におけるよ
うに光透過板7を石英板より成るものとするととkより
、光透過板7により反射される元をわずかなものとする
ことができ、したがって光透過板7を透過するととkよ
る光の損失が少なく、更Kyt、透過板7を透過する光
の透過前後において元の妓長轡性を殆ど変えることがな
いため、光源lより被照射物5に至る光路上に光透過I
[7を配設することkよる影響は実質上何ら与えること
がない。更に、光透過板7の配設位置は、光源1より被
照射物5に至る光路上であれば任意であるが、本実施例
におけるよ5に、インテグレータ2と平面反射板3との
間に配設すれば光透過板7及び光拡散板8を小さなもの
とすることができる。
以上のように本発明によれば、光源と、この光源よりの
光を被照射物に投射するインテグレータと、このインテ
グレータと前記被照射物との間の光路上に設けた、前記
光路外に−yt、の一部を反射する光透過板と、この光
透過板よりの反射光を受ける光検出器と、この光検出器
と前記光透過板との関に介挿した光拡散板とを具えて成
る構成であるから、被照射物が受ける光の照度変動成分
の状態を確実に検出することができる。
尚、前記光illは、被照射物5に照射すべき元の種類
に応じ【もしくは目的に応じて、白熱電球、放電灯その
他の光源を選択しても良〜・し、前記光透過板7は、表
INK蒸着膜を設けて成る)・−フ電う−とすることも
できるし、或いは特定の波長領域の元のみを被照射物5
に照射する場合に◆1フィルターを兼ねる/%−フずラ
ーとしてもよ−0
【図面の簡単な説明】
第1図は、従来の光照射装置の一例を示す説明図、第2
図は本発明の一実施例を示す説明図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 I)光源と、この光源よりの光を被照射物に投射するイ
    ンテグレータと、このインテグレータと前記被照射物と
    の間の光路上に設けた、前記光路外に元の一部を反射す
    る光透過板と、と9透過板よりの反射光を受ける光検出
    器と、この光検出器と前記光透過板との間に介挿した光
    拡散板とを具えて成ることを特徴とする光照射装置。 2ン艙記元透過板が石英板より成るものであることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項記載の光照射装置。
JP10814581A 1981-07-13 1981-07-13 光照射装置 Pending JPS5810631A (ja)

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JP10814581A Pending JPS5810631A (ja) 1981-07-13 1981-07-13 光照射装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03190255A (ja) * 1989-12-20 1991-08-20 Seiko Instr Inc 半導体試験装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5066284A (ja) * 1973-10-12 1975-06-04
JPS5142588A (ja) * 1974-08-09 1976-04-10 Licentia Gmbh

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