JPS61234542A - 半導体装置の試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハース状態の半導体を電気的に測定する
為に使用する装置に関し、特に電気的に測定した結果を
ウェハー状態の半導体装置にレーザーを使用しマークす
る装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の半導体試験装置は、プローブカードと称
し、レーザーマークを使用する場合、高性能のレンズを
使用し、ウェハー状態の半導体装置にマークを行ってい
た。

〔発明が解決しようとする問題点〕

上述した従来の装置は電気的に測定した結果をウェハー
上にレーザーでマークする時、レーザービームの発射部
からウェハー上に焦点を結ぶ方式であるため、その距離
が長くなり、焦点合わせの調整が複雑で、その調整に長
時間を有していた。

かつ、ウェハー厚のバラツキ等で焦点が狂ってレーザー
マークがうすくなるトラブルも多発するという欠点を有
していた。

本発明は前記問題点を解消した装置を提供するものであ
る。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は半導体装置の電気的測定端子を固定する基板に
レンズを設けたことを特徴とするものである。

〔実施例〕

次に本発明の実施例を図によって説明する。

第１図（α）　、　（ｂ）において、複数の探針２を有
する基板１上に、レーザーの平行光線４をウェハー５上
に焦点６を結ばせるレンズ３を設ける。

本装置を使ってレーザーマークするには、第２図に示す
ように基板１のレンズ３にレーザー光９を照射し、その
レンズ３によシウエハー５上に焦点６を結ばせ、レーザ
ーマークを行う。もしくは凹レンズを有する場合はレー
ザーマーカーの平行光線を発散させ、マークの大きさを
大きくすることも可能である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は基板上にレンズを付けるこ
とにより、レーザーマーカーから出た平行光線をレンズ
で通してウェハー上に焦点を結ぶようにするため、焦点
合わせの調整が不要である。

また、レーザーマーカーも平行光線を出すだけでよく、
構造も簡単・で、焦点合わせの調整が不要となり、しか
もマークについてもレンズからウェハー間の距離が短か
く、一定に保ちやすく、再現性のある良質のレーザーマ
ークを行うことができる効果を有するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例を示すもので、（ωは側面図、
（ｂ）は平面図、第２図は本発明の詳細な説明図である
。 １・・・基板　　　　　　　２・・・探針３・・・レン
ズ 特許出願人　　日本電気株式会社 （ｂン 第１図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）ウエハース状態の半導体装置を電気的に測定する
   端子の固定用基板にレンズを設けたことを特徴とする半
   導体装置の試験装置。