JP3339110B2 - 発光素子の光軸検出方法 - Google Patents
発光素子の光軸検出方法Info
- Publication number
- JP3339110B2 JP3339110B2 JP13681493A JP13681493A JP3339110B2 JP 3339110 B2 JP3339110 B2 JP 3339110B2 JP 13681493 A JP13681493 A JP 13681493A JP 13681493 A JP13681493 A JP 13681493A JP 3339110 B2 JP3339110 B2 JP 3339110B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting element
- optical axis
- light
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Image Analysis (AREA)
- Image Input (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Die Bonding (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、互いに反対側の２端面
から光を出射する半導体レーザ等の発光素子における光
軸検出方法に関するものである。
から光を出射する半導体レーザ等の発光素子における光
軸検出方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体レーザ等の発光素子を基台上に搭
載する場合、その端面から出射される光をレンズ系や受
光素子等に効率良く入射させるために光軸合わせを行う
必要がある。従来、半導体レーザから成る発光素子の光
軸を検出するには、光が出射する２端面（劈開面）を基
準として２端面と直交する線を求め、この線に基づいて
光軸を求めている。
載する場合、その端面から出射される光をレンズ系や受
光素子等に効率良く入射させるために光軸合わせを行う
必要がある。従来、半導体レーザから成る発光素子の光
軸を検出するには、光が出射する２端面（劈開面）を基
準として２端面と直交する線を求め、この線に基づいて
光軸を求めている。
【０００３】このように、発光素子の２端面を基準とし
て光軸を求めているため、２端面の方向をレーザ測長器
等を用いて正確に計測している。すなわち、先ず、発光
素子を保持具にて固定しておき、互いに反対側の２端面
の方向をレーザ測長器を用いて計測する。次に、計測結
果に基づいて２端面と直交する線を求めてこれを基準と
し、この線を位置合わせの対象物であるレンズ系や受光
素子等の軸に合わせている。
て光軸を求めているため、２端面の方向をレーザ測長器
等を用いて正確に計測している。すなわち、先ず、発光
素子を保持具にて固定しておき、互いに反対側の２端面
の方向をレーザ測長器を用いて計測する。次に、計測結
果に基づいて２端面と直交する線を求めてこれを基準と
し、この線を位置合わせの対象物であるレンズ系や受光
素子等の軸に合わせている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような方
法で発光素子の光軸を検出する場合、２端面の方向を正
確に計測するためのレーザ測長器等の測定器が必要であ
るため、装置の複雑化やコストアップを招くことにな
る。また、各端面の方向をレーザ測長器にてそれぞれ計
測するために多大な時間を要することになる。しかも、
２端面に直交する線が光軸と平行となるということを前
提としているため、求めた光軸と実際の光軸との間にず
れが生じる場合があり、発光素子の高精度な位置合わせ
を行うには不十分である。
法で発光素子の光軸を検出する場合、２端面の方向を正
確に計測するためのレーザ測長器等の測定器が必要であ
るため、装置の複雑化やコストアップを招くことにな
る。また、各端面の方向をレーザ測長器にてそれぞれ計
測するために多大な時間を要することになる。しかも、
２端面に直交する線が光軸と平行となるということを前
提としているため、求めた光軸と実際の光軸との間にず
れが生じる場合があり、発光素子の高精度な位置合わせ
を行うには不十分である。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された発光素子の光軸検出方法で
ある。すなわち、この光軸検出方法は、電流を与えるこ
とにより互いに反対側の２端面から同様な光を出射する
発光素子の光軸を検出する方法であり、電流を与えた状
態で、発光素子の上方に配置した光学読み取り装置を用
いて２端面から出射する光を取り込み、この取り込んだ
２端面の光の画像に基づいて、各光の画像の中心位置を
それぞれ求め、この各光の画像の中心位置に基づき発光
素子の光軸を求めるようにする。また、発光素子として
半導体レーザを用いた場合、発光素子に与える電流とし
て、半導体レーザが発振するしきい電流値よりも小さい
電流を与えるようにした光軸検出方法でもある。
題を解決するために成された発光素子の光軸検出方法で
ある。すなわち、この光軸検出方法は、電流を与えるこ
とにより互いに反対側の２端面から同様な光を出射する
発光素子の光軸を検出する方法であり、電流を与えた状
態で、発光素子の上方に配置した光学読み取り装置を用
いて２端面から出射する光を取り込み、この取り込んだ
２端面の光の画像に基づいて、各光の画像の中心位置を
それぞれ求め、この各光の画像の中心位置に基づき発光
素子の光軸を求めるようにする。また、発光素子として
半導体レーザを用いた場合、発光素子に与える電流とし
て、半導体レーザが発振するしきい電流値よりも小さい
電流を与えるようにした光軸検出方法でもある。
【０００６】
【作用】発光素子に電流を与えて互いに反対側の２端面
から光を出射した状態で、発光素子の上方に配置した光
学読み取り装置にてその光を取り込む。これにより、発
光素子の２端面からそれぞれ出射する光を読み取り画像
として得ることができる。この読み取り画像を用い、２
端面からの光の画像の中心位置をそれぞれ求め、各光の
画像の中心位置を結ぶ直線を得ることで光軸を求めるこ
とができる。また、発光素子が半導体レーザから成る場
合、その半導体レーザが発振するためのしきい電流値よ
りも小さい電流を与えることで２端面から自然放出光を
出射する。この２端面から出射する自然放出光を光学読
み取り装置にて読み取ることで、略正規分布となる光の
画像を得る。この略正規分布となる光の画像に基づいて
中心位置を得て光軸を求める。
から光を出射した状態で、発光素子の上方に配置した光
学読み取り装置にてその光を取り込む。これにより、発
光素子の２端面からそれぞれ出射する光を読み取り画像
として得ることができる。この読み取り画像を用い、２
端面からの光の画像の中心位置をそれぞれ求め、各光の
画像の中心位置を結ぶ直線を得ることで光軸を求めるこ
とができる。また、発光素子が半導体レーザから成る場
合、その半導体レーザが発振するためのしきい電流値よ
りも小さい電流を与えることで２端面から自然放出光を
出射する。この２端面から出射する自然放出光を光学読
み取り装置にて読み取ることで、略正規分布となる光の
画像を得る。この略正規分布となる光の画像に基づいて
中心位置を得て光軸を求める。
【０００７】
【実施例】以下に本発明の発光素子の光軸検出方法の実
施例を図に基づいて説明する。図１は、この発光素子の
光軸検出方法を説明する斜視図である。すなわち、この
光軸検出方法は、例えば半導体レーザから成る発光素子
１の互いに反対側の２端面１ａ、１ｂから同様な光１０
ａ、１０ｂをそれぞれ出射し、これらの光１０ａ、１０
ｂの画像を光学読み取り装置２にて取り込んで光軸１１
を求める方法である。
施例を図に基づいて説明する。図１は、この発光素子の
光軸検出方法を説明する斜視図である。すなわち、この
光軸検出方法は、例えば半導体レーザから成る発光素子
１の互いに反対側の２端面１ａ、１ｂから同様な光１０
ａ、１０ｂをそれぞれ出射し、これらの光１０ａ、１０
ｂの画像を光学読み取り装置２にて取り込んで光軸１１
を求める方法である。
【０００８】発光素子１の光軸１１を検出するには、先
ず発光素子１を図示しない保持台上に載置してプローブ
３を接触させて所定の電流を与えるようにする。半導体
レーザから成る発光素子１の場合には、半導体レーザが
発振するためのしきい電流値よりの小さい電流をプロー
ブ３から与えることで、２つの端面１ａ、１ｂから光１
０ａ、１０ｂがそれぞれ自然放出し、一方、しきい電流
値以上の電流を与えることで発光素子１内部の活性層に
て発振が起こり、コヒーレントな光１０ａ、１０ｂを放
出することになる。
ず発光素子１を図示しない保持台上に載置してプローブ
３を接触させて所定の電流を与えるようにする。半導体
レーザから成る発光素子１の場合には、半導体レーザが
発振するためのしきい電流値よりの小さい電流をプロー
ブ３から与えることで、２つの端面１ａ、１ｂから光１
０ａ、１０ｂがそれぞれ自然放出し、一方、しきい電流
値以上の電流を与えることで発光素子１内部の活性層に
て発振が起こり、コヒーレントな光１０ａ、１０ｂを放
出することになる。
【０００９】次に、発光素子１の２つの端面１ａ、１ｂ
からそれぞれ出射される光１０ａ、１０ｂを発光素子１
の上方に配置したＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅ
ｄＤｅｖｉｃｅ）等の光学読み取り装置２にて同時に取
り込む。この光学読み取り装置２にて得られる画像の一
例を図２に示す。すなわち、この画像は発光素子１にし
きい電流値よりも小さい電流を与えて２つの端面１ａ、
１ｂから光１０ａ、１０ｂを自然放出させた際の画像で
あり、端面１ａ、１ｂからそれぞれ光１０ａ、１０ｂが
略正規分布状となって取り込まれたものである。
からそれぞれ出射される光１０ａ、１０ｂを発光素子１
の上方に配置したＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅ
ｄＤｅｖｉｃｅ）等の光学読み取り装置２にて同時に取
り込む。この光学読み取り装置２にて得られる画像の一
例を図２に示す。すなわち、この画像は発光素子１にし
きい電流値よりも小さい電流を与えて２つの端面１ａ、
１ｂから光１０ａ、１０ｂを自然放出させた際の画像で
あり、端面１ａ、１ｂからそれぞれ光１０ａ、１０ｂが
略正規分布状となって取り込まれたものである。
【００１０】次に、この取り込んだ画像に例えば２値化
処理を施した後、光１０ａ、１０ｂの略正規分布となっ
た画像の中心位置Ｏ、Ｏ’をそれぞれ求める。そして、
この各中心位置Ｏ、Ｏ’を結ぶことにより光軸１１を得
る。略正規分布となった光１０ａ、１０ｂの画像の中心
位置Ｏ、Ｏ’を求める方法はどのようなものでもよい
が、その一例を図３に基づいて説明する。すなわち、発
光素子１の端面１ａから出射した光１０ａの略正規分布
の画像に基づいて、その略正規分布の底辺から最先端ま
での距離ｈ1 を求める。次に、距離ｈ1 の半分（１／２
ｈ1 ）に対応する分布の交点間距離ｄ1 を求め、さらに
この距離ｄ1 の中心を求めてそれを中心位置Ｏとする。
処理を施した後、光１０ａ、１０ｂの略正規分布となっ
た画像の中心位置Ｏ、Ｏ’をそれぞれ求める。そして、
この各中心位置Ｏ、Ｏ’を結ぶことにより光軸１１を得
る。略正規分布となった光１０ａ、１０ｂの画像の中心
位置Ｏ、Ｏ’を求める方法はどのようなものでもよい
が、その一例を図３に基づいて説明する。すなわち、発
光素子１の端面１ａから出射した光１０ａの略正規分布
の画像に基づいて、その略正規分布の底辺から最先端ま
での距離ｈ1 を求める。次に、距離ｈ1 の半分（１／２
ｈ1 ）に対応する分布の交点間距離ｄ1 を求め、さらに
この距離ｄ1 の中心を求めてそれを中心位置Ｏとする。
【００１１】一方の端面１ｂから出射した光１０ｂの略
正規分布の画像の場合も同様に、その底辺から最先端ま
での距離ｈ2 を求め、その半分（１／２ｈ2 ）に対応す
る分布の交点間距離ｄ2 の中央を中心位置Ｏ’とする。
このようにして求めた各中心位置Ｏ、Ｏ’を結ぶ直線を
発光素子１の光軸１１とする。光学読み取り装置２にて
得られた画像に基づいて中心位置Ｏ、Ｏ’や光軸１１を
求めるには、図示しないコンピュータ等の画像処理装置
を用いて容易に得ることができる。
正規分布の画像の場合も同様に、その底辺から最先端ま
での距離ｈ2 を求め、その半分（１／２ｈ2 ）に対応す
る分布の交点間距離ｄ2 の中央を中心位置Ｏ’とする。
このようにして求めた各中心位置Ｏ、Ｏ’を結ぶ直線を
発光素子１の光軸１１とする。光学読み取り装置２にて
得られた画像に基づいて中心位置Ｏ、Ｏ’や光軸１１を
求めるには、図示しないコンピュータ等の画像処理装置
を用いて容易に得ることができる。
【００１２】次に、発光素子１の光軸１１を求めた後に
行う位置合わせについて、図４の斜視図に基づいて説明
する。すなわち、この位置合わせは、基台１０上に配置
されたレンズ系や受光素子等の対象物４と発光素子１と
の光軸合わせであり、対象物４の基準軸４１と発光素子
１の光軸１１とが一致するように発光素子１を位置決め
するものである。
行う位置合わせについて、図４の斜視図に基づいて説明
する。すなわち、この位置合わせは、基台１０上に配置
されたレンズ系や受光素子等の対象物４と発光素子１と
の光軸合わせであり、対象物４の基準軸４１と発光素子
１の光軸１１とが一致するように発光素子１を位置決め
するものである。
【００１３】発光素子１の光軸１１は先に述べた方法で
求めておき、予め取り込み画像から得られる発光素子１
の外形線と光軸１１とのずれ量を得ておく。その後、発
光素子１を図示しない吸着ノズル等を用いて保持し、基
台１０上の所定位置に載置する。この状態で、発光素子
１を保持している吸着ノズル等をＸ軸、Ｙ軸、およびθ
方向（回転方向）に移動して光軸１１と基準軸４１とを
合わせるようにする。実際には、発光素子１の外形線を
用いて合わせ込むようにし、先に得ておいた光軸１１と
のずれ量を補正するようにして位置を決定する。基台１
０上の発光素子１の搭載位置には予め銀ペースト等の接
着剤が塗布されており、位置合わせの後にこの銀ペース
トを硬化させることで発光素子１を固定する。これによ
り、発光素子１の光軸１１と対象物４の基準軸４１とを
正確に位置合わせすることができる。
求めておき、予め取り込み画像から得られる発光素子１
の外形線と光軸１１とのずれ量を得ておく。その後、発
光素子１を図示しない吸着ノズル等を用いて保持し、基
台１０上の所定位置に載置する。この状態で、発光素子
１を保持している吸着ノズル等をＸ軸、Ｙ軸、およびθ
方向（回転方向）に移動して光軸１１と基準軸４１とを
合わせるようにする。実際には、発光素子１の外形線を
用いて合わせ込むようにし、先に得ておいた光軸１１と
のずれ量を補正するようにして位置を決定する。基台１
０上の発光素子１の搭載位置には予め銀ペースト等の接
着剤が塗布されており、位置合わせの後にこの銀ペース
トを硬化させることで発光素子１を固定する。これによ
り、発光素子１の光軸１１と対象物４の基準軸４１とを
正確に位置合わせすることができる。
【００１４】上記の実施例においては、発光素子１にし
きい電流値よりも小さい電流を与えて光１０ａ、１０ｂ
を自然放出させた場合の光軸１１の検出方法について述
べたが、本発明はしきい電流値以上の電流を与えてコヒ
ーレントな光１０ａ、１０ｂを出射させた場合であって
も同様である。すなわち、互いに反対側の２端面１ａ、
１ｂから所定の角度で光１０ａ、１０ｂを出射した状態
で、発光素子１の上方から光学読み取り装置２にてその
光１０ａ、１０ｂを取り込む。そして、取り込んだ光１
０ａ、１０ｂの画像の中心位置Ｏ、Ｏ’をそれぞれ求
め、これに基づいて光軸１１を求めるようにする。な
お、取り込んだ光１０ａ、１０ｂの画像は必ずしも略正
規分布にはならず、所定の角度をもって広がるような場
合もあるが、そのような画像であっても広がりの中心を
得て中心位置Ｏ、Ｏ’を求めるようにすれば光軸１１を
得ることができる。
きい電流値よりも小さい電流を与えて光１０ａ、１０ｂ
を自然放出させた場合の光軸１１の検出方法について述
べたが、本発明はしきい電流値以上の電流を与えてコヒ
ーレントな光１０ａ、１０ｂを出射させた場合であって
も同様である。すなわち、互いに反対側の２端面１ａ、
１ｂから所定の角度で光１０ａ、１０ｂを出射した状態
で、発光素子１の上方から光学読み取り装置２にてその
光１０ａ、１０ｂを取り込む。そして、取り込んだ光１
０ａ、１０ｂの画像の中心位置Ｏ、Ｏ’をそれぞれ求
め、これに基づいて光軸１１を求めるようにする。な
お、取り込んだ光１０ａ、１０ｂの画像は必ずしも略正
規分布にはならず、所定の角度をもって広がるような場
合もあるが、そのような画像であっても広がりの中心を
得て中心位置Ｏ、Ｏ’を求めるようにすれば光軸１１を
得ることができる。
【００１５】なお、本実施例では半導体レーザから成る
発光素子１を例として説明したが、本発明はこれに限定
されず、互いに反対側の２端面１ａ、１ｂから同様な光
が出射する発光素子１であれば何でもよい。
発光素子１を例として説明したが、本発明はこれに限定
されず、互いに反対側の２端面１ａ、１ｂから同様な光
が出射する発光素子１であれば何でもよい。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の発光素子
の光軸検出方法には次のような効果がある。すなわち、
発光素子の互いに反対側の２端面から出射する光を上方
から光学読み取り装置を用いて取り込み、その画像に基
づいて光軸を求めるため、装置の簡素化を図ることがで
きる。また、２端面から光を同時に取り込んで画像処理
することにより容易に光軸が得られるため、検出時間の
大幅な短縮を図ることが可能となる。さらに、実際に出
射した光の画像に基づいて光軸を求めているため、正確
な光軸を得ることができ、発光素子の位置合わせ精度を
向上させることができる。本発明は、発光素子を基台に
実装して成る光学部品を量産する場合において特に有効
な方法である。
の光軸検出方法には次のような効果がある。すなわち、
発光素子の互いに反対側の２端面から出射する光を上方
から光学読み取り装置を用いて取り込み、その画像に基
づいて光軸を求めるため、装置の簡素化を図ることがで
きる。また、２端面から光を同時に取り込んで画像処理
することにより容易に光軸が得られるため、検出時間の
大幅な短縮を図ることが可能となる。さらに、実際に出
射した光の画像に基づいて光軸を求めているため、正確
な光軸を得ることができ、発光素子の位置合わせ精度を
向上させることができる。本発明は、発光素子を基台に
実装して成る光学部品を量産する場合において特に有効
な方法である。
【図１】本発明の発光素子の光軸検出方法を説明する斜
視図である。
視図である。
【図２】取り込み画像を説明する図である。
【図３】光の画像の中心位置の算出を説明する図であ
る。
る。
【図４】発光素子の光軸合わせを説明する斜視図であ
る。
る。
１ 発光素子 １ａ、１ｂ 端面 ２ 光学読み取り装置 ３ プローブ ４ 対象物 １０ 基台 １０ａ、１０ｂ 光 １１ 光軸 ４１ 基準軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 7/00 G06T 1/00 G06T 7/00 H01L 21/52 H01S 5/00
Claims (2)
- 【請求項１】 電流を与えることにより互いに反対側の
２端面から同様な光を出射する発光素子の光軸検出方法
において、 前記電流を与えた状態で、前記発光素子の上方に配置し
た光学読み取り装置にて前記２端面から出射した光を取
り込み、 取り込んだ前記２端面の光の画像に基づいて、各光の画
像の中心位置をそれぞれ求め、 前記各光の画像の中心位置に基づき前記発光素子の光軸
を求めることを特徴とする発光素子の光軸検出方法。 - 【請求項２】 前記発光素子として半導体レーザを用い
た場合、該発光素子に与える電流として、該半導体レー
ザが発振するためのしきい電流値よりも小さい電流を与
えるようにしたことを特徴とする請求項１記載の発光素
子の光軸検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13681493A JP3339110B2 (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | 発光素子の光軸検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13681493A JP3339110B2 (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | 発光素子の光軸検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06324240A JPH06324240A (ja) | 1994-11-25 |
| JP3339110B2 true JP3339110B2 (ja) | 2002-10-28 |
Family
ID=15184134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13681493A Expired - Fee Related JP3339110B2 (ja) | 1993-05-13 | 1993-05-13 | 発光素子の光軸検出方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3339110B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005235955A (ja) * | 2004-02-18 | 2005-09-02 | Sharp Corp | 光学素子の位置検査方法および位置検査装置ならびにダイボンド方法およびダイボンド装置 |
-
1993
- 1993-05-13 JP JP13681493A patent/JP3339110B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06324240A (ja) | 1994-11-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2943499B2 (ja) | 高さ測定方法および装置 | |
| JPH0743565A (ja) | 光半導体素子と光導波路の結合構造およびその結 合方法 | |
| JPS60185108A (ja) | 物体を無接触測定する方法および装置 | |
| JPH0688923A (ja) | 光ファイバの光軸とオプトエレクトロニクス部品の位置合せ法およびこの方法による装置 | |
| JP3339110B2 (ja) | 発光素子の光軸検出方法 | |
| JPH0642914A (ja) | 変位測定装置 | |
| JPH05203431A (ja) | 表面形状測定装置 | |
| CN210180399U (zh) | 一种平整度测量装置 | |
| US6922232B2 (en) | Test system for laser diode far-field pattern measurement | |
| JP3391030B2 (ja) | 電子デバイスの製造方法及びパターン露光方法 | |
| JPH08327332A (ja) | クリームはんだ膜厚測定装置 | |
| JPH01263510A (ja) | 微小距離の測定方法及びその装置 | |
| JPH07111341B2 (ja) | 非接触式膜厚測定器 | |
| JP3039645B1 (ja) | 電子部品の位置認識方法及び装置 | |
| JPS5855804A (ja) | 物体検知装置 | |
| JPH10209502A (ja) | 光軸調整装置及び光軸調整方法 | |
| JP2000121340A (ja) | 面傾斜角度測定機 | |
| JP3271221B2 (ja) | 発光体の発光位置検出方法とそれを用いた光学部品の組立て方法 | |
| JPH04162337A (ja) | 電子線装置 | |
| JPH05203413A (ja) | 非接触変位測定方法、非接触変位測定装置及び非接触膜厚測定装置 | |
| JPS6342407A (ja) | パタ−ン線幅測定方法 | |
| JP2001153629A (ja) | 印刷半田測定装置 | |
| JP2000304510A (ja) | ワークエッジの位置検出方法および装置 | |
| JP3247925B2 (ja) | 電子部品実装方法 | |
| JPH0566976B2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080816 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090816 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100816 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110816 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120816 Year of fee payment: 10 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |