JPS63108209A - プローブカードの取付方法及びそれを備えたウエハプローバ - Google Patents
プローブカードの取付方法及びそれを備えたウエハプローバInfo
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- JPS63108209A JPS63108209A JP25407286A JP25407286A JPS63108209A JP S63108209 A JPS63108209 A JP S63108209A JP 25407286 A JP25407286 A JP 25407286A JP 25407286 A JP25407286 A JP 25407286A JP S63108209 A JPS63108209 A JP S63108209A
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- Japan
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- probe card
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- spots
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002250 progressing effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
本発明は平担面をもつ物体の所定面に対する傾きを検出
する方法に係り、特にプローパにおけるプローブカード
等の取付は時にその傾きを検出するのに好適であるプロ
ーブカード等の傾き検出方法に関する。
する方法に係り、特にプローパにおけるプローブカード
等の取付は時にその傾きを検出するのに好適であるプロ
ーブカード等の傾き検出方法に関する。
［発明の技術的背景］
従来、プローバにおいてプローブカードはマニュアルで
コネクタにねじ止めすることにより接続固定しているが
、プローバのフルオート化に伴ないプローブカードの取
付け、交換も自動化すべく開発が進んでおり、我々もす
でに自動化の提案を行っている。このプローブカードの
自動化を実現する場合、プローブカードはチャック等を
利用するかあるいはロボットアーム等によって搬送され
且つコネクタへ接続すべく上昇移動（オーバドライブ）
させる構成が必要となるが、この際、オーバドライブ量
がプローブカードの場所によって均一にならずプローブ
カードが傾いて取り付けられる可能性がある。
コネクタにねじ止めすることにより接続固定しているが
、プローバのフルオート化に伴ないプローブカードの取
付け、交換も自動化すべく開発が進んでおり、我々もす
でに自動化の提案を行っている。このプローブカードの
自動化を実現する場合、プローブカードはチャック等を
利用するかあるいはロボットアーム等によって搬送され
且つコネクタへ接続すべく上昇移動（オーバドライブ）
させる構成が必要となるが、この際、オーバドライブ量
がプローブカードの場所によって均一にならずプローブ
カードが傾いて取り付けられる可能性がある。
［発明の目的］
本発明は上記プローブカード交換の自動化など物の自動
取付システムに伴なう問題点を解決するためになされた
もので、コネクタ等に取付けられたプローブカード等の
平担面をもつ物体が取付面（所定面）に対し傾いている
かどうかをその物体に接触することなく自動的に検出す
る方法を提供せんとするものである。
取付システムに伴なう問題点を解決するためになされた
もので、コネクタ等に取付けられたプローブカード等の
平担面をもつ物体が取付面（所定面）に対し傾いている
かどうかをその物体に接触することなく自動的に検出す
る方法を提供せんとするものである。
［発明の実施例コ
以下、本発明をプローブカードの傾き検出に適用した実
施例を図面に基き説明する。
施例を図面に基き説明する。
第１図はプローブカード１がコネクタの取付面２に正常
に取り付けられた状態を示し、第２図はプローブカード
ｌが取付面２に対し傾いて取り付けられた状態を示す。
に取り付けられた状態を示し、第２図はプローブカード
ｌが取付面２に対し傾いて取り付けられた状態を示す。
第１図及び第２図において。
レーザスポット光等の光源３はプローバ内の適当な場所
に設置され、ハーフミラ−４及びミラー５を介して２軸
の平行光線り、、Ｌ２をプローブカード１の裏面（取付
側と反対の面）に照射する。
に設置され、ハーフミラ−４及びミラー５を介して２軸
の平行光線り、、Ｌ２をプローブカード１の裏面（取付
側と反対の面）に照射する。
ブロードカード１が取付けられるコネクタの下方、プロ
ーバ装置内には平行光線の照射部に対応する位置に高感
度カメラ６（例えばＣＯＤ−ＭＯＳカメラ）が設置され
る。第１図及び第２図では平行光線り、、Ｌ２はプロー
ブカードの同−直径上の２ケ所Ａ、Ｂに照射された状態
を示し、それに対応して二つのカメラ６Ａ、６Ｂが図示
されている。
ーバ装置内には平行光線の照射部に対応する位置に高感
度カメラ６（例えばＣＯＤ−ＭＯＳカメラ）が設置され
る。第１図及び第２図では平行光線り、、Ｌ２はプロー
ブカードの同−直径上の２ケ所Ａ、Ｂに照射された状態
を示し、それに対応して二つのカメラ６Ａ、６Ｂが図示
されている。
このような構成において、プローブカードの傾きを検出
する方法を説明する。
する方法を説明する。
まず間隔Ｗ１の２軸の平行光線Ｌ１．Ｌ２をプローブカ
ード１の表面の部分Ａに照射すると部分Ａには第３図に
示すように照射部として２点のスポットＳ、、Ｓ２がで
きる。これらスポットＳ、、Ｓ２の間隔Ｗ’ｌはプロー
ブカード１が取付面２と平行に取付けられている時、平
行光線Ｌ１、Ｌ２の取付面２に対する照射角を０１とす
るとＷ’＋ ＝Ｗ１ ／ｓｉｎ θ１・・・・・・・
・・・Ｉである。
ード１の表面の部分Ａに照射すると部分Ａには第３図に
示すように照射部として２点のスポットＳ、、Ｓ２がで
きる。これらスポットＳ、、Ｓ２の間隔Ｗ’ｌはプロー
ブカード１が取付面２と平行に取付けられている時、平
行光線Ｌ１、Ｌ２の取付面２に対する照射角を０１とす
るとＷ’＋ ＝Ｗ１ ／ｓｉｎ θ１・・・・・・・
・・・Ｉである。
同様に平行光線り、、Ｌ２をその照射角度を変えて部分
Ｂに照射すると、スポットＳ１．Ｓ２と同−直径上にス
ポットＳｇ、Ｓ４が得られる。
Ｂに照射すると、スポットＳ１．Ｓ２と同−直径上にス
ポットＳｇ、Ｓ４が得られる。
これらスポットＳ８、Ｓ、の間隔Ｗ’２はＷ’ ２ ＝
Ｗ ２ ／ ｓｉｎ θ２・・・・・・・・・・■で
ある。但しθ２はこの時の照射角、Ｗ２は平行光線Ｌ１
．Ｌ２の間隔である。
Ｗ ２ ／ ｓｉｎ θ２・・・・・・・・・・■で
ある。但しθ２はこの時の照射角、Ｗ２は平行光線Ｌ１
．Ｌ２の間隔である。
つまり、プローブカード１が取付面２に対し平行に取付
けられている時は、式Ｉ、式■かられかるようにスポッ
トの間隔ｗ’、、Ｗ’２は平行光線の間隔ＷＩ、又はＷ
２と照射角度（θ１又はθ２）によって算定される値で
ある。
けられている時は、式Ｉ、式■かられかるようにスポッ
トの間隔ｗ’、、Ｗ’２は平行光線の間隔ＷＩ、又はＷ
２と照射角度（θ１又はθ２）によって算定される値で
ある。
ところが、プローブカードｌが取付面２に対し平行に取
付けられず、例えば第２図に示すようにへ〇傾いている
と、照射部のスポットＳ、、Ｓ。
付けられず、例えば第２図に示すようにへ〇傾いている
と、照射部のスポットＳ、、Ｓ。
の間隔Ｗ′１及びスポットＳ３、Ｓ４の間隔Ｗ”２はそ
れぞれ Ｗ”＋ ＝Ｗ＋ ／５ｉｎ（θ１＋△θ）Ｗ”２＝ Ｗ
２ ／ ５ｉｎ（θ２＋Δθ）となりΔθが十の時（
第２図の状態）は、Ｗ′１＞Ｗ”ｌ 、 Ｗ’２ ＞Ｗ
”２ 、△θが−の時（図中。
れぞれ Ｗ”＋ ＝Ｗ＋ ／５ｉｎ（θ１＋△θ）Ｗ”２＝ Ｗ
２ ／ ５ｉｎ（θ２＋Δθ）となりΔθが十の時（
第２図の状態）は、Ｗ′１＞Ｗ”ｌ 、 Ｗ’２ ＞Ｗ
”２ 、△θが−の時（図中。
右側が下がっている状態）はＷ’ｔ ＜Ｗ”ｔ 、 ｗ
’２＜ Ｗ ” ２となる。（但し、実際にはＣＣＤカ
メラ６にはスポットＳ、、Ｓ、の間隔スポットＳ９．Ｓ
４の間隔はそれぞれＷ”１ ｃｏｓΔθ、Ｗ”２ ｃｏ
ｓΔθとしてキャッチされる）。つまり、プローブカー
ドｌが取付面２に正常に取付けられた時と傾いている時
とでは、スポットの間隔が異なってくるので、本発明の
傾き検出方法はカメラによって測定された値と算定され
たＷ′！及びｗ′２とを比較することによりプローブカ
ード１が取付面２に対し傾いているかどうかを判定する
ものである。すなわち具体的には、プローバに内蔵され
るＣＰＵに予め算定された値ｗ’、、ｗ’２を記憶させ
ておき、カメラ６によって測定された値Ｗ”１．Ｗ″２
を入力し、Ｗ”、＝Ｗ’、、ＡＮＤＷ”２ ＝Ｗ’２以
外の時はプローブカード１が取付面２に対して傾いてい
ると判定する。
’２＜ Ｗ ” ２となる。（但し、実際にはＣＣＤカ
メラ６にはスポットＳ、、Ｓ、の間隔スポットＳ９．Ｓ
４の間隔はそれぞれＷ”１ ｃｏｓΔθ、Ｗ”２ ｃｏ
ｓΔθとしてキャッチされる）。つまり、プローブカー
ドｌが取付面２に正常に取付けられた時と傾いている時
とでは、スポットの間隔が異なってくるので、本発明の
傾き検出方法はカメラによって測定された値と算定され
たＷ′！及びｗ′２とを比較することによりプローブカ
ード１が取付面２に対し傾いているかどうかを判定する
ものである。すなわち具体的には、プローバに内蔵され
るＣＰＵに予め算定された値ｗ’、、ｗ’２を記憶させ
ておき、カメラ６によって測定された値Ｗ”１．Ｗ″２
を入力し、Ｗ”、＝Ｗ’、、ＡＮＤＷ”２ ＝Ｗ’２以
外の時はプローブカード１が取付面２に対して傾いてい
ると判定する。
今、プローブカード１の一つの直径上の２個所Ａ、Ｂで
測定した場合について述べたが、実際には第３図に示す
ように直交する二つの直径上の４個所で測定して傾きを
判定する。
測定した場合について述べたが、実際には第３図に示す
ように直交する二つの直径上の４個所で測定して傾きを
判定する。
そして、傾きが検出された場合は１手動、又は自動的に
調整し４個所の測定値が算定値と一致するようにする。
調整し４個所の測定値が算定値と一致するようにする。
尚１本実施例において平行光線としてレーザスポット光
を用いたが、スリット光でも同様の検定が行えることは
言うまでもない。また１本発明はプローブカードのみな
らず、ウェハにも適用できる他、他の分野においても、
平担面をもつ物体の所定面に対する傾きを検出するのに
用いることができる。
を用いたが、スリット光でも同様の検定が行えることは
言うまでもない。また１本発明はプローブカードのみな
らず、ウェハにも適用できる他、他の分野においても、
平担面をもつ物体の所定面に対する傾きを検出するのに
用いることができる。
［発明の効果コ
以上の説明からも明らかなように、本発明によればプロ
ーブカードの自動交換システムなど物の取付は等を自動
化したシステムにおいて、その物。
ーブカードの自動交換システムなど物の取付は等を自動
化したシステムにおいて、その物。
特に平担な物体が取付面に正常に取り付けられているか
を自動的に検出しＣｈｅｃｋできるので、より完成され
た自動化システムを実現することができる。
を自動的に検出しＣｈｅｃｋできるので、より完成され
た自動化システムを実現することができる。
第１及び第２図は本発明の一実施例を示す図。
第３図はプローブカードの照射部を示す図である。
Claims (1)
- 少なくとも一部分が平担である物体の該平担部分に、所
定間隔の平行光線を所定平面に対し所定角度で照射し、
前記平担部分における前記平行光線の照射部分の間隔を
測定し、該照射部分の間隔が予め算定された値と異なる
時に前記物体が前記所定平面に対し傾いていることを検
出することを特徴とする物体の傾き検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61254072A JP2535514B2 (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | プロ―ブカ―ドの取付方法及びそれを備えたウエハプロ―バ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61254072A JP2535514B2 (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | プロ―ブカ―ドの取付方法及びそれを備えたウエハプロ―バ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63108209A true JPS63108209A (ja) | 1988-05-13 |
| JP2535514B2 JP2535514B2 (ja) | 1996-09-18 |
Family
ID=17259831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61254072A Expired - Lifetime JP2535514B2 (ja) | 1986-10-24 | 1986-10-24 | プロ―ブカ―ドの取付方法及びそれを備えたウエハプロ―バ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2535514B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015129680A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、姿勢制御装置、構造物製造システム、及び、形状測定方法 |
| JP2016166885A (ja) * | 2016-04-18 | 2016-09-15 | トヨタ自動車株式会社 | サスペンションシステム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51140655A (en) * | 1975-05-29 | 1976-12-03 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | Method and apparatus for optical measurement |
-
1986
- 1986-10-24 JP JP61254072A patent/JP2535514B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51140655A (en) * | 1975-05-29 | 1976-12-03 | Ikegami Tsushinki Co Ltd | Method and apparatus for optical measurement |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015129680A (ja) * | 2014-01-08 | 2015-07-16 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、姿勢制御装置、構造物製造システム、及び、形状測定方法 |
| JP2016166885A (ja) * | 2016-04-18 | 2016-09-15 | トヨタ自動車株式会社 | サスペンションシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2535514B2 (ja) | 1996-09-18 |
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