JPH087047B2 - 電子部品のリード形状検査用光学装置 - Google Patents
電子部品のリード形状検査用光学装置Info
- Publication number
- JPH087047B2 JPH087047B2 JP4192949A JP19294992A JPH087047B2 JP H087047 B2 JPH087047 B2 JP H087047B2 JP 4192949 A JP4192949 A JP 4192949A JP 19294992 A JP19294992 A JP 19294992A JP H087047 B2 JPH087047 B2 JP H087047B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- lead
- optical device
- prism
- electronic component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばフラットパッケ
ージ形のＩＣ（集積回路）等の電子部品のリードの曲が
りや浮き等を検査するための装置に係り、特に、電子部
品のリードを撮像するための照明用光学装置に関する。
ージ形のＩＣ（集積回路）等の電子部品のリードの曲が
りや浮き等を検査するための装置に係り、特に、電子部
品のリードを撮像するための照明用光学装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】フラットパッケージ形のＩＣ等の表面実
装用の電子部品をプリント配線基板に実装する際に、電
子部品のリードに曲がりや浮き等が生じていると、プリ
ント配線基板の端子部に対して接続不良を生じるので、
予め電子部品のリード形状が許容範囲内に入っているか
どうかを検査するための装置が用いられている。この装
置は、検査ステージ上に載置された電子部品のリード配
列に対して、略水平に光を照射し、リード配列を通過し
た光をＣＣＤカメラ等で撮像し、その画像データを処理
することによって、リードの曲がりや浮き等を計測する
ように構成されている。以下、このような検査装置に用
いられるリード配列照明用の光学装置について説明す
る。
装用の電子部品をプリント配線基板に実装する際に、電
子部品のリードに曲がりや浮き等が生じていると、プリ
ント配線基板の端子部に対して接続不良を生じるので、
予め電子部品のリード形状が許容範囲内に入っているか
どうかを検査するための装置が用いられている。この装
置は、検査ステージ上に載置された電子部品のリード配
列に対して、略水平に光を照射し、リード配列を通過し
た光をＣＣＤカメラ等で撮像し、その画像データを処理
することによって、リードの曲がりや浮き等を計測する
ように構成されている。以下、このような検査装置に用
いられるリード配列照明用の光学装置について説明す
る。
【０００３】＜第１従来例＞図３を参照する。図中、符
号１は検査対象であるＩＣであり、パッケージ本体１ａ
の両側辺から多数のリード２がそれぞれ導出されてい
る。ＩＣ１は、検査ステージ３に載置されている。検査
ステージ３の側方に光源４が設けられており、この光源
４から略水平に照射された光は、パッケージ本体１ａと
検査ステージ３との間を通過し、図示しないＣＣＤカメ
ラに導かれることにより、リード配列が撮像される。
号１は検査対象であるＩＣであり、パッケージ本体１ａ
の両側辺から多数のリード２がそれぞれ導出されてい
る。ＩＣ１は、検査ステージ３に載置されている。検査
ステージ３の側方に光源４が設けられており、この光源
４から略水平に照射された光は、パッケージ本体１ａと
検査ステージ３との間を通過し、図示しないＣＣＤカメ
ラに導かれることにより、リード配列が撮像される。
【０００４】＜第２従来例＞図４を参照する。この光学
装置は、検査ステージ３に散乱板５を嵌め付けた構成で
あり、光源４から照射された光を散乱板５で散乱させる
ことにより、ＩＣ１のリード配列を内側から照射する略
水平な光を得ている。
装置は、検査ステージ３に散乱板５を嵌め付けた構成で
あり、光源４から照射された光を散乱板５で散乱させる
ことにより、ＩＣ１のリード配列を内側から照射する略
水平な光を得ている。
【０００５】＜第３従来例＞図５を参照する。この光学
装置は、ＩＣ１のリード２の基部でこれを支持するよう
に、左右端に立ち上がり部が形成された治具６の中に光
源４を設置し、光源４からの光をミラー７で前記の立ち
上がり部の頂上に導き、そこからリード２に向けて略水
平に光を照射するように構成されている。
装置は、ＩＣ１のリード２の基部でこれを支持するよう
に、左右端に立ち上がり部が形成された治具６の中に光
源４を設置し、光源４からの光をミラー７で前記の立ち
上がり部の頂上に導き、そこからリード２に向けて略水
平に光を照射するように構成されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ような各従来例の場合には、次のような問題がある。
ような各従来例の場合には、次のような問題がある。
【０００７】すなわち、第１従来例の場合、パッケージ
本体１ａの両側辺のリード配列の投影像が重なってＣＣ
Ｄカメラに導かれれるので、各リード配列の識別が困難
になるという問題がある。
本体１ａの両側辺のリード配列の投影像が重なってＣＣ
Ｄカメラに導かれれるので、各リード配列の識別が困難
になるという問題がある。
【０００８】第２従来例の場合、両リード配列の内側か
ら光が照射されるので、第１従来例のような問題は生じ
ないが、光源４からの光を散乱させている関係上、照明
の強度が弱いという問題点がある。
ら光が照射されるので、第１従来例のような問題は生じ
ないが、光源４からの光を散乱させている関係上、照明
の強度が弱いという問題点がある。
【０００９】第３従来例の場合、第１および第２従来例
のような問題は生じないが、治具６の立ち上がり部の間
隔を、検査対象となるＩＣ１のリード配列の間隔に一致
させておく必要があるので、検査対象となるＩＣの各種
のサイズに応じた治具を作成しなければならず、汎用性
に欠けるという問題がある。
のような問題は生じないが、治具６の立ち上がり部の間
隔を、検査対象となるＩＣ１のリード配列の間隔に一致
させておく必要があるので、検査対象となるＩＣの各種
のサイズに応じた治具を作成しなければならず、汎用性
に欠けるという問題がある。
【００１０】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、検査対象となる電子部品のリードを鮮
明に照明することができるとともに、汎用性のある電子
部品のリード形状検査用光学装置を提供するすることを
目的とする。
たものであって、検査対象となる電子部品のリードを鮮
明に照明することができるとともに、汎用性のある電子
部品のリード形状検査用光学装置を提供するすることを
目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、電子部品のリード形状を検査するため
に、前記電子部品のリート配列を照明する光学装置であ
って、検査対象である電子部品が搭載される表面をもっ
たプリズムと、前記プリズムの電子部品が搭載される表
面に対して、臨界角よりも小さく、かつ、臨界角に近い
角度で光線束を照射する光源と、を備え、前記プリズム
の表面に沿って出射され、前記電子部品のリード配列の
内側から通過した光を前記プリズム表面を含む平面より
も上側（出射側）位置で受光検知するように構成したも
のである。 ここで、「電子部品のリード配列の内側から
通過した光を前記プリズム表面を含む平面よりも上側
（出射側）位置で受光検知する」とは、前記位置に受光
検知手段そのもの（例えば、ＣＣＤカメラ）を設置して
受光検知する場合のみならず、前記位置に光学系を置
き、この光学系を介して出射光を、別の位置に設置され
た受光検知手段に導いて受光検知する場合も含む。
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、本発明は、電子部品のリード形状を検査するため
に、前記電子部品のリート配列を照明する光学装置であ
って、検査対象である電子部品が搭載される表面をもっ
たプリズムと、前記プリズムの電子部品が搭載される表
面に対して、臨界角よりも小さく、かつ、臨界角に近い
角度で光線束を照射する光源と、を備え、前記プリズム
の表面に沿って出射され、前記電子部品のリード配列の
内側から通過した光を前記プリズム表面を含む平面より
も上側（出射側）位置で受光検知するように構成したも
のである。 ここで、「電子部品のリード配列の内側から
通過した光を前記プリズム表面を含む平面よりも上側
（出射側）位置で受光検知する」とは、前記位置に受光
検知手段そのもの（例えば、ＣＣＤカメラ）を設置して
受光検知する場合のみならず、前記位置に光学系を置
き、この光学系を介して出射光を、別の位置に設置され
た受光検知手段に導いて受光検知する場合も含む。
【００１２】
【作用】本発明の作用は次のとおりである。すなわち、
本発明によれば、電子部品をプリズム表面に搭載し、こ
のプリズム表面に対して、臨界角よりも小さく、かつ、
臨界角に近い角度で光線束を照射しているので、プリズ
ム表面に沿った略水平な光が出射され、この光によって
電子部品のリード配列が内側から照明される。電子部品
のリード配列をその内側から通過した出射光は、前記プ
リズム表面を含む平面よりも上側（出射側）位置で受光
検知される。
本発明によれば、電子部品をプリズム表面に搭載し、こ
のプリズム表面に対して、臨界角よりも小さく、かつ、
臨界角に近い角度で光線束を照射しているので、プリズ
ム表面に沿った略水平な光が出射され、この光によって
電子部品のリード配列が内側から照明される。電子部品
のリード配列をその内側から通過した出射光は、前記プ
リズム表面を含む平面よりも上側（出射側）位置で受光
検知される。
【００１３】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。
する。
【００１４】＜第１実施例＞図１を参照する。図中、符
号１は検査対象であるフラットパッケージ形のＩＣであ
り、パッケージ本体１ａの対向する側辺から多数のリー
ド２がそれぞれ導出されている。符号１０は、三角柱状
のプリズムであり、そのプリズム表面１０ａにＩＣ１が
搭載される。プリズム１０の側面１０ｂ，１０ｃに対向
して、光ファイバで導かれた光源１１ａ，１１ｂがそれ
ぞれ設置されている。各光源１１ａ，１１ｂから照射さ
れた光は、集光用光学レンズ１２ａ，１２ｂでそれぞれ
集光された後、プリズム表面１０ａの中心点Ｐに向けて
出射される。中心点Ｐは、ＩＣ１が載置される領域の略
中央に設定されている。プリズム表面１０ａに対する光
線束の入射角θは、臨界角よりも若干小さく設定されて
いる。
号１は検査対象であるフラットパッケージ形のＩＣであ
り、パッケージ本体１ａの対向する側辺から多数のリー
ド２がそれぞれ導出されている。符号１０は、三角柱状
のプリズムであり、そのプリズム表面１０ａにＩＣ１が
搭載される。プリズム１０の側面１０ｂ，１０ｃに対向
して、光ファイバで導かれた光源１１ａ，１１ｂがそれ
ぞれ設置されている。各光源１１ａ，１１ｂから照射さ
れた光は、集光用光学レンズ１２ａ，１２ｂでそれぞれ
集光された後、プリズム表面１０ａの中心点Ｐに向けて
出射される。中心点Ｐは、ＩＣ１が載置される領域の略
中央に設定されている。プリズム表面１０ａに対する光
線束の入射角θは、臨界角よりも若干小さく設定されて
いる。
【００１５】プリズム表面１０ａからの出射光の屈折角
をｉ、プリズム１０の屈折率をｎとすると、sin i ＝ n
・sin θになる。したがって、プリズム表面１０ａから
の出射光の屈折角を９０°（水平）に近い状態にするに
は、ｉ≒９０°（sin i ≒１）より、sin θ≒１／ｎの
関係を満たすように、光線束の入射角θを設定すればよ
い。また、プリズム側面１０ｂ，１０ｃに対する光線束
の入射角αは、これらの面における反射を抑えるため
に、出来るだけ９０°に近いことが好ましい。
をｉ、プリズム１０の屈折率をｎとすると、sin i ＝ n
・sin θになる。したがって、プリズム表面１０ａから
の出射光の屈折角を９０°（水平）に近い状態にするに
は、ｉ≒９０°（sin i ≒１）より、sin θ≒１／ｎの
関係を満たすように、光線束の入射角θを設定すればよ
い。また、プリズム側面１０ｂ，１０ｃに対する光線束
の入射角αは、これらの面における反射を抑えるため
に、出来るだけ９０°に近いことが好ましい。
【００１６】以上のように構成することにより、光源１
１ａ，１１ｂからそれぞれ照射された光はプリズム１０
に入射し、中心点Ｐの付近から略水平にプリズム表面１
０ａに沿って出射され、ＩＣ１の対向するリード２の配
列部をそれぞれ内側から照射する。リード配列を通過し
た各出射光は、図示しない光学系に導かれて、それぞれ
個別のＣＣＤカメラに入射し、各リード配列が撮像され
ることにより、対向する各リード２の曲がりや浮き等が
同時に検査される。
１ａ，１１ｂからそれぞれ照射された光はプリズム１０
に入射し、中心点Ｐの付近から略水平にプリズム表面１
０ａに沿って出射され、ＩＣ１の対向するリード２の配
列部をそれぞれ内側から照射する。リード配列を通過し
た各出射光は、図示しない光学系に導かれて、それぞれ
個別のＣＣＤカメラに入射し、各リード配列が撮像され
ることにより、対向する各リード２の曲がりや浮き等が
同時に検査される。
【００１７】＜第２実施例＞図２を参照する。本実施例
は、パッケージ本体１ａの４側辺からリード２がそれぞ
れ導出されたフラットパッケージ形のＩＣ（ＱＦＰ：Qu
ad Flat Package ）１の各リード配列を同時に検査する
ための光学装置である。本実施例で用いられるプリズム
２０は４角錐状をなし、そのプリズム表面２０ａにＩＣ
１が搭載される。プリズム２０の４つの側面に各々対向
して、第１実施例と同様の光源１１ａ〜１１ｄおよび光
学レンズ１２ａ〜１２ｄが配備されている。各光源１１
ａ〜１１ｄから照射された光は、光学レンズ１２ａ〜１
２ｄでそれぞれ集光された後、プリズム表面２０ａの中
心点Ｐに向けて出射される。プリズム表面２０ａに対す
る各光線束の入射角θが、臨界角よりも若干小さく設定
されているは、第１実施例の場合と同様である。
は、パッケージ本体１ａの４側辺からリード２がそれぞ
れ導出されたフラットパッケージ形のＩＣ（ＱＦＰ：Qu
ad Flat Package ）１の各リード配列を同時に検査する
ための光学装置である。本実施例で用いられるプリズム
２０は４角錐状をなし、そのプリズム表面２０ａにＩＣ
１が搭載される。プリズム２０の４つの側面に各々対向
して、第１実施例と同様の光源１１ａ〜１１ｄおよび光
学レンズ１２ａ〜１２ｄが配備されている。各光源１１
ａ〜１１ｄから照射された光は、光学レンズ１２ａ〜１
２ｄでそれぞれ集光された後、プリズム表面２０ａの中
心点Ｐに向けて出射される。プリズム表面２０ａに対す
る各光線束の入射角θが、臨界角よりも若干小さく設定
されているは、第１実施例の場合と同様である。
【００１８】本実施例によれば、プリズム２０に入射し
た各光線束は、プリズム表面２０ａの中心点Ｐ付近から
４方向に略水平に出射し、ＩＣ１の各リード配列を内側
から照射する。各リード配列を通過した各光は、各々個
別のＣＣＤカメラに導かれて、各リード２の曲がりや浮
き等が同時に検査される。
た各光線束は、プリズム表面２０ａの中心点Ｐ付近から
４方向に略水平に出射し、ＩＣ１の各リード配列を内側
から照射する。各リード配列を通過した各光は、各々個
別のＣＣＤカメラに導かれて、各リード２の曲がりや浮
き等が同時に検査される。
【００１９】なお、上述した各実施例では、ＩＣ１の各
リード配列を同時に撮像して検査できる光学装置を例に
採って説明したが、本発明はこれに限定されない。例え
ば、照明用の光源や集光用光学レンズを各々一つだけ設
け、プリズム表面１０ａ，２０ａに載置されたＩＣを回
転変位させたり、あるいは、ＩＣが載置されたプリズム
自体を回転変位させることにより、ＩＣの各リード配列
を個別に検査してもよい。
リード配列を同時に撮像して検査できる光学装置を例に
採って説明したが、本発明はこれに限定されない。例え
ば、照明用の光源や集光用光学レンズを各々一つだけ設
け、プリズム表面１０ａ，２０ａに載置されたＩＣを回
転変位させたり、あるいは、ＩＣが載置されたプリズム
自体を回転変位させることにより、ＩＣの各リード配列
を個別に検査してもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、電子部品をプリズム表面に搭載し、このプリ
ズム表面に対して、臨界角よりも小さく、かつ、臨界角
に近い角度で光線束を照射しているので、プリズム表面
から略水平な光が出射され、この出射光が電子部品のリ
ード配列を内側から通過してプリズム表面を含む平面よ
りも上側（出射側）位置で受光検知される。したがっ
て、第１従来例のように対向するリード配列が重なって
撮像されることがなく、しかも、充分な照明強度を得る
ことができるのでリード配列を鮮明に撮像することが可
能である。また、電子部品のサイズが変わっても光学要
素を変更する必要がないので、汎用性のあるリード配列
照明用の光学装置を実現することができる。
によれば、電子部品をプリズム表面に搭載し、このプリ
ズム表面に対して、臨界角よりも小さく、かつ、臨界角
に近い角度で光線束を照射しているので、プリズム表面
から略水平な光が出射され、この出射光が電子部品のリ
ード配列を内側から通過してプリズム表面を含む平面よ
りも上側（出射側）位置で受光検知される。したがっ
て、第１従来例のように対向するリード配列が重なって
撮像されることがなく、しかも、充分な照明強度を得る
ことができるのでリード配列を鮮明に撮像することが可
能である。また、電子部品のサイズが変わっても光学要
素を変更する必要がないので、汎用性のあるリード配列
照明用の光学装置を実現することができる。
【図１】第１実施例に係る光学装置の構成を示した図で
ある。
ある。
【図２】第２実施例に係る光学装置の構成を示した図で
ある。
ある。
【図３】第１従来例に係る光学装置の構成を示した図で
ある。
ある。
【図４】第２従来例に係る光学装置の構成を示した図で
ある。
ある。
【図５】第３従来例に係る光学装置の構成を示した図で
ある。
ある。
１…ＩＣ（電子部品） １ａ…パッケージ本体 ２…リード １０，２０…プリズム １０ａ，２０ａ…プリズム表面 １１ａ〜１１ｄ…光源 １２ａ〜１２ｄ…集光用光学レンズ
Claims (1)
- 【請求項１】 電子部品のリード形状を検査するため
に、前記電子部品のリード配列を照明する光学装置であ
って、 検査対象である電子部品が搭載される表面をもったプリ
ズムと、 前記プリズムの電子部品が搭載される表面に対して、臨
界角よりも小さく、かつ、臨界角に近い角度で光線束を
照射する光源と、 を備え、前記プリズムの表面に沿って出射され、前記電
子部品のリード配列の内側から通過した光を前記プリズ
ム表面を含む平面よりも上側（出射側）位置で受光検知
するように構成したことを特徴とする電子部品のリード
形状検査用光学装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4192949A JPH087047B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 電子部品のリード形状検査用光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4192949A JPH087047B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 電子部品のリード形状検査用光学装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0642932A JPH0642932A (ja) | 1994-02-18 |
| JPH087047B2 true JPH087047B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=16299700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4192949A Expired - Lifetime JPH087047B2 (ja) | 1992-06-25 | 1992-06-25 | 電子部品のリード形状検査用光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087047B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5563703A (en) * | 1994-06-20 | 1996-10-08 | Motorola, Inc. | Lead coplanarity inspection apparatus and method thereof |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02109207U (ja) * | 1989-02-15 | 1990-08-31 |
-
1992
- 1992-06-25 JP JP4192949A patent/JPH087047B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0642932A (ja) | 1994-02-18 |
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