JPS63117234A - 光学測定装置 - Google Patents
光学測定装置Info
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- JPS63117234A JPS63117234A JP26211886A JP26211886A JPS63117234A JP S63117234 A JPS63117234 A JP S63117234A JP 26211886 A JP26211886 A JP 26211886A JP 26211886 A JP26211886 A JP 26211886A JP S63117234 A JPS63117234 A JP S63117234A
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- optical
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/4738—Diffuse reflection, e.g. also for testing fluids, fibrous materials
- G01N21/474—Details of optical heads therefor, e.g. using optical fibres
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は所定の分光特性を有した一定の測定用光束を被
測定物に照射し、被測定物の光学特性を測定する光学測
定装置に関し、特に被測定物として９例えば撮像素子等
の光電変換特性、暗電流。
測定物に照射し、被測定物の光学特性を測定する光学測
定装置に関し、特に被測定物として９例えば撮像素子等
の光電変換特性、暗電流。
分光感度、感度むら等の測定を行う際に好適な光学測定
装置に関するものである。
装置に関するものである。
（従来の技術）
従来より被測定物として例えば固体撮像素子や撮像管等
を用い、これらの光学特性例えば光電変換特性９分光感
度、感度ムラ、暗電流等の諸特性を測定する光学測定装
置が種々提案されている。
を用い、これらの光学特性例えば光電変換特性９分光感
度、感度ムラ、暗電流等の諸特性を測定する光学測定装
置が種々提案されている。
第２図は従来の光学測定装置の光学系の概略図である。
同図において光源３１からの光束を所定の分光特性を有
するフィルター３２を介してライトガイド等の光束拡散
部材３３に入射させている。そして光束拡散部材３３の
均一輝度とした射出面３３ａから射出する光束をハーフ
ミラ−３４で反射させた後集光レンズ３５により被測定
物３６面上を照射している。
するフィルター３２を介してライトガイド等の光束拡散
部材３３に入射させている。そして光束拡散部材３３の
均一輝度とした射出面３３ａから射出する光束をハーフ
ミラ−３４で反射させた後集光レンズ３５により被測定
物３６面上を照射している。
このとき受光素子３７によりハーフミラ−の−部を通過
した測定用光束の一部を受光し、受光素子３７からの出
力信号を用いて制御装置３８により光源３１の出力を調
整して被測定物３６面上への照射条件を制御している。
した測定用光束の一部を受光し、受光素子３７からの出
力信号を用いて制御装置３８により光源３１の出力を調
整して被測定物３６面上への照射条件を制御している。
しかしながら多くの場合光束拡散部材３３を形成するラ
イトガイドは途中の光学繊維が折れていたりして射光面
３３ａは必ずしも均一輝度を有していなく、更に光学拡
散部材３３と受光素子３７との光学的配置の僅かな違い
によフて受光素子３７からの出力が大きく変化する等、
被測定面３６上への照射条件を所定の条件に高粘度に制
御するのが大変難しかった。
イトガイドは途中の光学繊維が折れていたりして射光面
３３ａは必ずしも均一輝度を有していなく、更に光学拡
散部材３３と受光素子３７との光学的配置の僅かな違い
によフて受光素子３７からの出力が大きく変化する等、
被測定面３６上への照射条件を所定の条件に高粘度に制
御するのが大変難しかった。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は測定用光束の一部を受光素子で検出し、受光素
子からの出力信号を利用して、被測定物への照射条件を
制御する際、光源の出力が変動しても 又 光学部材の
配置上及び製作上の誤差があっても常に一定の条件て被
測定物を照射し。
子からの出力信号を利用して、被測定物への照射条件を
制御する際、光源の出力が変動しても 又 光学部材の
配置上及び製作上の誤差があっても常に一定の条件て被
測定物を照射し。
該被測定物の光学特性を測定することのできる光学測定
装置の提供を目的とする。
装置の提供を目的とする。
（問題点を解決する為の手段）
光源からの光束を光学導光手段により所定の分光特性を
有した測定用光束とし、被測定物に照射することにより
、被測定物の光学特性を測定する光学測定装置において
、前記光学導光手段は多重拡散内面反射部材を有してお
り、該多重拡散内面反射部材は内部に前記光学導光手段
の光軸上に相当する位置に反射面を、光軸外に相当する
位置に受光素子とを各々有しており、＠記測定用光束を
該反射面で反射させた後、前記被測定物に照射すると共
に、該反射面から逸れた測光用光束の一部を間接的に前
記受光素子で受光し、該受光素子からの出力信号を用い
て前記被測定物への照射条件を制御したことである。
有した測定用光束とし、被測定物に照射することにより
、被測定物の光学特性を測定する光学測定装置において
、前記光学導光手段は多重拡散内面反射部材を有してお
り、該多重拡散内面反射部材は内部に前記光学導光手段
の光軸上に相当する位置に反射面を、光軸外に相当する
位置に受光素子とを各々有しており、＠記測定用光束を
該反射面で反射させた後、前記被測定物に照射すると共
に、該反射面から逸れた測光用光束の一部を間接的に前
記受光素子で受光し、該受光素子からの出力信号を用い
て前記被測定物への照射条件を制御したことである。
（実施例）
第１図は本発明の一実施例の概略図である。図中１１は
照明用の光源、１２はターレット式のフィルター保持具
であり透過光束を所定の分光特性とする 波長選択性の
複数の分光フィルター１２−１．１２−２．−−一を保
持している。１３はターレット式のフィルター保持具で
あり透過光束の光量を制御する複数のＮＤフィルター１
３−１．１３−２．−−一を保持している。１４は光束
拡散部材でありライトガイドやハエノ眼レンズ等から成
っている。１５は全反射の反射鏡、１６は集光レンズ、
１７は被測定物で例えば撮像素子等であり測定台１８に
載置されている。１９は恒温槽であり不図示の温度制御
装置等で内部を一定の温度となるように維持している。
照明用の光源、１２はターレット式のフィルター保持具
であり透過光束を所定の分光特性とする 波長選択性の
複数の分光フィルター１２−１．１２−２．−−一を保
持している。１３はターレット式のフィルター保持具で
あり透過光束の光量を制御する複数のＮＤフィルター１
３−１．１３−２．−−一を保持している。１４は光束
拡散部材でありライトガイドやハエノ眼レンズ等から成
っている。１５は全反射の反射鏡、１６は集光レンズ、
１７は被測定物で例えば撮像素子等であり測定台１８に
載置されている。１９は恒温槽であり不図示の温度制御
装置等で内部を一定の温度となるように維持している。
２０は透明板であり恒温槽１９を外部から密封している
。２１は多重拡散内面反射部材であり内面が完全拡散反
射面とした球面もしくはそれに類似した形状から成って
いる。
。２１は多重拡散内面反射部材であり内面が完全拡散反
射面とした球面もしくはそれに類似した形状から成って
いる。
２２は受光素子であり多重拡散内面反射部材２１の一部
であって光束拡散部材１４の射出面１４ａからの光束が
直接入射しない位置に設けられている。２３は制御装置
であり受光素子２２からの出力信号に応じて光源！１の
出力を制御しもしくはフィルター保持具１３のＮＤフィ
ルターを所定位置に回転させている。
であって光束拡散部材１４の射出面１４ａからの光束が
直接入射しない位置に設けられている。２３は制御装置
であり受光素子２２からの出力信号に応じて光源！１の
出力を制御しもしくはフィルター保持具１３のＮＤフィ
ルターを所定位置に回転させている。
フィルター保持具１２．１３．光束拡散部材１４、多重
拡散内面反射部材２１等は光学導光手段の一部を構成し
ている。
拡散内面反射部材２１等は光学導光手段の一部を構成し
ている。
木実′施例では光＠１１からの光束を分光フィルターと
ＮＤフィルターにより一定強度の所定の分光特性を有す
る光束とし、光束拡散部材１４に入射させている。そし
て均一輝度の第２次光源面とした光束拡散部材１４の射
出面１４ａからの光束を反射鏡１５で反射させた後集光
レンズ１６により透明板２０を介して一定の温度環境下
にある被測定物１７面上を照射している。
ＮＤフィルターにより一定強度の所定の分光特性を有す
る光束とし、光束拡散部材１４に入射させている。そし
て均一輝度の第２次光源面とした光束拡散部材１４の射
出面１４ａからの光束を反射鏡１５で反射させた後集光
レンズ１６により透明板２０を介して一定の温度環境下
にある被測定物１７面上を照射している。
このとき光束拡散部材１４の射出面１４ａから射出する
光束のうち反射鏡１５を逸れた光束は多重拡散内面反射
部材２１の内面２１ａで多重反射を繰り返す。この結果
内面２１ａは均一の輝度となる。
光束のうち反射鏡１５を逸れた光束は多重拡散内面反射
部材２１の内面２１ａで多重反射を繰り返す。この結果
内面２１ａは均一の輝度となる。
受光素子２２には射出面１４ａからの直接光束は入射せ
ず、均一性の良い光束のみが入射することになる。従っ
て光源の出力が変動したり、又は光学部材の配置上及び
製作上の誤差があっても。
ず、均一性の良い光束のみが入射することになる。従っ
て光源の出力が変動したり、又は光学部材の配置上及び
製作上の誤差があっても。
受光素子２２は常に平均的な光量を受光することが出来
る。
る。
本実施例では受光素子２２からの出力信号を利用して制
御装置２３により光源の出力又はＮＤフィルターを所定
位置に回動させることにより被測定物１７への照射条件
が予め設定された条件となるように制御している。
御装置２３により光源の出力又はＮＤフィルターを所定
位置に回動させることにより被測定物１７への照射条件
が予め設定された条件となるように制御している。
尚本実施例において感度の異なる複数の受光素子を設け
れば広い光量範囲にわたって測定することが出来る。
れば広い光量範囲にわたって測定することが出来る。
（発明の効果）
以上のように本発明によれば光学導光手段の一部に反射
面と受光素子を内部に有する多重拡散内面反射部材を設
は該受光素子からの出力信号を利用することにより光源
の出力変動やライトガイド等の光学部材の不均一性によ
る被照射面上への照射条件の変動を補正し、常に一定の
条件で被測定物への照射を行い、該被測定物の光学特性
を測定することのできる光学測定装置を達成することが
できる。
面と受光素子を内部に有する多重拡散内面反射部材を設
は該受光素子からの出力信号を利用することにより光源
の出力変動やライトガイド等の光学部材の不均一性によ
る被照射面上への照射条件の変動を補正し、常に一定の
条件で被測定物への照射を行い、該被測定物の光学特性
を測定することのできる光学測定装置を達成することが
できる。
第１図は本発明の一実施例の概略図、第２図は従来の光
学測定装置の説明図である。図中１１．３１は光源、１
２．１３はフィルター保持具。 １４．３３は光束拡散部材、１５．３４は反射鏡、１６
．３５は集光レンズ、１７．３６は被測定物、２１は多
重拡散内面反射部材、２２．３７は受光素子、２３．２
８は１す御装置、１９は恒温槽である。
学測定装置の説明図である。図中１１．３１は光源、１
２．１３はフィルター保持具。 １４．３３は光束拡散部材、１５．３４は反射鏡、１６
．３５は集光レンズ、１７．３６は被測定物、２１は多
重拡散内面反射部材、２２．３７は受光素子、２３．２
８は１す御装置、１９は恒温槽である。
Claims (1)
- 光源からの光束を光学導光手段により所定の分光特性を
有した測定用光束とし、被測定物に照射することにより
、被測定物の光学特性を測定する光学測定装置において
、前記光学導光手段は多重拡散内面反射部材を有してお
り、該多重拡散内面反射部材は内部に前記光学導光手段
の光軸上に相当する位置に反射面を、光軸外に相当する
位置に受光素子とを各々有しており、前記測定用光束を
該反射面で反射させた後、前記被測定物に照射すると共
に、該反射面から逸れた測光用光束の一部を間接的に前
記受光素子で受光し、該受光素子から出力信号を用いて
前記被測定物への照射条件を制御したことを特徴とする
光学測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26211886A JPS63117234A (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 | 光学測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26211886A JPS63117234A (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 | 光学測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63117234A true JPS63117234A (ja) | 1988-05-21 |
Family
ID=17371297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26211886A Pending JPS63117234A (ja) | 1986-11-04 | 1986-11-04 | 光学測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63117234A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021002286A1 (ja) * | 2019-07-04 | 2021-01-07 |
-
1986
- 1986-11-04 JP JP26211886A patent/JPS63117234A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021002286A1 (ja) * | 2019-07-04 | 2021-01-07 | ||
| WO2021002286A1 (ja) * | 2019-07-04 | 2021-01-07 | コニカミノルタ株式会社 | 分光測定器 |
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